JPH05219721A - 半導体素子の高電圧発生回路 - Google Patents

半導体素子の高電圧発生回路

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JPH05219721A
JPH05219721A JP3205798A JP20579891A JPH05219721A JP H05219721 A JPH05219721 A JP H05219721A JP 3205798 A JP3205798 A JP 3205798A JP 20579891 A JP20579891 A JP 20579891A JP H05219721 A JPH05219721 A JP H05219721A
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signal
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gate
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 半導体素子においてクランピング素子及び電
荷伝達素子の閾電圧損失を除去して効率を高めた高電圧
発生回路を提供する。 【構成】 振動信号発生手段からの振動信号と電荷ポン
プ手段53,54を利用して電源電圧以上の高電圧又は
接地電圧以下の負電圧を発生させる回路において、振動
信号発生手段及び電源に連結されており、振動信号発生
手段からの第3振動信号を入力して動作する第1クラン
ピング手段51と、振動信号発生手段及び電源に連結さ
れており、振動信号発生手段からの第4振動信号を入力
として動作する第2クランピング手段52と、振動信号
発生手段からの第2振動信号入力として動作する第1電
荷ポンプ手段53と、振動信号発生手段からの第1振動
信号を入力として動作する第2電荷ポンプ手段54と、
それらの出力端に入力端が連結され、出力端は最終出力
端に連結された電荷伝達手段55とから構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はクランピング素子及び電
荷伝達素子の閾電圧損失を除去して効率を高めた半導体
素子の高電圧発生回路に関する。
【0002】半導体素子のCMOS(コンプリメンタリ
MOS)型構成で電源電圧(Vcc)以上の高電圧又は
接地電圧(Vss)以下の負電圧が必要であるときがあ
る。例えば、電源電圧以上の高電圧はDRAM(ダイナ
ミックRAM)で記憶素子への貯蔵データ“1”に該当
する完全な電源電圧(Vcc)伝達のためのワード線電
位又は出力バッファにおけるnチャンネルMOSFET
を利用したプルアップゲートの充分な駆動等、主にnチ
ャンネルMOSFETが有する論理高(ハイ)状態伝達
時の閾電圧損失の克服に利用され、接地電圧以下の負電
圧はp型基板のバイアス電圧に利用される。
【0003】
【従来の技術】従来の半導体素子の高電圧発生回路は図
1に示す通り、リング発生器(1)のような振動信号発
生器を通じて発生された振動信号(φosc1)を共通
ソース、ドレーン端に連結して電荷ポンプ機能をするn
チャンネルMOSFET(M3)、電源(Vcc)にド
レーン及びゲートが連結され、上記nチャンネルMOS
FET(M3)のゲートにソースが連結されてクランピ
ング機能をするnチャンネルMOSFET(M1)、及
び上記nチャンネルMOSFET(M3)のゲートにド
レーン及びゲートを連結したダイオード型nチャンネル
MOSFETで構成される。
【0004】上記従来の半導体素子の高電圧発生回路の
動作を図2を参照して説明すると次の通りである。
【0005】上記リング発振器(1)の振動信号(φo
sc1)は一定周期(Tosc)を有し、電源電圧(V
cc)の振幅大きさをもって振動する。上記振動信号
(φosc1)が接地(Vss)の電位にあるとき、ク
ランピング機能をするnチャンネルMOSFET(M
1)を通じてnチャンネルMOSFET(M3)のゲー
ト端であるノード(12)は電源電圧(Vcc)から閾
電圧程損失した電圧(Vcc−Vt)に充電される。上
記振動信号(φosc1)が接地(Vss)電位から電
源電圧(Vcc)へ遷移するとキャパシタ型nチャンネ
ルMOSFET(M3)のソース、ドレーン端とゲート
端の電圧が瞬間的に変わらないため、ノード(12)の
電圧(V2)はそのカップリング効率に従って電源電圧
(Vcc)より閾電圧(Vth)程少ない電圧(Vcc
−Vth)から電源電圧(Vcc)以上の電圧(V2,
M)へ遷移し、上記遷移されたノード(12)の電圧
(V2,M)はノード(12)にドレーン及びゲートが
連結されたダイオード型nチャンネルMOSFET(M
2)がオンされることにより出力端(Vpp)に伝達さ
れて負荷キャパシタ(CL)を充電するようになる。
【0006】上記のような振動動作の繰り返しにより負
荷抵抗(RL)を通じた漏出電流を克服し、出力端(V
pp)の電位が上昇するようになるが、ダイオード型連
結を有するnチャンネルMOSFET(M1,M2)の
閾電圧損失によりその効率は高くない。
【0007】即ち、nチャンネルMOSFET(M1)
の閾電圧損失によりノード(12)の充電電位は電源電
圧(Vcc)でない電源電圧(Vcc)よりnチャンネ
ルMOSFET(M1)の閾電圧(Vt1)程低い電位
(Vcc−Vt1)に留まり、nチャンネルMOSFE
T(M3)の動作によりノード(12)に印加された高
電位がnチャンネルMOSFET(M2)の閾電圧(V
t2)程損失されて出力端(Vpp)へ伝達されるた
め、出力端の最大電位は電圧(V2,M)よりnチャン
ネルMOSFET(M2)の閾電圧(Vt2)程低い電
圧(V2,M−Vt2)になる。
【0008】上記問題点を改善するための従来のクロス
−カップルド電荷ポンプを有する高電圧発生回路は図3
に示す通り、リング発生器から発生し、電源電圧(Vc
c)大きさの振幅を有し、180°の位相差を有する第
1及び第2振動信号(φosc11,φosc12)を
共通ソース、ドレーン端に連結して電荷ポンプ機能をす
るnチャンネルMOSFET(M11,M12)、上記
nチャンネルMOSFET(M11,M12)のゲート
に連結され、電源(Vcc)にドレーンが連結され、ソ
ース及びゲートがクロス−カップルドされたクランピン
グ機能をするnチャンネルMOSFET(M13,M1
4)、及び上記nチャンネルMOSFET(M11,M
12)のゲートにドレーン及びゲートが連結されたダイ
オード型nチャンネルMOSFET(M15,M16)
で構成される。
【0009】上記従来のクロスカップルド電荷ポンプを
有する高電圧発生回路の動作を図4を参照して説明する
と次の通りである。
【0010】上記第1振動信号(φosc11)が電源
電圧(Vcc)状態にあり、第2振動信号(φosc1
2)が接地電位(Vss)にある状態であれば、キャパ
シタ型nチャンネルMOSFET(M11)のゲート端
であるノード(33)は電源電圧(Vcc)以上の電位
にあるため、オン(ON)状態になったクロスカップル
ドされたnチャンネルMOSFET(M14)によりキ
ャパシタ型nチャンネルMOSFET(M12)のゲー
ト端であるノード(34)は閾電圧の損失なく電源電圧
(Vcc)に充電され、キャパシタ型nチャンネルMO
SFET(M12)も電源電圧(Vcc)に充電され
る。
【0011】上記第1振動信号(φsoc11)が接地
電位(Vss)へ遷移し、上記第2振動信号(φosc
12)が電源電圧(Vcc)へ遷移すると、キャパシタ
型nチャンネルMOSFET(M12)により上記nチ
ャンネルMOSFET(M12)のゲート端であるノー
ド(34)は電源電圧(Vcc)以上の電位にあるた
め、オン状態になったクロスカップルドされたnチャン
ネルMOSFET(M13)によりキャパシタ型nチャ
ンネルMOSFET(M11)のゲート端であるノード
(33)は閾電圧の損失なく電源電圧(Vcc)に充電
され、キャパシタ型nチャンネルMOSFET(M1
1)も電源電圧(Vcc)に充電される。
【0012】従って、ノード(34)は電源電圧(Vc
c)から電源電圧(Vcc)以上の電圧(Vcc+V)
へ遷移し、上記遷移されたノード(34)の電圧(Vc
c+V)はノード(34)にドレーン及びゲートが連結
されたダイオード型nチャンネルMOSFET(M1
6)がオンされることにより出力端(Vpp)に伝達さ
れた負荷キャパシタ(CL)を充電するようになる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】従って、上記従来のク
ロスカップルド電荷ポンプを有する高電圧発生回路は従
来のダイオード型クランピング素子が有する閾電圧損失
を除去し、180°の位相差を有する二つの振動信号及
びこれにより駆動されるキャパシタ(M11,M12)
を利用することにより従来の高電圧発生回路に比べて時
間上のデューティサイクルを倍加したが、上記出力端の
ダイオード型連結を有するnチャンネルMOSFET
(M15,M16)の閾電圧損失を有するようになる問
題点がある。上記問題点を改善するために案出された本
発明は半導体素子においてクランピング素子及び電荷伝
達素子の閾電圧損失を除去して効率を高めた高電圧発生
回路を提供するにその目的がある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は振動信号発生手段からの振動信号と電荷ポン
プ手段を利用して電源電圧以上の高電圧又は接地電圧以
下の負電圧を発生させる回路において、振動信号発生手
段及び電源に連結されており、上記振動信号発生手段か
らの第3振動信号を入力して動作する第1クランピング
手段と、上記振動信号発生手段及び電源に連結されてお
り、上記振動信号発生手段からの第4振動信号を入力と
して動作する第2クランピング手段と、上記振動信号発
生手段及び上記第1クランピング手段の出力端に連結さ
れており、上記振動信号発生手段からの第2振動信号入
力として動作する第1電荷ポンプ手段と、上記振動信号
手段及び上記第2クランピング手段の出力端に連結され
ており、上記振動信号発生手段からの第1振動信号を入
力として動作する第2電荷ポンプ手段と、上記第1及び
第2電荷ポンプ手段と第1および第2クランピング手段
の出力端に入力端が連結され、出力端は最終出力端に連
結された電荷伝達手段とで構成されて閾電圧損失を除去
することを特徴とする。
【0015】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の一実施例
を詳細に説明する。
【0016】図5は本発明による高電圧発生回路の回路
図であり、図6は図5の回路を具現したN−ウェル上の
断面図であり、図7は図5の各部の信号波形図であり、
図8は図5の入力振動信号発生回路の回路図である。図
中、51,52はクランピング回路、53,54は電荷
ポンプ回路、55は電荷伝達回路、56は初期状態調整
回路、M21乃至M31はMOSFET、RLは負荷抵
抗、CLは負荷キャパシタ、G1乃至G10はインバー
タ、G11,G12はNANDゲート、G13,G14
はNORゲートを夫々示す。
【0017】本発明による高電圧発生回路は図5に示す
通り、リング発振器を通じて発生する180°の位相差
を有する第3及び第4振動信号(φosc23,φos
c24)を共通ソースドレーン端に連結したキャパシタ
型nチャンネルMOSFET(M21,M22)、電源
(Vcc)にゲートとドレーンが連結され、上記nチャ
ンネルMOSFET(M21,M22)のゲート端であ
るノード(41,42)にソースが連結されたダイオー
ド型nチャンネルMOSFET(M25,M26)、及
び上記電源(Vcc)にドレーンが連結され、上記ノー
ド(41,42)にゲートが連結されたnチャンネルM
OSFET(M27,M28)で構成されたクランピン
グ回路(51,52)、180°の位相差を有する第1
及び第2振動信号(φosc21,φosc22)を共
通ソースドレーン端に連結し、上記nチャンネルMOS
FET(M27,M28)のソースにゲートを連結して
電荷ポンプ機能をするキャパシタ型nチャンネルMOS
FET(M23,M24)、上記nチャンネルMOSF
ET(M23,M24)のゲート端であるノード(4
3,44)にソースが夫々連結され、ゲートはクロスさ
れてノード(44,43)に連結され、ドレーンは最終
出力端(Vpp)に連結されたpチャンネルMOSFE
T(M29.M30)で構成された電荷伝達回路(5
5)及び電源(Vcc)にドレーン及びゲートが連結さ
れ、最終出力端(Vpp)にソースが連結されて、最終
出力端(Vpp)の初期状態を調整するnチャンネルM
OSFET(M31)で構成された初期状態調整回路
(56)で構成される。
【0018】上記振動信号(φosc21乃至φosc
24)は、図8に示す通り、発振器から発生した入力振
動信号(φosc31)を入力とし、直列接続されたイ
ンバータ(G1乃至G8)各出力端の遅延信号(第1乃
至第4遅延信号)を論理ゲートで操作して発生させる。
即ち、第2振動信号(φosc22)は2つのインバー
タ(G1,G2)を通過した第1遅延信号(61)と直
列接続された8つのインバータ(G1乃至G8)を通過
した第4遅延信号(64)をNORゲート(G13)で
負正論理合した信号であり、第1振動信号(φosc2
1)は上記第2遅延信号(62)と第3遅延信号(6
3)をNORゲート(G14)で負正論理合した後、イ
ンバータ(G10)を通じて反転させた信号である。更
に、第4振動信号(φosc24)は直列連結された4
つのインバータ(G1乃至G4)を通過した第2遅延信
号(62)と直列連結された6つのインバータ(G1乃
至G6)を通過した第3遅延信号(63)をNANDゲ
ート(G12)で負正論理乗した信号であり、第3振動
信号(φosc23)は上記第1遅延信号(61)及び
第4遅延信号(64)をNANDゲート(G11)で負
正論理乗した後、インバータ(G9)を通じて反転させ
た信号である。
【0019】図7を参照して上記本発明による高電圧発
生回路の作動を説明すると、次の通りである。
【0020】先ず、初期状態として、第4振動信号(φ
osc24)及び第2振動信号(φosc22)が電源
電圧(Vcc)の状態にあり、第3振動信号(φosc
23)及び第1振動信号(φosc21)が接地電位
(Vss)状態にあると仮定し、各振動信号の状態に伴
う回路の作動を説明すると次の通りである。
【0021】第4振動信号(φosc24)が電源電圧
(Vcc)状態であり、nチャンネルMOSFET(M
26)のゲート及びドレーンが電源(Vcc)に連結さ
れているため、キャパシタ型nチャンネルMOSFET
(M22)を通じて上記nチャンネルMOSFET(M
22)のゲート端であるノード(42)は電源電圧(V
cc)以上の電圧状態(Vcc+V1)にあるようにな
り、ゲート端が上記ノード(42)に連結されたnチャ
ンネルMOSFET(M28)はオン状態になって、電
圧損失なく上記nチャンネルMOSFET(M28)の
ソース端であるノード(44)に電源電圧(Vcc)の
電位がそのまま伝達され、上記ノード(44)にゲート
が連結されたキャパシタ型nチャンネルMOSFET
(M24)は電源電圧(Vcc)に充電された状態にあ
る。
【0022】第3振動信号(φosc23)が接地電位
(Vss)状態にあるため、キャパシタ型nチャンネル
MOSFET(M21)のゲート端であるノード(4
1)は電源(Vcc)にゲート及びドレーンが連結され
てクランピング機能をするダイオード型nチャンネルM
OSFET(M25)の特性により電源電圧(Vcc)
より上記nチャンネルMOSFET(M25)の閾電圧
(Vt)程低い電圧状態(Vcc−Vt)に維持され、
第2振動信号(φosc22)が電源電圧(Vcc)状
態であるため、キャパシタ型nチャンネルMOSFET
(M23)を通じて上記nチャンネルMOSFET(M
23)のゲート端であるノード(43)は高電位(Vc
c+V2)を維持するため、接地電位状態にある第1振
動信号(φosc21)をドレーンソース入力とするキ
ャパシタ型nチャンネルMOSFET(M24)のゲー
ト端であるノード(44)をクランピングさせて、上記
ノード(41)にゲートが連結され、電源電圧(Vc
c)にドレーンが連結されて、ソースがノード(43)
に連結されたnチャンネルMOSFET(M27)がオ
フされるため、ノード(44)は電源電圧(Vcc)の
状態を維持する。
【0023】ノード(43)は電源電圧以上の高電位
(Vcc+V2)状態であるため、出力端(Vpp)が
電源以上の電圧状態にあると仮定すれば、ノード(4
