JPH0521013A - 陰極・格子構体 - Google Patents
陰極・格子構体Info
- Publication number
- JPH0521013A JPH0521013A JP19730491A JP19730491A JPH0521013A JP H0521013 A JPH0521013 A JP H0521013A JP 19730491 A JP19730491 A JP 19730491A JP 19730491 A JP19730491 A JP 19730491A JP H0521013 A JPH0521013 A JP H0521013A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- mesh
- grid
- insulating film
- lattice
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- Withdrawn
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- Solid Thermionic Cathode (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 陰極・格子間隔が小さくても電極間接触のお
それがなく、また格子電圧がより低くて済む、低コスト
で製造可能な陰極・格子構体を提供する。 【構成】 陰極上に、メッシュ状絶縁膜、更にその上に
メッシュ状導電膜よりなる格子電極を設けたものであ
る。
それがなく、また格子電圧がより低くて済む、低コスト
で製造可能な陰極・格子構体を提供する。 【構成】 陰極上に、メッシュ状絶縁膜、更にその上に
メッシュ状導電膜よりなる格子電極を設けたものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主としてマイクロ波用
の電子管等に使用される電子銃に関し、特にその陰極・
格子部の構造に関する。
の電子管等に使用される電子銃に関し、特にその陰極・
格子部の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の電子管の電子銃における
陰極・格子部の構成を説明するための図である。同図に
おいて、１は陰極、５は格子、６は格子電源を示す。
陰極・格子部の構成を説明するための図である。同図に
おいて、１は陰極、５は格子、６は格子電源を示す。
【０００３】電子銃における格子（通常グリッドと呼ば
れる）は、陰極より放出された電子流を制御するために
設けられるものであるが、通常メッシュ状の金属で作ら
れ、図示されていないガラス、セラミック碍子等の絶縁
物で支持され、陰極に近接して設けられる。陰極１と格
子５の間隔ｄは一般に小さく０．１ｍｍ程度のものも少
なくない。電子流の制御は陰極・格子間に接続された格
子電源６により行われる。
れる）は、陰極より放出された電子流を制御するために
設けられるものであるが、通常メッシュ状の金属で作ら
れ、図示されていないガラス、セラミック碍子等の絶縁
物で支持され、陰極に近接して設けられる。陰極１と格
子５の間隔ｄは一般に小さく０．１ｍｍ程度のものも少
なくない。電子流の制御は陰極・格子間に接続された格
子電源６により行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の陰
極・格子構体では、陰極と格子の空間には介在物がない
ため、構造的に接触し易く、陰極・格子間間隔が小さい
ものでは格子にバリが存在するだけで接触を生じること
さえある。また、間隔が小さい場合、それに伴って部品
や治具は高精度のものが要求されるのでコスト高とな
る。
極・格子構体では、陰極と格子の空間には介在物がない
ため、構造的に接触し易く、陰極・格子間間隔が小さい
ものでは格子にバリが存在するだけで接触を生じること
さえある。また、間隔が小さい場合、それに伴って部品
や治具は高精度のものが要求されるのでコスト高とな
る。
【０００５】一方、上記間隔をより広いものに設計した
場合は、同一の電子流を得るには必要な格子電圧が高く
なる。そのため、パルス動作用のものの場合、特に電源
コストが高くなる（一般に良質な波形のパルス電源が必
要となるが、良質の波形で電圧が高いものは直流電圧の
場合のように容易には得られないので、コストが割高な
ものとなる。）という問題がある。
場合は、同一の電子流を得るには必要な格子電圧が高く
なる。そのため、パルス動作用のものの場合、特に電源
コストが高くなる（一般に良質な波形のパルス電源が必
要となるが、良質の波形で電圧が高いものは直流電圧の
場合のように容易には得られないので、コストが割高な
ものとなる。）という問題がある。
【０００６】本発明は、上記問題点を解消し、電極間隔
が狭くても電極間の接触のおそれがなく、製造コストが
安く、所要の格子電圧が低い陰極・格子構体を提供する
ことを目的とする。
が狭くても電極間の接触のおそれがなく、製造コストが
安く、所要の格子電圧が低い陰極・格子構体を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、陰極・格子構体の構造を、陰極上に、メッ
シュ状絶縁膜を介して、メッシュ状導電膜よりなる格子
電極を設けた構造にしたものである。
成するため、陰極・格子構体の構造を、陰極上に、メッ
シュ状絶縁膜を介して、メッシュ状導電膜よりなる格子
電極を設けた構造にしたものである。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明の陰極・格子構体の一実施例
を説明するための図であり、１は陰極、２Ａはメッシュ
状絶縁膜、３Ａはメッシュ状導電膜よりなる格子、６は
格子電源を示す。
を説明するための図であり、１は陰極、２Ａはメッシュ
状絶縁膜、３Ａはメッシュ状導電膜よりなる格子、６は
格子電源を示す。
【０００９】図２は、上記実施例の陰極・格子構体を作
る際の簡略化した製造工程図である。陰極１は、例えば
多孔質タングステンにＢａＯを含む三元系以上の酸化物
を含浸させた含浸型陰極を用いる。陰極１を先ず、通常
の方法で製作し、その後のプロセスは半導体製造技術を
用いて行う。
る際の簡略化した製造工程図である。陰極１は、例えば
多孔質タングステンにＢａＯを含む三元系以上の酸化物
を含浸させた含浸型陰極を用いる。陰極１を先ず、通常
の方法で製作し、その後のプロセスは半導体製造技術を
用いて行う。
【００１０】即ち、先ず陰極１の電子放射面にＡｌ2 Ｏ
3 ，ＳｉＮ，ＡｌＮ等の耐熱性絶縁材料をスパッタして
厚さ１〜３０μｍ程度の絶縁膜２を生成する。次にその
上にＷ，ＭO ，ＳｉＣ等の導電材料をスパッタ又はＣＶ
Ｄにより被覆して厚さ１０μｍ程度の導電膜３を生成す
る。更にその上にホトレジストを塗布し、メッシュ状の
マスクを掛けて露光、現像を行い、導電膜３および絶縁
