JPH05237361A - 真空用バルブ - Google Patents
真空用バルブInfo
- Publication number
- JPH05237361A JPH05237361A JP7831092A JP7831092A JPH05237361A JP H05237361 A JPH05237361 A JP H05237361A JP 7831092 A JP7831092 A JP 7831092A JP 7831092 A JP7831092 A JP 7831092A JP H05237361 A JPH05237361 A JP H05237361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- valve body
- valve
- vacuum
- conductance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、初期排気時の気流の乱れを防止し
つつ初期排気から本排気までを行うことができる真空用
バルブを提供する。 【構成】 本発明の真空用バルブ１は、弁体５の弁座４
に対する位置の変化により排気コンダクタンスが変化す
る弁機構を、弁体駆動手段７により初期排気から本排気
に至るにしたがい小さな排気コンダクタンスから大きな
排気コンダクタンスとなるように開駆動するとともに、
制御手段８により弁体駆動手段７による弁体５の開速度
を制御する。この構成により、１個で初期排気時の気流
の乱れをおさえ、塵埃の発生を防止して、本排気までを
行うことが可能となる。
つつ初期排気から本排気までを行うことができる真空用
バルブを提供する。 【構成】 本発明の真空用バルブ１は、弁体５の弁座４
に対する位置の変化により排気コンダクタンスが変化す
る弁機構を、弁体駆動手段７により初期排気から本排気
に至るにしたがい小さな排気コンダクタンスから大きな
排気コンダクタンスとなるように開駆動するとともに、
制御手段８により弁体駆動手段７による弁体５の開速度
を制御する。この構成により、１個で初期排気時の気流
の乱れをおさえ、塵埃の発生を防止して、本排気までを
行うことが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空用バルブに関し、
より詳しくは、例えば、真空チャンバ排気用に用いら
れ、排気初期時の気流の乱れを防止できる真空用バルブ
に関する。
より詳しくは、例えば、真空チャンバ排気用に用いら
れ、排気初期時の気流の乱れを防止できる真空用バルブ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空チャンバの排気を行う場合に
おいては、真空チャンバの初期排気時に起こる気流の乱
れを防止するために、コンダクタンス（流力：真空系の
ある部分に対して流れる気流の量を圧力差で割ったも
の）の異なる２種類以上の真空用バルブを用いて以下の
順序で排気を行っていた。
おいては、真空チャンバの初期排気時に起こる気流の乱
れを防止するために、コンダクタンス（流力：真空系の
ある部分に対して流れる気流の量を圧力差で割ったも
の）の異なる２種類以上の真空用バルブを用いて以下の
順序で排気を行っていた。
【０００３】即ち、まず、コンダクタンスの小さい真空
用バルブを開けて真空チャンバ内をある一定の時間、又
は、真空チャンバ内の圧力が設定された圧力まで排気
し、次により大きなコンダクタンスの真空用バルブを開
けて続けて排気を行う。
用バルブを開けて真空チャンバ内をある一定の時間、又
は、真空チャンバ内の圧力が設定された圧力まで排気
し、次により大きなコンダクタンスの真空用バルブを開
けて続けて排気を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来は、上述したよう
に２種類以上のコンダクタンスの異なる真空用バルブを
真空チャンバに並列に取付けて、初期排気時はコンダク
タンスが小さい真空用バルブを開けてこの真空チャンバ
間の気流の乱れを防止していた。しかしながら、かかる
構成の場合、真空チャンバに２個以上の真空用バルブを
取付けなければならないので、配管及び排気シーケンス
が複雑になるという問題があった。
に２種類以上のコンダクタンスの異なる真空用バルブを
真空チャンバに並列に取付けて、初期排気時はコンダク
タンスが小さい真空用バルブを開けてこの真空チャンバ
間の気流の乱れを防止していた。しかしながら、かかる
構成の場合、真空チャンバに２個以上の真空用バルブを
取付けなければならないので、配管及び排気シーケンス
が複雑になるという問題があった。
【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、初期排気時の気流の乱れを防止しつつ初期排気
から本排気までを行うことができる真空用バルブを提供
することを目的とするものである。
であり、初期排気時の気流の乱れを防止しつつ初期排気
から本排気までを行うことができる真空用バルブを提供
することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の真空用バルブは、弁体の弁座に対する位置の
変化により排気コンダクタンスが変化する弁機構と、前
記弁体を初期排気から本排気に至るにしたがい小さな排
気コンダクタンスから大きな排気コンダクタンスとなる
ように開駆動する弁体駆動手段と、この弁体駆動手段に