4)にゲートが連結され、ノード(43)にソースが連
結され、出力端(Vpp)にドレーンが連結されたpチ
ャンネルMOSFET(M29)はオンされ、上記ノー
ド(43)にゲートが連結され、上記ノード(44)に
ソースが連結され、上記出力端(Vpp)にドレーンが
連結されたpチャンネルMOSFET(M30)はオフ
されるため、ノード(43)に誘起された高電位(Vc
c+V2)が損失なく出力端(Vpp)に伝達される。
【0024】リング発振器から発生される入力振動信号
(φosc31)により第3振動信号(φosc23)
及び第1振動信号(φosc21)が電源電圧状態(V
cc)に遷移し、第4振動信号(φosc24)及び第
2振動信号(φosc22)が接地電位(Vss)状態
に遷移した状態での回路の動作を説明すると、次の通り
である。
【0025】第3振動信号(φosc23)が電源電圧
(Vcc)状態に遷移すると上記ダイオード型nチャン
ネルMOSFET(M25)のクランピング動作と上記
キャパシタ型nチャンネルMOSFET(M21)を通
じてノード(41)は電源電圧以上の電圧(Vcc+V
1)状態にあるようになって、ノード(41)にゲート
が連結されたnチャンネルMOSFET(M27)はオ
ンされて、電圧損失なくノード(43)に電源電圧(V
cc)の電位がそのまま伝達されて、上記ノード(4
3)にゲートが連結されたキャパシタ型nチャンネルM
OSFET(M23)は電源電圧(Vcc)に充電され
た状態にあるようになる。
【0026】第4振動信号(φosc24)が接地電位
(Vcc)状態にあるため、キャパシタ型nチャンネル
MOSFET(M22)のゲート端であるノード(4
2)は上記ダイオード型nチャンネルMOSFET(M
26)の特性により電源電圧(Vcc)より上記nチャ
ンネルMOSFET(M26)の閾電圧(Vt)程低い
電圧状態(Vcc−Vt)に維持され、第1振動信号
(φosc21)が電源電圧(Vcc)状態であるた
め、上記キャパシタ型nチャンネルMOSFET(M2
4)を通じてノード(44)は高電位(Vcc+V2)
状態であるため、上記nチャンネルMOSFET(M2
8)がオフされて、ノード(43)は電源電圧(Vc
c)の状態をそのまま維持する。
【0027】上記ノード(44)は電源電圧以上の高電
位(Vcc+V2)状態であるため、出力端(Vpp)
が電源以上の電圧状態にあると仮定すれば、上記pチャ
ンネルMOSFET(M29)はオフされ、上記pチャ
ンネルMOSFET(M29)とクロス−カップルドさ
れたpチャンネルMOSFET(M30)はオンされる
ため、ノード(44)に誘起された高電位(Vcc+V
2)が損失なく出力端(Vpp)に伝達される。
【0028】上記各振動信号(φosc21乃至φos
c24)の遷移区間における電荷漏出による損失を防ぐ
ために、第2振動信号(φosc22)及び第3振動信
号(φosc23)は同時に接地電位(Vss)状態に
あってはならなく、第1振動信号(φosc21)及び
第4振動信号(φosc24)は同時に電源電圧(Vc
c)状態にあってはならない。
【0029】更に、半導体素子の電源をオンさせた初期
状態を調節するために、電源(Vcc)にドレーン及び
ゲートが連結され、出力端(Vpp)にソースが連結さ
れたnチャンネルMOSFET(M31)を用いてスタ
ート−アップ動作を遂行する。
【0030】上記nチャンネルMOSFET(M21乃
至M24)はゲート電極及びソース、ドレーン間にかか
るキャパシタに利用されるため、ゲートソース電圧(V
GS)が閾電圧以上になるときにのみチャンネルが形成
されて、ゲート面積に相応してゲート電極下の酸化層に
より生じるキャパシタ量をそのまま利用することができ
る。もし、ゲートソース電圧(VGS)が閾電圧より低
いためトランジスタがオフ状態であれば、チャンネルが
生じないからゲートキャパシタンスは基板とゲートノー
ド間に大部分かかるようになる。
【0031】従って、電源をオンさせたときにもnチャ
ンネルMOSFET(M21乃至M24)がオン状態に
あるときにのみ電源をオンさせた後、早い時間内に出力
端(Vpp)を安定した状態で充電させることができ
る。
