JPH0523512B2 - - Google Patents

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JPH0523512B2
JPH0523512B2 JP61199364A JP19936486A JPH0523512B2 JP H0523512 B2 JPH0523512 B2 JP H0523512B2 JP 61199364 A JP61199364 A JP 61199364A JP 19936486 A JP19936486 A JP 19936486A JP H0523512 B2 JPH0523512 B2 JP H0523512B2
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Yokogawa Electric Corp
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    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
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Description

【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本発明は、半導体レーザの波長を原子や分子の
吸収線に制御して安定化する半導体レーザ波長安
定化装置の構造の改善に関する。
《従来の技術》 第4図は本出願人により出願済みの半導体レー
ザ波長安定化装置の先行技術(特願昭61−11894
号明細書)を示す構成ブロツク図である。LD1
は半導体レーザ、PE1はこの半導体レーザLD1
を冷却または加熱するペルチエ素子、TS1は前
記半導体レーザの温度を測定する温度センサ、
CT1はこの温度センサの測定値に基づき前記ペ
ルチエ素子PE1を駆動して前記半導体レーザLD
1の温度を一定に制御する温度制御手段、TB1
はこれらを格納して温度を安定させる恒温槽、
BS1は前記半導体レーザLD1の出力光を2方向
に分離するビームスプリツタ、UM1はこのビー
ムスプリツタBS1の一方の出射光を入射し変調
手段を構成する音響光学変調器、CL1はこの音
響光学変調器UM1の回折光出力を入射し特定の
波長の光を吸収する標準物質(ここではCS)を封
入した吸収セル、PD1はこの吸収セルCL1の透
過光を入射するフオトダイオード等の光検出器、
A1はこの光検出器PD1の出力電気信号を入力
する増幅器、LA1はこの増幅器A1の電気出力
を入力するロツクインアンプ、CT2はこのロツ
クインアンプLA1の出力を入力し前記半導体レ
ーザLD1の電流を制御する制御手段を構成する
PIDコントローラ、SW1は前記音響光学変調器
UM1にその一端が接続するスイツチ、SG1は
その出力で前記スイツチSW1が周波数m(例え
ば2kHz)でオンオフする信号発生器、SG2は前
記スイツチSW1の他端に接続する周波数D(例え
ば80MHz)の第2の信号発生器である。
上記のような構成の半導体レーザ波長安定化装
置の動作を以下に説明する。半導体レーザLD1
は恒温槽TB1内で温度センサTS1からの検出
信号を入力する制御手段CT1によりペルチエ素
子PE1を介して一定温度に制御されている。半
導体レーザLD1の出力光はビームスプリツタBS
1で2方向に分離され、反射光は外部への出力光
となり透過光は音響光学変調器UM1に入射す
る。スイツチSW1がオンの時音響光学変調器
UM1は信号発生器SG2の周波数Dの出力で駆
動されるので、周波数ν0の入射光の大部分は回折
して周波数(ドツプラ)シフトを受け、1次回折
光として周波数ν0+Dの光が吸収セルCL1に入
射する。スイツチSW1がオフのときは入射光は
全て0次回折光として周波数ν0で吸収セルCL1
に入射するスイツチSW1は信号発生器SG1の周
波数mのクロツクで駆動されるので、吸収セル
CL1に入射する光は変調周波数m、変調深さD
の周波数変調を受けることになる。吸収セルCL
1に音響光学変調器UM1で変調された光が入射
すると、第5図の動作説明図に示すようにCS原子
の吸収信号の箇所でのみ透過光量が変調を受けて
出力に信号が現れる。この信号を光検出器PD1
で電気信号に変換し増幅器A1を介してロツクイ
ンアンプA1において周波数mで同期整流すれ
ば、第6図の周波数特性曲線図に示すような1次
微分波形が得られる。PIDコントローラCT2に
より半導体レーザLD1の電流を制御して、ロツ
クインアンプLA1の出力を前記1次微分波形の
中心にロツク(制御)すれば半導体レーザの出力
光はνS−D/2の安定な周波数となる。
このような構成の半導体レーザ波長安定化装置
によれば、レーザの発振周波数が変調されていな
いので、瞬時的にも非常に安定な光源となる。
また音響光学変調器UM1の回折効率が変化し
ても、変調に寄与しない光の成分(0次回折光)
が増えて信号強度が下がるのみで、中心波長には
影響しない。
《発明が解決しようとする問題点》 しかしながら、上記のような構成の半導体レー
ザ波長安定化装置では、ビームスプリツタやレン
ズ等を使用し空間伝搬で光の回路を構成している
ので、光学系の位置合せが必要となり、また吸収
セルの入射端や出射端での戻り光や反射光との干
渉等が問題であつた。
本発明はこのような問題点を解決するためにな
