JPH05226386A - Soldering method for bare chips - Google Patents

Soldering method for bare chips

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Publication number
JPH05226386A
JPH05226386A JP4028423A JP2842392A JPH05226386A JP H05226386 A JPH05226386 A JP H05226386A JP 4028423 A JP4028423 A JP 4028423A JP 2842392 A JP2842392 A JP 2842392A JP H05226386 A JPH05226386 A JP H05226386A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
soldering
heat sink
substrate
melting point
solder
Prior art date
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Pending
Application number
JP4028423A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshimasa Shimizu
水 欣 正 清
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aisin Corp
Original Assignee
Aisin Seiki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Aisin Seiki Co Ltd filed Critical Aisin Seiki Co Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711Apparatus therefor
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/071Connecting or disconnecting
    • H10W72/0711Apparatus therefor
    • H10W72/07141Means for applying energy, e.g. ovens or lasers

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  • Die Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はベアチツプの基板へのはんだ付方法
に関するものである。 【構成】 全表面にNiメツキしたヒートシンク9の上
に高温はんだ層18を形成し、ベアーチツプ3を揺動し
ながらはんだ付する第1工程と、このヒートシンク9を
低融点はんだ層18に、基板14への治具11にて押さ
えて揺動しながらはんだ付けする第2工程よりなる、は
んだ付け方法である。
(57) [Summary] [Object] The present invention relates to a method for soldering a bare chip to a substrate. A first step of forming a high-temperature solder layer 18 on a heat sink 9 having Ni plating on the entire surface and soldering while swinging the bear arch 3, and the heat sink 9 on a low melting point solder layer 18 and a substrate 14 Is a soldering method including a second step of pressing with a jig 11 and soldering while swinging.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はベアチツプをヒートシン
クを介して、基板へはんだ付けする方法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for soldering a bare chip to a board via a heat sink.

【0002】[0002]

【従来技術】自動車の制御用のコンピュータ(ECU)
の耐熱化、小型化に伴いベアチツプの実装方法として次
に示す方法で行われている。
2. Description of the Related Art A computer (ECU) for controlling an automobile
With the heat resistance and size reduction of the above, the following method is used as a mounting method of the bare chip.

【0003】(1)図5〜6に示すように、治具24を
使用し、その中にベアチツプ25、はんだシート27、
ヒートシンク26とを積層し、雰囲気ガス30を使用し
たリフロー炉31によりはんだ付け行うものである。更
に、(2)ベアチツプをはんだ付けしたヒートシンクと
基板のはんだ付けは図7に示すように基板21上にはん
だシート23とヒートシンク22を積層し、雰囲気ガス
30を使用したリフロー炉31よりはんだ付を行うもの
である。
(1) As shown in FIGS. 5 and 6, a jig 24 is used in which a bare chip 25, a solder sheet 27,
The heat sink 26 and the heat sink 26 are laminated, and soldering is performed by the reflow furnace 31 using the atmospheric gas 30. Further, (2) soldering of the heat sink to which the bare chip is soldered and the substrate is performed by laminating the solder sheet 23 and the heat sink 22 on the substrate 21 as shown in FIG. 7, and soldering from the reflow furnace 31 using the atmospheric gas 30. It is something to do.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記(1)に示す治具
を使用する方法とは (a)雰囲気ガスを多量に使用するために、ランニング
コストが高い。
The method of using the jig shown in (1) above is (a) Since the large amount of atmospheric gas is used, the running cost is high.

【0005】(b)治具24が必要となり、はんだ付け
後の取り出しが難しい。
(B) The jig 24 is required, and it is difficult to take it out after soldering.

【0006】という問題点があり、又前記(2)に示す
方法は、 (a)雰囲気ガスが多量に必要でランニングコストが高
い。
In addition, the method described in (2) above requires (a) a large amount of atmospheric gas and a high running cost.

【0007】(b)基板上にヒートシンクに載せている
だけのために、リフロー中にズレが生じる。 という問題点がある。
(B) Since the heat sink is only mounted on the substrate, a deviation occurs during reflow. There is a problem.

【0008】本発明はベアチツプの実装に於いてヒート
シンクのずれが無く、ボイドの発生がない実装方法を技
術的課題とするものである。
The present invention has as its technical subject a mounting method in which a heat sink is not displaced and a void is not generated in mounting a bare chip.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】課題を解決するための技
術的手段は次のようである。すなわち、ベアチツプのヒ
ートシンクを介して基板へのはんだ付け方法として、
(1)ベアチツプのヒートシンク間は高温はんだを使用
して、雰囲気ガス中のホツトプレートにより高温はんだ
の融点以上に加熱し、かつベアチツプを揺動しながらは
んだ付けを行い、(2)基板とヒートシンク間は基板上
に多数個のヒートシンクをはんだ付けするために雰囲気
ガス中で、低融点はんだを使用し、ホツトプレートで低
融点はんだの融点以下で基板とヒートシンクを予熱した
治具により押さえながら揺動して、低融点はんだを融解
させて、はんだ付けを行う方法である。
The technical means for solving the problems are as follows. That is, as a method of soldering to a substrate via a heat sink of a bare chip,
(1) Use high-temperature solder between the heat sinks of the bare chip, heat it to a temperature above the melting point of the high-temperature solder by a hot plate in the atmosphere gas, and perform soldering while swinging the bare chip, and (2) between the substrate and the heat sink. Uses low melting point solder in atmosphere gas to solder multiple heat sinks onto the board, and swings while holding down the board and heat sink with a preheated jig below the melting point of the low melting point solder in the hot plate. Then, the low melting point solder is melted and soldering is performed.

