JPH05243464A - リードフレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
リードフレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置Info
- Publication number
- JPH05243464A JPH05243464A JP4042958A JP4295892A JPH05243464A JP H05243464 A JPH05243464 A JP H05243464A JP 4042958 A JP4042958 A JP 4042958A JP 4295892 A JP4295892 A JP 4295892A JP H05243464 A JPH05243464 A JP H05243464A
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- Japan
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- resin
- lead
- thickness
- lead frame
- tip
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】薄型化の樹脂封止型半導体装置を得ることを目
的とする。 【構成】インナーリード13の各先端部13aをディプ
レスし、それらの上面をICチップ5の電極面より一層
低くして、これら両者間にワイヤ7をボンディングした
後、ICチップ5の上方の樹脂Maの厚さとダイパッド
12の下方の樹脂Mbの厚さとが等しくなるようにモー
ルド樹脂Mで封止した。 【効果】ボンディングワイヤのループ部の高さを低くで
き、モールド樹脂からの露出を防止できる。
的とする。 【構成】インナーリード13の各先端部13aをディプ
レスし、それらの上面をICチップ5の電極面より一層
低くして、これら両者間にワイヤ7をボンディングした
後、ICチップ5の上方の樹脂Maの厚さとダイパッド
12の下方の樹脂Mbの厚さとが等しくなるようにモー
ルド樹脂Mで封止した。 【効果】ボンディングワイヤのループ部の高さを低くで
き、モールド樹脂からの露出を防止できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置の薄型化
を計るためのリードフレーム及びこれを用いた樹脂封止
型半導体装置(以下、単に「IC」と記す)に関するも
のである。
を計るためのリードフレーム及びこれを用いた樹脂封止
型半導体装置(以下、単に「IC」と記す)に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来技術のICを図を用いて説明する。
図7は従来技術のICの断面図を示している。このIC
1は、中央部に、ディプレスされたダイパッド2が在
り、この周辺部に複数のインナーリード3とこれらに対
応したアウターリード4とから構成されたリードフレー
ムの、前記ダイパッドの上面にICチップ5をダイボン
ドし、そのICチップ5の各電極(図示していない)と
これらに対応した前記各インナーリード3の先端部6の
上面とをワイヤ7でボンディングし、そしてモールド樹
脂Mで樹脂封止し、この樹脂Mの外部で前記アウターリ
ード4を前記ダイパッドの方へ折り曲げた構造(図の実
施例ではSOP型或いはQFP型半導体装置)に構成し
ている。
図7は従来技術のICの断面図を示している。このIC
1は、中央部に、ディプレスされたダイパッド2が在
り、この周辺部に複数のインナーリード3とこれらに対
応したアウターリード4とから構成されたリードフレー
ムの、前記ダイパッドの上面にICチップ5をダイボン
ドし、そのICチップ5の各電極(図示していない)と
これらに対応した前記各インナーリード3の先端部6の
上面とをワイヤ7でボンディングし、そしてモールド樹
脂Mで樹脂封止し、この樹脂Mの外部で前記アウターリ
ード4を前記ダイパッドの方へ折り曲げた構造(図の実
施例ではSOP型或いはQFP型半導体装置)に構成し
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このようなIC1は、
現在、その全体の厚さTを、例えば、1mm以下にする
薄型化が試みられているが、この厚さTを薄くすればす
る程、ワイヤ7のループ部7aの高さの制約により、そ
の実現が難しいものになる。即ち、従来のリードフレー
ムで厚さTが1mm以下のIC1を製造しようとする
と、図7に示したように、ワイヤ7のループ部7aが露
出してしまうという問題が生じる。
現在、その全体の厚さTを、例えば、1mm以下にする
薄型化が試みられているが、この厚さTを薄くすればす
る程、ワイヤ7のループ部7aの高さの制約により、そ
の実現が難しいものになる。即ち、従来のリードフレー
ムで厚さTが1mm以下のIC1を製造しようとする
と、図7に示したように、ワイヤ7のループ部7aが露
出してしまうという問題が生じる。
【0004】そこで、このループ部7aの露出を防止す
るためには、インナーリード3の表面の高さ位置をその
ままに維持したとして、ICチップ5の高さ位置を低く
するとよいが、ICチップ5の位置を下げると、そのI
Cチップ5の上面の樹脂Maとダイパッド2の下面の樹
脂Mbとの厚さに大きな差が生じ、内部材料間の熱膨張
係数の違いによって全体のパッケージが反り、後のリー
ド加工等の工程に支障が生じたり、基板への実装時にお