膜２の被露光部分をエッチングにより除去した後、更に
残余のホトレジストを除去することにより目的の陰極・
格子構体を得ることができる。
3 ，ＳｉＮ，ＡｌＮ等の耐熱性絶縁材料をスパッタして
厚さ１〜３０μｍ程度の絶縁膜２を生成する。次にその
上にＷ，ＭO ，ＳｉＣ等の導電材料をスパッタ又はＣＶ
Ｄにより被覆して厚さ１０μｍ程度の導電膜３を生成す
る。更にその上にホトレジストを塗布し、メッシュ状の
マスクを掛けて露光、現像を行い、導電膜３および絶縁
膜２の被露光部分をエッチングにより除去した後、更に
残余のホトレジストを除去することにより目的の陰極・
格子構体を得ることができる。
【００１１】一般に陰極・格子間の空間では、電子流は
空間電荷制御域で動作するので、電子流を一定とした場
合、必要な格子電圧は陰極・格子間間隔ｄの４／３乗に
比例する。それ故、従来構造ｄ＝１００μｍで格子電圧
１００Ｖで動作したものを、本発明の構造に置き換え、
ｄ＝１０μｍとすると格子電圧は従来の約１／２０の
４．６Ｖで済むことになる。
空間電荷制御域で動作するので、電子流を一定とした場
合、必要な格子電圧は陰極・格子間間隔ｄの４／３乗に
比例する。それ故、従来構造ｄ＝１００μｍで格子電圧
１００Ｖで動作したものを、本発明の構造に置き換え、
ｄ＝１０μｍとすると格子電圧は従来の約１／２０の
４．６Ｖで済むことになる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の陰極・格
子構体では両電極間にメッシュ状の絶縁膜が形成されて
いるので電極間隔が小さい場合でも、電極間の接触を防
止することができる。それ故、電極間隔をより小さく設
計することが可能となり、その結果として所要の格子電
圧が低くて済むので、パルス動作用のものでは、特に電
源コストが安くて済み利用上好都合となる。
子構体では両電極間にメッシュ状の絶縁膜が形成されて
いるので電極間隔が小さい場合でも、電極間の接触を防
止することができる。それ故、電極間隔をより小さく設
計することが可能となり、その結果として所要の格子電
圧が低くて済むので、パルス動作用のものでは、特に電
源コストが安くて済み利用上好都合となる。
【００１３】また本発明の陰極・格子構体は、高精度の
部品や治具を必要としない上、半導体製造技術を利用し
て製造できるので量産が可能となり品質も安定するの
で、顕著なコストダウンが可能となる。
部品や治具を必要としない上、半導体製造技術を利用し
て製造できるので量産が可能となり品質も安定するの
で、顕著なコストダウンが可能となる。
【図１】 本発明陰極・格子構体の一実施例の説明図で
ある。
ある。
【図２】 同実施例の製造工程図である。
【図３】 従来の陰極・格子構体の説明図である。
１：陰極、２：絶縁膜、２Ａ：メッシュ状絶縁膜、３：
導電膜、３Ａ：メッシュ状導電膜よりなる格子、５：格
子、６：格子電源。
導電膜、３Ａ：メッシュ状導電膜よりなる格子、５：格
子、６：格子電源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 陰極上に、メッシュ状絶縁膜を介して、
メッシュ状導電膜よりなる格子電極を設けたことを特徴
とする陰極・格子構体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19730491A JPH0521013A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 陰極・格子構体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19730491A JPH0521013A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 陰極・格子構体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0521013A true JPH0521013A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=16372237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19730491A Withdrawn JPH0521013A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 陰極・格子構体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521013A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160012978A1 (en) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | U.S. Army Research Laboratory Attn: Rdrl-Loc-I | Supercapacitor |
| US10269504B2 (en) | 2014-07-10 | 2019-04-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Supercapacitor having holes formed in carbonaceous electrodes for increasing the frequency of operation |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP19730491A patent/JPH0521013A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160012978A1 (en) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | U.S. Army Research Laboratory Attn: Rdrl-Loc-I | Supercapacitor |
| US9466435B2 (en) * | 2014-07-10 | 2016-10-11 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Supercapacitor |
| US10269504B2 (en) | 2014-07-10 | 2019-04-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Supercapacitor having holes formed in carbonaceous electrodes for increasing the frequency of operation |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |