JPH0522176B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0522176B2 JPH0522176B2 JP57191637A JP19163782A JPH0522176B2 JP H0522176 B2 JPH0522176 B2 JP H0522176B2 JP 57191637 A JP57191637 A JP 57191637A JP 19163782 A JP19163782 A JP 19163782A JP H0522176 B2 JPH0522176 B2 JP H0522176B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- state image
- test pattern
- image sensor
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は面状の白黒及びカラー固体撮像素子の
製造に用いる固体撮像素子検査装置に関するもの
である。
製造に用いる固体撮像素子検査装置に関するもの
である。
従来例の構成とその問題点
従来、撮像管の画像検査においては、第１図に
示す如く、透過又は反射照明光源１にてテストパ
ターン２を照明し、テストパターン像を結像レン
ズ３にて撮像管４の撮像面上に結像させ、このテ
レビ画像を人による目視検査又は画像信号処理装
置にて機械検査においても、第２図及び第３図に
示す如く、テストパターン２の像を素子を形成し
たウエハー４又は、パツケージ５に取付けた素子
６上に結像させ、画像信号をブローブ７又はリー
ド８より取出して、このテレビ画像を人により目
視検査を行つたり画像信号処理装置により機械検
査を行つていた。これらの従来装置では共通し
て、目視による検査の場合には、判断基準が明確
でないため人により、時間により品質にバラツキ
が出ること、詳細、正確、大量の品質のデータを
得られない事と人手を要する欠点があり、画像信
号処理装置による機械検査の場合には、個々の画
素にとつて光学的入力及び画像出力が非定形であ
るため、画像信号の判定のためにはいわゆるパタ
ーン認識処理技術を必要とし、大型のコンピユー
タと、長い処理時間を要していた。しかも完全に
人に置きかわる処理方法は完成されておらず、従
来単純なキズの数を数える等の検査のみが機械化
されているにすぎず、分解能や色調検査は機械化
されていなかつた 発明の目的 本発明は従来の機械検査装置の弱点を克服しよ
り高速で詳詳細かつ正確な検査を行おうとするも
のである。
示す如く、透過又は反射照明光源１にてテストパ
ターン２を照明し、テストパターン像を結像レン
ズ３にて撮像管４の撮像面上に結像させ、このテ
レビ画像を人による目視検査又は画像信号処理装
置にて機械検査においても、第２図及び第３図に
示す如く、テストパターン２の像を素子を形成し
たウエハー４又は、パツケージ５に取付けた素子
６上に結像させ、画像信号をブローブ７又はリー
ド８より取出して、このテレビ画像を人により目
視検査を行つたり画像信号処理装置により機械検
査を行つていた。これらの従来装置では共通し
て、目視による検査の場合には、判断基準が明確
でないため人により、時間により品質にバラツキ
が出ること、詳細、正確、大量の品質のデータを
得られない事と人手を要する欠点があり、画像信
号処理装置による機械検査の場合には、個々の画
素にとつて光学的入力及び画像出力が非定形であ
るため、画像信号の判定のためにはいわゆるパタ
ーン認識処理技術を必要とし、大型のコンピユー
タと、長い処理時間を要していた。しかも完全に
人に置きかわる処理方法は完成されておらず、従
来単純なキズの数を数える等の検査のみが機械化
されているにすぎず、分解能や色調検査は機械化
されていなかつた 発明の目的 本発明は従来の機械検査装置の弱点を克服しよ
り高速で詳詳細かつ正確な検査を行おうとするも
のである。
発明の構成
本発明の固体撮像素子は、固体撮像素子上の
個々の画素に対応した画素を有するテストパター
ンと、前記テストパターンを素子全面に投影する
光学手段と、投影されたパターンと素子上の画素
を定められた位置に位置合わせする位置合わせ手
段と、固体撮像素子の画像信号を取り出す手段
と、得られた出力信号をあらかじめ前記テストパ
ターンを用いて良品の固体撮像素子から得られた
基準信号と比較して素子の性能を判定する信号処
理装置とを有するものである。
個々の画素に対応した画素を有するテストパター
ンと、前記テストパターンを素子全面に投影する
光学手段と、投影されたパターンと素子上の画素
を定められた位置に位置合わせする位置合わせ手
段と、固体撮像素子の画像信号を取り出す手段
と、得られた出力信号をあらかじめ前記テストパ
ターンを用いて良品の固体撮像素子から得られた
基準信号と比較して素子の性能を判定する信号処
理装置とを有するものである。
実施例の説明
次に本発明の一実施例を第４図・第５図にもと
づいて説明する。第４図において１１は、演色性
の良いキセノンランプであり、コンデンサーレン
ズ１２を通して、テストパターン１３を照明す
る。テストパターン１３は、ガラス上に、素子上
の画素に対応しつつ拡大したマス目を有し、この
マス目に明暗もしくは、色彩を与えたものであ
る。テストパターンの透過光は、縮小投影レンズ
１４により、撮像素子をその表面に形成したシリ
コンウエハー１５は互いに直角方向に移動可能な
Ｘ及びＹテーブルと回転可能なＯテーブル上に保
持され、撮像素子と投影像とは、アライメント装
置（半導体製造用露光装置等に用いられるものと
同様のものであり図示しない）により正確に位置
合わせされる。以上により、撮像素子の各画素に
は既知の光学的入力が与えられ、出力をプローブ
群１７より取り出して、その信号列を、カムラ回
路（図示せず）を自動調節しつつ取り出して、信
号処理装置により、あらかじめテストパターン１
３を用いて良品の固体撮像素子から得られた基準
信号とシリーズに比較照合し、素子の性能を検査
する。素子１個の検査を終了するとＸ，Ｙ，θテ
ーブルを移動させ、ウエハー１５上の別の素子を
次々と検査する。
づいて説明する。第４図において１１は、演色性
の良いキセノンランプであり、コンデンサーレン
ズ１２を通して、テストパターン１３を照明す
る。テストパターン１３は、ガラス上に、素子上
の画素に対応しつつ拡大したマス目を有し、この
マス目に明暗もしくは、色彩を与えたものであ
る。テストパターンの透過光は、縮小投影レンズ
１４により、撮像素子をその表面に形成したシリ
コンウエハー１５は互いに直角方向に移動可能な
Ｘ及びＹテーブルと回転可能なＯテーブル上に保
持され、撮像素子と投影像とは、アライメント装
置（半導体製造用露光装置等に用いられるものと
同様のものであり図示しない）により正確に位置
合わせされる。以上により、撮像素子の各画素に
は既知の光学的入力が与えられ、出力をプローブ
群１７より取り出して、その信号列を、カムラ回
路（図示せず）を自動調節しつつ取り出して、信
号処理装置により、あらかじめテストパターン１
３を用いて良品の固体撮像素子から得られた基準
信号とシリーズに比較照合し、素子の性能を検査
する。素子１個の検査を終了するとＸ，Ｙ，θテ
ーブルを移動させ、ウエハー１５上の別の素子を
次々と検査する。
次に第２の実施例を第５図により説明する。図
において２１はキセノンランプ、２２はコンデン
サーレンズ、２３，２４，２５，２６は素通し及
び遮光を含む色フイルター、２７はフイルターを
保持・位置決めするターレツトであり、照明光を
自由に色付けしたり、減光する事ができる。２
８，２９，３０はテストパターンであり、ターレ
ツト３１上で保持・位置決めされる。テストパタ
ーンは、縮小投影レンズ３２によりＸ，Ｙ，θテ
ーブル３３上に固定されたパツケージ入り素子３
４上に投影され、投影像は素子に対し、アライメ
ント装置（図示せず）により正確に位置合わせさ
れる。ターレツト２７，３１はそれぞれ自由に回
転可能なのでフイルターとテストパターンの自由
な組み合せが可能であり、テストパターンに対す
る基準信号の種類を多くして、多様な検査を行う
ことができる。素子の出力信号はパツケージのリ
ード線３５から取り出され、第１の実施例と同様
の検査処理が行われる。さらに変形応用例として
光路上に絞りを置いて照度を増減させたり、テス
トパターンは透過マスクでなく反射式とすること
も可能であり、ランプ２１、コンデンサーレンズ
２２、フイルター２３、テストパターン２８にか
えて、高精度のブラウン管を使用してテストパタ
ーンを与えることが可能であり、Ｘ，Ｙ，θテー
ブル３３を動かすことにより、同一のテストパタ
ーン２８を素子上の数ヵ所に投影することも可能
であり、さらにＸ，Ｙ，θテーブルを連続的に指
定速度で動かす事により、ブルーミング等の動的
な性能の検査も可能となる。
において２１はキセノンランプ、２２はコンデン
サーレンズ、２３，２４，２５，２６は素通し及
び遮光を含む色フイルター、２７はフイルターを
保持・位置決めするターレツトであり、照明光を
自由に色付けしたり、減光する事ができる。２
８，２９，３０はテストパターンであり、ターレ
ツト３１上で保持・位置決めされる。テストパタ
ーンは、縮小投影レンズ３２によりＸ，Ｙ，θテ
ーブル３３上に固定されたパツケージ入り素子３
４上に投影され、投影像は素子に対し、アライメ
ント装置（図示せず）により正確に位置合わせさ
れる。ターレツト２７，３１はそれぞれ自由に回
転可能なのでフイルターとテストパターンの自由
な組み合せが可能であり、テストパターンに対す
る基準信号の種類を多くして、多様な検査を行う
ことができる。素子の出力信号はパツケージのリ
ード線３５から取り出され、第１の実施例と同様
の検査処理が行われる。さらに変形応用例として
光路上に絞りを置いて照度を増減させたり、テス
トパターンは透過マスクでなく反射式とすること
も可能であり、ランプ２１、コンデンサーレンズ
２２、フイルター２３、テストパターン２８にか
えて、高精度のブラウン管を使用してテストパタ
ーンを与えることが可能であり、Ｘ，Ｙ，θテー
ブル３３を動かすことにより、同一のテストパタ
ーン２８を素子上の数ヵ所に投影することも可能
であり、さらにＸ，Ｙ，θテーブルを連続的に指
定速度で動かす事により、ブルーミング等の動的
な性能の検査も可能となる。
発明の効果
以上述べた様に、本発明は固体撮像素子の特質
に着目し、素子の画素１個１個に既知の光学的入
力を与えるものであるので、素子の出力を比較的
簡単にあらかじめテストパターンを用いて良品の
固体撮像素子から得られた基準信号と比較照合す
ることにより素子の性能検査を行うことができ、
従来機械化の困難であつた撮像素子検査を特に大
型のコンピユータを必要とせず、高速で、種々の
検査を正確・詳細に行うことが可能であり、また
検査規準が明確となるので品質も向上するという
効果を有する。
に着目し、素子の画素１個１個に既知の光学的入
力を与えるものであるので、素子の出力を比較的
簡単にあらかじめテストパターンを用いて良品の
固体撮像素子から得られた基準信号と比較照合す
ることにより素子の性能検査を行うことができ、
従来機械化の困難であつた撮像素子検査を特に大
型のコンピユータを必要とせず、高速で、種々の
検査を正確・詳細に行うことが可能であり、また
検査規準が明確となるので品質も向上するという
効果を有する。
第１図は従来の撮像管の検査装置の斜視図、第
２図は従来の撮像素子ウエハー検査機の斜視図、
第３図はパツケージ入り撮像素子の検査状態を示
す斜視図、第４図は本発明の第１の実施例の斜視
図、第５図は本発明の第２の実施例の斜視図であ
る。 １１，２１……キセノンランプ、１２，２２…
…コンデンサーレンズ、２３，２４，２５，２６
……フイルター、１３，２８，２９，３０……テ
ストパターン、１４，３２……投影レンズ、１
５，３４……固体撮像素子、１６，３３……Ｘ，
Ｙ，θテーブル。
２図は従来の撮像素子ウエハー検査機の斜視図、
第３図はパツケージ入り撮像素子の検査状態を示
す斜視図、第４図は本発明の第１の実施例の斜視
図、第５図は本発明の第２の実施例の斜視図であ
る。 １１，２１……キセノンランプ、１２，２２…
…コンデンサーレンズ、２３，２４，２５，２６
……フイルター、１３，２８，２９，３０……テ
ストパターン、１４，３２……投影レンズ、１
５，３４……固体撮像素子、１６，３３……Ｘ，
Ｙ，θテーブル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 固体撮像素子上の個々の画素に対応した画素
を有するテストパターンと、前記テストパターン
を素子全面に投影する光学手段と、投影されたパ
ターンと素子上の画素を定められた位置に位置合
わせする位置合わせ手段と、固体撮像素子の画素
信号を取り出す手段と、得られた出力信号をあら
かじめ前記テストパターンを用いて良品の固体撮
像素子から得られた基準信号と比較して素子の性
能を判定する信号処理装置とよりなる固体撮像素
子検査装置。 ２ 光学手段は、光源輝度調節又は絞り又はフイ
ルターにより、素子上の照度を変化させ得る特許
請求の範囲第１項記載の固体撮像素子検査装置。 ３ テストパターンは、カラーテストチヤート又
はカラー透過マスクより成る特許請求の範囲第１
項記載の固体撮像素子検査装置。 ４ 光学手段は、色フイルターを有し、前記テス
トパターンに対し、色変化を与え得る特許請求の
範囲第１項記載の固体撮像素子検査装置。 ５ 色フイルター及びテストパターンは、自動交
換装置により、交換及び任意組合わせ可能な特許
請求の範囲第４項記載の固体撮像素子検査装置。 ６ 位置合わせ手段は、同一テストパターンに対
し、素子の多数位置での位置合わせもしくは連続
的走査が可能である特許請求の範囲第１項記載の
固体撮像素子検査装置。 ７ テストパターンはブラウン管等の電気的デイ
スプレイ装置によつて与えられる特許請求の範囲
第１項記載の固体撮像素子検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191637A JPS5980965A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 固体撮像素子検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191637A JPS5980965A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 固体撮像素子検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980965A JPS5980965A (ja) | 1984-05-10 |
| JPH0522176B2 true JPH0522176B2 (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16277963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57191637A Granted JPS5980965A (ja) | 1982-10-29 | 1982-10-29 | 固体撮像素子検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5980965A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61187672A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-21 | Nec Corp | 密着型イメ−ジセンサの欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
| JPS63311584A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-20 | Fujitsu Ltd | イメ−ジセンサの読取試験方法 |
| KR100275719B1 (ko) * | 1996-07-24 | 2001-01-15 | 윤종용 | 반도체장치의제조공정평가방법 |
| JP2006010316A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Yokogawa Electric Corp | 検査用光源装置 |
| US10222294B2 (en) * | 2015-03-31 | 2019-03-05 | Mellanox Technologies Silicon Photonics Inc. | Wafer level testing of optical devices |
| CN105866589B (zh) * | 2016-05-16 | 2019-06-04 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种透射式单元探测器成像及电性参数测试系统 |
| TWI870105B (zh) * | 2023-11-15 | 2025-01-11 | 致茂電子股份有限公司 | 光學量測裝置之校正系統及方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55121120A (en) * | 1979-03-12 | 1980-09-18 | Nec Corp | Measuring instrument for photo-detecting semiconductor element |
| JPS56119583A (en) * | 1980-02-25 | 1981-09-19 | Hitachi Ltd | Image sensor checking machine |
| JPS57113244A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-14 | Yoshie Hasegawa | Inspecting device of wafer surface |
-
1982
- 1982-10-29 JP JP57191637A patent/JPS5980965A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5980965A (ja) | 1984-05-10 |
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