JPH05242555A - Magnetic head for magneto-optical disk and magneto-optical disk - Google Patents

Magnetic head for magneto-optical disk and magneto-optical disk

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Publication number
JPH05242555A
JPH05242555A JP7911392A JP7911392A JPH05242555A JP H05242555 A JPH05242555 A JP H05242555A JP 7911392 A JP7911392 A JP 7911392A JP 7911392 A JP7911392 A JP 7911392A JP H05242555 A JPH05242555 A JP H05242555A
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JP
Japan
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magneto
optical disk
slider
protective film
magnetic head
Prior art date
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Application number
JP7911392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kaoru Nakajima
薫 中島
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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Publication of JPH05242555A publication Critical patent/JPH05242555A/en
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 摺動記録方式において、光磁気ディスク用磁
気ヘッドの摺動子表面および光磁気ディスクの保護膜表
面の抵抗を1013Ω/□未満と低く抑える。 【効果】 摺動子−保護膜間の動摩擦係数が小さくな
り、さらには保護膜や摺動子のゴミの付着が防止され、
光磁気ディスクと磁気ヘッドの摺動性が良好なものとな
る。
(57) [Summary] [Structure] In the sliding recording method, the resistance of the slider surface of the magnetic head for the magneto-optical disk and the surface of the protective film of the magneto-optical disk is kept as low as less than 10 13 Ω / □. [Effect] The coefficient of dynamic friction between the slider and the protective film is reduced, and further, the adhesion of dust on the protective film and the slider is prevented,
The slidability between the magneto-optical disk and the magnetic head becomes good.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、摺動記録方式に採用し
て好適な光磁気ディスクおよび光磁気ディスク用磁気ヘ
ッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk suitable for a sliding recording system and a magnetic head for the magneto-optical disk.

【0002】[0002]

【従来の技術】光磁気記録方式は、磁性薄膜を部分的に
キュリー点または温度補償点を越えて昇温し、この部分
の保磁力を消滅させて外部から印加される記録磁界の方
向に磁化の向きを反転することを基本原理とするもの
で、光ファイルシステムやコンピュータの外部記憶装
置、あるいは音響、映像情報の記録装置等において実用
化されつつある。
2. Description of the Related Art In a magneto-optical recording system, a magnetic thin film is partially heated above a Curie point or a temperature compensation point to eliminate the coercive force of this portion and magnetize in the direction of a recording magnetic field applied from the outside. The basic principle is to reverse the direction of the above, and it is being put to practical use in an optical file system, an external storage device of a computer, a recording device of audio and video information, and the like.

【0003】この光磁気記録方式に用いられる光磁気デ
ィスクとしては、ポリカーボネート等からなる透明基板
の一主面に、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有し、且つ
磁気光学効果の大きな記録磁性層(例えば希土類−遷移
金属合金非晶質薄膜)や反射層,誘電体層を積層するこ
とにより記録部を形成し、さらにこの記録部上に紫外線
硬化樹脂等よりなる保護膜を覆う如く形成したものが知
られている。
As a magneto-optical disk used in this magneto-optical recording system, a recording magnetic layer having a large magneto-optical effect, which has an easy axis of magnetization in the direction perpendicular to the film surface, on one main surface of a transparent substrate made of polycarbonate or the like. A recording portion is formed by stacking layers (for example, a rare earth-transition metal alloy amorphous thin film), a reflection layer, and a dielectric layer, and is further formed on the recording portion so as to cover a protective film made of an ultraviolet curable resin or the like. Things are known.

【0004】ところで、光磁気記録方式には、大きく分
けて光変調方式と磁界変調方式があるが、このうち磁界
変調方式は、オーバーライト可能であることから注目さ
れており、たとえば汎用タイプである直径64mm程度
の小型光磁気ディスク(いわゆるミニディスク)の記録
方式として採用が検討されている。
By the way, the magneto-optical recording method is roughly classified into an optical modulation method and a magnetic field modulation method. Among them, the magnetic field modulation method is noted because it can be overwritten, and is, for example, a general-purpose type. Adoption is being considered as a recording method for a small magneto-optical disk (so-called mini disk) having a diameter of about 64 mm.

