JPH05226386A - ベアチツプのはんだ付方法 - Google Patents
ベアチツプのはんだ付方法Info
- Publication number
- JPH05226386A JPH05226386A JP4028423A JP2842392A JPH05226386A JP H05226386 A JPH05226386 A JP H05226386A JP 4028423 A JP4028423 A JP 4028423A JP 2842392 A JP2842392 A JP 2842392A JP H05226386 A JPH05226386 A JP H05226386A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- soldering
- heat sink
- substrate
- melting point
- solder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はベアチツプの基板へのはんだ付方法
に関するものである。 【構成】 全表面にNiメツキしたヒートシンク9の上
に高温はんだ層18を形成し、ベアーチツプ3を揺動し
ながらはんだ付する第1工程と、このヒートシンク9を
低融点はんだ層18に、基板14への治具11にて押さ
えて揺動しながらはんだ付けする第2工程よりなる、は
んだ付け方法である。
に関するものである。 【構成】 全表面にNiメツキしたヒートシンク9の上
に高温はんだ層18を形成し、ベアーチツプ3を揺動し
ながらはんだ付する第1工程と、このヒートシンク9を
低融点はんだ層18に、基板14への治具11にて押さ
えて揺動しながらはんだ付けする第2工程よりなる、は
んだ付け方法である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はベアチツプをヒートシン
クを介して、基板へはんだ付けする方法に関するもので
ある。
クを介して、基板へはんだ付けする方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来技術】自動車の制御用のコンピュータ(ECU)
の耐熱化、小型化に伴いベアチツプの実装方法として次
に示す方法で行われている。
の耐熱化、小型化に伴いベアチツプの実装方法として次
に示す方法で行われている。
【0003】(1)図5〜6に示すように、治具24を
使用し、その中にベアチツプ25、はんだシート27、
ヒートシンク26とを積層し、雰囲気ガス30を使用し
たリフロー炉31によりはんだ付け行うものである。更
に、(2)ベアチツプをはんだ付けしたヒートシンクと
基板のはんだ付けは図7に示すように基板21上にはん
だシート23とヒートシンク22を積層し、雰囲気ガス
30を使用したリフロー炉31よりはんだ付を行うもの
である。
使用し、その中にベアチツプ25、はんだシート27、
ヒートシンク26とを積層し、雰囲気ガス30を使用し
たリフロー炉31によりはんだ付け行うものである。更
に、(2)ベアチツプをはんだ付けしたヒートシンクと
基板のはんだ付けは図7に示すように基板21上にはん
だシート23とヒートシンク22を積層し、雰囲気ガス
30を使用したリフロー炉31よりはんだ付を行うもの
である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前記(1)に示す治具
を使用する方法とは (a)雰囲気ガスを多量に使用するために、ランニング
コストが高い。
を使用する方法とは (a)雰囲気ガスを多量に使用するために、ランニング
コストが高い。
【0005】(b)治具24が必要となり、はんだ付け
後の取り出しが難しい。
後の取り出しが難しい。
【0006】という問題点があり、又前記(2)に示す
方法は、 (a)雰囲気ガスが多量に必要でランニングコストが高
い。
方法は、 (a)雰囲気ガスが多量に必要でランニングコストが高
い。
【0007】(b)基板上にヒートシンクに載せている
だけのために、リフロー中にズレが生じる。 という問題点がある。
だけのために、リフロー中にズレが生じる。 という問題点がある。
【0008】本発明はベアチツプの実装に於いてヒート
シンクのずれが無く、ボイドの発生がない実装方法を技
術的課題とするものである。
シンクのずれが無く、ボイドの発生がない実装方法を技
術的課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】課題を解決するための技
術的手段は次のようである。すなわち、ベアチツプのヒ
ートシンクを介して基板へのはんだ付け方法として、
(1)ベアチツプのヒートシンク間は高温はんだを使用
して、雰囲気ガス中のホツトプレートにより高温はんだ
の融点以上に加熱し、かつベアチツプを揺動しながらは
んだ付けを行い、(2)基板とヒートシンク間は基板上
に多数個のヒートシンクをはんだ付けするために雰囲気
ガス中で、低融点はんだを使用し、ホツトプレートで低
融点はんだの融点以下で基板とヒートシンクを予熱した
治具により押さえながら揺動して、低融点はんだを融解
させて、はんだ付けを行う方法である。
術的手段は次のようである。すなわち、ベアチツプのヒ
ートシンクを介して基板へのはんだ付け方法として、
(1)ベアチツプのヒートシンク間は高温はんだを使用
して、雰囲気ガス中のホツトプレートにより高温はんだ
の融点以上に加熱し、かつベアチツプを揺動しながらは
んだ付けを行い、(2)基板とヒートシンク間は基板上
に多数個のヒートシンクをはんだ付けするために雰囲気
ガス中で、低融点はんだを使用し、ホツトプレートで低
融点はんだの融点以下で基板とヒートシンクを予熱した
治具により押さえながら揺動して、低融点はんだを融解
させて、はんだ付けを行う方法である。
【0010】
【作用】ベアーチツプとヒートシンクをはんだ付け後
に、基板上へのはんだ付は、低融点はんだを使用し、上
方から下降する治具にて確実に押さえ、かつ揺動しては
んだ付けすることにより、精度も高く、ボイドの発生も
なく、はんだ付け出来るものである。
に、基板上へのはんだ付は、低融点はんだを使用し、上