【0032】電源がオンされると瞬間的に全てのノード
が接地状態を維持しながら電源電圧(Vcc)に上昇し
て安定値を維持するようになると、nチャンネルMOS
FET(M25,M26)はノード(41,42)を夫
々電源電圧(Vcc)より閾電圧(Vt)程低い電位
(Vcc−Vt)に充電するようになり、これは更にn
チャンネルMOSFET(M27,M28)を通じてノ
ード(43,44)を夫々電源電圧(Vcc)よりnチ
ャンネルMOSFETを二度通過した状態の閾電圧(2
Vt)程低い電位(Vcc−2Vt)に充電されるた
め、上記条件を充足させる。
【0033】上記の通り、初期状態を調節するnチャン
ネルMOSFET(M31)は電源をオンさせるときに
のみ出力端(Vpp)を電源電圧(Vcc)より閾電圧
(Vt)程低い電位(Vcc−Vt)に充電させ、以後
に出力端(Vpp)が電源電圧以上の電圧に充電される
とオフ状態に継続維持される。
【0034】図6は上記の通り構成される高電圧発生回
路をp型基板上のN−ウェル上に実現させた断面図を示
す。
【0035】pチャンネルMOSFETの基板になるN
−ウェルには出力端が連結されており、ノード(43,
44)の電位が出力ノード(Vpp)の電位より高くな
るとチャンネルを通じた電荷伝達と同時にノード(4
3,44)と基板、出力端(Vpp)のP−N接合がオ
ンされて出力端(Vpp)への電荷伝達動作を遂行する
ようになる。
【0036】上記の通り構成されて動作する本発明は電
源電圧以上の高電圧を必要とするCMOS型に構成され
る半導体素子においてクランピング素子及び電荷伝達素
子の閾電圧損失を除去することにより十分な電源電圧以
上の高電圧を用いて半導体素子の誤動作を防止すること
ができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の高電圧発生回路の回路図である。
【図2】図1の各部の信号波形図である。
【図3】従来のクロスカップルド電荷ポンプを有する高
電圧発生回路の回路図である。
【図4】図3の各部の信号波形図である。
【図5】本発明による高電圧発生回路の回路図である。
【図6】図5の回路を具現したN−ウェル上の断面図で
ある。
【図7】図5の各部の信号波形図である。
【図8】図5の入力振動信号発生回路の回路図である。
【符号の説明】
51,52 クランピング回路 53,54 電荷ポンプ回路 55 電荷伝達回路 56 初期状態調整回路 61 第1遅延信号 62 第2遅延信号 63 第3遅延信号 64 第4遅延信号 CL 負荷キャパシタ G1乃至G10 インバータ G11,G12 NANDゲート G13,G14 NORゲート M21乃至M31 MOSFET RL 負荷抵抗

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動信号発生手段からの振動信号と電荷
    ポンプ手段を利用して電源電圧(Vcc)以上の高電圧
    又は接地電圧(Vss)以下の負電圧を発生させる回路
    において;振動信号発生手段及び電源(Vcc)に連結
    されており、上記振動信号発生手段からの第3振動信号
    (φosc23)を入力して動作する第1クランピング
    手段(51)と、 上記振動信号発生手段及び電源に連結されており、上記
    振動信号発生手段からの第4振動信号(φosc24)
    を入力として動作する第2クランピング手段(52)
    と、 上記振動信号発生手段及び上記第1クランピング手段
    (51)の出力端に連結されており、上記振動信号発生
    手段からの第2振動信号(φosc22)入力として動
    作する第1電荷ポンプ手段(53)と、 上記振動信号発生手段及び上記第2クランピング手段
    (52)の出力端に連結されており、上記振動信号発生
    手段からの第1振動信号(φosc21)入力として動
    作する第2電荷ポンプ手段(54)と、 上記第1及び第2電荷ポンプ手段(53,54)と第1
    及び第2クランピング手段(51,52)の出力端に入
    力端が連結され、出力端は最終出力端(Vpp)に連結