ける半田付け不良の原因になる。それ故に、ICチップ
5の電極の高さ位置を下げることは好ましくない。
るためには、インナーリード3の表面の高さ位置をその
ままに維持したとして、ICチップ5の高さ位置を低く
するとよいが、ICチップ5の位置を下げると、そのI
Cチップ5の上面の樹脂Maとダイパッド2の下面の樹
脂Mbとの厚さに大きな差が生じ、内部材料間の熱膨張
係数の違いによって全体のパッケージが反り、後のリー
ド加工等の工程に支障が生じたり、基板への実装時にお
ける半田付け不良の原因になる。それ故に、ICチップ
5の電極の高さ位置を下げることは好ましくない。
【0005】この発明はこのような問題を解決して薄型
化が計れるICを得ることを課題とするものである。
化が計れるICを得ることを課題とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】そのため、この発明で
は、少なくとも半導体チップの複数の電極を外部に導出
するための複数のインナーリードとこれらに対応したア
ウターリードとから構成されたリードフレームの、前記
インナーリードの各先端部をディプレスした。そして、
このような複数のインナーリードの先端部の中央部に半
導体チップを配置し、この半導体チップの複数の電極と
前記インナーリードの先端部とを接続して、前記半導体
チップと前記インナーリードの部分を樹脂で封止し、前
記半導体チップの上方に存在する樹脂の厚さと下方に存
在する樹脂の厚さとが等しくなるように樹脂封止し、そ
して前記アウターリードを前記封止樹脂の厚さの中央部
より導出するようにして、前記課題を解決した。
は、少なくとも半導体チップの複数の電極を外部に導出
するための複数のインナーリードとこれらに対応したア
ウターリードとから構成されたリードフレームの、前記
インナーリードの各先端部をディプレスした。そして、
このような複数のインナーリードの先端部の中央部に半
導体チップを配置し、この半導体チップの複数の電極と
前記インナーリードの先端部とを接続して、前記半導体
チップと前記インナーリードの部分を樹脂で封止し、前
記半導体チップの上方に存在する樹脂の厚さと下方に存
在する樹脂の厚さとが等しくなるように樹脂封止し、そ
して前記アウターリードを前記封止樹脂の厚さの中央部
より導出するようにして、前記課題を解決した。
【0007】
【作用】従って、半導体チップの複数の電極とインナー
リードの各先端部とを接続するワイヤのループ部の高さ
を低くできる。
リードの各先端部とを接続するワイヤのループ部の高さ
を低くできる。
【0008】
【実施例】以下、この発明の第1の実施例を図1及び図
3を用いて説明する。図1はこの発明の実施例である樹
脂封止型半導体装置の断面図であり、図2はこの発明の
実施例であるリードフレームの平面図であり、そして図
3は図2に示したリードフレームの構成要素であるイン
ナーリードの先端部の一部拡大斜視図である。
3を用いて説明する。図1はこの発明の実施例である樹
脂封止型半導体装置の断面図であり、図2はこの発明の
実施例であるリードフレームの平面図であり、そして図
3は図2に示したリードフレームの構成要素であるイン
ナーリードの先端部の一部拡大斜視図である。
【0009】先ず、この発明のリードフレームを図2を
用いて説明する。この図には一単位のリードフレームの
構成しか示していないが、実際にはこのような単位リー
ドフレームが複数連なって一枚の金属板に形成されてい
るものである。符号10は全体としてこのような一単位
のリードフレームを指す。
用いて説明する。この図には一単位のリードフレームの
構成しか示していないが、実際にはこのような単位リー
ドフレームが複数連なって一枚の金属板に形成されてい
るものである。符号10は全体としてこのような一単位
のリードフレームを指す。
【0010】このリードフレーム10は従来のリードフ
レームと同様に、中央部にダイパッド12が配置され、
その周辺に、この実施例では、ダイパッド12の両側縁
部に沿って等間隔で複数のインナーリード13が配列さ
れ、そしてそれぞれのインナーリード13に対応してア
ウターリード14が配列されている。
レームと同様に、中央部にダイパッド12が配置され、
その周辺に、この実施例では、ダイパッド12の両側縁
部に沿って等間隔で複数のインナーリード13が配列さ
れ、そしてそれぞれのインナーリード13に対応してア
ウターリード14が配列されている。
【0011】前記ダイパッド12は両端のステー15に
それぞれ吊り16で支持されており、また前記インナー
リード13とアウターリード14とはタイバー17及び
サイドレール18で前記ステー15に支持されるように
構成されている。これらの構成要素は厚さが均一な、例
えば、約0.1mmの42アロイや銅系の平らな金属板
を打ち抜いて形成することができる。
それぞれ吊り16で支持されており、また前記インナー
リード13とアウターリード14とはタイバー17及び
サイドレール18で前記ステー15に支持されるように
構成されている。これらの構成要素は厚さが均一な、例
えば、約0.1mmの42アロイや銅系の平らな金属板
を打ち抜いて形成することができる。
【0012】この発明においては、前記ダイパッド12
を前記双方の吊り16の斜線を施した部分16aで折り
曲げてディプレスする。そしてまた、各インナーリード
13の先端部13aを、それらの斜線を施した部分13
bで折り曲げてディプレスし、それらのインナーリード
13の他の部分13cよりも低くした。その他の構成要
