JPH05225825A - 高周波用誘電体磁器組成物 - Google Patents

高周波用誘電体磁器組成物

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JPH05225825A
JPH05225825A JP4031025A JP3102592A JPH05225825A JP H05225825 A JPH05225825 A JP H05225825A JP 4031025 A JP4031025 A JP 4031025A JP 3102592 A JP3102592 A JP 3102592A JP H05225825 A JPH05225825 A JP H05225825A
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島 暢 小
Michiaki Tsurumi
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Kazuaki Endo
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高い周波数領域で使用可能な高いQ値を有
し、且つ共振周波数温度係数を再現性よく設定できる高
周波用誘電体磁器組成物を提供する。 【構成】一般式 (1−x−y)Ba1-z (Zn1/3 Ta2/3 )O3+x
Ba1-z ZrO3+yBa1-z SnO3 で表わされ、0.002≦x≦0.05、0.002≦
y≦0.08、0.005≦z≦0.050の範囲であ
ることを特徴とする高周波用誘電体磁器組成物。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は新規な高周波用誘電体磁
器組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術と解決しようとする課題】誘電体磁器組成
物は、たとえばマイクロ波やミリ波等の高周波領域にお
いて誘電体共振器やMIC用誘電体基板等に利用されて
いる。このような誘電体磁器組成物としては従来から、
たとえばBa(Zn1/3 ,Ta2/3 )O3−Ba(Zn
1/3 ,Nb2/3 )O3の系がよく知られており、最近B
a(Zrx,Zny,Taz)O7/2-x/2-3y/2の系やB
a(SnxZnyTaz)O7/2-x/2-3y/2の系が開発さ
れている(特開昭58−45155,58−45156
号公報)。
【0003】更にBa組成比を化学量論比よりも不足さ
せた誘電体磁器組成物も提案されている(特開平2−5
1464号公報)。この組成物は一般式Ba1-x (Zn
1/3Ta2/3 )O3で表わされ0.004≦x≦0.0
1の範囲内となるよう秤量し、仮焼き後乾式法のみによ
って粉砕し、成形後1600〜1700℃で1〜10時
間焼成することによって製造されている。この方法によ
るときは短時間に少ないエネルギーでQ値の高い組成物
がえられている。
【0004】上記のマイクロ波誘電体共振器等で使用す
る材料としては高いQ値を維持しつつ共振周波数の温度
係数(τf )を再現性良く任意の値に設定できることが
望まれる。最近では使用する周波数領域が高くなってき
ておりQ値の不足が生じてきている。
【0005】かくて本発明は上記ような技術的課題を解
消し、さらに高い周波数領域で使用可能な高いQ値を有
し、且つ共振周波数温度領域を再現性良く設定できる高
周波用誘電体磁器組成物を提供することを目的とするも
のである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者の研究、実験に
よれば、従来用いられているBa(Zn1/3 Ta2/3 )
O3系材料の一部をBaZrO3系材料及びBaSnO
3系材料で置換し、しかもBa組成比を化学量論比より
も不足した状態にすることにより、上記目的が達成さ
れ、共振周波数温度係数を再現性良く調整可能とし、更
にQ値の高い誘電体磁器組成物を得ることができること
を見出して本発明に到ったものである。
【0007】よって本発明は、一般式 (1−x−y)Ba1-z (Zn1/3 Ta2/3 )O3+x
Ba1-z ZrO3+yBa1-z SnO3 で表わされ、0.002≦x≦0.05、0.002≦
y≦0.08、0.005≦z≦0.050の範囲であ
ることを特徴とする高周波用誘電体磁器組成物を提供す
るものである。
【0008】本発明の磁器組成物は上記のような組成を
有するものであり、ここでzの値を0.005≦z≦
0.05の範囲としたのは、zが0.005以下では焼
結しにくく、zが0.05以上では亀裂が入りやすいた
めであり、zの範囲を上記値に保つことによってこれら
の問題を回避することができる。
【0009】又本発明では前記のようにBa(Zn1/3
Ta2/3 )O3の一部をBaZrO3とBaSnO3に
置換したのであるがBaZrO3による置換は共振周波
数温度係数(τf )の増加をもたらし、Ba1-z SnO
3による置換は共振周波数温度係数の減少とQ値の向上
をもたらすため両者の置換量即ち上式の中xとyの値を
上記範囲内で最適化を図ることによって高いQ値を維持
しつつ共振周波数温度係数を任意の好適な値に設定する
ことができ、近年高まっている高い周波数領域において
も良好に使用しうるようになったのである。
【0010】今上記一般式を有する本発明の三成分系誘
電体磁器組成物の組成範囲を三角図表で示せば図1のと
おりである。
【0011】このような誘電体磁器組成物を次のような
方法によって製造し、えられた組成物の誘電特性を測定
した。出発原料として高純度のBaCO3、ZnO、T
a2O5、ZrO2、SnO2を用い、これらを上記一
般式に示される組成になるように原料を秤量した。これ
を樹脂ポットで純水と共に20時間湿式混合した後乾燥
し、1300℃において10時間の仮焼を行なった。え
られた仮焼品を乳鉢で粉砕し、バインダーを加えて造粒
した。これを30MPa の圧力で直径16mm、厚さ9mmの
円板に成型した。次いでこの成型品を大気中において1
600℃、40時間焼成して目的とする誘電体磁器組成
物を得た。
【0012】えられたこの組成物の成型品の上下面及び
側面を夫々1mm程度削りとって測定用の試料とし、この
試料について共振周波数約7GHz における比誘電率
εr 、誘電損失Qo 、共振周波数温度係数τf (ppm /
℃)をポストレゾネーター法により測定した。
【0013】今zを一定にしてx,yの値を変えてつく
られた上記一般式の三成分系組成物の比誘電率Er、誘
電損失Q、共振周波数温度係数τf (ppm /℃)を測定
して、組成の変化による各種誘電特性の変化を夫々順に
図2,3,4に示す。これらの図により本発明に係る三
成分系の誘電体磁器組成物は本発明の範囲外の組成物に
比してすぐれた誘電特性を有することが明らかであろ
う。
【0014】
【発明の効果】上記のように、本発明に従ってBa(Z
n1/3 Ta2/3 )O3の一部をBaZrO3とBaSn
O3系材料で置換し、Ba組成比を化学量論よりも不足
した状態にしてなる誘電体磁器組成物は高いQ値を維持
しつつ共振周波数温度係数をよく調整して任意の値に設
定することができ、高い周波数領域によく使用できて誠
に有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の組成物の組成範囲を示す三角図表。
【図2】本発明の組成物の組成の変化による比誘電率
(Er)の変化を示すグラフ。
【図3】同誘電損失(Q)の変化を示すグラフ。
【図4】同共振周波数温度係数(τf )の変化を示すグ
ラフ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式 (1−x−y)Ba1-z (Zn1/3 Ta2/3 )O3+x
    Ba1-z ZrO3+yBa1-z SnO3 で表わされ、0.002≦x≦0.05、0.002≦
    y≦0.08、0.005≦z≦0.050の範囲であ
    ることを特徴とする高周波用誘電体磁器組成物。
JP03102592A 1992-02-18 1992-02-18 高周波用誘電体磁器組成物 Expired - Fee Related JP3205029B2 (ja)

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