JPH05253802A - 工作機械における移動体の案内真直度測定用ストレッチ - Google Patents
工作機械における移動体の案内真直度測定用ストレッチInfo
- Publication number
- JPH05253802A JPH05253802A JP8814392A JP8814392A JPH05253802A JP H05253802 A JPH05253802 A JP H05253802A JP 8814392 A JP8814392 A JP 8814392A JP 8814392 A JP8814392 A JP 8814392A JP H05253802 A JPH05253802 A JP H05253802A
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- Japan
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】測定コストの低減とメンテナンスの容易化。
【構成】基準ストレッチ7に対する補正ストレッチ固有
の誤差を算出すると共に、演算記憶装置8に記憶させ、
その誤差を補正ストレッチの実測値に加算することによ
り、基準ストレッチで測定した場合と同じ精度で測定す
ることができるようにした。 【効果】基準ストレッチは一つで足り、実側に用いるス
トレッチに高精度を要求する必要がなくなる。而も経年
変化に対するメンテナンスが容易である。
の誤差を算出すると共に、演算記憶装置8に記憶させ、
その誤差を補正ストレッチの実測値に加算することによ
り、基準ストレッチで測定した場合と同じ精度で測定す
ることができるようにした。 【効果】基準ストレッチは一つで足り、実側に用いるス
トレッチに高精度を要求する必要がなくなる。而も経年
変化に対するメンテナンスが容易である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械において直線
案内送りされるテーブル等の移動体の案内真直度を測定
するストレッチに関する。
案内送りされるテーブル等の移動体の案内真直度を測定
するストレッチに関する。
【0002】
【従来の技術】従来は、基準ストレッチを用い、例えば
移動体上にギャップ検出器、或いは接触式変位計を設置
し、それらから出力されるデータによって案内真直度の
測定を行なっていた。
移動体上にギャップ検出器、或いは接触式変位計を設置
し、それらから出力されるデータによって案内真直度の
測定を行なっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記のように工作機械
における移動体の案内真直度の測定精度は、基準ストレ
ッチの真直度に左右されるため、高い測定精度を出すに
は、ストレッチの基準面をラップ等の手仕上げによって
磨かなければならない。従って、生産性が悪く、コスト
がかかる。而も、経年変化による精度低下を防止するた
め、定期的にラップによる修正を行なわなければならな
い。これらのことは、特に多くの工作機械を設置してい
る工場では深刻な問題である。
における移動体の案内真直度の測定精度は、基準ストレ
ッチの真直度に左右されるため、高い測定精度を出すに
は、ストレッチの基準面をラップ等の手仕上げによって
磨かなければならない。従って、生産性が悪く、コスト
がかかる。而も、経年変化による精度低下を防止するた
め、定期的にラップによる修正を行なわなければならな
い。これらのことは、特に多くの工作機械を設置してい
る工場では深刻な問題である。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、基準ストレッ
チとの測定誤差を予め記憶しておくことによって、基準
ストレッチで測定した場合と同じ精度測定することがで
きるストレッチを提供するものである。即ち、その構成
とは、移動体の案内真直度を基準ストレッチと補正スト
レッチそれぞれで測定し、両測定値を比較演算すること
により基準ストレッチに対する補正ストレッチ固有の測
定誤差を算出し、補正ストレッチで測定した案内真直度
の実測値に前記測定誤差を加算して正確な案内真直度に
補正するようにしたことにある。
チとの測定誤差を予め記憶しておくことによって、基準
ストレッチで測定した場合と同じ精度測定することがで
きるストレッチを提供するものである。即ち、その構成
とは、移動体の案内真直度を基準ストレッチと補正スト
レッチそれぞれで測定し、両測定値を比較演算すること
により基準ストレッチに対する補正ストレッチ固有の測
定誤差を算出し、補正ストレッチで測定した案内真直度
の実測値に前記測定誤差を加算して正確な案内真直度に
補正するようにしたことにある。
【0005】
【作用】基準ストレッチの測定値との誤差を予め記憶し
ておき、その誤差を補正ストレッチの実測値に加算する
ことにより、補正ストレッチの有する誤差が補正される
ので、高い精度の測定ができる。
ておき、その誤差を補正ストレッチの実測値に加算する
ことにより、補正ストレッチの有する誤差が補正される
ので、高い精度の測定ができる。
【0006】
【実施例】図1〜図5は、本発明に係る工作機械におけ
る移動体の案内真直度測定用ストレッチ(以下、ストレ
ッチという)の説明図である。以下、これらの図面に基
づいて本発明を説明する。図1は、本発明のストレッチ
の構成を示す説明図であり、基準ストレッチに対する補
正ストレッチ固有の測定誤差を測定するところを示す。
基準ストレッチ7には絶対の真直度を有する基準面71
が形成されると共に、変位計72が取付けられ、テーブ
ル上に接触したセンサー部73によって移動体の一例で
あるテーブル10摺動面の真直度を測定し、その測定デ
ータ(以下、真直度データという)を出力することがで
きるようになっている。補正ストレッチ1は、テーブル
10を挟んで基準ストレッチ7と対向する側に、補正ス
トレッチ本体4がテーブル側面と平行になるように置か
れている。補正ストレッチ本体4には、案内真直度測定
の基準面となる変位検出面41が長手方向側面に形成さ
れ、長手方向上面にはスケール6が立設されている。2
は、光学式の位置検出センサーを示し、スケール6に刻
まれた格子の数を読み取り、単位距離当たりの位置デー
タ(以下、位置データという)を出力することができる
ようになっている。3は、変位検出センサーを示し、変
位検出面と移動体側面とのギャップ変化を検出し、その
測定データ(以下、変位データという)を出力すること
ができるようになっている。5は、前記各センサーを取
付けたセンサー取付台を示し、スケール6と変位検出面
41に各センサーがそれぞれ対向するようにテーブル上
に取付けられている。8は、CPUを備えた演算部とR
OMを備えた記憶部とから構成される演算記憶装置を示
す。演算部は各データを入力して所定の演算を行ない、
記憶部は演算されたデータを記憶できるようになってい
る。
る移動体の案内真直度測定用ストレッチ(以下、ストレ
ッチという)の説明図である。以下、これらの図面に基
づいて本発明を説明する。図1は、本発明のストレッチ
の構成を示す説明図であり、基準ストレッチに対する補
正ストレッチ固有の測定誤差を測定するところを示す。
基準ストレッチ7には絶対の真直度を有する基準面71
が形成されると共に、変位計72が取付けられ、テーブ
ル上に接触したセンサー部73によって移動体の一例で
あるテーブル10摺動面の真直度を測定し、その測定デ
ータ(以下、真直度データという)を出力することがで
きるようになっている。補正ストレッチ1は、テーブル
10を挟んで基準ストレッチ7と対向する側に、補正ス
トレッチ本体4がテーブル側面と平行になるように置か
れている。補正ストレッチ本体4には、案内真直度測定
の基準面となる変位検出面41が長手方向側面に形成さ
れ、長手方向上面にはスケール6が立設されている。2
は、光学式の位置検出センサーを示し、スケール6に刻
まれた格子の数を読み取り、単位距離当たりの位置デー
タ(以下、位置データという)を出力することができる
ようになっている。3は、変位検出センサーを示し、変
位検出面と移動体側面とのギャップ変化を検出し、その
測定データ(以下、変位データという)を出力すること
ができるようになっている。5は、前記各センサーを取
付けたセンサー取付台を示し、スケール6と変位検出面
41に各センサーがそれぞれ対向するようにテーブル上
に取付けられている。8は、CPUを備えた演算部とR
OMを備えた記憶部とから構成される演算記憶装置を示
す。演算部は各データを入力して所定の演算を行ない、
記憶部は演算されたデータを記憶できるようになってい
る。
【0007】今、補正ストレッチ固有の測定誤差を測定
するため基準ストレッチの基準面71をテーブル10の
側面に当てがった状態で、テーブルを一定距離移動した
とすると、変位計72から真直度データが、変位検出セ
ンサー3から変位データが、位置検出センサー2から位
置データがそれぞれ演算記憶装置8へ出力される。
するため基準ストレッチの基準面71をテーブル10の
側面に当てがった状態で、テーブルを一定距離移動した
とすると、変位計72から真直度データが、変位検出セ
ンサー3から変位データが、位置検出センサー2から位
置データがそれぞれ演算記憶装置8へ出力される。
【0008】そして、図4に示すように、真直度データ
Bは加算データとして、変位データAは減算データとし
て加算され、位置データと共に演算部81へ入力され、
図2に示すように各位置データ毎に基準ストレッチに対
する補正ストレッチ固有の誤差が算出され、この算出さ
れたデータは誤差データαとして記憶部62に記憶され
る。
Bは加算データとして、変位データAは減算データとし
て加算され、位置データと共に演算部81へ入力され、
図2に示すように各位置データ毎に基準ストレッチに対
する補正ストレッチ固有の誤差が算出され、この算出さ
れたデータは誤差データαとして記憶部62に記憶され
る。
【0009】図5は、補正ストレッチで案内真直度を測
定する場合のブロック図である。テーブルの移動によっ
て得られた位置データは記憶部82へ出力され、予め記
憶されている誤差データと演算され、位置データに対応
した誤差データβとして出力される。そして、誤差デー
タβは測定された変位データCと加算され、出力端子9
へ出力される。即ち、この出力されたデータが求めるべ
きテーブルの案内真直度を示すデータである。以上のよ
うに、実測値に補正ストレッチ固有の誤差が補正される
ため、補正ストレッチの変位検出面の精度にかかわら
ず、正確な測定ができる。
定する場合のブロック図である。テーブルの移動によっ
て得られた位置データは記憶部82へ出力され、予め記
憶されている誤差データと演算され、位置データに対応
した誤差データβとして出力される。そして、誤差デー
タβは測定された変位データCと加算され、出力端子9
へ出力される。即ち、この出力されたデータが求めるべ
きテーブルの案内真直度を示すデータである。以上のよ