方から下降する治具にて確実に押さえ、かつ揺動しては
んだ付けすることにより、精度も高く、ボイドの発生も
なく、はんだ付け出来るものである。
【0011】
【実施例】以下実施例について説明する。
【0012】本実施例は、ベアチツプとヒートシンクを
はんだ付けする工程と、その工程により製作したベアチ
ツプをはんだ付けしたヒートシンクと基板とをはんだ付
けする工程の2工程よりなつている。
はんだ付けする工程と、その工程により製作したベアチ
ツプをはんだ付けしたヒートシンクと基板とをはんだ付
けする工程の2工程よりなつている。
【0013】図1はベアチツプとヒートシンクをはんだ
付けする工程で、治具1が出入りできる様に上部に穴を
開いたボツクス2中にホツトプレート5を設け、ノズル
6によりN2 +H2 などの雰囲気ガス7を200°Cに
加熱して入れる。
付けする工程で、治具1が出入りできる様に上部に穴を
開いたボツクス2中にホツトプレート5を設け、ノズル
6によりN2 +H2 などの雰囲気ガス7を200°Cに
加熱して入れる。
【0014】次に図2に示すような、あらかじめNiメ
ツキ層10と高温はんだ層8を形成させたヒートシンク
9を350°Cに加熱したホツトプレート上に置き、高
温はんだ層8を溶解させる。
ツキ層10と高温はんだ層8を形成させたヒートシンク
9を350°Cに加熱したホツトプレート上に置き、高
温はんだ層8を溶解させる。
【0015】次に治具1を用いてベアチツプ3を囲い、
ボツクス2の上部の穴より入れ、図1の位置で止めてノ
ズル6より出る雰囲気ガス7により、チツプ3の予熱を
行い、その後にヒートシンク4の溶解した高温はんだ層
8の上にチツプ3を置き、はんだ付の完成とする。
ボツクス2の上部の穴より入れ、図1の位置で止めてノ
ズル6より出る雰囲気ガス7により、チツプ3の予熱を
行い、その後にヒートシンク4の溶解した高温はんだ層
8の上にチツプ3を置き、はんだ付の完成とする。
【0016】次に、先の工程で製作したベアチツプをは
んだ付したヒートシンクと基板とのはんだ付け工程を説
明する。
んだ付したヒートシンクと基板とのはんだ付け工程を説
明する。
【0017】図3に示すように、治具11が出入りでき
るように上部に穴を開けたボツクス12の中に、ホツト
プレート15を設け、ノズル16により雰囲気ガス13
を100°Cに加熱して入れる。
るように上部に穴を開けたボツクス12の中に、ホツト
プレート15を設け、ノズル16により雰囲気ガス13
を100°Cに加熱して入れる。
【0018】次に先の工程で製作したベアチツプをはん
だ付けしたヒートシンク9を基板14上のあらかじめク
リームはんだのリフローにより形成させた、低温はんだ
層18に合わせて置き、その基板14を、ボツクス12
の中のホツトプレート15の上に置き、ホツトプレート
を100°Cに加熱する事により基板14を予熱する。
だ付けしたヒートシンク9を基板14上のあらかじめク
リームはんだのリフローにより形成させた、低温はんだ
層18に合わせて置き、その基板14を、ボツクス12
の中のホツトプレート15の上に置き、ホツトプレート
を100°Cに加熱する事により基板14を予熱する。
【0019】次にボツクス12の上部の穴より300°
Cに加熱した治具11を入れ、図4に示すように基板1
4上のヒートシンク9を押さえることにより加熱し、基
板14上にプリコートした低温はんだ層を溶解させる。
Cに加熱した治具11を入れ、図4に示すように基板1
4上のヒートシンク9を押さえることにより加熱し、基
板14上にプリコートした低温はんだ層を溶解させる。
【0020】次に治具11が上昇することにより、ヒー
トシンク9の温度が下がり低温はんだ層18が凝固する
ことによつてはんだ付を行うものである。
トシンク9の温度が下がり低温はんだ層18が凝固する
ことによつてはんだ付を行うものである。
【0021】
【発明の効果】本、発明は次の効果を有する。
【0022】(1)N2 とH2 の混合ガスの消費量が少
ないのでランニングコストが低下する。
ないのでランニングコストが低下する。
【0023】(2)リフローによらなく、上からヒート
シンクを治具で押さえているので実装精度が高い。 (3)温度管理が高く、十分に予熱を行うためにボイド
発生が少なく、確実にはんだ付ができる。
シンクを治具で押さえているので実装精度が高い。 (3)温度管理が高く、十分に予熱を行うためにボイド
発生が少なく、確実にはんだ付ができる。
【0024】(4)基板とヒートシンク間のはんだ付
時、基板全体の温度を低くおさえているので、はんだの
酸化が少なく、より少ない雰囲気ガスで確実にはんだ付
が出来る。
時、基板全体の温度を低くおさえているので、はんだの
酸化が少なく、より少ない雰囲気ガスで確実にはんだ付
が出来る。
【図1】第1工程のベアチツプとヒートシンク間のはん
だ付けの説明図である。
だ付けの説明図である。
【図2】ヒートシンクの断面図である。
【図3】第2工程の基板とヒートシンク間のはんだ付け
の説明図である。
の説明図である。
【図4】ヒートシンクと基板とを治具にてはんだ付する
状況の説明図である。
状況の説明図である。
【図5】従来例の説明図である。
【図6】従来例の説明図である。
【図7】従来例の説明図である。
1、11 治具 3 ベアチツプ 4 ヒートシンク 5、15 ホツトプレート 6、16 ノズル 7、13 雰囲気ガス 8 高温はんだ 18 低融点はんだ
Claims (1)
- 【請求項1】 ベアチツプをヒートシンクを介して基板
へのはんだ付け方法として、 (1)ベアチツプとヒートシンク間は高温はんだを使用
して、雰囲気ガス中のホツトプレートにより高温はんだ
の融点以下に加熱し、かつベアチツプを揺動しながらは
んだ付を行い、 (2)基板とヒートシンク間は基板上に多数個のヒート
シンクをはんだ付けするために雰囲気ガス中に、低融点
はんだを使用し、ホツトプレートで低融点はんだの融点
以下で基板とヒートシンクを予熱し、低融点はんだの融
点以上に加熱した治具により押さえながら揺動すること
により、低融点はんだを溶解させてはんだ付を行う、ベ
