JPH05240579A - 窒素製造方法 - Google Patents
窒素製造方法Info
- Publication number
- JPH05240579A JPH05240579A JP4043787A JP4378792A JPH05240579A JP H05240579 A JPH05240579 A JP H05240579A JP 4043787 A JP4043787 A JP 4043787A JP 4378792 A JP4378792 A JP 4378792A JP H05240579 A JPH05240579 A JP H05240579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen
- gas
- rectification section
- pressure rectification
- rich
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 86
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 86
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 78
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 44
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 9
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 5
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005255 carburizing Methods 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005194 fractionation Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04406—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air using a dual pressure main column system
- F25J3/0443—A main column system not otherwise provided, e.g. a modified double column flowsheet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04151—Purification and (pre-)cooling of the feed air; recuperative heat-exchange with product streams
- F25J3/04187—Cooling of the purified feed air by recuperative heat-exchange; Heat-exchange with product streams
- F25J3/04218—Parallel arrangement of the main heat exchange line in cores having different functions, e.g. in low pressure and high pressure cores
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04151—Purification and (pre-)cooling of the feed air; recuperative heat-exchange with product streams
- F25J3/04187—Cooling of the purified feed air by recuperative heat-exchange; Heat-exchange with product streams
- F25J3/04236—Integration of different exchangers in a single core, so-called integrated cores
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04248—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
- F25J3/04254—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using the cold stored in external cryogenic fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04248—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
- F25J3/04284—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using internal refrigeration by open-loop gas work expansion, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/02—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream
- F25J3/04—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification by rectification, i.e. by continuous interchange of heat and material between a vapour stream and a liquid stream for air
- F25J3/04248—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion
- F25J3/04333—Generation of cold for compensating heat leaks or liquid production, e.g. by Joule-Thompson expansion using quasi-closed loop internal vapor compression refrigeration cycles, e.g. of intermediate or oxygen enriched (waste-)streams
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
- F25J2210/04—Mixing or blending of fluids with the feed stream
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
- F25J2210/42—Nitrogen
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2230/00—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams
- F25J2230/52—Processes or apparatus involving steps for increasing the pressure of gaseous process streams the fluid being oxygen enriched compared to air, e.g. "crude oxygen"
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2245/00—Processes or apparatus involving steps for recycling of process streams
- F25J2245/02—Recycle of a stream in general, e.g. a by-pass stream
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 窒素製造装置のリサイクルガスの圧縮に、高
価な酸素仕様の圧縮機を用いなくてもよいようにする。 【構成】 中圧精留部（Ａ）における原料圧縮空気の精
留によって製品窒素ガスは製造される（Ｐ５）。前記精
留により精留部（Ａ）の下方に貯留された酸素リッチ液
体は膨張後、低圧精留部（Ｂ）の上方（８）に還流液と
して供給し、ここでの精留によって精留部（Ｂ）の下方
（６）にさらに濃縮された酸素リッチ液体を分離し、こ
れを凝縮器（７）の寒冷源とするとともに、精留部
（Ｂ）の上方（８）に分離された空気と同じ又は空気よ
り酸素含有量の少い混合ガスを分離して、この低酸素混
合ガスをリサイクルガスとして用いれば、その圧縮に一
般の空気圧縮機を使用できる。
価な酸素仕様の圧縮機を用いなくてもよいようにする。 【構成】 中圧精留部（Ａ）における原料圧縮空気の精
留によって製品窒素ガスは製造される（Ｐ５）。前記精
留により精留部（Ａ）の下方に貯留された酸素リッチ液
体は膨張後、低圧精留部（Ｂ）の上方（８）に還流液と
して供給し、ここでの精留によって精留部（Ｂ）の下方
（６）にさらに濃縮された酸素リッチ液体を分離し、こ
れを凝縮器（７）の寒冷源とするとともに、精留部
（Ｂ）の上方（８）に分離された空気と同じ又は空気よ
り酸素含有量の少い混合ガスを分離して、この低酸素混
合ガスをリサイクルガスとして用いれば、その圧縮に一
般の空気圧縮機を使用できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧縮空気を原料とし
て、精留塔内での精留により製品窒素ガスを製造する方
法に関する。
て、精留塔内での精留により製品窒素ガスを製造する方
法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の精留塔による窒素ガス製造方法
としては、単式精留塔の塔頂から取り出された窒素ガス
を主熱交換器の寒冷源として使用した後、常温まで加温
された窒素ガスを、原料空気とほぼ同圧の製品窒素ガス
として得る方法が知られている（例えば特公昭５４−３
９８３０号公報）。
としては、単式精留塔の塔頂から取り出された窒素ガス
を主熱交換器の寒冷源として使用した後、常温まで加温
された窒素ガスを、原料空気とほぼ同圧の製品窒素ガス
として得る方法が知られている（例えば特公昭５４−３
９８３０号公報）。
【０００３】このような従来方法においては、主熱交換
器で液化温度付近まで冷却された原料圧縮空気は、頂部
に凝縮器を備えた単式精留塔の下部に導入され、この精
留塔内での精留により、空気より酸素に富む液体空気
（以下、酸素リッチ液体という。）を塔底に、製品であ
る高純度窒素ガスを塔頂に分離する。
器で液化温度付近まで冷却された原料圧縮空気は、頂部
に凝縮器を備えた単式精留塔の下部に導入され、この精
留塔内での精留により、空気より酸素に富む液体空気
