JPH05232096A

JPH05232096A - 減圧弁調整装置

Info

Publication number: JPH05232096A
Application number: JP7009692A
Authority: JP
Inventors: Misako Kiyota; 美佐子清田; Hiroyuki Muto; 裕行武藤
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 1992-02-21
Filing date: 1992-02-21
Publication date: 1993-09-07
Anticipated expiration: 2013-07-16
Also published as: JP2775207B2

Abstract

(57)【要約】【目的】電磁弁を用いて減圧弁の圧力，流量を調整す
る際にその減圧弁の性能，操作性を向上させるようにす
る。【構成】減圧弁１において背圧室１１Ｂ内のダイヤフ
ラム１２がそのたわみ等による力Ｆでポペット弁１５を
下方に押したとき、釣り合った状態では、２次側圧力を
Ｐ_O，背圧室１１Ｂ内の圧力をＰ_Nとすると、Ｐ_O＋ｋ＝
Ｐ_N＋Ｋ＋Ｆとなる。この場合、圧縮コイルばね１７の
ばね圧Ｋが圧縮コイルばね１６のばね圧ｋに比べて非常
に大きく（Ｋ＞ｋ）、Ｐ_O＜Ｐ_N＋Ｆとなる。また、圧縮
コイルばね１７のばね圧Ｋが大きいので、Ｐ_O＜Ｐ_Nと考
えられるが、仮にＰ_O＞Ｐ_Nとなったとしても排出用電磁
弁２３がＯＮ動作すると、背圧室１１Ｂの圧力Ｐ_Nは大
気に放出されて必ず下がるため、圧力調整を確実に制御
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電磁弁を用いて減圧弁
の流量，圧力を自動的に調整する減圧弁調整装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、流量および圧力調整はメカ設定式
減圧弁が通常良く用いられており、その減圧弁を例えば
ガスクロマトグラフのキャリアガス流量調整系に適用し
た場合を例にとり説明する。図５はそのガスクロマトグ
ラフの概略構成を示すものであり、恒温槽を形成し所定
温度に保持されるアナライザ本体４０，サンプルバルブ
４１，カラム４２，検出器４３，計量管４４，ヘリウム
等のキャリアガスＣＧを所定圧に減圧する減圧弁３０な
どを備え、測定時にサンプルバルブ４１の流路を実線の
状態から破線の状態に切替えることにより、計量管４４
によって分取した測定すべきサンプルガスＳＧをキャリ
アガスＣＧによってカラム４２内に送り込むようにして
いる。そしてこのカラム４２で分離した各ガス成分を熱
伝導度検出器等の検出器４３によって検出し、その検出
信号をコントローラ４５により波形処理したり記録紙に
記録してサンプルガスの分析を行うようになっている。
一方、非測定時にはサンプルバルブ４１の流路を実線図
示の状態に切替えることにより、キャリアガスＣＧをカ
ラム４２および検出器４３へ導いている。

【０００３】ここで減圧弁３０は、キャリアガス供給流
路１３およびキャリアガス排出流路１４に連通する内室
３１，この内室３１を上下２つの室に仕切るダイヤフラ
ム３２，ポペット弁３３，圧縮コイルばね３４などを備
える。この内室３１の上側の室にはダイヤフラム３２を
下側の室側に付勢する圧力設定用の圧縮コイルばね３５
と、圧縮コイルばね３５の上端を保持するばね受け部材
３６とが配設され、このばね受け部材３６を圧力設定用
ねじ３７によって上下動させると圧縮コイルばね３５の
ばね圧が調整される。そして下側の室側にはシートリン
ク（図示せず）とその流通孔を開閉制御するポペット弁
３３が圧縮コイルばね３４に対向して配設され、圧力調
節用ねじ３７を手動操作で回してキャリアガスＣＧの２
次側圧力Ｐ_O （出力圧）を設定圧力と等しくするものと
なっている。

【０００４】しかしながら、このような減圧弁において
は、キャリアガスの１次圧変動や振動，負荷変動，減圧
弁の周囲温度特性等によってキャリアガスの２次側圧力
Ｐ_Oが変動すると、その流量も変化するため、カラム４
２によるガス成分の分離状態および検出器４３における
ブリッジ回路のバランスが崩れ、これによりベース電圧
が変動し、その都度圧力設定用ねじ３７を回して減圧弁
３０の設定圧を変えているが、わざわざ装置のところま
で行き、圧力設定用ねじ３７を手動操作することは非常
に面倒で、圧力変動に迅速に対処できないという問題が
あった。