されたもので、調整が簡単で小型の半導体レーザ
波長安定化装置を実現することを目的とする。
《問題点を解決するための手段》 本発明は標準物質の吸収スペクトル線に半導体
レーザの波長を制御して波長を安定化する半導体
レーザ波長安定化装置に係るもので、その特徴と
するところは、半導体レーザの出力光の一部を入
射して周波数変調する音響光学変調器と、特定の
波長で吸収を起こす標準物質を封入しこの標準物
質内を通過するように設けられた光フアイバコア
に前記音響光学変調器の出力光を入射する吸収セ
ルと、この吸収セルの前記光フアイバコア部で生
じたエバネツセント波部分の電界が周囲の前記標
準物質と相互作用して特定の波長において吸収が
生じることによりその吸収分が除かれた前記吸収
セルの透過光を電気信号に変換する光検出器と、
この光検出器の出力電気信号に関連する電気信号
を入力して前記変調手段の変調周波数またはその
整数倍の周波数で同期整流するロツクインアンプ
と、このロツクインアンプの出力が一定値となる
ように前記半導体レーザの電流または温度を制御
する制御手段とを備えた点にある。
《実施例》 以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す構成ブロツク
図である。第4図と同じ部分は同一の記号を付し
て説明を省略する。FB1は半導体レーザLD1の
出力光を入射するシングルモードの光フアイバ、
CP1はこの光フアイバFB1の出力光を入力する
フアイバカプラ、FB2はこのフアイバカプラCP
1の一方の出力光を入射するシングルモードの光
フアイバ、FB3は前記フアイバカプラCP1の他
の出力光を入射するシングルモードの光フアイ
バ、UM2はこの光フアイバFB3の出力光を入
力する導波路型の音響光学変調器、FB4はこの
音響光学変調器UM2の出力光を入射して光検出
器PD1に出射するシングルモードの光フアイバ、
CL2は特定の波長の光を吸収する標準物質(こ
こではCS)を封入しその中を前記光フアイバFB
4が通る吸収セル、aは前記光フアイバFB4の
クラツド部を取り除いてコア部のみとした部分で
ある。
上記のような構成の半導体レーザ波長安定化装
置の動作を以下に説明する。温度制御された半導
体レーザLD1の出力光は光フアイバFB1を介し
て伝搬しフアイバカプラCP1で2方向に分岐し、
一方の出力は外部への出力光となり他方の出力は
光フアイバFB3を介して導波路型音響光学変調
器UM2に入射する。従来例と同様にして音響光
学変調器UM2で変調された光は、光フアイバ
FB4を伝搬して吸収セルCL2内を通過する。第
2図に示すように、吸収セルCL2内では光フア
イバFB4のコア部aの外側に伝搬光がしみ出し
た部分すなわちエバネツセント波を生じ、この部
分の電界が周囲のCSガスと相互作用して、特定の
波長において吸収が生じる。なお、エバネツセン
ト波はしみ出したまま伝搬していくので、吸収セ
ルCL2内に散乱して何処かへ行くことはなく、
吸収がなければ全て光フアイバFB4を介して光
検出器PD1に入射する。つまり、吸収が生じる
と吸収された分が減少し、残りは全て光フアイバ
FB4を介して光検出器PD1に入射する。したが
つて、光フアイバFB4の出力を光検出器でPD1
で検出すれば、吸収信号が得られ、従来例の場合
と同様にしてロツクインアンプLA1等を介して
半導体レーザLD1に帰還すれば、吸収の中心付
近に半導体レーザの発振周波数を制御できる。
このような構成の半導体レーザ波長安定化装置
によれば、第4図の従来例と同様の長所を有する
外に、光学系がすべて光フアイバで構成できるの
で、位置合せが不要で調整が簡単となり、かつ小
型化できる。
なお上記の実施例で吸収セルCL2内を通る光
フアイバFB4としてシングルモードフアイバを
用いているが、これに限らず、マルチモードフア
イバでもよい。
また変調手段として用いている音響光学変調器
UM2は周波数変調がかかればどのような変調器
でもよく、例えば電気光学素子を用いた位相変調
器を用いてもよい。これには例えば縦型変調器、
横型変調器、進行波形変調器などがある
(Amnon Yarif:光エレクトロニクスの基礎(丸
善)、p247〜p253)。また音響光学変調器で外部
変調せずに半導体レーザの注入電流を変調しても
よい。
また上記実施例ではロツクインアンプLA1の
参照周波数として変調波数mを用いたがその整
数倍の周波数としてもよい。
また吸収セルCL2の標準物質としては、CSの
ほかに例えばRb,NH3,H2Oなどを用いてもよ
い。
また上記の実施例では制御手段の出力で半導体
レーザの電流を制御しているが、これに限らず半
導体レーザの温度を制御してもよい。
またスイツチSW1の代りに乗算器を用いて音
響光学変調器の励振周波数を変調してもよい。
第3図は本発明の第2の実施例で飽和吸収法
(参考;堀、角田、北野、藪崎、小川:飽和吸収
分光を用いた半導体レーザの周波数安定化、信学
技報OQE82−116)を用いた半導体レーザ波長安
定化装置を示す要部構成ブロツク図である。第3
図は第1図の1の部分を変形したもので、FB5
は音響光学変調器UM2の出力光を伝搬するシン
グルモードの光フアイバ、CP2はこの光フアイ
バFB5がその一端に接続するフアイバカプラ、
FB6はこのフアイバカプラCP2の他端に接続す
る単一モードの光フアイバ、bは吸収セルCL2
内で前記光フアイバFB6のクラツド部を取り除
いてコア部のみとした部分、2は前記FB6のハ