【0005】上記磁界変調方式は、印加磁界を高速で反
転することにより磁性薄膜に情報を書き込むものであっ
て、磁界の印加は通常磁界発生手段を有する磁気ヘッド
によって行われる。この場合、高速反転磁界を印加する
磁気ヘッドでは、諸々の制約から非常に小さな磁界しか
発生できず、磁気ヘッドをなるべく記録磁性層と近接さ
せなければならない。
The above-mentioned magnetic field modulation method writes information in a magnetic thin film by reversing the applied magnetic field at high speed, and the magnetic field is normally applied by a magnetic head having magnetic field generating means. In this case, a magnetic head applying a high-speed reversal magnetic field can generate only a very small magnetic field due to various restrictions, and the magnetic head must be as close to the recording magnetic layer as possible.

【0006】そこで、このような磁界変調方式において
は、磁気ヘッドを磁気ディスクのディスク面に対して直
接接触させ、摺動させながら記録を行う摺動記録方式の
採用が検討されている。この摺動記録方式を採用すれ
ば、上記高速反転磁界を印加する磁気ヘッドのように発
生する磁界が小さい場合でも、記録磁性層に対して十分
な磁力が印加でき、また大磁界を発生する能力があるな
らば、印加電力を減らして省電力化を図ることができ
る。さらに、ディスク面に対してヘッドが浮上する方式
では、ディスク面とヘッド間の距離を常に一定に保つた
めの複雑サーボ機構が必要であるが、摺動記録方式で
は、このようなサーボ機構が不要である。したがって、
装置の簡易化、小型化にも有利となる。
Therefore, in such a magnetic field modulation method, adoption of a sliding recording method in which a magnetic head is brought into direct contact with the disk surface of a magnetic disk and recording is performed while sliding is being considered. If this sliding recording method is adopted, a sufficient magnetic force can be applied to the recording magnetic layer and a large magnetic field can be generated even when the magnetic field generated like the magnetic head that applies the high-speed reversal magnetic field is small. If so, the applied power can be reduced to save power. In addition, the method in which the head floats above the disk surface requires a complicated servo mechanism to keep the distance between the disk surface and the head constant, but the sliding recording method does not require such a servo mechanism. Is. Therefore,
It is also advantageous in simplifying and downsizing the device.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、摺動記録方
式において使用される磁気ヘッドには、ディスク面と直
接接触する部分に、摺動を円滑にするための摺動子が取
付けられる。この摺動子は、通常、シート状のプラスチ
ックよりなり、たとえば磁気ヘッドの磁界発生部を覆う
如く取付けられる。このようにして摺動子が取付けられ
た磁気ヘッドは、光磁気ディスクの保護膜側に配置さ
れ、該保護膜面に摺動子を摺接させながら光磁気ディス
クに磁界を印加することとなる。
By the way, a magnetic head used in the sliding recording system is provided with a slider for smooth sliding at a portion which directly contacts the disk surface. The slider is usually made of sheet-shaped plastic, and is attached so as to cover, for example, the magnetic field generating portion of the magnetic head. The magnetic head to which the slider is attached in this manner is arranged on the protective film side of the magneto-optical disk, and the magnetic field is applied to the magneto-optical disk while the slider is in sliding contact with the protective film surface. ..

【0008】ところが、このようなプラスチックよりな
る摺動子を保護膜面に摺接させると、摺動子や保護膜面
が部分的に帯電する。これにより、両者の間の摩擦力が
大きくなり、さらには摺動子や保護膜面にゴミが付着
し、摺動に支障を来すといった不都合が生じる。そこ
で、本発明はこのような従来の実情に鑑みて提案された
ものであり、光磁気ディスクに磁気ヘッドを摺動させた
ときに、摺動子や保護膜が帯電せず、良好な摺動性が得
られる光磁気ディスク用磁気ヘッドおよび光磁気ディス
クを提供することを目的とする。
However, when such a slider made of plastic is brought into sliding contact with the protective film surface, the slider and the protective film surface are partially charged. As a result, the frictional force between the two becomes large, and further, dust adheres to the surface of the slider and the protective film, which causes troubles in sliding. Therefore, the present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and when the magnetic head is slid on the magneto-optical disk, the slider and the protective film are not charged and good sliding is achieved. It is an object of the present invention to provide a magnetic head for a magneto-optical disk and a magneto-optical disk, which can obtain excellent properties.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の光磁気ディスク用磁気ヘッドは、磁界発
生手段と光磁気ディスクに摺動する摺動子を有する光磁
気ディスク用磁気ヘッドにおいて、上記摺動子表面の抵
抗が1013Ω/□未満であることを特徴とするものであ
る。
In order to achieve the above object, a magnetic head for a magneto-optical disk according to the present invention comprises a magnetic head for a magneto-optical disk having a magnetic field generating means and a slider sliding on the magneto-optical disk. In the head, the resistance of the surface of the slider is less than 10 13 Ω / □.

【0010】さらに、本発明の光磁気ディスクは、透明
基板上に記録磁性層,保護膜が順次成膜されてなる光磁
気ディスクにおいて、上記保護膜表面の抵抗が1013Ω
/□未満であることを特徴とするものである。
Further, the magneto-optical disk of the present invention is a magneto-optical disk in which a recording magnetic layer and a protective film are sequentially formed on a transparent substrate, and the resistance of the surface of the protective film is 10 13 Ω.
It is characterized by being less than / □.

【0011】[0011]

【作用】磁気ヘッドの摺動子表面および光磁気ディスク
の保護膜表面の抵抗を1013Ω/□未満と低く抑える
と、保護膜と摺動子を摺接させることによって生じる保
護膜,摺動子の帯電が防止される。したがって、保護膜
や摺動子の帯電によって誘起される保護膜,摺動子間の
摩擦力の増大、保護膜,摺動子へのゴミ等の付着が抑え
られ、摺動記録方式によって記録再生を行ったときに、
摺動子や保護膜に傷等が生じなくなる。
When the resistance of the surface of the slider of the magnetic head and the surface of the protective film of the magneto-optical disk is kept as low as less than 10 13 Ω / □, the protective film and the sliding caused by the sliding contact between the protective film and the slider. The charging of the child is prevented. Therefore, the increase in the frictional force between the protective film and the slider, which is induced by the electrification of the slider, and the adhesion of dust and the like to the protective film and the slider are suppressed. When I went to
Scratches and the like will not occur on the slider and protective film.

【0012】[0012]

【実施例】本発明の好適な実施例について図面を参照し
ながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0013】先ず、図1は、本実施例の光磁気ディスク
に対して情報信号を記録するための光磁気記録装置の概
略構成図を示すもので、この光磁気記録装置は、光磁気
ディスク1を挟んで光学ピックアップ2と磁気ヘッド3
とが対向配置され、前記光磁気ディスク1に対して磁気
ヘッド3を摺動させながら信号記録を行うものである。
First, FIG. 1 is a schematic block diagram of a magneto-optical recording apparatus for recording an information signal on the magneto-optical disk of this embodiment. Optical pickup 2 and magnetic head 3
Are opposed to each other, and signal recording is performed while the magnetic head 3 slides on the magneto-optical disk 1.

【0014】上記磁気ヘッド3は、図2に示すように、
磁界発生手段34と光磁気ディスク1に摺接する摺動子
32を有して構成され、該磁界発生手段34に磁気ヘッ
ド駆動回路により制御された駆動電流が供給されること
により、外部磁界を発生する。上記摺動子32は、光磁
気ディスク1に対する磁気ヘッド3の摺動を円滑にする
ためのものであり、シート状のプラスチックよりなり、
磁界発生手段34の下端部を覆う如く取付けられてい
る。
The magnetic head 3 is, as shown in FIG.
An external magnetic field is generated by having a magnetic field generating means 34 and a slider 32 that is in sliding contact with the magneto-optical disk 1 and supplying a drive current controlled by a magnetic head drive circuit to the magnetic field generating means 34. To do. The slider 32 is provided for smooth sliding of the magnetic head 3 with respect to the magneto-optical disk 1, and is made of sheet-shaped plastic.
It is attached so as to cover the lower end of the magnetic field generating means 34.