【０００５】このような問題を解消するため、同一出願
人は、電磁弁を利用して減圧弁の圧力，流量を自動的に
調整する装置を提案しており、その基本構成を図４に示
す。この装置は、図４に示すように、内室１１と，内室
１１を上下２つの室１１Ａと１１Ｂに仕切るダイヤフラ
ム１２と，内室１１の入口及び出口にそれぞれ連通する
キャリアガス供給流路１３およびキャリアガス排出流路
１４と，ポペット弁１５と，圧縮コイルばね１６等から
なる減圧弁１を備え、下側の室１１Ａが圧力室、上側の
室１１Ｂが背圧室をそれぞれ形成している。そして、キ
ャリアガス供給流路１３より送られてくるキャリアガス
の圧力を所定圧Ｐ₀ に減圧する背圧室１１Ｂには１つの
出入口２１を有し、この出入口２１はキャリアガス供給
流路１３から分岐されキャリアガス排出流路１４に連通
する背圧流路１８に分岐路１９を介して連通されてい
る。また、分岐路１９には焼結金属等からなる固定絞り
２０が配置されている。

【０００６】また、背圧流路１８には分岐路１９を挟ん
でその供給側と排出側に位置する第１，第２の電磁弁２
２及び２３が配置され、さらに供給用電磁弁２２の下流
側には減圧弁１の２次側圧力Ｐ_O を検出する圧力センサ
２が設けられている。従って、キャリアガスＣＧはその
流路１３を経て減圧弁１の圧力室１１Ａ側に１次側圧力
Ｐ_S として送られると共に、供給用電磁弁２２を開く
と、背圧流路１８−分岐路１９−固定絞り２０を通って
背圧室１１Ｂにも背圧Ｐ_N として送られ、この背圧Ｐ_N
を、１次側圧力Ｐ_Sと圧縮コイルばね１６のばね圧の和
と対応させている。そして背圧Ｐ_N は排出用電磁弁２３
を開くと低下する。

【０００７】９は減圧弁１を駆動してその出力圧を任意
の設定値に制御するためのコントローラで、圧力センサ
１からの検出値ＰＶと予め設定された設定値ＳＰとを比
較し、その比較結果に基いて２つの電磁弁２２，２３を
開閉制御して、２次側圧力Ｐ_O が常に設定圧となるよう
にしている。この場合、キャリアガスの１次側圧力Ｐ
_S ，背圧Ｐ_N および２次側圧力Ｐ_Oの関係は、Ｐ_S≧Ｐ_N
＞Ｐ_Oとなる。すなわち、圧力サンサ２の検出値ＰＶが
設定値ＳＰの下限値以下の場合、２次側圧力Ｐ_O は設定
圧力より低い。このとき、コントローラ９からの信号に
よって供給用電磁弁２２を開く一方、排出用電磁弁２３
を全閉状態に保持し、背圧室１１Ｂに供給されるキャリ
アガスの圧力を増加させる。すると、背圧Ｐ_N が増大
し、ダイヤフラム１２を圧縮コイルばね１６に抗して下
方に変位させ、ポペット弁１５を開く。

