JPH05231879A - 検出位置の補正方法 - Google Patents
検出位置の補正方法Info
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- JPH05231879A JPH05231879A JP7041692A JP7041692A JPH05231879A JP H05231879 A JPH05231879 A JP H05231879A JP 7041692 A JP7041692 A JP 7041692A JP 7041692 A JP7041692 A JP 7041692A JP H05231879 A JPH05231879 A JP H05231879A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000018199 S phase Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】検出位置の補正方法において、互いに９０°の
位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出装
置にて検出した位置を補正する。 【構成】移動体の移動に応じて測定される互いに９０°
の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いて前記移動
体の位置を検出する。検出した位置と実際の位置との差
である位置誤差を、前記２相正弦波交流信号の半周期分
測定して記憶しておく。前記移動体の検出位置に対応す
る前記位置誤差を用いて当該検出位置を補正する。
位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出装
置にて検出した位置を補正する。 【構成】移動体の移動に応じて測定される互いに９０°
の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いて前記移動
体の位置を検出する。検出した位置と実際の位置との差
である位置誤差を、前記２相正弦波交流信号の半周期分
測定して記憶しておく。前記移動体の検出位置に対応す
る前記位置誤差を用いて当該検出位置を補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、互いに９０°の位相差
を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出装置にて
検出した位置の補正方法に関する。
を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出装置にて
検出した位置の補正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は互いに９０°の位相差を有する２
相正弦波交流信号を用いた位置検出装置の一例を示す構
成図であり、図６はその動作例を説明するフローチャー
トである。例えば工作機械の移動体である主軸１の位置
を検出する場合、主軸１に嵌合されたギア２の円周近傍
に磁気センサ３を配置する。この磁気センサ３は２つの
磁気抵抗素子３１ａ，３１ｂが互いにλ／４（λはギア
２のピッチ）の間隔を持って永久磁石３２に配設されて
成る。そして、磁気センサ３にて互いに９０°の位相差
を有する２相正弦波交流信号Ｅａ＝Ｖｓｉｎθ、Ｅｂ＝
Ｖｃｏｓθの瞬時値を測定し（ステップＳ１）、Ａ／Ｄ
変換器４ａ，４ｂにてディジタル信号Ｓａ、Ｓｂに変換
し（ステップＳ２）、内挿位置検出用マイクロプロセッ
サ５に送出する。この内挿位置検出用マイクロプロセッ
サ５にてディジタル信号Ｓａ，Ｓｂを用いた数１の演算
により２相正弦波交流信号の一周期内の位置（以下、内
挿位置という）θを検出して外部に出力し（ステップＳ
３）、全ての処理を終了する。
相正弦波交流信号を用いた位置検出装置の一例を示す構
成図であり、図６はその動作例を説明するフローチャー
トである。例えば工作機械の移動体である主軸１の位置
を検出する場合、主軸１に嵌合されたギア２の円周近傍
に磁気センサ３を配置する。この磁気センサ３は２つの
磁気抵抗素子３１ａ，３１ｂが互いにλ／４（λはギア
２のピッチ）の間隔を持って永久磁石３２に配設されて
成る。そして、磁気センサ３にて互いに９０°の位相差
を有する２相正弦波交流信号Ｅａ＝Ｖｓｉｎθ、Ｅｂ＝
Ｖｃｏｓθの瞬時値を測定し（ステップＳ１）、Ａ／Ｄ
変換器４ａ，４ｂにてディジタル信号Ｓａ、Ｓｂに変換
し（ステップＳ２）、内挿位置検出用マイクロプロセッ
サ５に送出する。この内挿位置検出用マイクロプロセッ
サ５にてディジタル信号Ｓａ，Ｓｂを用いた数１の演算
により２相正弦波交流信号の一周期内の位置（以下、内
挿位置という）θを検出して外部に出力し（ステップＳ
３）、全ての処理を終了する。
【０００３】
【数１】 θ＝ｔａｎ−１（Ｖｓｉｎθ／Ｖｃｏｓθ）＝ｔａｎ−１（Ｓａ／Ｓｂ）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した互いに９０°
の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出