【0015】本発明においては、この摺動子32と光磁
気ディスク1の摺接をより円滑化するために、上記摺動
子32の表面抵抗を1013Ω/□未満に抑えることとす
る。摺動子32の表面抵抗を1013Ω/□未満に抑える
ことにより、摺動子32と光磁気ディスク1が摺接する
際に生じる帯電が防止され、帯電によって生じる摺動子
−光磁気ディスク間の摩擦力の増大、摺動子や光磁気デ
ィスクへのゴミの付着が抑えられ、摺接が円滑なものと
なる。
In the present invention, in order to make the sliding contact between the slider 32 and the magneto-optical disk 1 smoother, the surface resistance of the slider 32 is suppressed to less than 10 13 Ω / □. By suppressing the surface resistance of the slider 32 to less than 10 13 Ω / □, the charging generated when the slider 32 and the magneto-optical disk 1 are in sliding contact with each other is prevented, and between the sliding element and the magneto-optical disk caused by the charging. The increase in the frictional force and the adhesion of dust to the slider and the magneto-optical disk are suppressed, and the sliding contact becomes smooth.

【0016】摺動子32となるプラスチックシートは、
たとえば導電性カーボン等を含有させることにより表面
抵抗を1013Ω/□未満に抑えることができる。また、
さらにプラスチックシートを凹条部と凸条部を有するい
わゆる波板状に屈曲させると、光磁気ディスクと摺動子
の間の摩擦係数が低減し、良好な摺動特性を得る上で有
利である。なお、プラスチックシートを波板状とする場
合、光磁気ディスクと接触する側において凸条部の幅が
凹条部の幅よりも広くなるような波状とすると良い。ま
た、凹凸の高さ(波の振幅に相当する)は10μm以下
とすることが好ましい。
The plastic sheet used as the slider 32 is
For example, by including conductive carbon or the like, the surface resistance can be suppressed to less than 10 13 Ω / □. Also,
Further, when the plastic sheet is bent into a so-called corrugated plate having concave and convex portions, the coefficient of friction between the magneto-optical disk and the slider is reduced, which is advantageous in obtaining good sliding characteristics. .. When the plastic sheet has a corrugated plate shape, it is preferable that the plastic sheet has a corrugated shape in which the width of the ridge portion is larger than that of the concave portion on the side in contact with the magneto-optical disk. Further, the height of the irregularities (corresponding to the amplitude of the wave) is preferably 10 μm or less.

【0017】なお、上記磁気ヘッド3は、たとえば支持
アーム40に加圧バネ39を介して取付けられた磁気ヘ
ッド支持体38に取付けられる。上記支持アーム40
は、軸41を中心にして光磁気ディスクの内外周に移動
操作可能とされている。したがって、上記磁気ヘッド3
は、上記加圧バネ39によって上記光磁気ディスク1に
対し、所定の圧力で圧接されながら信号記録領域全面に
亘り磁界を印加することとなる。
The magnetic head 3 is attached to a magnetic head support 38 attached to a support arm 40 via a pressure spring 39, for example. The support arm 40
Can be moved around the shaft 41 to the inner and outer circumferences of the magneto-optical disk. Therefore, the magnetic head 3
Means that a magnetic field is applied to the entire surface of the signal recording area while being pressed against the magneto-optical disk 1 by the pressing spring 39 at a predetermined pressure.

【0018】一方、このような磁気ヘッドによって摺動
される光磁気ディスク1は、図3に示すように、基板4
の一主面に記録部5を積層し、さらにこの記録部5の表
面を保護膜6で覆ってなるものであり、上記保護膜8が
上記磁気ヘッド3の摺動子32に摺接される。
On the other hand, the magneto-optical disk 1 slid by such a magnetic head has a substrate 4 as shown in FIG.
The recording portion 5 is laminated on one main surface of the recording head 5, and the surface of the recording portion 5 is covered with a protective film 6. The protective film 8 is brought into sliding contact with the slider 32 of the magnetic head 3. ..

