JPH05216219A - 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法Info
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- JPH05216219A JPH05216219A JP1745092A JP1745092A JPH05216219A JP H05216219 A JPH05216219 A JP H05216219A JP 1745092 A JP1745092 A JP 1745092A JP 1745092 A JP1745092 A JP 1745092A JP H05216219 A JPH05216219 A JP H05216219A
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- polyvinyl alcohol
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Abstract
(57)【要約】
【構成】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸
を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位とし
て、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン
酸，ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン
酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホ
ン酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカル
ボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモ
ノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポ
リマとして、４−アジドベンズアルデヒド−２−スルホ
ン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応によっ
て得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのアルカリ
塩を用いる。 【化１】 【効果】高感度を有しており、大型カラーブラウン管の
製造等に用いて短時間での露光が可能となる。
を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位とし
て、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン
酸，ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン
酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホ
ン酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカル
ボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモ
ノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポ
リマとして、４−アジドベンズアルデヒド−２−スルホ
ン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応によっ
て得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのアルカリ
塩を用いる。 【化１】 【効果】高感度を有しており、大型カラーブラウン管の
製造等に用いて短時間での露光が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーブラウン管等の
表示装置の蛍光面形成に好適な感光性組成物及びそれを
用いたパターン形成方法に関する。
表示装置の蛍光面形成に好適な感光性組成物及びそれを
用いたパターン形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】水溶性ポリマと重クロム酸アルカリ塩か
らなる光硬化型ホトレジストは古くから知られており、
写真平版，写真凸版，ホトエッチング，スクリーン印刷
製版表示装置の蛍光面の製作等に使用されている。この
ホトレジストについては、例えば、永松、乾著；感光性
高分子第８９頁〜第９６（１９７７）講談社等に記載さ
れている。
らなる光硬化型ホトレジストは古くから知られており、
写真平版，写真凸版，ホトエッチング，スクリーン印刷
製版表示装置の蛍光面の製作等に使用されている。この
ホトレジストについては、例えば、永松、乾著；感光性
高分子第８９頁〜第９６（１９７７）講談社等に記載さ
れている。
【０００３】このホトレジストを用いてカラーブラウン
管の蛍光面を製造する例を示す。ポリビニルアルコール
と界面活性剤と重クロム酸アンモニウムと青色発光蛍光
体を水に混合してスラリとする。一方、カラーブラウン
管フェースプレート内面にマトリックスパターンを形成
する。この上にスラリを回転塗布して塗膜を形成する。
シャドウマスクを介して紫外光を照射し、水で現像する
と、露光した部分は不溶化しているため、青色発光蛍光
体ドットが形成される。ついで、赤色発光蛍光体及び緑
色発光蛍光体について、順次、同様の方法でそれぞれの
蛍光体ドットを形成する。ついで、フイルミング，アル
ミナイジング，パネルベーキングの後、フェースプレー
ト部ファンネル部を合わせフリットベーキングし、電子
銃装着してカラーブラウン管を製造する。
管の蛍光面を製造する例を示す。ポリビニルアルコール
と界面活性剤と重クロム酸アンモニウムと青色発光蛍光
体を水に混合してスラリとする。一方、カラーブラウン
管フェースプレート内面にマトリックスパターンを形成
する。この上にスラリを回転塗布して塗膜を形成する。
シャドウマスクを介して紫外光を照射し、水で現像する
と、露光した部分は不溶化しているため、青色発光蛍光
体ドットが形成される。ついで、赤色発光蛍光体及び緑
色発光蛍光体について、順次、同様の方法でそれぞれの
蛍光体ドットを形成する。ついで、フイルミング，アル
ミナイジング，パネルベーキングの後、フェースプレー
ト部ファンネル部を合わせフリットベーキングし、電子
銃装着してカラーブラウン管を製造する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、例え
ば、カラーブラウン管の大型化又は高精細化について十
分考慮がされていなかった。カラーブラウン管が大型化
すると、蛍光体ドットを製造する場合、露光面(塗膜面)
が光源から離れるため露光面における照度が下がり、露
光に長時間を要するという問題があった。又、カラーブ
ラウン管を高精細化するためには、蛍光体ドット径をよ
り小さくする必要がある。このためには、回転光源の径
の大きさを小さくすることが必要となる。この結果、露
光面（塗膜面)の照度が下がり、露光に長時間を要する
という問題があった。
ば、カラーブラウン管の大型化又は高精細化について十
分考慮がされていなかった。カラーブラウン管が大型化
すると、蛍光体ドットを製造する場合、露光面(塗膜面)
が光源から離れるため露光面における照度が下がり、露
光に長時間を要するという問題があった。又、カラーブ
ラウン管を高精細化するためには、蛍光体ドット径をよ
り小さくする必要がある。このためには、回転光源の径
の大きさを小さくすることが必要となる。この結果、露
光面（塗膜面)の照度が下がり、露光に長時間を要する
という問題があった。
【０００５】本発明の目的は、高感度な感光性組成物及
びそれを用いたパターン形成方法並びに露光時間を短縮
した蛍光面形成方法を提供することにある。本発明の他
の目的は、高精度なパターン形成し得る感光性組成物及
びそれを用いたパターン形成方法並びに蛍光面形成方法
を提供することにある。
びそれを用いたパターン形成方法並びに露光時間を短縮
した蛍光面形成方法を提供することにある。本発明の他
の目的は、高精度なパターン形成し得る感光性組成物及
びそれを用いたパターン形成方法並びに蛍光面形成方法
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、以下によっ
て達成される。
て達成される。
【０００７】(1）水溶性非感光性モノマ単位としてマレ
イン酸アルカリ塩を、アジド基及び電解性官能基を有す
るモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセト
フェノンスルホン酸アルカリ塩，ビニルアジドベンジリ
デンアセトフェノンカルボン酸アルカリ塩，ビニルアジ
ドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸アルカリ
塩，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボ
ン酸アルカリ塩から選ばれた少なくても一種のモノマ単
位とを少なくても含む感光性高分子を光架橋剤とし、こ
れとベースポリマとして、４−アジドベンズアルデヒド
−２−スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセター
ル反応によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコー
ルのアルカリ塩からなることを特徴とする感光性組成
物。
イン酸アルカリ塩を、アジド基及び電解性官能基を有す
るモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセト
フェノンスルホン酸アルカリ塩，ビニルアジドベンジリ
デンアセトフェノンカルボン酸アルカリ塩，ビニルアジ
ドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸アルカリ
塩，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボ
ン酸アルカリ塩から選ばれた少なくても一種のモノマ単
位とを少なくても含む感光性高分子を光架橋剤とし、こ
れとベースポリマとして、４−アジドベンズアルデヒド
−２−スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセター
ル反応によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコー
ルのアルカリ塩からなることを特徴とする感光性組成
物。
【０００８】(2）上記(1）の感光性組成物を基板上に塗
布し、塗膜を形成する工程，その感光性組成物の塗膜
に、所望のパターンの露光を行う工程、塗膜を現像して
パターンを形成する工程を有することを特徴とするパタ
ーン形成方法。
布し、塗膜を形成する工程，その感光性組成物の塗膜
に、所望のパターンの露光を行う工程、塗膜を現像して
パターンを形成する工程を有することを特徴とするパタ
ーン形成方法。
【０００９】(3）上記(1）に記載の感光性組成物と蛍光
体粉体との水性けん濁液塗料をカラーブラウン管のフェ
ースプレートの内面に塗布し、蛍光体塗膜を形成する工
程、その塗膜に所望のパターンの露光を行う工程及び現
像によりパターンを形成する工程を有することを特徴と
するカラーブラウン管蛍光面形成方法。
体粉体との水性けん濁液塗料をカラーブラウン管のフェ
ースプレートの内面に塗布し、蛍光体塗膜を形成する工
程、その塗膜に所望のパターンの露光を行う工程及び現
像によりパターンを形成する工程を有することを特徴と
するカラーブラウン管蛍光面形成方法。
【００１０】本発明において、光架橋剤としての共重合
体は、水溶性非感光性の第一のモノマ単位の一般式
（１）で示すマレイン酸アルカリ塩，アジド基及び電解
性官能基を有し一般式（２）で示される第二のモノマ単
位のビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン
酸アルカリ塩（ｘ＝ＳＯ3Ｈ)，ビニルアジドベンジリデ
ンアセトフェノンカルボン酸アルカリ塩(ｘ＝ＣＯＯ
Ｈ)，一般式（３）に示すビニルアジドシンナミリデン
アセトフェノンスルホン酸アルカリ塩(ｘ＝ＳＯ3Ｈ），
ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸
アルカリ塩(ｘ＝COOH)から選ばれた少なくとも一種のモ
ノマ単位とを少なくとも含む水溶性ポリマである。
体は、水溶性非感光性の第一のモノマ単位の一般式
（１）で示すマレイン酸アルカリ塩，アジド基及び電解
性官能基を有し一般式（２）で示される第二のモノマ単
位のビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン
酸アルカリ塩（ｘ＝ＳＯ3Ｈ)，ビニルアジドベンジリデ
ンアセトフェノンカルボン酸アルカリ塩(ｘ＝ＣＯＯ
Ｈ)，一般式（３）に示すビニルアジドシンナミリデン
アセトフェノンスルホン酸アルカリ塩(ｘ＝ＳＯ3Ｈ），
ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸
アルカリ塩(ｘ＝COOH)から選ばれた少なくとも一種のモ
ノマ単位とを少なくとも含む水溶性ポリマである。
【００１１】
【化１】
【００１２】
【化２】
【００１３】
【化３】
【００１４】モノマ単位とは、モノマが重合したときの
構造を示し、前記置換基を有するモノマが重合した構造
と同じ構造を意味する。前記置換基を有するモノマを重
合させても、あるいは他のモノマを重合させてから化学
反応によって前記置換基を結合させてもこのようなモノ
マ単位とすることができる。
構造を示し、前記置換基を有するモノマが重合した構造
と同じ構造を意味する。前記置換基を有するモノマを重
合させても、あるいは他のモノマを重合させてから化学
反応によって前記置換基を結合させてもこのようなモノ
マ単位とすることができる。
【００１５】本発明の光架橋剤としての共重合体は、前
記第一及び第二のモノマ単位以外に第三のモノマ単位を
含んでいてもよい。またこの第三のモノマ単位も一種類
であっても二種以上であってもよい。
記第一及び第二のモノマ単位以外に第三のモノマ単位を
含んでいてもよい。またこの第三のモノマ単位も一種類
であっても二種以上であってもよい。
【００１６】本発明の感光性組成物は、このように前記
光架橋剤と、この光架橋剤と反応して光不溶化ポリマの
パターンを形成する４−アジドベンズアルデヒド−２−
スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応
によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのア
ルカリ塩からなる。両者の比率は、光架橋剤の量が上記
変性ポリビニルアルコールに対し１〜５０ｗｔ％の範囲
であることが好ましく、５〜３０ｗｔ％の範囲であるこ
とがより好ましい。また、塗料としたときの特性の改良
等のために、感光性組成物にポリオキシエチレンアルキ
ルエーテル等の界面活性剤又は基板との接着性改良のた