アチツプのはんだ付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4028423A JPH05226386A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ベアチツプのはんだ付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4028423A JPH05226386A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ベアチツプのはんだ付方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05226386A true JPH05226386A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12248254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4028423A Pending JPH05226386A (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | ベアチツプのはんだ付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05226386A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5877079A (en) * | 1996-12-02 | 1999-03-02 | Fujitsu Limited | Method for manufacturing a semiconductor device and a method for mounting a semiconductor device for eliminating a void |
| US8013271B2 (en) * | 2007-01-30 | 2011-09-06 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Soldering method and apparatus |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP4028423A patent/JPH05226386A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5877079A (en) * | 1996-12-02 | 1999-03-02 | Fujitsu Limited | Method for manufacturing a semiconductor device and a method for mounting a semiconductor device for eliminating a void |
| US8013271B2 (en) * | 2007-01-30 | 2011-09-06 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Soldering method and apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1386356B1 (en) | Fluxless flip chip interconnection | |
| US4332341A (en) | Fabrication of circuit packages using solid phase solder bonding | |
| JP2008205321A (ja) | 電子部品および電子装置の製造方法 | |
| JP4085768B2 (ja) | 上部電極、パワーモジュール、および上部電極のはんだ付け方法 | |
| US20070152321A1 (en) | Fluxless heat spreader bonding with cold form solder | |
| JP5004549B2 (ja) | 電子部品の基板への搭載方法及びはんだ面の形成方法 | |
| JPH05226386A (ja) | ベアチツプのはんだ付方法 | |
| AU2001278392B2 (en) | Soldering method for mounting electric components | |
| JP3709036B2 (ja) | 弱耐熱性電子部品の実装方法 | |
| CN116313857B (zh) | 一种预制锡料的igbt焊接方法 | |
| JP3336999B2 (ja) | バンプシートとこれを用いたバンプ形成装置及びバンプ形成方法 | |
| JPH06134570A (ja) | はんだ付け時の可動式部品組付補助具 | |
| JPH08111581A (ja) | ボールグリッドアレイプリント配線板の半田付け方法 | |
| JP2007214241A (ja) | 半導体チップの実装方法及び半導体チップの実装装置 | |
| JP2004281646A (ja) | 電子部品の固着方法および固着装置 | |
| JP3301352B2 (ja) | フリップチップ実装方法 | |
| JPH0795555B2 (ja) | 二元系合金のバンプ形成法 | |
| JPS6094754A (ja) | リ−ドフレ−ムの溶接方法 | |
| JP2006237057A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP2003324125A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH1177559A (ja) | ヒータテーブル | |
| JPH0222989Y2 (ja) | ||
| JPH0513061U (ja) | 電力半導体装置 | |
| JP2003101206A (ja) | 部材の突起部へのはんだ供給方法 | |
| JPH0458539A (ja) | 混成集積回路装置 |