装置における磁気センサの取付けや調整は人為的に行な
われているため、２相正弦波交流信号のｓｉｎ相とｃｏ
ｓ相の振幅の差（以下、振幅誤差という）や位相差に９
０°からのずれ（以下、位相誤差という）が生じ易く、
検出した位置に周期的な位置誤差が発生するおそれがあ
る。しかしながら、従来はこの位置誤差が発生した検出
位置を補正する方法が無かったため、例えば工作機械に
おいて創成加工等を行なうとワークに周期的なすじ目が
生じてしまうという問題があった。本発明は上述した事
情から成されたものであり、本発明の目的は、互いに９
０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置
検出装置にて検出した位置を補正することができる方法
を提供することにある。
の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出
装置における磁気センサの取付けや調整は人為的に行な
われているため、２相正弦波交流信号のｓｉｎ相とｃｏ
ｓ相の振幅の差（以下、振幅誤差という）や位相差に９
０°からのずれ（以下、位相誤差という）が生じ易く、
検出した位置に周期的な位置誤差が発生するおそれがあ
る。しかしながら、従来はこの位置誤差が発生した検出
位置を補正する方法が無かったため、例えば工作機械に
おいて創成加工等を行なうとワークに周期的なすじ目が
生じてしまうという問題があった。本発明は上述した事
情から成されたものであり、本発明の目的は、互いに９
０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置
検出装置にて検出した位置を補正することができる方法
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、互いに９０°
の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出
装置にて検出した位置の補正方法に関するものであり、
本発明の上記目的は、移動体の移動に応じて測定される
互いに９０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を用
いて検出した前記移動体の位置と実際の位置との差であ
る位置誤差を、前記２相正弦波交流信号の半周期分測定
して記憶しておき、前記移動体の検出位置に対応する前
記位置誤差を用いて当該検出位置を補正することによっ
て達成される。
の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いた位置検出
装置にて検出した位置の補正方法に関するものであり、
本発明の上記目的は、移動体の移動に応じて測定される
互いに９０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を用
いて検出した前記移動体の位置と実際の位置との差であ
る位置誤差を、前記２相正弦波交流信号の半周期分測定
して記憶しておき、前記移動体の検出位置に対応する前
記位置誤差を用いて当該検出位置を補正することによっ
て達成される。
【０００６】
【作用】本発明にあっては、振幅誤差や位相誤差による
位置誤差が２相正弦波交流信号の半周期、即ち、内挿位
置の０°〜１８０°を一周期としたパターンで繰返すこ
とを利用しており、検出した内挿位置を容易に補正する
ことができる。
位置誤差が２相正弦波交流信号の半周期、即ち、内挿位
置の０°〜１８０°を一周期としたパターンで繰返すこ
とを利用しており、検出した内挿位置を容易に補正する
ことができる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の検出位置の補正方法を実現す
る互いに９０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を
用いた位置検出装置の一例を図５に対応させて示す構成
図であり、同一構成箇所は同符号を付して説明を省略す
る。誤差データ群記憶部７には予め測定された位置誤差
のデータ群が記憶されており、内挿位置検出用マイクロ
プロセッサ５から誤差補正部６に送出されて来た内挿位
置θに対応する位置誤差εθが誤差データ群記憶部７か
ら読出され、内挿位置θに加算されて補正された内挿位
置θ′が検出され出力される。
る互いに９０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を
用いた位置検出装置の一例を図５に対応させて示す構成
図であり、同一構成箇所は同符号を付して説明を省略す
る。誤差データ群記憶部７には予め測定された位置誤差
のデータ群が記憶されており、内挿位置検出用マイクロ
プロセッサ５から誤差補正部６に送出されて来た内挿位
置θに対応する位置誤差εθが誤差データ群記憶部７か
ら読出され、内挿位置θに加算されて補正された内挿位
置θ′が検出され出力される。
【０００８】このような構成の位置検出装置にて検出さ
れた位置の補正方法を図２のフローチャートで説明す
る。磁気センサ３にて互いに９０°の位相差を有する２
相正弦波交流信号Ｅａ＝Ｖｓｉｎθ、Ｅｂ＝Ｖｃｏｓθ
の瞬時値を測定し（ステップＳ１）、Ａ／Ｄ変換器４
ａ、４ｂにてディジタル信号Ｓａ、Ｓｂに変換し（ステ
ップＳ２）、内挿位置検出用マイクロプロセッサ５に送
出する。この内挿位置検出用マイクロプロセッサ５にて
ディジタル信号Ｓａ、Ｓｂを用いた数１の演算により内
挿位置θを検出する（ステップＳ３）。ここで、例えば
図３（ａ）に示すように２相正弦波交流信号Ｅａ＝Ｖｓ
ｉｎθに位相誤差及び振幅誤差が含まれているとする
と、その位置誤差εθは同図（ｂ）に示すように２相正
弦波交流信号の半周期、即ち内挿位置θの０°〜１８０
°を一周期とするパターンの繰返しとなる。従って、こ
の一周期分の位置誤差εθ（データ数は内挿検出分解能
数と同一）を予め測定して図４に示すように誤差データ
群記憶部７に記憶させておく。そして、内挿位置検出用
マイクロプロセッサ５から誤差補正部６に送出されて来
た内挿位置θが０≦θ≦１８０°のときはθに対応する
位置誤差εθを、１８０°≦θ≦３６０°のときはθ−
１８０°に対応する位置誤差εθを誤差データ群記憶部
７から読出し、内挿位置θに加算して補正した内挿位置
θ′を検出して外部に出力し（ステップＳ４）、全ての
処理を終了する。
れた位置の補正方法を図２のフローチャートで説明す
る。磁気センサ３にて互いに９０°の位相差を有する２
相正弦波交流信号Ｅａ＝Ｖｓｉｎθ、Ｅｂ＝Ｖｃｏｓθ
の瞬時値を測定し（ステップＳ１）、Ａ／Ｄ変換器４
ａ、４ｂにてディジタル信号Ｓａ、Ｓｂに変換し（ステ
ップＳ２）、内挿位置検出用マイクロプロセッサ５に送
出する。この内挿位置検出用マイクロプロセッサ５にて
ディジタル信号Ｓａ、Ｓｂを用いた数１の演算により内
挿位置θを検出する（ステップＳ３）。ここで、例えば
図３（ａ）に示すように２相正弦波交流信号Ｅａ＝Ｖｓ
ｉｎθに位相誤差及び振幅誤差が含まれているとする
と、その位置誤差εθは同図（ｂ）に示すように２相正
弦波交流信号の半周期、即ち内挿位置θの０°〜１８０
°を一周期とするパターンの繰返しとなる。従って、こ
の一周期分の位置誤差εθ（データ数は内挿検出分解能
数と同一）を予め測定して図４に示すように誤差データ
群記憶部７に記憶させておく。そして、内挿位置検出用
マイクロプロセッサ５から誤差補正部６に送出されて来
た内挿位置θが０≦θ≦１８０°のときはθに対応する
位置誤差εθを、１８０°≦θ≦３６０°のときはθ−
１８０°に対応する位置誤差εθを誤差データ群記憶部
７から読出し、内挿位置θに加算して補正した内挿位置
θ′を検出して外部に出力し（ステップＳ４）、全ての
処理を終了する。
【０００９】
【発明の効果】以上のように、本発明の検出位置の補正
方法によれば、少ない誤差データ群を記憶しておくのみ
で検出位置を正確に補正することができるので、例えば
工作機械に適用した場合に高精度の加工を行なうことが
できる。
方法によれば、少ない誤差データ群を記憶しておくのみ
で検出位置を正確に補正することができるので、例えば
工作機械に適用した場合に高精度の加工を行なうことが
できる。
【図１】本発明の検出位置の補正方法を実現する位置検
出装置の一例を示す構成図である。
出装置の一例を示す構成図である。
【図２】本発明方法を説明するフローチャートである。
【図３】振幅誤差や位相誤差を含む２相正弦波交流信号
と位置誤差の関係の一例を示す図である。
と位置誤差の関係の一例を示す図である。
【図４】本発明方法に用いられる誤差データ群の一例を
示す図である。
示す図である。
【図５】位置検出装置の一例を示す構成図である。
【図６】図５に示す装置の動作例を説明するフローチャ
ートである。
ートである。
６ 誤差補正部 ７ 誤差データ群記憶部
Claims (1)
- 【請求項１】 移動体の移動に応じて測定される互いに
９０°の位相差を有する２相正弦波交流信号を用いて検
出した前記移動体の位置と実際の位置との差である位置
誤差を、前記２相正弦波交流信号の半周期分測定して記
憶しておき、前記移動体の検出位置に対応する前記位置
誤差を用いて当該検出位置を補正するようにしたことを
特徴とする検出位置の補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7041692A JPH05231879A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 検出位置の補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7041692A JPH05231879A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 検出位置の補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05231879A true JPH05231879A (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=13430851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7041692A Pending JPH05231879A (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 検出位置の補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05231879A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998021553A1 (en) * | 1996-11-11 | 1998-05-22 | Fanuc Ltd. | Interpolation circuit of encoder |
| JP2004233346A (ja) * | 2003-01-13 | 2004-08-19 | Rexroth Star Gmbh | 互いに対して動きうる二個の機械部品の相対的な動きを検出するための装置及び方法 |
| JP2005172669A (ja) * | 2003-12-12 | 2005-06-30 | Mitsutoyo Corp | 内挿誤差補正方法及び装置 |
| JP2005245126A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | モータ制御装置、画像読取装置及び画像記録装置 |
| WO2006013622A1 (ja) | 2004-08-03 | 2006-02-09 | Ntn Corporation | 絶対角度センサ付軸受装置 |
| JP2006064402A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Mitsutoyo Corp | 内挿誤差補正方法及び装置 |
| WO2006132420A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Kabushiki Kaisha Topcon | 時間差測定装置および距離測定装置並びに距離測定方法 |
| JP2009244022A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Meidensha Corp | 位相検出回路 |
| JP2011106935A (ja) * | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Hitachi Ltd | 回転角計測装置 |
| JP4795609B2 (ja) * | 2000-05-01 | 2011-10-19 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 縦方向に移動するアクチュエータの位置を検出するための強化された方法 |
| US8111064B2 (en) * | 2006-04-21 | 2012-02-07 | Continental Automotive Gmbh | Magnetic rotational angle transducer |
| CN110506196A (zh) * | 2017-04-13 | 2019-11-26 | 索尼公司 | 位置检测装置和位置检测方法 |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP7041692A patent/JPH05231879A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6188341B1 (en) | 1996-11-11 | 2001-02-13 | Fanuc Ltd. | Encoder interpolation circuit which corrects an interpolation angle between a received sine-wave encoder signal and a cosine-wave encoder signal |
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| US8212551B2 (en) * | 2004-08-03 | 2012-07-03 | Ntn Corporation | Bearing with absolute angle sensor |
| EP1783461A4 (en) * | 2004-08-03 | 2009-01-14 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | BEARING WITH ABSOLUTE ANGLE SENSOR |
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| WO2006132420A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Kabushiki Kaisha Topcon | 時間差測定装置および距離測定装置並びに距離測定方法 |
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