【0010】[0010]

【作用】ベアーチツプとヒートシンクをはんだ付け後
に、基板上へのはんだ付は、低融点はんだを使用し、上
方から下降する治具にて確実に押さえ、かつ揺動しては
んだ付けすることにより、精度も高く、ボイドの発生も
なく、はんだ付け出来るものである。
[Function] After soldering the bear-up and the heat sink, soldering on the board uses a low-melting point solder, and a jig descending from above is used to hold it securely and swing it to ensure accuracy. It is also expensive and can be soldered without generating voids.

【0011】[0011]

【実施例】以下実施例について説明する。EXAMPLES Examples will be described below.

【0012】本実施例は、ベアチツプとヒートシンクを
はんだ付けする工程と、その工程により製作したベアチ
ツプをはんだ付けしたヒートシンクと基板とをはんだ付
けする工程の2工程よりなつている。
This embodiment comprises two steps, a step of soldering a bare chip and a heat sink, and a step of soldering a heat sink and a substrate to which the bare chip manufactured by the step is soldered.

【0013】図1はベアチツプとヒートシンクをはんだ
付けする工程で、治具1が出入りできる様に上部に穴を
開いたボツクス2中にホツトプレート5を設け、ノズル
6によりN2 +H2 などの雰囲気ガス7を200°Cに
加熱して入れる。
FIG. 1 is a step of soldering a bare chip and a heat sink. A hot plate 5 is provided in a box 2 having a hole at the top so that the jig 1 can come in and out, and an atmosphere of N 2 + H 2 etc. is provided by a nozzle 6. Gas 7 is heated to 200 ° C and charged.

【0014】次に図2に示すような、あらかじめNiメ
ツキ層10と高温はんだ層8を形成させたヒートシンク
9を350°Cに加熱したホツトプレート上に置き、高
温はんだ層8を溶解させる。
Next, as shown in FIG. 2, a heat sink 9 on which a Ni plating layer 10 and a high temperature solder layer 8 are formed in advance is placed on a hot plate heated to 350 ° C. to melt the high temperature solder layer 8.

【0015】次に治具1を用いてベアチツプ3を囲い、
ボツクス2の上部の穴より入れ、図1の位置で止めてノ
ズル6より出る雰囲気ガス7により、チツプ3の予熱を
行い、その後にヒートシンク4の溶解した高温はんだ層
8の上にチツプ3を置き、はんだ付の完成とする。
Next, a jig 1 is used to surround the bare chip 3,
The chip 3 is preheated by the atmosphere gas 7 coming out from the nozzle 6 after being inserted from the hole in the upper part of the box 2 and stopped at the position of FIG. 1, and then the chip 3 is placed on the melted high temperature solder layer 8 of the heat sink 4. The soldering is completed.

【0016】次に、先の工程で製作したベアチツプをは
んだ付したヒートシンクと基板とのはんだ付け工程を説
明する。
Next, the soldering process of the heat sink to which the bare chip manufactured in the previous process is soldered and the substrate will be described.

【0017】図3に示すように、治具11が出入りでき
るように上部に穴を開けたボツクス12の中に、ホツト
プレート15を設け、ノズル16により雰囲気ガス13
を100°Cに加熱して入れる。
As shown in FIG. 3, a hot plate 15 is provided in a box 12 having a hole at the top so that a jig 11 can be moved in and out, and a nozzle 16 is used to provide an atmosphere gas 13
Is heated to 100 ° C and put in.

【0018】次に先の工程で製作したベアチツプをはん
だ付けしたヒートシンク9を基板14上のあらかじめク
リームはんだのリフローにより形成させた、低温はんだ
層18に合わせて置き、その基板14を、ボツクス12
の中のホツトプレート15の上に置き、ホツトプレート
を100°Cに加熱する事により基板14を予熱する。
Next, the heatsink 9 to which the bare chip produced in the previous step is soldered is placed on the substrate 14 in conformity with the low temperature solder layer 18 previously formed by reflow of cream solder, and the substrate 14 is placed on the box 12.
The substrate 14 is preheated by placing it on the hot plate 15 and heating the hot plate to 100 ° C.