（以下、酸素リッチ液体という。）を塔底に、製品であ
る高純度窒素ガスを塔頂に分離する。
【０００４】塔底の液溜め部に溜められた酸素リッチ液
体は、管路によって取り出され、膨張された後に塔頂部
の凝縮器に寒冷源として導入され、精留塔を上昇して凝
縮器の凝縮管内に到着した窒素ガスの一部を液化して還
流液とする。この熱交換によって酸素リッチ液体は気化
されて低温の酸素リッチガスとなって取り出され、主熱
交換器において圧縮原料空気を冷却した後、常温の廃ガ
スとして大気中に放出されていた。
体は、管路によって取り出され、膨張された後に塔頂部
の凝縮器に寒冷源として導入され、精留塔を上昇して凝
縮器の凝縮管内に到着した窒素ガスの一部を液化して還
流液とする。この熱交換によって酸素リッチ液体は気化
されて低温の酸素リッチガスとなって取り出され、主熱
交換器において圧縮原料空気を冷却した後、常温の廃ガ
スとして大気中に放出されていた。
【０００５】そこで本出願人は、大気中に廃棄されてい
た酸素リッチガスをさらに有効に利用するために、常温
まで加温された酸素リッチガスの少くとも一部を圧縮し
た後に原料圧縮空気と合流させて、主熱交換器に送入し
て冷却した後、精留塔の底部に導入するとともに、全低
温工程中のいずれかにおいて寒冷を別途に補給する窒素
ガス製造方法を先に提案した（特願平２−３１６２８９
号）。しかしながらこの方法では、酸素リッチガス（酸
素含有量４０〜５０％程度）をリサイクルガスとして圧
縮しなければならないので、酸素仕様の圧縮機を必要と
し、その価格が高価であるという問題点があった。
た酸素リッチガスをさらに有効に利用するために、常温
まで加温された酸素リッチガスの少くとも一部を圧縮し
た後に原料圧縮空気と合流させて、主熱交換器に送入し
て冷却した後、精留塔の底部に導入するとともに、全低
温工程中のいずれかにおいて寒冷を別途に補給する窒素
ガス製造方法を先に提案した（特願平２−３１６２８９
号）。しかしながらこの方法では、酸素リッチガス（酸
素含有量４０〜５０％程度）をリサイクルガスとして圧
縮しなければならないので、酸素仕様の圧縮機を必要と
し、その価格が高価であるという問題点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決するためリサイクルガス用に酸素仕様の高価な
圧縮機を使用することなく、通常の空気圧縮機を使用で
き、したがって設備費を低減することのできる窒素ガス
製造方法を提供することを目的としている。
点を解決するためリサイクルガス用に酸素仕様の高価な
圧縮機を使用することなく、通常の空気圧縮機を使用で
き、したがって設備費を低減することのできる窒素ガス
製造方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため本発明の方法
は、液化温度付近まで冷却された原料圧縮空気を精留塔
の中圧精留部の下方に供給し、前記中圧精留部において
精留分離して中圧精留部の上方から製品窒素ガス、中圧
精留部の下方から酸素リッチ液体を取出す工程と、前記
取出した酸素リッチ液体を膨張後、低圧精留部の上方に
還流液として供給し精留しつつ流下させる工程と、前記
低圧精留部における精留によりさらに濃縮された酸素リ
ッチ液体を凝縮器の寒冷源として中圧精留部から送られ
る窒素ガスを液化させて中圧精留部に還流液として送る
とともに自らは気化されて濃縮酸素リッチガスとなる工
程と、前記濃縮酸素リッチガスを取出してその一部を低
圧精留部の下方に戻す工程と、前記濃縮酸素リッチガス
を低圧精留部において精留分離して低圧精留部の上方よ
り空気と同じ又は空気より酸素含有量の少い混合ガスと
して取出す工程を有することを特徴としている。
は、液化温度付近まで冷却された原料圧縮空気を精留塔
の中圧精留部の下方に供給し、前記中圧精留部において
精留分離して中圧精留部の上方から製品窒素ガス、中圧
精留部の下方から酸素リッチ液体を取出す工程と、前記
取出した酸素リッチ液体を膨張後、低圧精留部の上方に
還流液として供給し精留しつつ流下させる工程と、前記
低圧精留部における精留によりさらに濃縮された酸素リ
ッチ液体を凝縮器の寒冷源として中圧精留部から送られ
る窒素ガスを液化させて中圧精留部に還流液として送る
とともに自らは気化されて濃縮酸素リッチガスとなる工
程と、前記濃縮酸素リッチガスを取出してその一部を低
圧精留部の下方に戻す工程と、前記濃縮酸素リッチガス
を低圧精留部において精留分離して低圧精留部の上方よ
り空気と同じ又は空気より酸素含有量の少い混合ガスと
して取出す工程を有することを特徴としている。
【０００８】
【発明の作用】このような本発明の方法においては、窒
素製造方法であるにもかかわらず中圧精留部のほかに低
圧精留部を設け、膨張後の酸素リッチ液体をこの低圧精
留部で精留して、この酸素リッチ液体より低酸素濃度の
混合ガスを低圧精留部の上方に、酸素リッチ液体よりそ
の分だけさらに濃縮された酸素リッチ液体を低圧精留部
の下方に分離し、濃縮酸素リッチ液体は凝縮器の寒冷源
として使用された後に濃縮酸素リッチガスとして取出す
ことができる。
素製造方法であるにもかかわらず中圧精留部のほかに低
圧精留部を設け、膨張後の酸素リッチ液体をこの低圧精
留部で精留して、この酸素リッチ液体より低酸素濃度の
混合ガスを低圧精留部の上方に、酸素リッチ液体よりそ
の分だけさらに濃縮された酸素リッチ液体を低圧精留部
の下方に分離し、濃縮酸素リッチ液体は凝縮器の寒冷源
として使用された後に濃縮酸素リッチガスとして取出す
ことができる。
【０００９】すなわち従来の技術では、単式精留塔の底
部から取出されて膨張された酸素リッチ液体はそのまま
凝縮器の寒冷源として用いられ、自らは気化されて酸素