めにビニルトリス（β−メトキシエトキシ)シラン等の
カップリング剤を感光性組成物に加えることもできる。
光架橋剤と、この光架橋剤と反応して光不溶化ポリマの
パターンを形成する４−アジドベンズアルデヒド−２−
スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応
によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのア
ルカリ塩からなる。両者の比率は、光架橋剤の量が上記
変性ポリビニルアルコールに対し１〜５０ｗｔ％の範囲
であることが好ましく、５〜３０ｗｔ％の範囲であるこ
とがより好ましい。また、塗料としたときの特性の改良
等のために、感光性組成物にポリオキシエチレンアルキ
ルエーテル等の界面活性剤又は基板との接着性改良のた
めにビニルトリス（β−メトキシエトキシ)シラン等の
カップリング剤を感光性組成物に加えることもできる。
【００１７】
【作用】本発明の光架橋剤は、超高圧水銀灯から発する
励起光の内、特に３４０ｎｍ又は３６５ｎｍの波長の光
をよく吸収する。またこの光架橋剤は、従来の光架橋剤
の重クロム酸アルカリ塩化合物に比べて高分子であり１
分子中に多くの光架橋基をもつ、そして、その光架橋剤
が高分子であるためベースポリマの変性ポリビニルアル
コールとの高分子間で、゛からまり゛現象が起り、光分
解した光架橋基の変性ポリビニルアルコールへの架橋効
率が上がるので感光性組成物として高感度となる。そし
て、変性ポリビニルアルコールは、アセタール反応によ
ってその側鎖に導入した分子構造が、光架橋剤の光分解
によって生じた架橋基(ナイトレン)と架橋反応しやすい
ために効率よく不溶化が起り高感度特性を示す。
励起光の内、特に３４０ｎｍ又は３６５ｎｍの波長の光
をよく吸収する。またこの光架橋剤は、従来の光架橋剤
の重クロム酸アルカリ塩化合物に比べて高分子であり１
分子中に多くの光架橋基をもつ、そして、その光架橋剤
が高分子であるためベースポリマの変性ポリビニルアル
コールとの高分子間で、゛からまり゛現象が起り、光分
解した光架橋基の変性ポリビニルアルコールへの架橋効
率が上がるので感光性組成物として高感度となる。そし
て、変性ポリビニルアルコールは、アセタール反応によ
ってその側鎖に導入した分子構造が、光架橋剤の光分解
によって生じた架橋基(ナイトレン)と架橋反応しやすい
ために効率よく不溶化が起り高感度特性を示す。
【００１８】
〈実施例１〉一般式（４）に示す光架橋剤のマレイン酸
ナトリウム−４−ビニルモノアジドベンジリデンアセト
フェノンスルホン酸ナトリウム共重合体は以下のように
して合成した。
ナトリウム−４−ビニルモノアジドベンジリデンアセト
フェノンスルホン酸ナトリウム共重合体は以下のように
して合成した。
【００１９】
【化４】
【００２０】ポリ（スチレン−無水マレイン酸コポリ
マ：７５％スチレン、分子量：1900、ポリサイエンス、
インク社製）１６ｇをクロロホルム５０ｍｌ，二硫化炭
素５０ｍｌの混合溶媒に溶解した。この溶液を、塩化ア
セチル２５ｇと無水塩化アルミニウム４３ｇとをクロロ
ホルム１００ｍｌ，二硫化炭素１００ｍｌの混合溶媒に
溶解した溶液に室温で撹拌しながら滴下した。その後加
熱して２時間撹拌しながら還流させた。放冷した後、ろ
別し、不溶化物を乾燥した。これを粉末化した後、多量
の水で処理してよく水洗した後乾燥した。得られたポリ
マは一般式(５)に示すようなマレイン酸−４−ビニルア
セトフェノン共重合体である。ただしスチレン単位が約
１０％、すなわち共重合体全体の７.５％ 未反応のまま
残っている。
マ：７５％スチレン、分子量：1900、ポリサイエンス、
インク社製）１６ｇをクロロホルム５０ｍｌ，二硫化炭
素５０ｍｌの混合溶媒に溶解した。この溶液を、塩化ア
セチル２５ｇと無水塩化アルミニウム４３ｇとをクロロ
ホルム１００ｍｌ，二硫化炭素１００ｍｌの混合溶媒に
溶解した溶液に室温で撹拌しながら滴下した。その後加
熱して２時間撹拌しながら還流させた。放冷した後、ろ
別し、不溶化物を乾燥した。これを粉末化した後、多量
の水で処理してよく水洗した後乾燥した。得られたポリ
マは一般式(５)に示すようなマレイン酸−４−ビニルア
セトフェノン共重合体である。ただしスチレン単位が約
１０％、すなわち共重合体全体の７.５％ 未反応のまま
残っている。
【００２１】
【化５】
【００２２】つぎにこの共重合体１ｇ，４−アジドベン
ズアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２ｇ，カセイ
ソーダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌと水４０ｍ
ｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日間放置した
後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別し、前記一
般式（４）に示したマレイン酸ナトリウム−４−ビニル
モノアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナト
リウム共重合体を得た。この共重合体は、マレイン酸ナ
トリウム単位２５モル％，スチレン単位７.５モル％，
ビニルアセトフェノン単位５０.５ モル％，ビニルモノ
アジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウ
ム単位１７モル％からなる。
ズアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２ｇ，カセイ
ソーダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌと水４０ｍ
ｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日間放置した
後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別し、前記一
般式（４）に示したマレイン酸ナトリウム−４−ビニル
モノアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナト
リウム共重合体を得た。この共重合体は、マレイン酸ナ
トリウム単位２５モル％，スチレン単位７.５モル％，
ビニルアセトフェノン単位５０.５ モル％，ビニルモノ
アジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウ
ム単位１７モル％からなる。
【００２３】〈実施例２〉一般式（６）に示すマレイン
酸ナトリウム−４−ビニルモノアジドシンナミリデンア
セトフェノンスルホン酸ナトリウム共重合体は以下のよ
うにして合成した。
酸ナトリウム−４−ビニルモノアジドシンナミリデンア
セトフェノンスルホン酸ナトリウム共重合体は以下のよ
うにして合成した。
【００２４】
【化６】
【００２５】実施例１で合成した一般式（５）のマレイ
ン酸−４−ビニルアセトフェノン共重合体１ｇ，４−ア
ジドシンナムアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２
ｇ，カセイソーダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌ
と水４０ｍｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日
間放置した後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別
し、上記一般式（６）のマレイン酸ナトリウム−４−ビ
ニルモノアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン
酸ナトリウム共重合体を得た。この共重合体は、マレイ
ン酸ナトリウム単位２５モル％，スチレン単位７.５ モ
ル％，ビニルアセトフェノン単位５０.５ モル％，ビニ
ルモノアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸
ナトリウム単位１７モル％からなる。
ン酸−４−ビニルアセトフェノン共重合体１ｇ，４−ア
ジドシンナムアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２
ｇ，カセイソーダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌ
と水４０ｍｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日
間放置した後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別
し、上記一般式（６）のマレイン酸ナトリウム−４−ビ
ニルモノアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン
酸ナトリウム共重合体を得た。この共重合体は、マレイ
ン酸ナトリウム単位２５モル％，スチレン単位７.５ モ
ル％，ビニルアセトフェノン単位５０.５ モル％，ビニ
ルモノアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸
ナトリウム単位１７モル％からなる。
【００２６】〈実施例３〉一般式（７）に示す４−アジ
ドベンズアルデヒド−２−スルホン酸とポリビニルアル
コールとのアセタール反応によって得られる変性ポリビ
ニルアルコールは以下のようにして合成した。
ドベンズアルデヒド−２−スルホン酸とポリビニルアル
コールとのアセタール反応によって得られる変性ポリビ
ニルアルコールは以下のようにして合成した。
【００２７】
【化７】
【００２８】５ｗｔ％ポリビニルアルコール（株式会社
クラレ社製、クラレポバール、224)１００ｇの水溶液に
４ｇの４−アジドベンズアルデヒド−２−スルホン酸を
溶かし室温下で、一日間放置する。アンモニア水で中和
した後、過剰のアセトン中に注入してアセタール化ポリ
ビニルアルコールを析出させ、乾燥する。
クラレ社製、クラレポバール、224)１００ｇの水溶液に
４ｇの４−アジドベンズアルデヒド−２−スルホン酸を