【０００８】従って、圧力室１１Ａへのキャリアガスの
圧力が増加し、２次側圧力Ｐ_O を増大させる。２次側圧
力Ｐ_O が増加して設定圧力と一致すると、検出値ＰＶが
設定値ＳＰの範囲内に入るため供給用電磁弁２２を閉鎖
する。外乱等により２次側圧力Ｐ_O が設定圧力より大き
くなり、検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限値を越えると、
今度は排出用電磁弁２３を開いて背圧Ｐ_N を下げる。す
ると、その分だけダイヤフラム１２が上方に変位してポ
ペット弁１５が閉まり、２次側圧力Ｐ_O を低下させる。
そして２次側圧力Ｐ_O が設定圧と一致すると、排出用電
磁弁２３を閉鎖する。このように２つの電磁弁２２，２
３を利用して減圧弁１の圧力調整を行う装置は、１次圧
変動や振動，負荷変動，減圧弁の周囲温度特性等の影響
が少なく、減圧弁の設定圧力を自動的に可変設定できる
等の利点を有している。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、背圧Ｐ_Nを
２次側圧力Ｐ_Oに排出する経路を有する減圧弁１の場
合、この減圧弁で釣り合っている（平衡）状態では、そ
の圧縮コイルばね１６のばね圧をｋとしたとき、Ｐ_N＝Ｐ_O＋ｋ (1) となる。しかし、実際にはダイヤフラム１２のたわみな
どによってダイヤフラム自体にも力Ｆをもつため、例え
ばダイヤフラム１２のＦの力でポペット弁１５を押して
いたとすると、釣り合った状態ではＰ_N＋Ｆ＝Ｐ_O＋ｋ (2) となる。ここで、Ｆ＞ｋならばＰ_N＜Ｐ_Oとなる。つまり
圧力を下げるために排出用電磁弁２３をＯＮ（開成）動
作すると、圧力の高い２次側圧力Ｐ_O が逆流してしま
い、その結果、圧力調整が不能になるという問題点があ
った。

【００１０】本発明は以上の点に鑑み、上記のような課
題を解決するためになされたもので、その目的は、電磁
弁を用いて減圧弁の圧力，流量を調整する際にその減圧
弁の性能，操作性を向上させることができる減圧弁調整
装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る減圧弁調整装置は、内室と，この内室
を上下２つの室に仕切るダイヤフラムと，前記内室の上
側の室を背圧室とし、下側の室を圧力室としてその圧力
室の入口および出口にそれぞれ連通されたガス供給流路
及びガス排出流路と，圧力室に第１のばねによりダイヤ
フラム側に弁体を付勢してその弁体の入口部より出口部
へ通じる流通孔を背圧室の圧力に応じて調節可能に設け
られた弁調節機構と，背圧室内にそのダイヤフラムを圧
力室側に押圧するように設けられた第１のばねより大き
いばね圧を有する第２のばねと，前記ガス排出流路と背
圧室の出入口との間に絞りを介して連通された背圧流路
とから減圧弁を構成する。そして、前記背圧流路の絞り
側に第１の供給用電磁弁を配置するとともに、この第１
の電磁弁と前記絞りとの間の背圧流路に一端が連通され
かつ他端が大気に開放された流路に第２の排出用電磁弁
を配置し、減圧弁の２次側圧力を圧力センサで検出し
て、この圧力センサの検出値と予め設定された基準の設
定値を比較しその比較結果に基づき第１及び第２の電磁
弁を開成制御することにより、減圧弁の２次側圧力を一
定に保つようにしたものである。

【００１２】

【作用】本発明によると、減圧弁は、その２次側圧力を
Ｐ_O，背圧室の圧力をＰ_N，第１のばねのばね圧をｋ，第
２のばねのばね圧をＫとし、平衡状態にあるときＰ_N＋Ｋ＝Ｐ_O＋ｋ (3) の式を満たす（Ｐ_N ＜Ｐ_O ）。但し第２のばねのばね圧
Ｋは第１のばねのばね圧ｋよりも非常に大きいものと
し、ここでは便宜上Ｋ＞ｋと表す。したがって、ダイヤ
フラムのたわみ等による力が背圧室側から２次圧側に加
わったとしても第２の排出用電磁弁がＯＮ動作すると背
圧Ｐ_N の圧力が必ず下がる方向に進むので、Ｐ_N＞Ｐ_O
にはならない。その結果、安定した制御が可能になる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を説明するた
めの減圧弁調整装置の基本構成図である。この実施例に
おいてキャリアガスの圧力調整を行う減圧弁１は、背圧
室１１Ｂに、ダイヤフラム１２を圧力室１１Ａ側のピポ
ット弁１５に対して所定圧で押圧するように圧縮コイル
ばね１６のばね圧ｋよりも大きいばね圧Ｋ（但しＫ＞
ｋ）を有する圧縮コイルばね１７を設ける。そして、こ
の背圧室１１Ｂの出入口２１とキャリアガス排出流路１
４との間の背圧流路１８ａには第１の供給用電磁弁２２
を設け、その供給用電磁弁２２と固定絞り２０との間の
背圧流路１８ａに一端が連通され他端が大気に開放され
た流路１８ｂには第２の排出用電磁弁２３を設ける。