リッチガスとして排出されていたのが、低圧精留部を設
けることによって、従来の酸素リッチ液体よりさらに濃
縮された濃縮酸素リッチガスと酸素含有量のさらに少い
低酸素混合ガスの２種類のガスとして取出すことができ
るようになった。
部から取出されて膨張された酸素リッチ液体はそのまま
凝縮器の寒冷源として用いられ、自らは気化されて酸素
リッチガスとして排出されていたのが、低圧精留部を設
けることによって、従来の酸素リッチ液体よりさらに濃
縮された濃縮酸素リッチガスと酸素含有量のさらに少い
低酸素混合ガスの２種類のガスとして取出すことができ
るようになった。
【００１０】低圧精留部を構成する精留板の枚数は、精
留によって低圧精留部の上方空間に空気とほぼ同一か、
あるいは空気よりも酸素含有量の少い低酸素空気が製出
されるように定めればよい。以下、本発明の方法の二つ
の実施態様を例として示す図面に基いて説明する。
留によって低圧精留部の上方空間に空気とほぼ同一か、
あるいは空気よりも酸素含有量の少い低酸素空気が製出
されるように定めればよい。以下、本発明の方法の二つ
の実施態様を例として示す図面に基いて説明する。
【００１１】
【実施例】図１に示されたように、フィルタ（図示せ
ず）で除塵された原料空気ＧＡは、空気圧縮機１におい
て、製品窒素ガス圧力で空気分離装置の運転に必要な圧
力（例えば９．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ）まで圧縮された後、
管路Ｐ１を通って冷却・乾燥・除炭ユニット２に供給さ
れる。この冷却・乾燥・除炭ユニットでは切り替え使用
される２本のモレキュラーシーブ塔からなり、１本のモ
レキュラーシーブ塔では、供給された圧縮原料空気ＧＡ
中の水分、二酸化炭素の吸着除去が行われ、もう１本の
モレキュラーシーブ塔では、後述する主熱交換器３で加
温された濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷによるモレキュラー
シーブの再生が行われる。
ず）で除塵された原料空気ＧＡは、空気圧縮機１におい
て、製品窒素ガス圧力で空気分離装置の運転に必要な圧
力（例えば９．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ）まで圧縮された後、
管路Ｐ１を通って冷却・乾燥・除炭ユニット２に供給さ
れる。この冷却・乾燥・除炭ユニットでは切り替え使用
される２本のモレキュラーシーブ塔からなり、１本のモ
レキュラーシーブ塔では、供給された圧縮原料空気ＧＡ
中の水分、二酸化炭素の吸着除去が行われ、もう１本の
モレキュラーシーブ塔では、後述する主熱交換器３で加
温された濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷによるモレキュラー
シーブの再生が行われる。
【００１２】こうして精製された圧縮原料空気ＧＡは、
管路Ｐ２を経て主熱交換器３に送られ、ここで後記する
低温の窒素ガスＧＮ及び濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷとの
熱交換によって液化温度付近まで冷却された後、管路Ｐ
３を通って精留塔４の下部に供給される。一方、この精
留塔４の上部には、別途に補給される寒冷として液体窒
素ＬＮが管路Ｐ４から供給され、精留塔４の還流液の一
部を構成する。還流液は精留塔４の中圧精留部Ａ内を下
降し、精留塔４下部の液溜め部で気化されて中圧精留部
Ａ内を上昇する酸素リッチガスと向流接触し、酸素リッ
チガス中の酸素を液化して還流液中に取り込み、自らは
気化して酸素リッチガスの未液化部分（窒素ガスに富む
ガス）とともに塔内を上昇し、このようにして精留が行
われる。
管路Ｐ２を経て主熱交換器３に送られ、ここで後記する
低温の窒素ガスＧＮ及び濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷとの
熱交換によって液化温度付近まで冷却された後、管路Ｐ
３を通って精留塔４の下部に供給される。一方、この精
留塔４の上部には、別途に補給される寒冷として液体窒
素ＬＮが管路Ｐ４から供給され、精留塔４の還流液の一
部を構成する。還流液は精留塔４の中圧精留部Ａ内を下
降し、精留塔４下部の液溜め部で気化されて中圧精留部
Ａ内を上昇する酸素リッチガスと向流接触し、酸素リッ
チガス中の酸素を液化して還流液中に取り込み、自らは
気化して酸素リッチガスの未液化部分（窒素ガスに富む
ガス）とともに塔内を上昇し、このようにして精留が行
われる。
【００１３】中圧精留部Ａ内を上昇するガスは、こうし
て窒素含有量を順次多くし、最後に精留塔４上部に設け
られた凝縮器７に送られる。本発明の方法では凝縮器７
の上方に低圧精留部Ｂが設けられ、凝縮器７に送られた
純度の高い窒素ガスは、低圧精留部Ｂの上方８に還流液
として供給される後記の低温酸素リッチ液体ＬＷによっ
て最終冷却を受けて液化し、中圧精留部Ａ内に還流液と
して戻される。製品としての高純度窒素ガスＧＮは、前
記還流液が戻された位置のわずかに下方に開口する管路
Ｐ５によって取出され、主熱交換器３にその寒冷源とし
て送られ、ここで前記のように圧縮原料空気ＧＡを冷却
し、自らは常温まで加温されて、例えば９．０ｋｇ／ｃ
ｍ2 Ｇの製品窒素ガスとして管路Ｐ７から取り出され
る。
て窒素含有量を順次多くし、最後に精留塔４上部に設け
られた凝縮器７に送られる。本発明の方法では凝縮器７
の上方に低圧精留部Ｂが設けられ、凝縮器７に送られた
純度の高い窒素ガスは、低圧精留部Ｂの上方８に還流液
として供給される後記の低温酸素リッチ液体ＬＷによっ
て最終冷却を受けて液化し、中圧精留部Ａ内に還流液と
して戻される。製品としての高純度窒素ガスＧＮは、前