溶かし室温下で、一日間放置する。アンモニア水で中和
した後、過剰のアセトン中に注入してアセタール化ポリ
ビニルアルコールを析出させ、乾燥する。
【００２９】〈実施例４〉実施例１〜２で得た光架橋剤
の共重合体を用い、下記の組成の溶液を調製した。これ
をガラス板に０.５〜０.７μｍの厚さに回転塗布し、乾
燥して塗膜とした。
の共重合体を用い、下記の組成の溶液を調製した。これ
をガラス板に０.５〜０.７μｍの厚さに回転塗布し、乾
燥して塗膜とした。
【００３０】 組成： 変性ポリビニルアルコール ２.０ｗｔ％ アジド基を有する共重合体 ０.２ シランカップリング剤 ０.００２ 水 残余 ベースポリマとして上記アセタール化ポリビニルアルコ
ールを使用し、光架橋剤のアジド基を有する共重合体を
変化させた場合の感度の比較を表１に示す。比較例とし
て従来方法の重クロム酸ナトリウム塩化合物を光架橋剤
とし、ポリビニルアルコールをベースポリマとする感光
性組成物を用いた例を同じ表１に示す。感度の評価は超
高圧水銀灯からの照度一定の光を一定時間露光した後、
所定のドット径のパターン得るためにどれだけの露光時
間を要するかで行った。比較例の場合の露光時間を１と
した場合、実施例１，２の光架橋剤及び実施例３の変性
ポリビニルアルコールをベースポリマとして用いた場合
は１／３の露光時間で同じドット径のパターンが得られ
る。
ールを使用し、光架橋剤のアジド基を有する共重合体を
変化させた場合の感度の比較を表１に示す。比較例とし
て従来方法の重クロム酸ナトリウム塩化合物を光架橋剤
とし、ポリビニルアルコールをベースポリマとする感光
性組成物を用いた例を同じ表１に示す。感度の評価は超
高圧水銀灯からの照度一定の光を一定時間露光した後、
所定のドット径のパターン得るためにどれだけの露光時
間を要するかで行った。比較例の場合の露光時間を１と
した場合、実施例１，２の光架橋剤及び実施例３の変性
ポリビニルアルコールをベースポリマとして用いた場合
は１／３の露光時間で同じドット径のパターンが得られ
る。
【００３１】
【表１】
【００３２】〈実施例５〉実施例１で得た光架橋剤の共
重合体及び実施例３で得た変性ポリビニルアルコールを
用い、下記の組成のスラリ溶液を調製した。
重合体及び実施例３で得た変性ポリビニルアルコールを
用い、下記の組成のスラリ溶液を調製した。
【００３３】 スラリ組成 蛍光体粉体 １２.５ｗｔ％ 変性ポリビニルアルコールVII １.２５ 界面活性剤 ０.０１２５ 光架橋剤の共重合体IV ０.１２５ シランカップリング剤 ０.００１２５ 水 残余 このスラリ組成をカラーブラウン管のパネルの内面に回
転塗布し、乾燥後、シャドウマスクを装着し、超高圧水
銀灯を光源とし、蛍光体の被着する位置に、露光した。
温水で２分スプレ現像し、蛍光体ドットを形成した。こ
のプロセスを赤，青，緑色各蛍光体粉体で行いパネル内
面に蛍光面を製造した。以下、従来方法と同様にして、
フイルミング，アルミナイジング，パネルベーキングの
後、フェースプレート部ファンネル部を合わせフリット
ベーキングし、電子銃装着してカラーブラウン管を製造
した。
転塗布し、乾燥後、シャドウマスクを装着し、超高圧水
銀灯を光源とし、蛍光体の被着する位置に、露光した。
温水で２分スプレ現像し、蛍光体ドットを形成した。こ
のプロセスを赤，青，緑色各蛍光体粉体で行いパネル内
面に蛍光面を製造した。以下、従来方法と同様にして、
フイルミング，アルミナイジング，パネルベーキングの
後、フェースプレート部ファンネル部を合わせフリット
ベーキングし、電子銃装着してカラーブラウン管を製造
した。
【００３４】フイルミング，アルミナイジング，パネル
ベーキングの後、フェースプレート部ファンネル部を合
わせフリットベーキングし、電子銃装着してブラウン管
を製造する。このプロセスで露光時間は従来の組成物を
用いた場合より短時間であった。
ベーキングの後、フェースプレート部ファンネル部を合
わせフリットベーキングし、電子銃装着してブラウン管
を製造する。このプロセスで露光時間は従来の組成物を
用いた場合より短時間であった。
【００３５】
【発明の効果】本発明の感光性組成物は高感度を示す。
それ故、例えば大型のカラーブラウン管の製造等に用い
て短時間で露光できる。また、高精細カラーブラウン管
の製造に用いてもシャドウマスクのホ−ル径が小さくな
ることによる露光面での照度低下を補うことができる。
それ故、例えば大型のカラーブラウン管の製造等に用い
て短時間で露光できる。また、高精細カラーブラウン管
の製造に用いてもシャドウマスクのホ−ル径が小さくな
ることによる露光面での照度低下を補うことができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 雅人 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 右高 園子 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 野々垣 三郎 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 西澤 昌紘 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所茂原工場内