よる弁体の開速度を制御する制御手段とを具備するもの
である。
め本発明の真空用バルブは、弁体の弁座に対する位置の
変化により排気コンダクタンスが変化する弁機構と、前
記弁体を初期排気から本排気に至るにしたがい小さな排
気コンダクタンスから大きな排気コンダクタンスとなる
ように開駆動する弁体駆動手段と、この弁体駆動手段に
よる弁体の開速度を制御する制御手段とを具備するもの
である。
【０００７】
【作用】本発明の真空用バルブは前記の構成により、例
えば、真空チャンバの排気を行う場合には、弁体駆動手
段は弁体を初期排気から本排気に至るにしたがい小さな
排気コンダクタンスから大きな排気コンダクタンスとな
るように開駆動する。このとき、制御手段は弁体駆動手
段による弁体の開速度を任意に制御する。このような動
作により、初期排気時の気流の乱れを抑え、塵埃の発生
を防止できる。
えば、真空チャンバの排気を行う場合には、弁体駆動手
段は弁体を初期排気から本排気に至るにしたがい小さな
排気コンダクタンスから大きな排気コンダクタンスとな
るように開駆動する。このとき、制御手段は弁体駆動手
段による弁体の開速度を任意に制御する。このような動
作により、初期排気時の気流の乱れを抑え、塵埃の発生
を防止できる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明の一実施例である真空用バル
ブを図面を用いて説明する。図１は本発明の一実施例で
ある真空用バルブの概略断面図、図２は本実施例である
真空用バルブの弁体が開く時間と弁体の開度との関係を
示すグラフである。
ブを図面を用いて説明する。図１は本発明の一実施例で
ある真空用バルブの概略断面図、図２は本実施例である
真空用バルブの弁体が開く時間と弁体の開度との関係を
示すグラフである。
【０００９】図１に示す真空用バルブ１は、Ｌ字状に屈
曲したバルブ本体１Ａと、このバルブ本体１Ａの真空チ
ャンバに連通する吸入口２と真空ポンプに連通する排気
口３との境界部に設けた下方に至るにしたがい小径とな
るテーパー状の弁座４と、この弁座４の形状に対応する
テーパー状で完全に弁座４と密着する弁体５と、この弁
体５からバルブ本体１Ａを貫いて上方の外に突設した弁
体軸６に連結され、弁体５を図１に示す矢印Ｘ方向に駆
動する弁体駆動手段７と、この弁体駆動手段７による弁
体５の開速度を制御する制御手段８とを具備している。
曲したバルブ本体１Ａと、このバルブ本体１Ａの真空チ
ャンバに連通する吸入口２と真空ポンプに連通する排気
口３との境界部に設けた下方に至るにしたがい小径とな
るテーパー状の弁座４と、この弁座４の形状に対応する
テーパー状で完全に弁座４と密着する弁体５と、この弁
体５からバルブ本体１Ａを貫いて上方の外に突設した弁
体軸６に連結され、弁体５を図１に示す矢印Ｘ方向に駆
動する弁体駆動手段７と、この弁体駆動手段７による弁
体５の開速度を制御する制御手段８とを具備している。
【００１０】弁座４、弁体５の形状を各々テーパー状と
することにより、弁体５の弁座４に対する位置の変化に
より排気コンダクタンスが変化する。また、弁体駆動手
段７は弁体５を初期排気から本排気に至るにしたがい小
さな排気コンダクタンスから大きな排気コンダクタンス
となるように開駆動する。制御手段８は、弁体駆動手段
７による弁体５の開速度を、図２に示すように、弁体５
の開度が０％から１００％になる時間が最小のＴ1 から
最大のＴ2 の範囲内で任意に制御する。尚、図１中、９
は弁体軸６のシール部である。
することにより、弁体５の弁座４に対する位置の変化に
より排気コンダクタンスが変化する。また、弁体駆動手
段７は弁体５を初期排気から本排気に至るにしたがい小
さな排気コンダクタンスから大きな排気コンダクタンス
となるように開駆動する。制御手段８は、弁体駆動手段
７による弁体５の開速度を、図２に示すように、弁体５
の開度が０％から１００％になる時間が最小のＴ1 から
最大のＴ2 の範囲内で任意に制御する。尚、図１中、９
は弁体軸６のシール部である。
【００１１】次に、上述した構成の真空用バルブ１の動
作を説明する。この真空用バルブ１により、例えば、真
空チャンバの排気を行う場合には、弁体駆動手段７が弁
体５を初期排気から本排気に至るにしたがい小さな排気
コンダクタンスから大きな排気コンダクタンスとなるよ
うに、図１における上方向に開駆動する。これにより、
弁体５が図の上方向へ移動して弁座４から離れ、真空チ
ャンバ側の大気が真空ポンプ（不図示）側へと流れる。
この場合、弁座４と弁体５とが徐々に離れるため、初期
排気時の排気コンダクタンスが小さく気流は層流とな
り、真空チャンバ内の気流の乱れもなく排気される。
作を説明する。この真空用バルブ１により、例えば、真
空チャンバの排気を行う場合には、弁体駆動手段７が弁
体５を初期排気から本排気に至るにしたがい小さな排気
コンダクタンスから大きな排気コンダクタンスとなるよ
うに、図１における上方向に開駆動する。これにより、
弁体５が図の上方向へ移動して弁座４から離れ、真空チ
ャンバ側の大気が真空ポンプ（不図示）側へと流れる。
この場合、弁座４と弁体５とが徐々に離れるため、初期
排気時の排気コンダクタンスが小さく気流は層流とな
り、真空チャンバ内の気流の乱れもなく排気される。
【００１２】また、制御手段８は、弁体駆動手段７によ
る弁体５の開速度を、図２に示す最小のＴ1 から最大の
Ｔ2 の時間の範囲内で任意に制御する。このような動作