記還流液が戻された位置のわずかに下方に開口する管路
Ｐ５によって取出され、主熱交換器３にその寒冷源とし
て送られ、ここで前記のように圧縮原料空気ＧＡを冷却
し、自らは常温まで加温されて、例えば９．０ｋｇ／ｃ
ｍ2 Ｇの製品窒素ガスとして管路Ｐ７から取り出され
る。
【００１４】精留部Ａでの精留により分離され、精留塔
４底部の液溜め部に溜められた酸素リッチ液体ＬＷは管
路Ｐ６によって取り出され、膨張弁５によって例えば
３．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇまで膨張後、前記のように低圧精
留部Ｂの上方８に送られ、低圧精留部Ｂで精留されつつ
流下し、凝縮器７の寒冷源として利用され自らは気化さ
れる。前記の気化ガスはこの低圧精留部Ｂによって精留
され、低圧精留部Ｂの上方８には空気とほぼ同じ組成又
はさらに酸素含有量の少い混合ガスＧＭが、下方６には
さらに酸素が濃縮された酸素リッチ廃ガスＧＷが分離さ
れる。この濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷは、管路Ｐ８によ
って低圧精留部Ｂの下方６から取り出されて主熱交換器
３に送られ、前記窒素ガスＧＮとともに原料圧縮空気Ｇ
Ａを冷却し、自らは常温まで加温されて少くともその一
部は冷却・乾燥・除炭ユニット２のモレキュラーシーブ
の再生に使用され、管路Ｐ９から排出される。
４底部の液溜め部に溜められた酸素リッチ液体ＬＷは管
路Ｐ６によって取り出され、膨張弁５によって例えば
３．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇまで膨張後、前記のように低圧精
留部Ｂの上方８に送られ、低圧精留部Ｂで精留されつつ
流下し、凝縮器７の寒冷源として利用され自らは気化さ
れる。前記の気化ガスはこの低圧精留部Ｂによって精留
され、低圧精留部Ｂの上方８には空気とほぼ同じ組成又
はさらに酸素含有量の少い混合ガスＧＭが、下方６には
さらに酸素が濃縮された酸素リッチ廃ガスＧＷが分離さ
れる。この濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷは、管路Ｐ８によ
って低圧精留部Ｂの下方６から取り出されて主熱交換器
３に送られ、前記窒素ガスＧＮとともに原料圧縮空気Ｇ
Ａを冷却し、自らは常温まで加温されて少くともその一
部は冷却・乾燥・除炭ユニット２のモレキュラーシーブ
の再生に使用され、管路Ｐ９から排出される。
【００１５】低圧精留部Ｂの上方８に分離された低酸素
混合ガスＧＭはその頂部から管路Ｐ１０によって取り出
されて副熱交換器９に送られ、ここで後記の圧縮低酸素
混合ガスＧＭを冷却し、自らは加温されて副熱交換器９
から管路Ｐ１１を経て圧縮機１０に供給される。混合ガ
スＧＭは、この圧縮機１０によって精留塔４の運転圧
力、例えば９．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇまで圧縮されて、管路
Ｐ１２により前記のように副熱交換器９に送られ、液化
温度近くまで冷却された後、管路Ｐ１３を経て冷却原料
圧縮空気管路３に合流し、精留塔４の底部に供給され
る。
混合ガスＧＭはその頂部から管路Ｐ１０によって取り出
されて副熱交換器９に送られ、ここで後記の圧縮低酸素
混合ガスＧＭを冷却し、自らは加温されて副熱交換器９
から管路Ｐ１１を経て圧縮機１０に供給される。混合ガ
スＧＭは、この圧縮機１０によって精留塔４の運転圧
力、例えば９．５ｋｇ／ｃｍ2 Ｇまで圧縮されて、管路
Ｐ１２により前記のように副熱交換器９に送られ、液化
温度近くまで冷却された後、管路Ｐ１３を経て冷却原料
圧縮空気管路３に合流し、精留塔４の底部に供給され
る。
【００１６】このように本発明の方法によれば、従来方
法では少くともその一部をリサイクルガスとして圧縮機
にかけていた酸素リッチガスを、精留塔４の上部に位置
する凝縮器７の上方に複数枚の精留部Ｂを新たに設けて
精留することによって、空気とほぼ同一又はさらに酸素
含有量の少い低酸素混合ガスＧＭと、その分だけ酸素に
富んだ濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷとに分離することがで
きるので、圧縮機にかける必要があるリサイクルガスと
しては低酸素混合ガスを用い、濃縮酸素リッチ廃ガスは
圧縮することなく主熱交換器３の寒冷源として用いれ
ば、圧縮機１０を酸素仕様の特殊なものとせず、通常の
空気圧縮機とすることが可能となる。
法では少くともその一部をリサイクルガスとして圧縮機
にかけていた酸素リッチガスを、精留塔４の上部に位置
する凝縮器７の上方に複数枚の精留部Ｂを新たに設けて
精留することによって、空気とほぼ同一又はさらに酸素
含有量の少い低酸素混合ガスＧＭと、その分だけ酸素に
富んだ濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷとに分離することがで
きるので、圧縮機にかける必要があるリサイクルガスと
しては低酸素混合ガスを用い、濃縮酸素リッチ廃ガスは
圧縮することなく主熱交換器３の寒冷源として用いれ
ば、圧縮機１０を酸素仕様の特殊なものとせず、通常の
空気圧縮機とすることが可能となる。
【００１７】次に図２の実施態様を参照すると、低圧精
留部Ｂの下方６から取り出された濃縮酸素リッチ廃ガス
ＧＷは、図１の場合と同様に管路Ｐ８によって主熱交換
器３に寒冷源として供給されるが、この実施態様では、
濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷの少くとも一部は管路Ｐ１４
によって主熱交換器３の中間から取り出され、膨張ター
ビン１１で膨張された後、別途に補給される寒冷として
管路Ｐ１５を通って再び主熱交換器３に導入される。し
たがって図２の実施態様の場合、図１において示され
た、管路Ｐ４から精留塔４上部への液体窒素ＬＮの供給
は不要である。図３の実施態様は図１の実施態様の変形
であり、副熱交換器９に代えて主熱交換器３に、低酸素
混合ガスＧＭ用の通路が設けられている。したがって管
路Ｐ１０によって低圧精留部Ｂの上方８から取出された
低酸素混合ガスＧＭは熱交換器３に送られて、後記の圧
縮低酸素混合ガスＧＭが合流された原料圧縮空気ＧＡを
冷却し、自らは加温されて管路１１によって熱交換器３
を離れ、圧縮機１０によって精留塔４の運転圧力まで圧
縮されて、管路１２を経て管路Ｐ２の圧縮原料空気と合
流し、主熱交換器３に送られる。
留部Ｂの下方６から取り出された濃縮酸素リッチ廃ガス
ＧＷは、図１の場合と同様に管路Ｐ８によって主熱交換
器３に寒冷源として供給されるが、この実施態様では、
濃縮酸素リッチ廃ガスＧＷの少くとも一部は管路Ｐ１４
によって主熱交換器３の中間から取り出され、膨張ター
ビン１１で膨張された後、別途に補給される寒冷として
管路Ｐ１５を通って再び主熱交換器３に導入される。し
たがって図２の実施態様の場合、図１において示され
た、管路Ｐ４から精留塔４上部への液体窒素ＬＮの供給
は不要である。図３の実施態様は図１の実施態様の変形
であり、副熱交換器９に代えて主熱交換器３に、低酸素
混合ガスＧＭ用の通路が設けられている。したがって管
路Ｐ１０によって低圧精留部Ｂの上方８から取出された
低酸素混合ガスＧＭは熱交換器３に送られて、後記の圧
縮低酸素混合ガスＧＭが合流された原料圧縮空気ＧＡを
冷却し、自らは加温されて管路１１によって熱交換器３
を離れ、圧縮機１０によって精留塔４の運転圧力まで圧
縮されて、管路１２を経て管路Ｐ２の圧縮原料空気と合
流し、主熱交換器３に送られる。
【００１８】次に図４の実施態様は図２の実施態様の変
形であり、図３の実施態様と同様に副熱交換器９に代え
て主熱交換器３に、低酸素混合ガスＧＭ用の通路を設け
たものである。したがってこの実施態様における低酸素
混合ガスＧＭの流れは図３の場合と同様なので説明は省
略する。
形であり、図３の実施態様と同様に副熱交換器９に代え
て主熱交換器３に、低酸素混合ガスＧＭ用の通路を設け
たものである。したがってこの実施態様における低酸素
混合ガスＧＭの流れは図３の場合と同様なので説明は省
略する。
【００１９】図１ないし図４の実施態様では、中圧精留
部Ａ、低圧精留部Ｂ及び凝縮器７は、すべて精留塔４内
に設けられている。しかし製作の便宜上、図５に示すよ
うにこれらを別個に設けて、管路によって接続すること
もできる。
部Ａ、低圧精留部Ｂ及び凝縮器７は、すべて精留塔４内
に設けられている。しかし製作の便宜上、図５に示すよ
うにこれらを別個に設けて、管路によって接続すること
もできる。
【００２０】図５では、中圧精留部Ａの下方から管路Ｐ
６で取出された酸素リッチ液体ＬＷは、膨張弁５で膨張
後、低圧精留部Ｂの上方８に供給され、低圧精留部Ｂで
の精留により上方８に分離された低酸素混合ガスＧＭは
管路１０か取出され、下方６に分離された濃縮酸素リッ
チ液体は管路Ｐ１７により凝縮器７に送られ、中圧精留
部Ａの上方から管路１９を経て凝縮器７に入る窒素ガス
を液化して管路２０から中圧精留部Ａの還流液として戻
し、自らは気化されて管路８から取出されて一部は主熱
交換器へその寒冷源として送られ、残部は管路１８を経
て低圧精留部Ｂの下方６に戻されて精留にかけられるの
である。
６で取出された酸素リッチ液体ＬＷは、膨張弁５で膨張
後、低圧精留部Ｂの上方８に供給され、低圧精留部Ｂで
の精留により上方８に分離された低酸素混合ガスＧＭは
管路１０か取出され、下方６に分離された濃縮酸素リッ
チ液体は管路Ｐ１７により凝縮器７に送られ、中圧精留
部Ａの上方から管路１９を経て凝縮器７に入る窒素ガス
を液化して管路２０から中圧精留部Ａの還流液として戻
し、自らは気化されて管路８から取出されて一部は主熱
交換器へその寒冷源として送られ、残部は管路１８を経
て低圧精留部Ｂの下方６に戻されて精留にかけられるの
である。
【００２１】なお図２及び図４においては、酸素リッチ
廃ガスＧＷの全量を膨張させて主熱交換器３に戻してい
るので、管路Ｐ５によって取り出される窒素ガス以外
に、管路Ｐ１６によて液体窒素ＬＮも取り出すことがで
きる。
廃ガスＧＷの全量を膨張させて主熱交換器３に戻してい
るので、管路Ｐ５によって取り出される窒素ガス以外
に、管路Ｐ１６によて液体窒素ＬＮも取り出すことがで
きる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の方法は前記のような構成を有す
るので、凝縮器空間内で気化された酸素リッチガスを凝
縮器上方の低圧精留部で精留し、空気とほぼ同一又はさ
らに酸素含有量の少い低酸素混合ガスと、その分だけ酸
素が濃縮された酸素リッチ廃ガスとに分離できるので、
圧縮を必要とするリサイクルガスとしては低酸素混合ガ
スを用いることができる。したがってリサイクルガス圧
縮用の圧縮機として通常の空気圧縮機を用いることが可
能となり、従来方法で使用されていた酸素仕様の特殊な
圧縮機に比べて設備費を低減することができる。
るので、凝縮器空間内で気化された酸素リッチガスを凝
縮器上方の低圧精留部で精留し、空気とほぼ同一又はさ
らに酸素含有量の少い低酸素混合ガスと、その分だけ酸
素が濃縮された酸素リッチ廃ガスとに分離できるので、
圧縮を必要とするリサイクルガスとしては低酸素混合ガ
スを用いることができる。したがってリサイクルガス圧
縮用の圧縮機として通常の空気圧縮機を用いることが可
能となり、従来方法で使用されていた酸素仕様の特殊な
