JPH05241248A - フィルム露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 パーフォレーションのないフィルムを送りロ
ーラによる摩擦駆動力で搬送するフィルム露光装置にお
いて、フィルムが送り方向に皺を発生しないようにする
ことである。 【構成】 照射部１と、照射部１からの光が照射される
位置に配置され、回路パターンが形成されたフォトマス
ク３と、投影レンズ４と、一対の送りローラ１０間にフ
ィルムを挟んで摩擦駆動するフィルム搬送機構とよりな
り、少なくとも、この送りローラ１０の一方は、搬送の
際には、フィルムの幅方向における両端部でフィルムと
圧接しており、この部分はフィルムと離れた際には外側
外径が内側外径より大きいテーパー上の弾性体であるこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、フィルムを摩擦駆動
力により搬送し、所定の位置に停止させるフィルム搬送
機構を具えた露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、フィルムのパターン露光装置で
は、パーフォレーションにスプロケットを差し込んでフ
ィルムを露光位置まで搬送し、その後、パーフォレーシ
ョンに複数のピンを差し込んで、正しい位置合わせを行
っていた。このフィルムの露光装置については、例え
ば、特開平２─３８３８７号などに書かれている。

【０００３】しかして、最近においては、技術の高度化
に伴って、露光されるフィルムの厚さが薄くなる傾向に
あり、厚さ７５〜１００μｍの従来のフィルムに代わっ
て、厚さ３０〜５０μｍのフィルムが対象となってい
る。このような薄いフィルムに対して、スプロケットに
よる搬送やピンの差し込みによる位置決めを行うこと
は、パーフォレーションの変形や破損を生じることにな
る。そして、確実な搬送ができなくなり、結果的に正確
な位置決めはできなくなる。また、パーフォレーション
の形成加工自体も煩雑になる。

【０００４】このようなことから、パーフォレーション
の形成されていないフィルムの搬送機構として、送りロ
ーラによる摩擦駆動力を利用する搬送機構が採用されて
いる。この方法による位置決めは、フィルムの１コマ毎
に設けられたアライメントホールを露光装置の検出部に
よって検出して、これに基づいて摩擦駆動を制御するこ
とにより行われる。従って、フィルムの搬送方向におけ
る位置合わせが正確になされる。通常、露光装置に使う
フィルムは、その表面に、幅方向における両端の数mmを
除き、レジストが塗られている。このため、送りローラ
がフィルムに接するのは、レジストが塗られていない両
端部分だけとなっている。

【０００５】従って、このような方式の摩擦駆動力を利
用する搬送機構では、機構精度に起因して、特にフィル
ムが薄い場合には、フィルムの送り方向に伸びる皺が発
生する可能性が大きくなる。そして、皺が発生したま
ま、回路パターンの露光を行うと、結果的には不良品と
なってしまう。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明が解決
しようとする課題は、パーフォレーションのないフィル
ムを送りローラによる摩擦駆動力で搬送する搬送機構に
おいて、フィルムが送り方向に皺を発生しないようにす
ることである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、その表面にレジストが塗布された帯状のフィルムに
対して、順次に回路パターンを露光していくフィルム露
光装置であって、照射部と、照射部からの光が照射され
る位置に配置され、回路パターンが形成されたフォトマ
スクと、フォトマスクの像を投影する投影レンズと、一
対の送りローラ間にフィルムを挟んで摩擦駆動するフィ
ルム搬送機構とよりなり、少なくとも、この送りローラ
の一方は、搬送の際には、フィルムの幅方向における両
端部でフィルムと圧接しており、この部分は、フィルム
と離れた際には外側外径が内側外径より大きいテーパー
状の弾性体であることを特徴とする。

【０００８】

【作用】このような構成により、フィルムを搬送すると
きに、送り方向に皺が発生することを防止できる。

【０００９】

【実施例】この発明を実施例を使って説明する。図１
は、この発明のフィルム搬送機構を示した説明図であ
る。そして、図１（ａ）は、説明上、２つのローラを離
してあり、同図（ｂ）は、２つのローラが、フィルムを
挟んでいる状態を示す。図２は、この発明のフィルム露
光装置を示す。１０、２０は送りローラ、Ｆはフィルム
をそれぞれ示す。送りローラ１０は、その表面が高摩擦
係数を有する硬質ゴム等よりなる。１３、２３は歯車を
示し、フィルム搬送の際、フィルムの表裏でローラとの
スリップを生じないように周速を一定にすることができ
る。送りローラ２０は、金属よりなる主軸２１に、両端
部のみ送りローラ１０の表面より軟らかいな弾性体２２
で構成される。