【0019】次にボツクス12の上部の穴より300°
Cに加熱した治具11を入れ、図4に示すように基板1
4上のヒートシンク9を押さえることにより加熱し、基
板14上にプリコートした低温はんだ層を溶解させる。
Next, from the hole in the upper part of the box 12, 300 °
Put the heated jig 11 in C, and as shown in FIG.
The heat sink 9 on the substrate 4 is pressed to heat it, and the low-temperature solder layer precoated on the substrate 14 is melted.

【0020】次に治具11が上昇することにより、ヒー
トシンク9の温度が下がり低温はんだ層18が凝固する
ことによつてはんだ付を行うものである。
Next, as the jig 11 rises, the temperature of the heat sink 9 drops and the low temperature solder layer 18 solidifies, so that soldering is performed.

【0021】[0021]

【発明の効果】本、発明は次の効果を有する。The present invention has the following effects.

【0022】(1)N2 とH2 の混合ガスの消費量が少
ないのでランニングコストが低下する。
(1) Since the consumption of the mixed gas of N 2 and H 2 is small, the running cost is reduced.

【0023】(2)リフローによらなく、上からヒート
シンクを治具で押さえているので実装精度が高い。 (3)温度管理が高く、十分に予熱を行うためにボイド
発生が少なく、確実にはんだ付ができる。
(2) Since the heat sink is pressed by the jig from above without using reflow, the mounting accuracy is high. (3) Since temperature control is high and sufficient preheating is performed, the occurrence of voids is small, and reliable soldering can be performed.

【0024】(4)基板とヒートシンク間のはんだ付
時、基板全体の温度を低くおさえているので、はんだの
酸化が少なく、より少ない雰囲気ガスで確実にはんだ付
が出来る。
(4) Since the temperature of the entire substrate is kept low during soldering between the substrate and the heat sink, the solder is less oxidized and the soldering can be reliably performed with a smaller amount of atmospheric gas.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1工程のベアチツプとヒートシンク間のはん
だ付けの説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of soldering between a bare chip and a heat sink in a first step.

【図2】ヒートシンクの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a heat sink.

【図3】第2工程の基板とヒートシンク間のはんだ付け
の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of soldering between a substrate and a heat sink in a second step.

【図4】ヒートシンクと基板とを治具にてはんだ付する
状況の説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a situation in which a heat sink and a substrate are soldered with a jig.

【図5】従来例の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional example.

【図6】従来例の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional example.

【図7】従来例の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11 治具 3 ベアチツプ 4 ヒートシンク 5、15 ホツトプレート 6、16 ノズル 7、13 雰囲気ガス 8 高温はんだ 18 低融点はんだ 1, 11 Jig 3 Bear chip 4 Heat sink 5, 15 Hot plate 6, 16 Nozzle 7, 13 Atmosphere gas 8 High temperature solder 18 Low melting point solder

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ベアチツプをヒートシンクを介して基板
へのはんだ付け方法として、 (1)ベアチツプとヒートシンク間は高温はんだを使用
して、雰囲気ガス中のホツトプレートにより高温はんだ
の融点以下に加熱し、かつベアチツプを揺動しながらは
んだ付を行い、 (2)基板とヒートシンク間は基板上に多数個のヒート
シンクをはんだ付けするために雰囲気ガス中に、低融点
はんだを使用し、ホツトプレートで低融点はんだの融点
以下で基板とヒートシンクを予熱し、低融点はんだの融
点以上に加熱した治具により押さえながら揺動すること
により、低融点はんだを溶解させてはんだ付を行う、ベ
アチツプのはんだ付け方法。
1. A method of soldering a bare chip to a substrate via a heat sink, comprising: (1) using a high temperature solder between the bare chip and the heat sink, and heating it to a temperature below the melting point of the high temperature solder by a hot plate in an atmosphere gas, Also, soldering is performed while swinging the bare chip. (2) Between the substrate and the heat sink, low melting point solder is used in the atmosphere gas to solder many heat sinks on the substrate, and the hot plate has a low melting point. A soldering method for bare chips, in which a substrate and a heat sink are preheated at a temperature lower than the melting point of the solder, and the low melting point solder is melted and soldered by swinging while being pressed by a jig heated to a temperature higher than the melting point of the low melting point solder.
JP4028423A 1992-02-14 1992-02-14 Soldering method for bare chips Pending JPH05226386A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5877079A (en) * 1996-12-02 1999-03-02 Fujitsu Limited Method for manufacturing a semiconductor device and a method for mounting a semiconductor device for eliminating a void
US8013271B2 (en) * 2007-01-30 2011-09-06 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Soldering method and apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5877079A (en) * 1996-12-02 1999-03-02 Fujitsu Limited Method for manufacturing a semiconductor device and a method for mounting a semiconductor device for eliminating a void
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