素、即ち、インナーリード13の他の部分13c、アウ
ターリード14、ステー15、タイバー17及びサイド
レール18は同一面内に在る。図3にインナーリード1
3の先端部13a付近の一部を拡大して示した。
を前記双方の吊り16の斜線を施した部分16aで折り
曲げてディプレスする。そしてまた、各インナーリード
13の先端部13aを、それらの斜線を施した部分13
bで折り曲げてディプレスし、それらのインナーリード
13の他の部分13cよりも低くした。その他の構成要
素、即ち、インナーリード13の他の部分13c、アウ
ターリード14、ステー15、タイバー17及びサイド
レール18は同一面内に在る。図3にインナーリード1
3の先端部13a付近の一部を拡大して示した。
【0013】インナーリード13の各先端部13aのデ
ィプレスの深さは、それら先端部13aの上面が、ディ
プレスされた前記ダイパッド12にICチップ(図1に
おける符号20)をダイボンドした、それら双方の全体
の厚さの中央部近傍かそれ以下の高さ位置にくるように
折り曲げることが望ましい。
ィプレスの深さは、それら先端部13aの上面が、ディ
プレスされた前記ダイパッド12にICチップ(図1に
おける符号20)をダイボンドした、それら双方の全体
の厚さの中央部近傍かそれ以下の高さ位置にくるように
折り曲げることが望ましい。
【0014】また、ICを薄型化するための一手段とし
て、ダイパッドレスのリードフレームが案出されている
が、そのようなリードフレームにおいては、前記と同様
のインナーリードの先端部の上面が、それらインナーリ
ードの中央部にICチップを搭載した場合の、そのIC
チップの厚さのほぼ中央部かそれ以下の高さ位置にくる
ように折り曲げるとよい。
て、ダイパッドレスのリードフレームが案出されている
が、そのようなリードフレームにおいては、前記と同様
のインナーリードの先端部の上面が、それらインナーリ
ードの中央部にICチップを搭載した場合の、そのIC
チップの厚さのほぼ中央部かそれ以下の高さ位置にくる
ように折り曲げるとよい。
【0015】次に、このようなリードフレーム10を用
いて構成したこの発明のICの実施例を図1を用いて説
明する。なお、図2のリードフレーム10及び図7のI
C1の構成部分と同一の構成部分には同一の符号を付し
て説明する。
いて構成したこの発明のICの実施例を図1を用いて説
明する。なお、図2のリードフレーム10及び図7のI
C1の構成部分と同一の構成部分には同一の符号を付し
て説明する。
【0016】符号20は全体としてこの発明のICを指
す。ICチップ5はリードフレーム10のダイパッド1
2にダイボンドされ、そして通常のように、このICチ
ップ5の各電極とディプレスされたインナーリード13
の先端部13aをワイヤ7で接続する。
す。ICチップ5はリードフレーム10のダイパッド1
2にダイボンドされ、そして通常のように、このICチ
ップ5の各電極とディプレスされたインナーリード13
の先端部13aをワイヤ7で接続する。
【0017】そして更に、図2に示した2点鎖線Lで囲
んだ範囲内でモールド樹脂Mを流し、ICチップ5やイ
ンナーリード13を封止する。この時、ICチップ5の
上方の樹脂Maの厚さとダイパッド12の下方の樹脂M
bの厚さとが同一の厚さになるように構成し、また、各
アウターリード14が全体のモールド樹脂M(パッケー
ジ)の厚さの中央部から外部に導出されるように封止す
る。
んだ範囲内でモールド樹脂Mを流し、ICチップ5やイ
ンナーリード13を封止する。この時、ICチップ5の
上方の樹脂Maの厚さとダイパッド12の下方の樹脂M
bの厚さとが同一の厚さになるように構成し、また、各
アウターリード14が全体のモールド樹脂M(パッケー
ジ)の厚さの中央部から外部に導出されるように封止す
る。
【0018】封止樹脂Mが硬化した後、このモールド樹
脂Mのバリを取ると同時に吊り16やタイバー17及び
サイドレール18をステー15から切離し、複数の各ア
ウターリード14を、使用態様に応じて折り曲げれば、
この発明のIC20が得られる。図1の場合は前記ダイ
パッド12が存在する側に折り曲げた。
脂Mのバリを取ると同時に吊り16やタイバー17及び
サイドレール18をステー15から切離し、複数の各ア
ウターリード14を、使用態様に応じて折り曲げれば、
この発明のIC20が得られる。図1の場合は前記ダイ
パッド12が存在する側に折り曲げた。
【0019】このようにインナーリード13の先端部1
3aを他の部分13cよりディプレスしてボンディング
面を下げたので、ワイヤボンディング時にワイヤ7を下
へ引っ張ることができ、従って、ワイヤ7のループ部7
aの高さを低く抑えることができる。
3aを他の部分13cよりディプレスしてボンディング
面を下げたので、ワイヤボンディング時にワイヤ7を下
へ引っ張ることができ、従って、ワイヤ7のループ部7
aの高さを低く抑えることができる。
【0020】前記インナーリード13の先端部13aの
ディプレスは通常プレスによって形成することができ
る。そのディプレスの深さは、ICチップ5の厚さ及び
完成時のIC20全体の厚さを考慮して決定されるもの
であるが、0.05mm〜0.1mm程度である。
ディプレスは通常プレスによって形成することができ
る。そのディプレスの深さは、ICチップ5の厚さ及び
完成時のIC20全体の厚さを考慮して決定されるもの
であるが、0.05mm〜0.1mm程度である。
【0021】次に、前記インナーリード13の先端部1
3aの変形である第2の実施例を図4に示した。この実
