JPH05257085A - 照明光学系 - Google Patents

照明光学系

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JPH05257085A
JPH05257085A JP4086553A JP8655392A JPH05257085A JP H05257085 A JPH05257085 A JP H05257085A JP 4086553 A JP4086553 A JP 4086553A JP 8655392 A JP8655392 A JP 8655392A JP H05257085 A JPH05257085 A JP H05257085A
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JP
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light
light source
illumination
optical system
reflected
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JP4086553A
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English (en)
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Masato Shibuya
真人 渋谷
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Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • G02B5/3025Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光源からの各偏光成分を有効に利用でき、か
つ均一な照明が得られるような照明光学系を得る。 【構成】 照明光学系の、光源と、光源からの光を2つ
の偏光方向に分離する偏光分離手段と、分離された偏光
の一方を光源側に戻す第1の反射光学部材と、集光光学
系とを、前記第1の反射光学部材による戻り光の光源像
は前記集光光学系の光軸に対して垂直方向に光源から離
れた位置に結合するよう配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶プロジェク
タ等に用いられる偏光照明光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶プロジェクタ等には、直線偏光を供
給する照明装置が必要であるが、従来のこの種の装置の
光学系は、例えば図13、14、15に示すような構成
であった。図13に示す照明光学系は、光源100と、
コンデンサーレンズ101とλ/4板102と、偏光ビ
ームスプリッタ(以下、PBSと記す)103と、平面
ミラー104とから構成されている。
【0003】光源100からのランダム偏光は、コンデ
ンサーレンズ101によって概略平行光となり、λ/4
板102を透過し、PBS103に入射する。ここで、
入射した光のうちS偏光成分が反射され、PBS103
の上方に照明光として射出される。一方、P偏光は、P
BS103を透過した後、ミラー104によって反射さ
れ、再びPBS103を透過する。さらにλ/4板10
2を透過することによって円偏光となり、コンデンサー
レンズ101によって光源100に集光する。
【0004】戻り光の一部は光源100によって反射さ
れ、この反射戻り光は、再びコンデンサーレンズ101
およびλ/4板102を透過し、S偏光となった後PB
S103で反射されて上方に照明光として射出される。
また、光源100から照明側と逆方向に射出された光
は、凹面鏡105を配置して反射することによって利用
できる。
【0005】図14に示す照明系は、放電型ランプを光
源110として用いたものである。光源110からの光
は、放物面鏡111によって概略平行光となり、位相板
112を透過し、PBS113に入射する。PBS11
3に入射した光のうちS偏光成分は反射され、上方に照
明光として射出される。P偏光成分はPBS113を透
過した後ミラー114で反射され、再びPBS113を
透過し、位相板112を透過することによって直線偏光
の方向が変化したり、円偏光となる。
【0006】この偏光光は、放物面鏡111によって一
回反射された後光源110部に向う。光源110部で一
部が吸収され、その他吸収されなかった光は、透過、ま
たは散乱されて再び放物面鏡111で反射され、位相板
112を透過し、S偏光成分はPBS113で反射され
て照明光となる。
【0007】また、図15に示した照明系においては、
光源120からの光は、コンデンサーレンズ121によ
って概略平行光となってPBS123に入射し、S偏光
成分は反射されて上方へ照明光となって射出される。P
BSを透過したP偏光成分は反射部材124と位相板1
25を設けることによって、S偏光となって上方へ射出
される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の照明系では、以下のような問題点があり不
充分であった。例えば、図13で示した照明系では、戻
り円偏光の光源100による反射が乱反射であるため、
反射方向はランダムであり、かつ偏光状態も乱れ、戻っ
てきた偏光成分を有効に利用することができないという
問題がある。
【0009】図14で示した照明系では、戻ってきた光
は放電型ランプの光源120部でかなり吸収されるた
め、光量損失が生じる。さらに、この照明系では、戻り
光が放物面鏡111によって2回反射されるため、位相
板123を透過した時点で戻り光のほとんどをS偏光と
するのは困難であり、やはり光量損失が大きくなってし
まう。
【0010】また図15で示した照明系では、2つの照
明成分として別個に射出されるので、有効な光量利用が
できないとともに、照明ムラが発生しやすいという問題
があった。また、被照明物体までの距離をある程度必要
とするという問題もあった。本発明は、上記問題を解消
し、光源からの各偏光成分を有効に利用することができ
ると共に、均一な照明が得られるような照明光学系を得
ることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明に係る照明光学系では、光源
と、光源からの光を2つの偏光方向に分離する偏光分離
手段と、該偏光分離手段によって分離された偏光の一方
を反射して光源側に戻す第1の反射光学部材と、該第1
の反射光学部材による戻り光の偏光を変える偏光素子
と、前記光源と前記第1の反射光学部材との間に設けら