ーフミラー・コーテイングされた端面、PD2は
この端面2の透過光を検出する第1の光検出器、
PD3は光フアイバFB6の端面2からの反射光を
フアイバカプラCP2を介して検出する第2の光
検出器、A2は光検出器PD2,PD3の電気出力
を入力しロツクインアンプLA1に出力する差動
増幅器である。
音響光学変調器UM2の出力光は光フアイバ
FB5を介してフアイバカプラCP2に入射し、光
フアイバFB6を伝搬してコア部分bの外側に生
じたエバネツセント波がポンプ光として付近の標
準物質(例えばCS)の光吸収を飽和させる。光フ
アイバFB6を伝搬した光の大部分(例えば90%)
は端面2を介して光検出器PD2に入射するが、
一部(例えば10%)が端面2で反射して光フアイ
バFB6を逆向きに伝搬し、そのエバネツセント
波が前記ポンプ光と重量するプローブ光として吸
収を行う。このプローブ光はフアイバカプラCP
2により光フアイバFB7に導かれ、光検出器PD
3に入射する。光検出器PD2,PD3の出力は差
動増幅器A2において引算されてドツプラ広がり
による吸収信号が消去され、鋭い吸収スペクトル
を有する飽和吸収信号としてロツクインアンプに
出力される。第1図と同様な帰還ループにより、
半導体レーザLD1の発振周波数を飽和吸収スペ
クトルのピークに第1図装置の場合より高安定度
で制御することができる。
なお上記の実施例で端面2にハーフミラー・コ
ーテイングをしているが、これに限らず、例えば
光フアイバFB6の中間にハーフミラーを挿入し
てもよい。
《発明の効果》 以上述べたように本発明によれば、光学系の位
置合せが不要で調整が簡単かつ小型の半導体レー
ザ波長安定化装置を簡単な構成で実現することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る半導体レーザ波長安定化
装置の一実施例を示す構成ブロツク図、第2図は
第1図装置の動作を説明するための説明図、第3
図は本発明に係る半導体レーザ波長安定化装置の
他の実施例を示す構成ブロツク図、第4図は従来
の半導体レーザ波長安定化装置を示す構成ブロツ
ク図、第5図は第4図装置の動作を説明するため
の動作説明図、第6図は第4図装置の動作を説明
するための特性曲線図である。 LD1……半導体レーザ、FB4,FB6……光
フアイバ、UM2……変調手段、CL2……吸収
セル、PD1,PD2,PD3……光検出器、LA1
……ロツクインアンプ、CT2……制御手段、a,
b……光フアイバコア。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 標準物質の吸収スペクトル線に半導体レーザ
    の波長を制御して波長を安定化する半導体レーザ
    波長安定化装置において、 前記半導体レーザの出力光の一部を入射して周
    波数変調する音響光学変調器と、特定の波長で吸
    収を起こす標準物質を封入しこの標準物質内を通
    過するように設けられた光フアイバコアに前記音
    響光学変調器の出力光を入射する吸収セルと、こ
    の吸収セルの前記光フアイバコア部で生じたエバ
    ネツセント波部分の電界が周囲の前記標準物質と
    相互作用して特定の波長において吸収が生じるこ
    とによりその吸収分が除かれた前記吸収セルの透
    過光を電気信号に変換する光検出器と、この光検
    出器の出力電気信号に関連する電気信号を入力し
    て前記変調手段の変調周波数またはその整数倍の
    周波数で同期整流するロツクインアンプと、この
    ロツクインアンプの出力が一定値となるように前
    記半導体レーザの電流または温度を制御する制御
    手段とを備えたことを特徴とする半導体レーザ波
    長安定化装置。 2 前記標準物質としてRbまたはCSを用いた特
    許請求の範囲第1項記載の半導体レーザ波長安定
    化装置。
JP61199364A 1985-12-20 1986-08-26 半導体レ−ザ波長安定化装置 Granted JPS6355991A (ja)

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US06/943,670 US4856899A (en) 1985-12-20 1986-12-18 Optical frequency analyzer using a local oscillator heterodyne detection of incident light
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GB8630375A GB2185567B (en) 1985-12-20 1986-12-19 Optical frequency analyzer
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JPS6355991A JPS6355991A (ja) 1988-03-10
JPH0523512B2 true JPH0523512B2 (ja) 1993-04-02

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JPS6355991A (ja) 1988-03-10

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