【0019】基板4は、厚さ数mm程度の円板状の透明
基板であって、その材質としては、アクリル樹脂,ポリ
カーボネート樹脂,ポリオレフィン樹脂,エポキシ樹脂
等のプラスチック材料の他、ガラス等も使用される。な
お、この基板4表面のうち、前記記録部5を設ける側の
表面には、通常再生時に使用するレーザ光波長のおよそ
4分の1の深さを持った案内溝や番地符号ピット等(い
ずれも図示は省略する。)が設けられる。
The substrate 4 is a disk-shaped transparent substrate having a thickness of about several millimeters, and as its material, a plastic material such as an acrylic resin, a polycarbonate resin, a polyolefin resin, an epoxy resin, or the like, or a glass or the like is used. To be done. Incidentally, of the surface of the substrate 4 on the side where the recording section 5 is provided, a guide groove, an address code pit, or the like having a depth of about ¼ of the wavelength of the laser beam used during normal reproduction (whichever Is also omitted).

【0020】記録部5は、記録磁性層7,誘電体層8,
9及び反射層10よりなる4層構造を有し、基板4上に
第1の誘電体層8,記録磁性層7,第2の誘電体層9,
反射層10なる順序で積層されている。
The recording section 5 includes a recording magnetic layer 7, a dielectric layer 8,
9 and a reflective layer 10 have a four-layer structure, and a first dielectric layer 8, a recording magnetic layer 7, a second dielectric layer 9,
The reflective layers 10 are stacked in this order.

【0021】これらのうち、第1の誘電体層8及び第2
の誘電体層9としては、酸化物や窒化物等が使用可能で
あるが、誘電体中の酸素が記録磁性層に悪影響を及ぼす
虞れがあることから窒化物がより好ましく、酸素および
水分を透過せず且つ使用レーザ光を十分に透過し得る物
質として窒化珪素あるいは窒化アルミニウム等が好適で
ある。
Of these, the first dielectric layer 8 and the second dielectric layer 8
The dielectric layer 9 may be made of an oxide, a nitride, or the like, but a nitride is more preferable because oxygen in the dielectric may adversely affect the recording magnetic layer. Silicon nitride, aluminum nitride, or the like is suitable as the substance that does not transmit and can sufficiently transmit the used laser beam.

【0022】また、上記記録磁性層7は、膜面に垂直な
方向に磁化容易方向を有する非晶質の磁性薄膜であっ
て、磁気光学特性に優れることは勿論、室温にて大きな
保磁力を持ち、且つ200℃近辺にキュリー点を持つこ
とが望ましい。このような条件に叶った記録材料として
は、希土類−遷移金属合金非晶質薄膜等が挙げられ、な
かでもTbFeCo系非晶質薄膜が好適である。この記
録磁性層7には、耐蝕性を向上させる目的で、Cr等の
添加元素が添加されていてもよい。
The recording magnetic layer 7 is an amorphous magnetic thin film having an easy magnetization direction in a direction perpendicular to the film surface, and it has excellent magneto-optical characteristics and a large coercive force at room temperature. It is desirable to have a Curie point around 200 ° C. As a recording material satisfying such conditions, a rare earth-transition metal alloy amorphous thin film and the like can be mentioned, and among them, a TbFeCo based amorphous thin film is preferable. An additive element such as Cr may be added to the recording magnetic layer 7 for the purpose of improving the corrosion resistance.

【0023】反射層10は、前記第2の誘電体層9との
境界でレーザ光を70%以上反射する高反射率の膜によ
り構成することが好ましく、非磁性金属の蒸着膜が好適
である。また、この反射層10は、熱的良導体であるこ
とが望ましく、入手の容易さや成膜の容易さ等を考慮す
ると、アルミニウムが適している。
The reflective layer 10 is preferably formed of a film having a high reflectance that reflects 70% or more of the laser light at the boundary with the second dielectric layer 9, and is preferably a non-magnetic metal vapor deposition film. .. Further, it is desirable that the reflective layer 10 is a good thermal conductor, and aluminum is suitable in consideration of availability and film formation.