施例では、インナーリード13の各先端部113aだけ
にハーフエッチングを施してディプレスした構造に形成
した。このエッチング量は、必要に応じて変えられる
が、リードフレーム10の厚さが0.1mmであれば、
約0.07mmまでエッチングできる。このように、イ
ンナーリード13のボンディング点の位置を更に下げる
ことができるので、ワイヤ7のループ部7aの高さを低
くすることができる。
3aの変形である第2の実施例を図4に示した。この実
施例では、インナーリード13の各先端部113aだけ
にハーフエッチングを施してディプレスした構造に形成
した。このエッチング量は、必要に応じて変えられる
が、リードフレーム10の厚さが0.1mmであれば、
約0.07mmまでエッチングできる。このように、イ
ンナーリード13のボンディング点の位置を更に下げる
ことができるので、ワイヤ7のループ部7aの高さを低
くすることができる。
【0022】また、図3に示した前記インナーリード1
3の先端部13aの変形である第3の実施例を図5に示
した。この実施例では、インナーリード13の各先端部
13aに、そのエッジを残してハーフエッチングを施
し、凹部13dを形成した。従って、前記第2の実施例
と同様の効果が得られる他、樹脂封止する際の樹脂の流
れによって発生するワイヤ流れを抑制することができ
る。
3の先端部13aの変形である第3の実施例を図5に示
した。この実施例では、インナーリード13の各先端部
13aに、そのエッジを残してハーフエッチングを施
し、凹部13dを形成した。従って、前記第2の実施例
と同様の効果が得られる他、樹脂封止する際の樹脂の流
れによって発生するワイヤ流れを抑制することができ
る。
【0023】また更に、図3に示した前記インナーリー
ド13の先端部13aの変形である第4の実施例を図6
に示した。この実施例では、前記各先端部13aのボン
ディング点付近が広くなるように、エッジを残してハー
フエッチングを施し、凹部13eを形成した。従って、
ワイヤボンディングが行い易くなる。
ド13の先端部13aの変形である第4の実施例を図6
に示した。この実施例では、前記各先端部13aのボン
ディング点付近が広くなるように、エッジを残してハー
フエッチングを施し、凹部13eを形成した。従って、
ワイヤボンディングが行い易くなる。
【0024】
【発明の効果】以上のように、この発明のリードフレー
ム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置によれば、ワ
イヤのループ部の高さを低くすることができ、従って、
そのワイヤが封止樹脂から露出することがない薄型の樹
脂封止型半導体装置を、既存の製造設備を用いて得るこ
とができる。
ム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置によれば、ワ
イヤのループ部の高さを低くすることができ、従って、
そのワイヤが封止樹脂から露出することがない薄型の樹
脂封止型半導体装置を、既存の製造設備を用いて得るこ
とができる。
【図1】この発明の実施例である樹脂封止型半導体装置
の断面図である。
の断面図である。
【図2】この発明の第1の実施例であるリードフレーム
の平面図である。
の平面図である。
【図3】図2に示したリードフレームの構成要素である
インナーリードの先端部の一部拡大斜視図である。
インナーリードの先端部の一部拡大斜視図である。
【図4】この発明の第2の実施例であるリードフレーム
の構成要素であるインナーリードの先端部の一部拡大斜
視図である。
の構成要素であるインナーリードの先端部の一部拡大斜
視図である。
【図5】この発明の第3の実施例であるリードフレーム
の構成要素であるインナーリードの先端部の一部拡大斜
視図である。
の構成要素であるインナーリードの先端部の一部拡大斜
視図である。
【図6】この発明の第4の実施例であるリードフレーム
の構成要素であるインナーリードの先端部の一部拡大斜
視図である。
の構成要素であるインナーリードの先端部の一部拡大斜
視図である。
【図7】従来技術による樹脂封止型半導体装置の断面図
である。
である。
【符号の説明】 5 半導体チップ(ICチップ) 7 ワイヤ 7a ループ部 10 リードフレーム 12 ダイパッド 13 インナーリード 13a (インナーリードの)先端部 13b (インナーリードの)折り曲げ部 13c (インナーリードの)他の部分 13d 凹部 13e 凹部 14 アウターリード 15 ステー 16 吊り 20 樹脂封止型半導体装置 M モールド樹脂
Claims (4)
- 【請求項1】少なくとも半導体チップの複数の電極を外
部に導出するための複数のインナーリードとこれらに対
応したアウターリードとから構成されたリードフレーム
において、前記インナーリードの各先端部をディプレス
したことを特徴とするリードフレーム。 - 【請求項2】前記インナーリードの先端部の厚さがその
他のインナーリード部の厚さよりも薄いことを特徴とす
る請求項1に記載のリードフレーム。 - 【請求項3】前記インナーリードの先端部の一部分の厚
さがその他のインナーリードの厚さよりも薄いことを特
徴とする請求項1に記載のリードフレーム。 - 【請求項4】中央部に半導体チップを配置し、この半導
体チップの複数の電極に対応して、その周辺部に複数の
インナーリードとこれらに対応したアウターリードとを
配置し、前記インナーリードの先端部の上面がそのイン
ナーリードの他の部分の上面よりも低い位置に在り、前