【００１４】さらに、減圧弁１の２次側圧力Ｐ_O を検出
する圧力センサ２の検出値ＰＶがＡ／Ｄ変換器３を経て
コントローラとしてのＣＰＵ（マイクロコンピュータ）
４に入力されている。このＣＰＵ４は圧力センサ２から
の検出値ＰＶが圧力増加方向か、あるいは圧力減少方向
かを判断し、それに応じた第１及び第２のゲートパルス
ＧＰ_L，ＧＰ_Hを駆動ゲート部６に出力するとともに、基
準の設定値ＳＰをキャリアガス圧力制御部５に出力す
る。

【００１５】このキャリアガス圧力制御部５は、図２に
示すように、基準の設定値ＳＰに対して予め設定された
所定の上限値ＳＰ_U及び下限値ＳＰ_Dを有し、圧力センサ
２の検出値ＰＶがＣＰＵ４から送出される設定値ＳＰの
許容範囲つまり設定値ＳＰと下限値ＳＰ_D の範囲内にあ
るとき、キャリアガス圧力増加用の第１の電磁弁駆動信
号ＶＬ_CO，キャリアガス圧力減少用の第２の電磁弁駆動
信号ＶＨ_COを「Ｌ」レベル（オフ信号）とし、検出値Ｐ
Ｖが設定値ＳＰの下限値ＳＰ_D 以下にあるときは第１の
電磁弁駆動信号ＶＬ_C0のみを「Ｈ」レベル（オン信号）
とする。そして検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限値ＳＰ_U
以上にあるか、あるいは設定値ＳＰと上限値ＳＰＵの範
囲内にあるときは第２の電磁弁駆動信号ＶＨ_C0のみを
「Ｈ」レベル（オン信号）とし、そのＶＬ_C0，ＶＨ_COの
信号を駆動ゲート部６の各スイッチ６₁，６₂にそれぞれ
入力する。

【００１６】また、駆動ゲート部６はＣＰＵ４から出力
されるキャリアガス圧力制御に対応した第１及び第２の
ゲートパルスＧＰ_L ，ＧＰ_H によって第１及び第２の電
磁弁駆動信号ＶＬ_CO ，ＶＨ_C0 をそれぞれオン・オフ制
御して所定のパルス幅をもつ信号に変換したうえ、電磁
弁駆動部７に出力する。これにより電磁弁駆動部７は、
駆動ゲート部６より出力される図３(a) に示すような所
定のパルス幅Ｔａをもつ第１の電磁弁駆動信号ＶＬによ
って第１の供給用電磁弁２２を開閉制御するとともに、
駆動ゲート部６より出力される図３(b)および(c)に示す
ようなパルス幅Ｔｂ，Ｔｃをもつ第２の電磁弁駆動信号
ＶＨによって第２の排出用電磁弁２３を開閉制御する。

【００１７】すなわち、圧力センサ２の検出値ＰＶが設
定値ＳＰの下限値ＳＰ_D 以下にあるときは、図３(a) に
示すパルス幅Ｔａの第１の電磁弁駆動信号ＶＬにより供
給用電磁弁２２を駆動する。そして、圧力センサ２の検
出値ＰＶが設定値ＳＰの上限値ＳＰ_U以上にあるときは
図３(b)に示すパルス幅Ｔｂの第２の電磁弁駆動信号Ｖ
Ｈによって第２の排出用電磁弁２３を駆動し、しかる後
その検出値ＰＶが設定値ＳＰと上限値ＳＰ_Uの範囲内に
あるときは図３(c)に示すパルス幅Ｔｃ（但しＴａ＞Ｔ
ｂ＞Ｔｃ）の第２の電磁弁駆動信号ＶＨによって排出用
電磁弁２３を駆動することにより、減圧弁１の２次側圧
力Ｐ₀ を調整するようになっている。なお、図１におい
て図４と同一または相当部分は同一符号を付記してい
る。