により、初期排気時の気流の乱れをおさえ、塵埃の発生
を防止しつつ真空チャンバの排気を行うことができる。
る弁体５の開速度を、図２に示す最小のＴ1 から最大の
Ｔ2 の時間の範囲内で任意に制御する。このような動作
により、初期排気時の気流の乱れをおさえ、塵埃の発生
を防止しつつ真空チャンバの排気を行うことができる。
【００１３】弁体５を開状態から閉状態にするときに
は、開くときの速度に関係なく一定の速度で弁体５を閉
駆動すればよい。
は、開くときの速度に関係なく一定の速度で弁体５を閉
駆動すればよい。
【００１４】本発明は、上述した実施例に限定されるも
のではなく、その要旨の範囲内で種々の変形が可能であ
る。
のではなく、その要旨の範囲内で種々の変形が可能であ
る。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、弁
体の弁座に対する位置の変化により排気コンダクタンス
が変化する弁機構と、弁体を初期排気から本排気に至る
にしたがい小さな排気コンダクタンスから大きな排気コ
ンダクタンスとなるように開駆動する弁体駆動手段と、
この弁体駆動手段による弁体の開速度を制御する制御手
段とを備えたことにより、１個で初期排気時の気流の乱
れを防止しつつ本排気まで行うことが可能な真空用バル
ブを提供することができる。
体の弁座に対する位置の変化により排気コンダクタンス
が変化する弁機構と、弁体を初期排気から本排気に至る
にしたがい小さな排気コンダクタンスから大きな排気コ
ンダクタンスとなるように開駆動する弁体駆動手段と、
この弁体駆動手段による弁体の開速度を制御する制御手
段とを備えたことにより、１個で初期排気時の気流の乱
れを防止しつつ本排気まで行うことが可能な真空用バル
ブを提供することができる。
【図１】本発明の一実施例である真空用バルブの概略断
面図である。
面図である。
【図２】本実施例の弁体の開く時間と弁体の開度との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
１ 真空用バルブ １Ａ バルブ本体 ４ 弁座 ５ 弁体 ７ 弁体駆動手段 ８ 制御手段
Claims (1)
- 【請求項１】 弁体の弁座に対する位置の変化により排
気コンダクタンスが変化する弁機構と、前記弁体を初期
排気から本排気に至るにしたがい小さな排気コンダクタ
ンスから大きな排気コンダクタンスとなるように開駆動
する弁体駆動手段と、この弁体駆動手段による弁体の開
速度を制御する制御手段とを具備することを特徴とする
真空用バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7831092A JPH05237361A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 真空用バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7831092A JPH05237361A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 真空用バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05237361A true JPH05237361A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=13658362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7831092A Withdrawn JPH05237361A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 真空用バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05237361A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001082632A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-03-30 | Ckd Corp | 真空比例開閉弁 |
| JP2006234085A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Toshihiko Takazoe | 真空バルブ |
| JP2020065019A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP7831092A patent/JPH05237361A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001082632A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-03-30 | Ckd Corp | 真空比例開閉弁 |
| JP2006234085A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Toshihiko Takazoe | 真空バルブ |
| JP2020065019A (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |