JPH0522418U - 多連式ｉｃクランプハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】２本のガイド棒６に固定ジョー２と、移動ジョ
ー１を取付け、移動ジョー駆動用シャフト３をシリンダ
ー５によって押すことにより、全部のハンドを開放す
る。又シリンダー５をオフすることにより個々のジョー
に取付いているばね４によって全部のハンドを閉めてＩ
Ｃ９をクランプする。 【効果】一度に沢山のＩＣをより確実にクランプでき
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はＩＣ製造装置内に於けるＩＣ搬送機構に関し、特にバッチ処理用の多 連式ＩＣクランプハンドに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のＩＣクランプハンドは、市販のエアーチャックによりＩＣを１ 個ずつ単一クランプするものや、真空吸着等で多数のＩＣを同時にクランプする 多連式のものなどがあった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上述した従来のＩＣクランプハンドにおいて、エアーチャックによるクランプ ハンドでは、スペース的にも一度に多数個のＩＣをクランプすることは無理があ った。又、吸着等によるものでは多数個クランプは可能だが、搬送途中の落下が 多く非常に不安定であった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案の多連式ＩＣクランプハンドは、ガイド棒に摺動自在に取付けられた多 数の移動ジョーと、これらの移動ジョーにそれぞれあい対するように設けられた 多数の固定ジョーと、駆動用シャフトを介して前記移動ジョーを前記固定ジョー との間隙を開く方向に駆動する駆動源と、この駆動源がオフのとき前記移動ジョ ーと前記固定ジョーとの間にＩＣをクランプするように前記移動ジョーを付勢す るばねとを備えている。

【０００５】

【実施例】

次に、本考案について図面を参照して説明する。

【０００６】 図１は本考案の一実施例の断面図である。

【０００７】 本実施例は２本のガイド棒６に摺動自在に取付けられた多数の移動ジョー１と 、これらの移動ジョー１にそれぞれあい対するように設けられた多数の固定ジョ ー２と、移動ジョー駆動用シャフト３を介して移動ジョー１を固定ジョー２との 間隙が開く方向に駆動するシリンダー５と、このシリンダー５がオフのとき移動 ジョー１と固定ジョー２との間にＩＣ９をクランプするように移動ジョー１を付 勢するばね４とを有してなる。

【０００８】 即ち、２本のガイド棒６に移動ジョー１がベアリング７によって摺動自在に取 り付いており、移動ジョー１は通常はばね４の付勢力によって常にＩＣ９をクラ ンプ（ハンド閉）する方向に移動している。また固定ジョー２は移動ジョー１に あい対するようにプレート８にねじ止めにて固定されている。つまり移動ジョー 駆動用シャフト３がシリンダー５の作動によって押されると、ばね４を圧縮して 移動ジョー１は全部右側に移動しハンド開の状態となる。シリンダー５の作動が オフすると、今度はばね４の力によって移動ジョー１は全部左側に移動し、ＩＣ ９をクランプ（ハンド閉）する。

【０００９】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、多連のハンドをシリンダーとばねにより機械的 に開閉出来るような機構にしたので、一度に沢山のＩＣを確実にクランプできる という効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の断面図である。

【符号の説明】

１ 移動ジョー ２ 固定ジョー ３ 移動ジョー駆動用シャフト ４ ばね ５ シリンダー ６ ガイド棒 ７ ベアリング ８ プレート ９ ＩＣ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガイド棒に摺動自在に取付けられた多数
   の移動ジョーと、これらの移動ジョーにそれぞれあい対
   するように設けられた多数の固定ジョーと、駆動用シャ
   フトを介して前記移動ジョーを前記固定ジョーとの間隙
   を開く方向に駆動する駆動源と、この駆動源がオフのと
   き前記移動ジョーと前記固定ジョーとの間にＩＣをクラ
   ンプするように前記移動ジョーを付勢するばねとを備え
   ることを特徴とする多連式ＩＣクランプハンド。