【0024】これらの各層7,8,9,10は、蒸着や
スパッタ等の,いわゆる気相メッキ技術により形成され
る。このとき各層の膜厚は任意に設定することができる
が、通常は数百〜数千Å程度に設定される。これらの膜
厚は、各層単独での光学的性質のみならず、組み合わせ
による効果を考慮して決めることが好ましい。これは、
例えば記録磁性層7の膜厚がレーザ光の波長に比べて薄
い場合に、レーザ光が記録磁性層7を透過して各層境界
で反射した光と多重干渉し、膜厚の組み合わせにより記
録磁性層7の実効的な光学及び磁気光学特性が大きく変
動するためである。
Each of these layers 7, 8, 9 and 10 is formed by a so-called vapor phase plating technique such as vapor deposition or sputtering. At this time, the film thickness of each layer can be set arbitrarily, but is usually set to several hundreds to several thousands Å. These film thicknesses are preferably determined not only by considering the optical properties of each layer alone, but also by considering the effect of combination. this is,
For example, when the film thickness of the recording magnetic layer 7 is smaller than the wavelength of the laser light, the laser light causes multiple interference with the light transmitted through the recording magnetic layer 7 and reflected at each layer boundary, and the recording magnetic layer is combined by the combination of the film thicknesses. This is because the effective optical and magneto-optical characteristics of No. 7 largely fluctuate.

【0025】さらに、上記記録部5上には紫外線硬化樹
脂等よりなる上記保護膜6が形成されている。この保護
膜6は、記録部を大気中の水や酸素から隔離するととも
に、本実施例では、特に摺動する磁気ヘッドから記録部
5を保護する目的で設けられる。
Further, the protective film 6 made of an ultraviolet curable resin or the like is formed on the recording portion 5. The protective film 6 is provided for the purpose of isolating the recording portion from water and oxygen in the atmosphere, and in the present embodiment, particularly for the purpose of protecting the recording portion 5 from the sliding magnetic head.

【0026】ここで、本発明においては、上記摺動子3
2に摺接される上記保護膜6表面も、摺動子32の場合
と同様にその抵抗を1013Ω/□未満と低く抑えること
とする。上記保護膜6の表面抵抗を1013Ω/□未満に
抑えることにより、摺動子32と保護膜6の帯電がより
確実に防止され、磁気ヘッド3の摺動がさらに円滑なも
のとなる。
Here, in the present invention, the slider 3 is used.
The surface of the protective film 6 which is slidably contacted with 2 also has a resistance as low as less than 10 13 Ω / □ as in the case of the slider 32. By suppressing the surface resistance of the protective film 6 to less than 10 13 Ω / □, the slider 32 and the protective film 6 are more reliably prevented from being charged, and the magnetic head 3 slides more smoothly.

【0027】保護膜6となる紫外線硬化樹脂の表面抵抗
を1013Ω/□未満に抑えるには、たとえば、該紫外線
硬化樹脂に酸化アンチモン,酸化インジウム,酸化スズ
等の導電性微粒子を添加すればよい。このとき、導電性
微粒子の粒径は、数10Å程度が適当である。なお、上
記紫外線硬化樹脂には、摺動性能の向上のためにジグリ
セリンテトララウリレート等の滑剤を添加するようにし
てもよい。
In order to suppress the surface resistance of the UV curable resin which becomes the protective film 6 to less than 10 13 Ω / □, for example, conductive fine particles of antimony oxide, indium oxide, tin oxide or the like are added to the UV curable resin. Good. At this time, it is appropriate that the conductive fine particles have a particle size of several tens of liters. A lubricant such as diglycerin tetralaurylate may be added to the ultraviolet curable resin in order to improve sliding performance.

【0028】次に、実際に摺動子32および保護膜6の
表面抵抗を1013Ω/□未満とすることによる効果を調
べるために以下の実験を行った。
Next, the following experiment was conducted in order to investigate the effect of actually setting the surface resistance of the slider 32 and the protective film 6 to less than 10 13 Ω / □.

【0029】まず、ポリカーボネート基板上に第1の窒
化ケイ素誘電体膜、TbFeCo記録磁性層、第2の窒
化ケイ素誘電体膜、アルミニウム反射層を成膜して記録
部を形成し、さらにこの記録部上に各種保護膜を形成し
て光磁気ディスク(ディスク1,ディスク2,比較ディ
スク1)を作製した。
First, a first silicon nitride dielectric film, a TbFeCo recording magnetic layer, a second silicon nitride dielectric film, and an aluminum reflecting layer are formed on a polycarbonate substrate to form a recording portion, and this recording portion is further formed. A magneto-optical disk (disk 1, disk 2, comparative disk 1) was manufactured by forming various protective films on the top.

【0030】なお、各光磁気ディスクの保護膜は、ディ
スク1が紫外線硬化樹脂に粒径数10Åの酸化アンチモ
ン微粒子を30体積%および滑剤ジグリセリンテトララ
ウレート(DGTL)を2%分散含有させてなるもの、
ディスク2が紫外線硬化樹脂に粒径数10Åの酸化イン
ジウム微粒子、酸化スズ微粒子を30体積%およびDG
TLを2%分散含有させてなるもの、比較ディスク1が
紫外線硬化樹脂に導電性微粒子を含有させずにDGTL
のみを2%分散含有させてなるものである。上記各保護
膜の表面抵抗を表1に示す。
In the protective film of each magneto-optical disk, the disk 1 was prepared by dispersing 30% by volume of antimony oxide fine particles having a particle size of 10Å and 2% of diglycerin tetralaurate (DGTL) as a lubricant in an ultraviolet curable resin. What
The disk 2 contains 30% by volume of indium oxide fine particles and tin oxide fine particles having a particle size of 10Å and DG in the ultraviolet curable resin.
TL containing 2% of TL dispersed therein, Comparative Disc 1 is a DGTL containing ultraviolet curable resin containing no conductive fine particles.
Only 2% dispersedly contained. Table 1 shows the surface resistance of each of the above protective films.

【0031】[0031]

【表1】 [Table 1]

【0032】このようにして作製された各光磁気ディス
クに対して各種摺動子を有する磁気ヘッド(ヘッド1,
ヘッド2,比較ヘッド1,比較ヘッド2)を摺動させ
た。なお、各磁気ヘッドにおいて摺動子として使用した
プラスチックシートは、ヘッド1が導電性カーボンを3
0%含有する6,6−ナイロンシート、ヘッド2が導電
性カーボンを30%含有する6,6−ナイロンシートを
波状に成形したもの、比較ヘッド1が導電性カーボンを
含有しない6,6−ナイロンシートおよび比較ヘッド2
が導電性カーボンを含有しない6,6−ナイロンシート
を波状に成形したものである。上記摺動子の表面抵抗を
表2に示す。
A magnetic head having various sliders (head 1,
The head 2, the comparative head 1, and the comparative head 2) were slid. In the plastic sheet used as the slider in each magnetic head, the head 1 is made of conductive carbon.
6,6-nylon sheet containing 0%, head 2 is formed by corrugating 6,6-nylon sheet containing 30% conductive carbon, and comparative head 1 is 6,6-nylon containing no conductive carbon Seat and comparison head 2
Is a corrugated 6,6-nylon sheet containing no conductive carbon. Table 2 shows the surface resistance of the slider.

【0033】[0033]

【表2】 [Table 2]

【0034】上記各光磁気ディスクに対して各種摺動子
を有する磁気ヘッドを摺動させたときの保護膜と摺動子
の間の動摩擦係数、ゴミの付着の様子および200万回
パス後の保護膜の削れ深さを表3に示す。
Coefficient of dynamic friction between the protective film and the slider when a magnetic head having various sliders is slid on each of the above magneto-optical disks, the state of dust adhesion, and after 2 million passes. Table 3 shows the abrasion depth of the protective film.