    された電荷伝達手段(55)とから構成されて、閾電圧
    損失を除去することを特徴とする半導体素子の高電圧発
    生回路。
  2. 【請求項2】 電源(Vcc)にドレーン及びゲートが
    連結され、上記最終出力端(Vpp)にソースが連結さ
    れたダイオード型nチャンネルMOSFET(M31)
    で構成された初期状態調節手段(56)を更に含むこと
    を特徴とする請求項1記載の半導体素子の高電圧発生回
    路。
  3. 【請求項3】 上記第1及び第2クランピング手段(5
    1,52)は第3及び第4振動信号(φosc23,φ
    osc24)を夫々の共通ソース、ドレーン端に入力す
    るキャパシタ型nチャンネルMOSFET(M21,M
    22)と、 電源(Vcc)にドレーン及びゲートが夫々連結され、
    上記nチャンネルMOSFET(M21,M22)のゲ
    ートにソースが夫々連結されたダイオード型nチャンネ
    ルMOSFET(M25,M26)と、 電源(Vcc)にドレーンが夫々連結され、上記nチャ
    ンネルMOSFET(M21,M22)のゲートにゲー
    トが夫々連結され、上記電荷ポンプ手段(53,54)
    にソースが夫々連結されたnチャンネルMOSFET
    (M27,M28)で構成されることを特徴とする請求
    項1記載の半導体素子の高電圧発生回路。
  4. 【請求項4】 上記電荷伝達手段(55)は上記クラン
    ピング手段(51,52)の出力端にゲート及びソース
    がクロスカップルドされて連結され、ドレーンは上記最
    終出力端(Vpp)に連結されたpチャンネルMOSF
    ET(M29,M30)で構成されることを特徴とする
    請求項1記載の半導体素子の高電圧発生回路。
  5. 【請求項5】 上記第4振動信号(φosc24)は上
    記振動信号発生手段から発生する入力振動信号(φos
    c31)を直列連結された4つのインバータ(G1乃至
    G4)を通じて遅延させた第2遅延信号(62)と、直
    列連結された6つのインバータ(G1乃至G6)を通じ
    て遅延させた第3遅延信号(63)をNANDゲート
    (G12)で負正論理乗した信号であることを特徴とす
    る請求項1記載の半導体素子の高電圧発生回路。
  6. 【請求項6】 上記第3振動信号(φosc23)は上
    記振動信号発生手段から発生する入力振動信号(φos
    c31)を直列連結された2つのインバータ(G1,G
    2)を通じて遅延させた第1遅延信号(61)と、直列
    連結された8つのインバータ(G1乃至G8)を通じて
    遅延させた第4遅延信号(64)をNANDゲート(G
    11)で負正論理乗した後、インバータ(G9)を通じ
    て反転させた信号であることを特徴とする請求項1記載
    の半導体素子の高電圧発生回路。
  7. 【請求項7】 上記第2振動信号(φosc22)は、
    上記振動信号発生手段から発生する入力振動信号(φo
    sc31)を直列連結された2つのインバータ(G1,
    G2)を通じて遅延させた第1遅延信号(61)と、直
    列連結された8つのインバータ(G1乃至G8)を通じ
    て遅延させた第4遅延信号(64)をNORゲート(G
    13)で負正論理合した信号であることを特徴とする請
    求項1記載の半導体素子の高電圧発生回路。
  8. 【請求項8】 上記第1振動信号(φosc21)は、
    上記振動信号発生手段から発生する入力振動信号(φo
    sc31)を直列連結された4つのインバータ(G1乃
    至G4)を通じて遅延させた第2遅延信号(62)と、
    6つのインバータ(G1乃至G6)を通じて遅延させた
    第3遅延信号(63)をNORゲート(G14)で負正
    論理合した後、インバータ(G10)を通じて反転させ
    た信号であることを特徴とする請求項1記載の半導体素
    子の高電圧発生回路。
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