Claims (4)
- 【請求項１】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン
酸を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位と
して、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホ
ン酸，ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボ
ン酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスル
ホン酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカ
ルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種の
モノマ単位とを少なくとも含む感光性高分子を光架橋剤
とし、これとベースポリマとして、４−アジドベンズア
ルデヒド−２−スルホン酸とポリビニルアルコールとの
アセタール反応によって得られる水溶性変性ポリビニル
アルコールのアルカリ塩からなることを特徴とする感光
性組成物。 - 【請求項２】所望のパターンを形成しようとする面上
に、請求項１の前記感光性組成物の塗膜を形成する工
程、前記感光性組成物の塗膜に、所望のパターンの露光
を行う工程、前記塗膜を現像してパターンを形成する工
程を含むパターン形成方法。 - 【請求項３】請求項１の前記感光性組成物と蛍光体粉体
との水性けん濁液塗料をカラーブラウン管のフェースプ
レートの内面に塗布し、蛍光体塗膜を形成する工程、そ
の塗膜に所望のパターンの露光を行う工程及び現像によ
りパターンを形成する工程を含むカラーブラウン管蛍光
面形成方法。 - 【請求項４】請求項１の前記光架橋剤のアジド基を有す
る共重合体及び水溶性変性ポリビニルアルコールの塩が
アンモニウム塩，アルカリ金属塩，アルカリ土類金属塩
である感光性組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1745092A JPH05216219A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1745092A JPH05216219A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05216219A true JPH05216219A (ja) | 1993-08-27 |
Family
ID=11944360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1745092A Pending JPH05216219A (ja) | 1992-02-03 | 1992-02-03 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05216219A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6699951B2 (en) | 2001-04-03 | 2004-03-02 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Monomer and polymer for photoresist, photoresist composition, and phosphor layer composition for color cathode ray tube |
| JP2010260831A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Kanagawa Univ | 光分解性ヘテロ二価性架橋剤 |
-
1992
- 1992-02-03 JP JP1745092A patent/JPH05216219A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6699951B2 (en) | 2001-04-03 | 2004-03-02 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Monomer and polymer for photoresist, photoresist composition, and phosphor layer composition for color cathode ray tube |
| JP2010260831A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Kanagawa Univ | 光分解性ヘテロ二価性架橋剤 |
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