【００１０】前述のように、フィルムＦは表面にレジス
トが塗布されている。そして幅方向における両端部数mm
だけはレジストは塗布されていない。すなわち、このレ
ジストが塗布されていない部分において、送りローラ２
０の弾性体２２は、フィルムＦと接することになる。送
りローラ２０の弾性体２２は、テーパー状になってい
て、外側外径２２ａが内側外径２２ｂより大きくなって
いる。一例をあげれば、外側外径２２ａは３０mm、内側
外径２２ｂは２８mmである。

【００１１】しかして、この送りローラ２０によって、
フィルムＦを挟圧して、送りローラ１０、２０の回転に
よりフィルムを搬送する。この場合、外側外径２２ａに
よるフィルムＦを押えつける力は、内側内径２２ｂによ
りフィルムＦを押えつける力より大きくなる。フィルム
をローラで搬送する場合には、フィルムは押えつける圧
力が大きい方に横ずれする性質があるので、図中Ａで示
す方向、すなわち幅方向、に引っ張られながら搬送され
ることになる。このため、送り方向における皺は発生し
にくい。

【００１２】次に、フィルム露光装置を説明する。１は
照射部、２は照射部内に配置される超高圧水銀ランプ等
のランプ、３は回路パターン等が形成されたフォトマス
ク、４はフィルムの所定の露光位置Ｘに良好に回路パタ
ーンを転写するための投影レンズ、５は露光ステージを
それぞれ示す。そして、送りローラ１０と、送りローラ
２０と、送りローラを回転させる駆動モータ１１によっ
てフィルム搬送機構６が形成される。３０は補助ローラ
を示す。この装置において、フィルム搬送機構６によっ
て、フィルムＦの１コマが露光位置Ｘまで搬送される。
この時の搬送はフィルムＦの１コマ毎に設けられたアラ
イメントホールＡを、例えば露光ステージ５に設けたセ
ンサーによって検出して行う。そしてフィルムＦの１コ
マに回路パターンの露光が終わると、同じようにして、
次のフィルムＦの１コマを露光位置Ｘに設定する。

【００１３】尚、フィルム露光装置そのものは、公知で
あるので説明は省略するが、例えば以下のものに書かれ
ている。特開平３─２４２６５１号、特開平２─１００
０３６号、特願平２─３３０２７０号。しかして、この
ような露光装置に前述の送りローラ２０を使えば、フィ
ルムＦはその送り方向において皺を発生することなく、
搬送させることができる。なお、補助ローラ３０の位置
においても、送りローラ１０、２０と同じ構成をとると
縦皺防止はさらに有効でなる。さらに、この位置のロー
ラに送り方向に対してブレーキを生じさせ、送りローラ
１０、２０と同じ構成をとると、縦皺と共に横皺の発生
も防止できる。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明のフィル
ム露光装置によれば、パーフォレーションのないフィル
ムを送りローラによる摩擦駆動力で、送り方向に皺を発
生しないように搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のフィルム露光装置のフィルム搬送機
構の説明用の図である。

【図２】この発明のフィルム露光装置の説明用の図であ
る。

【符号の説明】

１ 照射部 ２ ランプ ３ フォトマスク ４ 投影レンズ １０ 送りローラ １１ 駆動モータ １３ 歯車 ２０ 送りローラ ２２ 弾性体 ２３ 歯車 ２２ａ 外側外径 ２２ｂ 内側外径

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】その表面にレジストが塗布された帯状のフ
   ィルムに対して、順次に回路パターンを露光していくフ
   ィルム露光装置であって、 照射部と、 照射部からの光が照射される位置に配置され、回路パタ
   ーンが形成されたフォトマスクと、 フォトマスクの像を投影する投影レンズと、 一対の送りローラ間にフィルムを挟んで摩擦駆動するフ
   ィルム搬送機構とよりなり、 少なくとも、この送りローラの一方は、搬送の際には、
   フィルムの幅方向における両端部でフィルムと圧接して
   おり、この部分はフィルムと離れた際には、外側外径が
   内側外径より大きいテーパー状の弾性体であることを特
   徴とするフィルム露光装置。