うに、実測値に補正ストレッチ固有の誤差が補正される
ため、補正ストレッチの変位検出面の精度にかかわら
ず、正確な測定ができる。
【0010】尚、各センサーは本発明と同一の効果を奏
するものであれば、近接スイッチ方式、ホール素子方
式、光電方式等の方式のものを使用することもできる。
するものであれば、近接スイッチ方式、ホール素子方
式、光電方式等の方式のものを使用することもできる。
【0011】
【発明の効果】本発明を用いれば、基準ストレッチは一
つで足り、実測に用いるストレッチには高精度を要求さ
れない。而も、経年変化に対するメンテナンスが容易で
ある。従って、測定コストの低減と作業効率の向上を図
ることができる。
つで足り、実測に用いるストレッチには高精度を要求さ
れない。而も、経年変化に対するメンテナンスが容易で
ある。従って、測定コストの低減と作業効率の向上を図
ることができる。
【図1】本発明のストレッチの説明図である。
【図2】補正ストレッチ固有の測定誤差を示す説明図で
ある。
ある。
【図3】補正ストレッチと演算記憶部の説明図である。
【図4】補正ストレッチ固有の測定誤差を求める場合の
各信号の流れ図である。
各信号の流れ図である。
【図5】案内真直度を測定する場合の各信号の流れ図で
ある。
ある。
1・・補正ストレッチ、2・・位置検出センサー、3・
・変位検出センサー、4・・補正ストレッチ本体、41
・・変位検出面、5・・センサー取付台、6・・スケー
ル、7・・基準ストレッチ、71・・基準面、72・・
変位計、73・・センサー部、8・・演算記憶装置、8
1・・演算部、82・・記憶部、9・・出力端子、10
・・テーブル、A,C・・変位データ、B・・真直度デ
ータ、α,β・・誤差データ。
・変位検出センサー、4・・補正ストレッチ本体、41
・・変位検出面、5・・センサー取付台、6・・スケー
ル、7・・基準ストレッチ、71・・基準面、72・・
変位計、73・・センサー部、8・・演算記憶装置、8
1・・演算部、82・・記憶部、9・・出力端子、10
・・テーブル、A,C・・変位データ、B・・真直度デ
ータ、α,β・・誤差データ。
Claims (1)
- 【請求項1】工作機械における移動体の案内真直度を測
定するストレッチであって、移動体の案内真直度を基準
ストレッチと補正ストレッチそれぞれで測定し、両測定
値を比較演算することにより基準ストレッチに対する補
正ストレッチ固有の測定誤差を算出し、補正ストレッチ
で測定した案内真直度の実測値に前記測定誤差を加算し
て正確な案内真直度に補正する工作機械における移動体
の案内真直度測定用ストレッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8814392A JPH05253802A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 工作機械における移動体の案内真直度測定用ストレッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8814392A JPH05253802A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 工作機械における移動体の案内真直度測定用ストレッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253802A true JPH05253802A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=13934717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8814392A Pending JPH05253802A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 工作機械における移動体の案内真直度測定用ストレッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05253802A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113607095A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-11-05 | 鑫鑫直线精密机械(苏州)有限公司 | 直线导轨平行度展示台 |
| CN118883057A (zh) * | 2024-07-29 | 2024-11-01 | 智能制造龙城实验室 | 一种机床进给系统直线度退化过程加速测试装置及方法 |
-
1992
- 1992-03-11 JP JP8814392A patent/JPH05253802A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113607095A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-11-05 | 鑫鑫直线精密机械(苏州)有限公司 | 直线导轨平行度展示台 |
| CN118883057A (zh) * | 2024-07-29 | 2024-11-01 | 智能制造龙城实验室 | 一种机床进给系统直线度退化过程加速测试装置及方法 |
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