圧縮機に比べて設備費を低減することができる。
【図１】本発明の一実施態様を示すフローシート。
【図２】本発明の他の実施態様を示すフローシート。
【図３】図１の実施態様の一変形を示すフローシート。
【図４】図２の実施態様の一変形を示すフローシート。
【図５】図１又は図３の精留塔の一変形を示すフローシ
ート。
ート。
Ａ、Ｂ 精留部 １、１０ 空気圧縮機 ２ 冷却・乾燥・除炭ユニット ３ 主熱交換器 ４ 単式精留塔 ５ 膨張弁 ６ 精留部Ｂの下方 ７ 凝縮器 ８ 精留部Ｂの上方 ９ 副熱交換器 １１ 膨張タービン Ｐ１〜Ｐ２０ 管路
Claims (1)
- 【請求項１】 液化温度付近まで冷却された原料圧縮空
気を精留塔の中圧精留部（Ａ）の下方の供給し、前記中
圧精留部（Ａ）において精留分離して中圧精留部（Ａ）
の上方から製品窒素ガス、中圧精留部（Ａ）の下方から
酸素リッチ液体を取出す工程と、前記取出した酸素リッ
チ液体を膨張後、低圧精留部（Ｂ）の上方に還流液とし
て供給し精留しつつ流下させる工程と、前記低圧精留部
（Ｂ）における精留によりさらに濃縮された酸素リッチ
液体を凝縮器（７）の寒冷源として中圧精留部（Ａ）か
ら送られる窒素ガスを液化させて中圧精留部（Ａ）に還
流液として送るとともに自らは気化されて濃縮酸素リッ
チガスとなる工程と、前記濃縮酸素リッチガスを取出し
てその一部を低圧精留部（Ｂ）の下方に戻す工程と、前
記濃縮酸素リッチガスを低圧精留部（Ｂ）において精留
分離して低圧精留部（Ｂ）の上方（８）より空気と同じ
又は空気より酸素含有量の少い混合ガスとして取出す工
程を有する窒素製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043787A JP2810819B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 窒素製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043787A JP2810819B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 窒素製造方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240579A true JPH05240579A (ja) | 1993-09-17 |
| JP2810819B2 JP2810819B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=12673464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4043787A Expired - Lifetime JP2810819B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 窒素製造方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2810819B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2819046A1 (fr) * | 2001-01-03 | 2002-07-05 | Air Liquide | Procede et appareil de separation d'air par distillation cryogenique |
| JP2007003097A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Air Water Inc | 窒素発生方法およびそれに用いる装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62155486A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-10 | 株式会社日立製作所 | 空気分離方法 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043787A patent/JP2810819B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62155486A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-10 | 株式会社日立製作所 | 空気分離方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2819046A1 (fr) * | 2001-01-03 | 2002-07-05 | Air Liquide | Procede et appareil de separation d'air par distillation cryogenique |
| JP2007003097A (ja) * | 2005-06-23 | 2007-01-11 | Air Water Inc | 窒素発生方法およびそれに用いる装置 |
| US8549878B2 (en) | 2005-06-23 | 2013-10-08 | Air Water Inc. | Method of generating nitrogen and apparatus for use in the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2810819B2 (ja) | 1998-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10816263B2 (en) | System and method for high recovery of nitrogen and argon from a moderate pressure cryogenic air separation unit | |
| US6336345B1 (en) | Process and apparatus for low temperature fractionation of air | |
| US4254629A (en) | Cryogenic system for producing low-purity oxygen | |
| US4543115A (en) | Dual feed air pressure nitrogen generator cycle | |
| AU680472B2 (en) | Single column process and apparatus for producing oxygen at above atmospheric pressure | |
| JPH0719727A (ja) | 空気の分離 | |
| CN112041626A (zh) | 用于从产氮低温空气分离单元增强回收氩和氧的系统和方法 | |
| CN111989528A (zh) | 用于从产氮低温空气分离单元增强回收氩和氧的系统和方法 | |
| US4057407A (en) | Method and apparatus for recovering argon from an air fractionating process | |
| MXPA97008225A (en) | A cryogenic cycle of three columns for the production of impure oxygen and nitrogen p | |
| JP4308432B2 (ja) | デフレグメーターを用いた低温蒸留による窒素の製造方法および装置 | |
| US6351971B1 (en) | System and method for producing high purity argon | |
| AU666407B2 (en) | Cryogenic air separation process and apparatus | |
| JP3299069B2 (ja) | 空気低温分離装置及びその分離方法 | |
| AU660385B2 (en) | Process and apparatus for the production of oxygen under pressure | |
| US4530708A (en) | Air separation method and apparatus therefor | |
| JPH05240579A (ja) | 窒素製造方法 | |
| CA1280360C (en) | Air separation process with waste recycle for nitrogen and oxygen production | |
| JP2755953B2 (ja) | 窒素ガス製造方法 | |
| US5868006A (en) | Air separation method and apparatus for producing nitrogen | |
| JPH08296961A (ja) | 空気分離方法およびそれに用いる装置 | |
| US5711166A (en) | Air separation method and apparatus | |
| JP4150107B2 (ja) | 窒素製造方法及び装置 | |
| JP3082092B2 (ja) | 酸素の精製方法及び装置 | |
| JP2001336876A (ja) | 窒素製造方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070731 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080731 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080731 Year of fee payment: 10 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080731 Year of fee payment: 10 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090731 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090731 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100731 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100731 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110731 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110731 Year of fee payment: 13 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110731 Year of fee payment: 13 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 14 |