記各電極と対応した前記インナーリードの先端部とを接
続して、前記半導体チップと前記インナーリードを樹脂
で封止し、前記半導体チップの上方に存在する樹脂の厚
さと下方に存在するモールド樹脂の厚さとが等しくなる
ように樹脂封止し、そして前記アウターリードを前記封
止樹脂の厚さの中央部より導出して、前記樹脂の外部で
所望の形状で折り曲げたことを特徴とする樹脂封止型半
導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4042958A JPH05243464A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | リードフレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4042958A JPH05243464A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | リードフレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05243464A true JPH05243464A (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=12650539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4042958A Pending JPH05243464A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | リードフレーム及びこれを用いた樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05243464A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07254679A (ja) * | 1993-11-20 | 1995-10-03 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
| WO1998043297A1 (en) * | 1997-03-24 | 1998-10-01 | Seiko Epson Corporation | Substrate for semiconductor device, lead frame, semiconductor device and method for manufacturing the same, circuit board, and electronic equipment |
| US7102216B1 (en) * | 2001-08-17 | 2006-09-05 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and leadframe with horizontal leads spaced in the vertical direction and method of making |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4042958A patent/JPH05243464A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
| JPH07254679A (ja) * | 1993-11-20 | 1995-10-03 | Samsung Electron Co Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
| WO1998043297A1 (en) * | 1997-03-24 | 1998-10-01 | Seiko Epson Corporation | Substrate for semiconductor device, lead frame, semiconductor device and method for manufacturing the same, circuit board, and electronic equipment |
| US6127206A (en) * | 1997-03-24 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Semiconductor device substrate, lead frame, semiconductor device and method of making the same, circuit board, and electronic apparatus |
| CN1101598C (zh) * | 1997-03-24 | 2003-02-12 | 精工爱普生株式会社 | 半导体装置用基板、半导体装置及其制造方法、电路基板和电子装置 |
| US7102216B1 (en) * | 2001-08-17 | 2006-09-05 | Amkor Technology, Inc. | Semiconductor package and leadframe with horizontal leads spaced in the vertical direction and method of making |
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