【００１８】次に上記実施例の動作について説明する。
まずキャリアガス圧力制御部５において圧力センサ２の
検出値ＰＶが設定値ＳＰの下限値ＳＰ_D以下の場合、２
次側圧力Ｐ_Oは設定圧力より低い。この時、ＣＰＵ４は
圧力センサ２からの検出値ＰＶを受けて圧力増加方向と
判断し、その第１のゲートパルスＧＰ_L を駆動ゲート部
６に出力する。そして、キャリアガス圧力制御部５は第
１の電磁弁駆動信号ＶＬ_COのみを「Ｈ」レベル（オン信
号）とし、その信号ＶＬ_COが駆動ゲート部６のスイッチ
６₁ に入力されて第１のゲートパルスＧＰ_Lでオン，オ
フ制御され、図３(a)に示すようなパルス幅Ｔａの信号
が電磁弁駆動部７に入力される。

【００１９】これにより、電磁弁駆動部７は図３(a) に
示すパルス幅Ｔａの信号ＶＬによって供給用電磁弁２２
を開く一方、排出用電磁弁２３を全閉状態に保持する
と、減圧弁１の背圧室１１Ｂの背圧Ｐ_N が増大し、ダイ
ヤフラム１２を圧縮コイルばね１６に抗して下方に変位
させ、ポペット弁１５を開く。従って、圧力室１１Ａへ
供給されるキャリアガスＣＧの圧力が増加し、２次側圧
力Ｐ_O を増加させる。２次側圧力Ｐ_O が増加して設定圧
力と一致すると、検出値ＰＶが設定値ＳＰの下限値ＳＰ
_D 内に入るため供給用電磁弁２２を閉鎖する。

【００２０】一方減圧弁１の圧力調整時に、図２に示す
ように、圧力センサ２の検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限
値ＳＰ_U を越えると、ＣＰＵ４は圧力センサ２からの検
出値ＰＶを受けて圧力減少方向と判断し、それに応じた
第２のゲートパルスＧＰ_H を駆動ゲート部６に出力す
る。そして、キャリアガス圧力制御部５は第２の電磁弁
駆動信号ＶＨ_COのみを「Ｈ」レベル（オン信号）とし、
その信号が駆動ゲート部６のスイッチ６₂ に入力されて
第２のゲートパルスＧＰ_Hでオン・オフ制御され、図３
(b) に示すようなパルス幅Ｔｂの信号ＶＬが電磁弁駆動
部７を通して排出用電磁弁２３に入力される。

【００２１】これにより排出用電磁弁２３は開いて背圧
Ｐ_N を下げる。すると、その分だけダイヤフラム１２が
上方に変位してポペット弁１５が閉まり、２次側圧力Ｐ
_O を低下させる。その結果、２次側圧力Ｐ₀ は次第に低
下する。そして検出値ＰＶが時点Ｑで上限値ＳＰ_U より
低下すると、ＣＰＵ４は第２のゲートパルスＧＰ_H を駆
動ゲート部６に入力し、その制御ゲート部６から出力さ
れる図３(c) に示すようなパルス幅Ｔｃの信号ＶＨによ
って排出用電磁弁２３のみを駆動する。これにより減圧
弁１は上述と同様に動作して、２次側圧力Ｐ_O が設定圧
と一致すると、検出値ＰＶが設定値ＳＰの下限値ＳＰ_D
内に入り、第１及び第２の電磁弁駆動信号ＶＬ，ＶＨが
共に「Ｌ」レベル（オフ信号）となり、排出用電磁弁２
３を閉鎖する。

【００２２】このように本実施例によると、減圧弁２の
圧力調整時に、図２に示すように、設定値ＳＰに対して
の上限値ＳＰ_U をＳＰ＋０．１５Kgf／cm²とし、その下
限値ＳＰ_D をＳＰ−０．２０Kgf／cm²としたとき、圧力
センサ２の検出値ＰＶがその下限値ＳＰ_D 以下にある場
合は、広いパルス幅Ｔａの信号ＶＬとして例えばデュー
ティ比９０％のパルスによりキャリアガス圧力増加用の
第１の電磁弁２２を駆動する。また、圧力センサ２の検
出値ＰＶが上限値ＳＰ_U 以上にある場合は（ＰＶ＞ＳＰ
＋０．１５）、パルス幅Ｔｂの信号ＶＬとして例えばデ
ューティ比５０％のパルスによりキャリアガス圧力減少
用の第２の電磁弁２３を駆動し、さらに、その検出値Ｐ
Ｖが設定値ＳＰと上限値ＳＰ_U の範囲内にあるときは
（ＳＰ≦ＰＶ≦ＳＰ＋０．１５）、狭いパルス幅Ｔｃの
信号ＶＬとして例えばデューティ比１０％のパルスによ
って第２の電磁弁２３を駆動することにより、図２に示
すように、減圧弁２の２次側圧力Ｐ₀を所定の圧力調整
時間Ｔ₁以内に静止域（ＳＰ_D≦ＰＶ＜ＳＰ）内に素早く
制御できる。