【0035】[0035]

【表3】 [Table 3]

【0036】表3からわかるように、保護膜,摺動子の
少なくともいずれかの表面抵抗を1013Ω/□未満とす
ると、保護膜と摺動子の間の動摩擦係数が低減し、ゴミ
の付着も防止され、200万回パス後においてもほとん
ど保護膜にほとんど傷等が生じないようになる。また、
保護膜,摺動子の両方の表面抵抗を1013Ω/□未満と
すれば、さらに、動摩擦係数の低減し、ゴミの付着も少
なくなる。
As can be seen from Table 3, when the surface resistance of at least one of the protective film and the slider is less than 10 13 Ω / □, the coefficient of dynamic friction between the protective film and the slider is reduced, and Adhesion is also prevented, and scratches and the like hardly occur on the protective film even after 2 million passes. Also,
If both the surface resistance of the protective film and the surface resistance of the slider are less than 10 13 Ω / □, the coefficient of dynamic friction is further reduced and the adhesion of dust is reduced.

【0037】したがって、このことから、摺動子,保護
膜の表面抵抗を1013Ω/□未満を抑えることは、磁気
ヘッドと光磁気ディスクの摺動性の向上を図る上で有効
であることがわかった。
Therefore, from the above, it is effective to suppress the surface resistance of the slider and the protective film to less than 10 13 Ω / □ in order to improve the slidability between the magnetic head and the magneto-optical disk. I understood.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、光磁気ディスクの保護膜および磁気ヘッ
ドの摺動子の表面抵抗を1013Ω/□未満と低く抑える
ので、保護膜−摺動子間の動摩擦係数が小さくなり、さ
らには保護膜や摺動子へのゴミの付着が防止され、光磁
気ディスクと磁気ヘッドの摺動性が良好なものとなる。
As is apparent from the above description, in the present invention, the surface resistance of the protective film of the magneto-optical disk and the slider of the magnetic head is suppressed to a low value of less than 10 13 Ω / □, and therefore the protective film. -The coefficient of dynamic friction between the sliders is reduced, dust is prevented from adhering to the protective film and the slider, and the slidability between the magneto-optical disk and the magnetic head is improved.

【0039】したがって、本発明によれば、摺動記録方
式の信頼性,実用性の向上が可能となる。
Therefore, according to the present invention, the reliability and practicality of the sliding recording system can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】摺動型光磁気記録方式を説明するための模式図
である。
FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a sliding type magneto-optical recording method.

【図2】本発明を適用した光磁気ディスク用磁気ヘッド
の構成例を示す模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration example of a magnetic head for a magneto-optical disk to which the present invention is applied.

【図3】本発明を適用した光磁気ディスクの構成例を示
す要部拡大断面図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of an essential part showing a configuration example of a magneto-optical disk to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ・・・光磁気ディスク 2 ・・・光学ピックアップ装置 3 ・・・磁気ヘッド 4 ・・・基板 5 ・・・記録部 6 ・・・保護膜 31・・・磁界発生手段 32・・・摺動子 1 ... Magneto-optical disk 2 ... Optical pickup device 3 ... Magnetic head 4 ... Substrate 5 ... Recording part 6 ... Protective film 31 ... Magnetic field generating means 32 ... Sliding Child

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 磁界発生手段と光磁気ディスクに摺動す
る摺動子を有する光磁気ディスク用磁気ヘッドにおい
て、 上記摺動子表面の抵抗が1013Ω/□未満であることを
特徴とする光磁気ディスク用磁気ヘッド。
1. A magnetic head for a magneto-optical disk having a magnetic field generating means and a slider that slides on the magneto-optical disk, wherein the resistance of the surface of the slider is less than 10 13 Ω / □. Magnetic head for magneto-optical disk.
【請求項2】 透明基板上に記録磁性層,保護膜が順次
成膜されてなる光磁気ディスクにおいて、 上記保護膜表面の抵抗が1013Ω/□未満であることを
特徴とする光磁気ディスク。
2. A magneto-optical disk having a recording magnetic layer and a protective film sequentially formed on a transparent substrate, wherein the surface of the protective film has a resistance of less than 10 13 Ω / □. ..
JP7911392A 1992-02-29 1992-02-29 Magnetic head for magneto-optical disk and magneto-optical disk Pending JPH05242555A (en)

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