JPH05249700A - フォトマスク整合装置 - Google Patents
フォトマスク整合装置Info
- Publication number
- JPH05249700A JPH05249700A JP4051204A JP5120492A JPH05249700A JP H05249700 A JPH05249700 A JP H05249700A JP 4051204 A JP4051204 A JP 4051204A JP 5120492 A JP5120492 A JP 5120492A JP H05249700 A JPH05249700 A JP H05249700A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- printed wiring
- wiring board
- pin
- camera
- Prior art date
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- Withdrawn
Links
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】印刷配線板とフォトマスクの粗位置決め作業を
なくし、より簡単に粗位置決めできる機構を設け、より
短時間で目合せを行う。 【構成】予め明けられた印刷配線板２とフォトマスク１
の穴にピン９を挿入させるピン上下機構８を設け、精密
に自動位置合せする前に、ピン上下機構８で粗い位置決
めを行う。
なくし、より簡単に粗位置決めできる機構を設け、より
短時間で目合せを行う。 【構成】予め明けられた印刷配線板２とフォトマスク１
の穴にピン９を挿入させるピン上下機構８を設け、精密
に自動位置合せする前に、ピン上下機構８で粗い位置決
めを行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、印刷配線パターンが形
成されるフォトマスクを備え、フォトマスクと印刷配線
板とを位置合せをするフォトマスク整合装置に関する。
成されるフォトマスクを備え、フォトマスクと印刷配線
板とを位置合せをするフォトマスク整合装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来印刷配線板の製造工程において、印
刷配線パターンが形成されたフォトマスクとパターンが
転写される印刷配線板との位置合せは、一般的に目視に
よる目合せが行なわれている。すなわち、フォトマスク
と印刷配線板相互に合せマークをもうけ、そのマーク相
互の位置ずれを目で認識して位置補正するという手段を
とられていた。これに対し、最近、印刷配線の高密度化
に伴い、これら位置合せの高精度化が要求されている。
このため、この種の装置は、画像認識技術を応用し、フ
ォトマスクと印刷配線板の整合を行なう機構が開発され
実用に供せられている。
刷配線パターンが形成されたフォトマスクとパターンが
転写される印刷配線板との位置合せは、一般的に目視に
よる目合せが行なわれている。すなわち、フォトマスク
と印刷配線板相互に合せマークをもうけ、そのマーク相
互の位置ずれを目で認識して位置補正するという手段を
とられていた。これに対し、最近、印刷配線の高密度化
に伴い、これら位置合せの高精度化が要求されている。
このため、この種の装置は、画像認識技術を応用し、フ
ォトマスクと印刷配線板の整合を行なう機構が開発され
実用に供せられている。
【０００３】図３（ａ）及び（ｂ）は従来のフォトマス
ク整合装置の一例における概略を示す図である。このフ
ォトマスク整合装置は、図３に示すように、フォトマス
ク１や印刷配線板２を設置するためのテーブル３と、そ
の上部に設けられるとともにフォトマスク１および印刷
配線板２に設けられた合せマークを撮像し、その映像を
映像信号化し、出力するカメラ４と、映像信号を入力
し、フォトマスク１および印刷配線板２の相互の位置ず
れを算出し、補正信号を出力する制御装置５と、補正信
号によりフォトマスク１を移動させ合せマークを一致さ
せる吸着移動アーム７とを有している。
ク整合装置の一例における概略を示す図である。このフ
ォトマスク整合装置は、図３に示すように、フォトマス
ク１や印刷配線板２を設置するためのテーブル３と、そ
の上部に設けられるとともにフォトマスク１および印刷
配線板２に設けられた合せマークを撮像し、その映像を
映像信号化し、出力するカメラ４と、映像信号を入力
し、フォトマスク１および印刷配線板２の相互の位置ず
れを算出し、補正信号を出力する制御装置５と、補正信
号によりフォトマスク１を移動させ合せマークを一致さ
せる吸着移動アーム７とを有している。
【０００４】このフォトマスク整合装置は、固定された
印刷配線板の上にフォトマスク１を乗せるだけで、カメ
ラ４で合せマークを認識させるだけで自動的に目合せ出
来るものであった。
印刷配線板の上にフォトマスク１を乗せるだけで、カメ
ラ４で合せマークを認識させるだけで自動的に目合せ出
来るものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
フォトマスク整合装置においては、上記の整合動作を行
わせる条件としてフォトマスク１と印刷配線板２の合せ
マークがカメラ４の視野内にある必要があり、このた
め、フォトマスク整合装置を動作させる前に、カメラ４
から得られる画像を見ながら、フォトマスク１と印刷配
線板２の位置と合せる作業が必要であった。そしてこの
作業は非常にわずらわしいばかりか、実際の目合せ動作
時間に比べ多大な時間を浪費した。
フォトマスク整合装置においては、上記の整合動作を行
わせる条件としてフォトマスク１と印刷配線板２の合せ
マークがカメラ４の視野内にある必要があり、このた
め、フォトマスク整合装置を動作させる前に、カメラ４
から得られる画像を見ながら、フォトマスク１と印刷配
線板２の位置と合せる作業が必要であった。そしてこの
作業は非常にわずらわしいばかりか、実際の目合せ動作
時間に比べ多大な時間を浪費した。
【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解決すべ
く、人手作業による粗位置決めを必要としないフォトマ
スク整合装置を提供することである。
く、人手作業による粗位置決めを必要としないフォトマ
スク整合装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のフォトマスク整
合装置は、整合させようとするフォトマスク及び印刷配
線板とを設置するテーブルと、このフォトマスク及び印
刷配線板の合せマークを読み取るカメラと、前記フォト
マスクを移動させる吸着移動アームと、前記カメラより
出力された映像信号を認識し前記フォトマスク及び印刷
配線の合せマークの相互の位置ずれを算出し前記吸着移
動アームを移動させる制御装置と、前記テーブルに取付
けられるとともに前記フォトマスク及び前記印刷配線板
の位置決め用の穴にピンを挿入させたり、脱離させたり
するピン駆動機構とを備えている。
合装置は、整合させようとするフォトマスク及び印刷配
線板とを設置するテーブルと、このフォトマスク及び印
刷配線板の合せマークを読み取るカメラと、前記フォト
マスクを移動させる吸着移動アームと、前記カメラより
出力された映像信号を認識し前記フォトマスク及び印刷
配線の合せマークの相互の位置ずれを算出し前記吸着移
動アームを移動させる制御装置と、前記テーブルに取付
けられるとともに前記フォトマスク及び前記印刷配線板
の位置決め用の穴にピンを挿入させたり、脱離させたり
するピン駆動機構とを備えている。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００９】図１は本発明のフォトマスク整合装置の一
実施例における概略を示す図、図２は図１のフォトマス
ク整合装置の動作を説明するためのフローチャートであ
る。このフォトマスク整合装置は、図１に示すように、
粗位置決め用のピン上下機構８を設けたことである。こ
れはあらかじめフォトマスク１及び印刷配線板２に形成
された穴にピン９を挿入することによって粗位置決めす
ることである。
実施例における概略を示す図、図２は図１のフォトマス
ク整合装置の動作を説明するためのフローチャートであ
る。このフォトマスク整合装置は、図１に示すように、
粗位置決め用のピン上下機構８を設けたことである。こ
れはあらかじめフォトマスク１及び印刷配線板２に形成
された穴にピン９を挿入することによって粗位置決めす
ることである。
【００１０】次にこのフォトマスク整合装置の動作を説
明する。まず、図２のステップＡで作業開始時、ピン上
下機構８によりピン９を上昇させる。次に、ステップＢ
で印刷配線板２を配置する。このとき印刷配線板２には
ピン９の外径よりわずかに大きい穴をあらかじめ形成し
ておき、ピン９とはめあいになるようにしておく。次
に、ステップＣでフォトマスク１を配置する。印刷配線
板２と同様にピン９とはめあいになるよう、あらかじめ
穴を形成しておく。次に、ステップＤでピン９が下降す
る。次に、ステップＥで合せマークをカメラ４が読み取
って、ステップＦで制御装置によりずれ量算出とステッ
プＧで誤差判断が行なわれ、誤差が許容量を超える場合
には、ステップＨで吸着移動アーム７によってフォトマ
スク１が移動したのちステップＥからカメラ４による読
み取り操作から再実行する。ステップＧで誤差が許容量
以下であれば、作業は終了する。
明する。まず、図２のステップＡで作業開始時、ピン上
下機構８によりピン９を上昇させる。次に、ステップＢ
で印刷配線板２を配置する。このとき印刷配線板２には
ピン９の外径よりわずかに大きい穴をあらかじめ形成し
ておき、ピン９とはめあいになるようにしておく。次
に、ステップＣでフォトマスク１を配置する。印刷配線
板２と同様にピン９とはめあいになるよう、あらかじめ
穴を形成しておく。次に、ステップＤでピン９が下降す
る。次に、ステップＥで合せマークをカメラ４が読み取
って、ステップＦで制御装置によりずれ量算出とステッ
プＧで誤差判断が行なわれ、誤差が許容量を超える場合
には、ステップＨで吸着移動アーム７によってフォトマ
スク１が移動したのちステップＥからカメラ４による読
み取り操作から再実行する。ステップＧで誤差が許容量
以下であれば、作業は終了する。
【００１１】このように粗位置決め機構を設ければ、従
来、画像を見ながら位置決め作業を行う必要がなく、た
だ単に突出するピンに印刷配線板とフォトマスクを挿入
して載置しただけで済むという効果がある。なお、通
常、カメラの視野は４ミリから１０ミリ四方であり、一
方、ピンのはめ合いのクリアランスを５０ミクロミリを
とれば、はめ合いは円滑になる。このことと印刷配線板
とフォトマスクの穴位置のばらつきを考慮して、はめ合
いのクリアランス１ｍｍとした。例えば、視野が最少の
４ｍｍ四方のとき、ピン径を２ｍｍ、クリアランスを１
ｍｍとしても十分粗位置決めが出来る。
来、画像を見ながら位置決め作業を行う必要がなく、た
だ単に突出するピンに印刷配線板とフォトマスクを挿入
して載置しただけで済むという効果がある。なお、通
常、カメラの視野は４ミリから１０ミリ四方であり、一
方、ピンのはめ合いのクリアランスを５０ミクロミリを
とれば、はめ合いは円滑になる。このことと印刷配線板
とフォトマスクの穴位置のばらつきを考慮して、はめ合
いのクリアランス１ｍｍとした。例えば、視野が最少の
４ｍｍ四方のとき、ピン径を２ｍｍ、クリアランスを１
ｍｍとしても十分粗位置決めが出来る。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、画像認
識による整合操作の前に、ピン９による印刷配線板２と
フォトマスク１の粗位置決めを予め行う機構を設けるこ
とによって、予め人手による粗位置決め作業をすること
なく、より短時間で目合せ出来るフォトマスク整合装置
が得られるという効果がある。
識による整合操作の前に、ピン９による印刷配線板２と
フォトマスク１の粗位置決めを予め行う機構を設けるこ
とによって、予め人手による粗位置決め作業をすること
なく、より短時間で目合せ出来るフォトマスク整合装置
が得られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスク整合装置の一実施例にお
ける概略を示す図である。
ける概略を示す図である。
【図２】図１のフォトマスク整合装置の動作を説明する
ためのフローチャートである。
ためのフローチャートである。
【図３】従来のフォトマスク整合装置の一例における概
略を示す図である。
略を示す図である。
１ フォトマスク ２ 印刷配線板 ３ テーブル ４ カメラ ５ 制御装置 ７ 吸着移動アーム ８ ピン上下機構 ９ ピン
Claims (1)
- 【請求項１】 整合させようとするフォトマスク及び印
刷配線板とを設置するテーブルと、このフォトマスク及
び印刷配線板の合せマークを読み取るカメラと、前記フ
ォトマスクを移動させる吸着移動アームと、前記カメラ
より出力された映像信号を認識し前記フォトマスク及び
印刷配線の合せマークの相互の位置ずれを算出し前記吸
着移動アームを移動させる制御装置と、前記テーブルに
取付けられるとともに前記フォトマスク及び前記印刷配
線板の位置決め用の穴にピンを挿入させたり、脱離させ
たりするピン駆動機構とを備えることを特徴とするフォ
トマスク整合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4051204A JPH05249700A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | フォトマスク整合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4051204A JPH05249700A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | フォトマスク整合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05249700A true JPH05249700A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=12880370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4051204A Withdrawn JPH05249700A (ja) | 1992-03-10 | 1992-03-10 | フォトマスク整合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05249700A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4416882A1 (de) * | 1994-05-13 | 1995-11-16 | Multiline International Europa | Verfahren und Vorrichtung zum gegenseitigen Ausrichten eines Films und einer Leiterplatte |
| US6560844B1 (en) * | 2000-02-24 | 2003-05-13 | Honeywell International Inc. | Alignment plate with matched thermal coefficient of expansion |
| KR101388503B1 (ko) * | 2012-06-13 | 2014-04-23 | 주식회사 케이씨텍 | 그래핀 시트와 마스크의 위치 정렬 장치와 위치 정렬 방법 및 그래핀 시트에 패턴을 형성하는 방법 |
-
1992
- 1992-03-10 JP JP4051204A patent/JPH05249700A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4416882A1 (de) * | 1994-05-13 | 1995-11-16 | Multiline International Europa | Verfahren und Vorrichtung zum gegenseitigen Ausrichten eines Films und einer Leiterplatte |
| DE4416882C2 (de) * | 1994-05-13 | 1999-03-18 | Multiline International Europa | Verfahren zum gegenseitigen Ausrichten eines Films und einer Leiterplatte |
| US6560844B1 (en) * | 2000-02-24 | 2003-05-13 | Honeywell International Inc. | Alignment plate with matched thermal coefficient of expansion |
| KR101388503B1 (ko) * | 2012-06-13 | 2014-04-23 | 주식회사 케이씨텍 | 그래핀 시트와 마스크의 위치 정렬 장치와 위치 정렬 방법 및 그래핀 시트에 패턴을 형성하는 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990518 |