【００２３】また本実施例によると、減圧弁１において
背圧室１１Ｂ内のダイヤフラム１２がそのたわみ等によ
る力Ｆでポペット弁１５を下方に押したとき、釣り合っ
た状態ではＰ_O＋ｋ＝Ｐ_N＋Ｋ＋Ｆ (4) となる。この時、圧縮コイルばね１７のばね圧Ｋが圧縮
コイルばね１６のばね圧ｋに比べて非常に大きく（Ｋ＞
ｋ）、Ｐ_O＜Ｐ_N＋Ｆとなる。また、圧縮コイルばね１７
のばね圧Ｋが大きいので、Ｐ_O＜Ｐ_Nと考えられるが、仮
にＰ_O＞Ｐ_Nとなったとしても排出用電磁弁２３がＯＮ動
作すると、背圧室１１Ｂの圧力Ｐ_N は大気に放出されて
必ず下がるため、圧力調整を確実に制御することができ
る。

【００２４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、電磁弁を
用いて減圧弁の流量，圧力を調整するものにおいて、減
圧弁のダイヤフラムの力が背圧室側から２次圧側に加わ
ったとしても、背圧室の圧力Ｐ_N が必ず下がる方向に進
むので、Ｐ_N＞Ｐ_Oになることはない。そのため、安定し
た制御が実現でき、性能を向上させることができる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による減圧弁調整装置の一実施例を示す
基本構成図である。

【図２】本実施例の動作を説明するための図である。

【図３】本実施例における各電磁弁を駆動するパルス信
号の波形図である。

【図４】従来技術におけるキャリアガス流量コントロー
ル装置の基本構成図である。

【図５】通常のメカ設定式減圧弁をガスクロマトグラフ
に適用したときの一例を示す概略図である。

【符号の説明】

１減圧弁２圧力センサ４ＣＰＵ（コントローラ）５キャリア圧力制御部６駆動ゲート部７電磁弁駆動部１１内室１１Ａ圧力室１１Ｂ背圧室１２ダイヤフラム１３キャリアガス供給流路１４キャリアガス排出流路１５ピポット弁１６，１７圧縮コイルばね１８ａ背圧流路１８ｂ流路２０固定絞り２１背圧室の出入口２２第１の供給用電磁弁２３第２の排出用電磁弁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内室と，この内室を上下２つの室に仕切
るダイヤフラムと，前記内室の上側の室を背圧室とし、
下側の室を圧力室としてその圧力室の入口および出口に
それぞれ連通されたガス供給流路及びガス排出流路と，
前記圧力室に第１のばねにより前記ダイヤフラム側に弁
体を付勢してその弁体の入口部より出口部へ通じる流通
孔を前記背圧室の圧力に応じて調節可能に設けられた弁
調節機構と，前記背圧室にそのダイヤフラムを前記圧力
室側に押圧するように設けられた前記第１のばねより大
きいばね圧を有する第２のばねと，前記ガス排出流路と
前記背圧室の出入口との間に絞りを介して連通された背
圧流路から構成される減圧弁と、前記背圧流路の絞り側に配置された第１の供給用電磁弁
と、前記第１の供給用電磁弁と前記絞りとの間の背圧流路に
一端が連通され、かつ他端が大気に開放された流路に配
置された第２の排出用電磁弁と、前記減圧弁の２次側圧力を検出する圧力センサと、前記圧力センサの検出値と予め設定された基準の設定値
を比較しその比較結果に基づき前記第１及び第２の電磁
弁を開閉制御して前記減圧弁の２次側圧力を一定に保つ
制御手段とを備え、前記減圧弁は、その２次側圧力をＰ_O，背圧室の圧力を
Ｐ_N，第１のばねのばね圧をｋ，第２のばねのばね圧を
Ｋ（但しＫ＞ｋ）とし、平衡状態にあるときＰ_N＋Ｋ＝Ｐ_O＋ｋの式を満たすようにしたことを特徴とする減圧弁調整装
置。