れた集光光学系と、戻り偏光を反射し再び前記偏光素子
へ入射させる第2の反射光学部材とを有し、前記光源
と、偏光分離手段と、第1の反射光学部材と、集光光学
系とが、前記第1の反射光学部材による戻り光の光源像
を、前記集光光学系の光軸に対して垂直方向に前記光源
又は該光源の共役位置から離れた位置に結像するように
配置されている。
【0012】また、請求項2に記載の発明に係る照明光
学系では、請求項1に記載の照明光学系において、前記
第2の反射光学部材が、前記戻り光による光源像の結像
位置に配置されるものである。
【0013】また、請求項3に記載の発明に係る照明光
学系では、請求項1に記載の照明光学系において、前記
第2の反射光学部材が、前記戻り光を反射し、再び前記
集光光学系の光軸に対して垂直方向に前記光源から離れ
た位置に光源像を結像するよう配置されるものである。
【0014】また、請求項4に記載の発明に係る照明光
学系では、請求項1に記載の照明光学系において、前記
光源から照明方向とは逆方向に射出された光による光源
像を、前記集光光学系の光軸に対して垂直方向に前記光
源から離れた位置に結像させる第3の反射光学部材を設
けた。
【0015】また、請求項5に記載の発明に係る照明光
学系では、請求項1に記載の照明光学系において、前記
偏光素子をλ/4板とした。
【0016】
【作用】本発明は、光源と光源からの光を2つの偏光方
向に分離する偏光分離手段と、分離された偏光の一方を
光源側に戻す第1の反射光学部材と、集光光学系とを、
前記第1の反射光学部材による戻り光の光源像が前記集
光光学系の光軸に対して垂直方向に光源又は該光源の共
役位置から離れた位置に結像するよう配置してなる照明
光学系であるため、前記戻り光が光源部で吸収された
り、偏光状態が乱されたりする結果生じる光量損失や、
照明ムラ等が低減される。
【0017】また、本発明では、光源から照明方向と逆
方向に射出された光を、前記集光光学系の光軸に対して
垂直方向に光源から離れた位置に結像し、照明光とする
ようるよう第3の反射光学部材を設けることによって、
さらに光源からの光を有効に利用することを可能とす
る。
【0018】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。図1
は、本発明の第1の実施例を示すものであり、光源1と
して放電型ランプを用いた照明光学系である。光源1か
らの光は、楕円鏡7によって一度結像し、コンデンサレ
ンズ2に入射する。ここで概略平行光となった光は、λ
/4板を透過してPBS4に入射し、S偏光成分は反射
されて上方に照明光として射出される。
【0019】P偏光成分はPBS4を透過したのち第1
反射部材5によって反射され再びPBS4を透過する。
さらにλ/4板3を透過して円偏光となった光は、コン
デンサレンズ2によって、第1の結像位置からコンデン
サレンズ2の光軸に対して垂直方向に離れた位置に再び
光源像を結像する。この結像点に配置された第2の反射
部材6により、戻り円偏光は反射され再びコンデンサレ
ンズ2およびλ/4板3を透過し、S偏光となってPB
S4で反射され偏光照明光として上方へ射出される。
【0020】このような構成によって、戻り偏光成分が
有効に利用できるだけでなく、光源1からの直接照明光
と戻り光による照明光とが近接しているので照明の均一
性も高くなる。
【0021】図2は、本発明の第2の実施例であり、光
源11として白熱ランプを用いた照明光学系を示すもの
である。光源11からの光は、コンデンサレンズ12透
過し、概略平行光となってλ/4板13を通りPBS1
4へ入射する。該PBS14においてS偏光成分は反射
されて上方へ偏光照明光として射出される。
【0022】一方P偏光成分はPBS14を透過し、第
1の反射部材15で反射され、再びPBS14、λ/4
板13を透過し、円偏光となる。この戻り円偏光は、コ
ンデンサレンズ12によって光源11部より、コンデン
サレンズ12の光軸に対して垂直方向に離れた位置に光
源像を結像し、該結像点に配置された第2の反射部材1
6によって反射される。この戻り反射光は、再びコンデ
ンサレンズ12、λ/4板13を透過し、S偏光となっ
てPBS14で反射され、照明光として上方へ射出され
る。
【0023】ここで、第1反射部材15を光源11によ
って丁度ケーラー照明される位置に配置すれば、光源1
1からの直接照明光と戻り光による照明光とが、共に第
1反射部材15と共役な面15’の同一領域を照射する
ため、照明は効率的となる。
【0024】図3は、第3の実施例を示すものであり、
第1の実施例と同様の構成において、第1反射部材25
として円錐状ミラー、第2反射部材として輪帯状ミラー
26を用いた照明光学系である。光源21からの光は、
楕円鏡27によって一度結像し、コンデンサレンズ22
に入射する。ここで概略平行光となった光は、λ/4板
23を透過してPBS24に入射し、S偏光成分は反射
されて上方に照明光として射出される。
【0025】P偏光成分はPBS24を透過したのち円
錐状第1反射部材25によって反射され断面リング状光
束となって再びPBS4を透過する。さらにλ/4板2
3を透過して円偏光となった光は、コンデンサレンズ2
2によって、第1結像点を中心とした光軸回りにリング
状に再び結像する。この結像位置に配置された輪帯状第
2反射部材26によって戻り光は反射され、再びコンデ
ンサレンズ22、λ/4板23を透過し、S偏光となっ
てPBS24で反射され、照明光として上方へ射出され
る。
【0026】図中に示した戻り光線a,bは第2反射部
材26で反射されることによって互いに入れ替わる。こ
のような本実施例の構成では、全体が回転対称であるの
で照明ムラがさらに低減できる。また、ここでは第1反
射部材25として円錐状のものを用いたが、これに限ら
ず角錐状や二次曲面等が考えられる。さらに凸面に限ら
ず凹面であってもかまわない。また、第2反射部材26
は光軸に垂直な平面とは限らない。
【0027】さらに、図中に示したごとく、PBS24
からの射出光路にフライアイレンズ9を設けることによ
って、照明の均一性を高めることができる。この場合、
フライアイレンズ9の入射面をコンデンサレンズ22に
対して第1反射部材25と等しい距離に配置すること、
および第1反射部材25の斜面の中点反射された光を第
2反射部材26が垂直に反射するように構成すること
で、最も効率的な照明が可能となる。
【0028】図4は、本発明の第4の実施例であり、第
3実施例とほぼ同じ構成において、光源31として白熱
ランプを用いた照明光学系を示す。光源31からの光
は、コンデンサレンズ32Aによって一度結像し、さら
にコンデンサレンズ32Bによって概略平行光となって
λ/4板33を透過しPBS34に入射する。
【0029】PBS34において、S偏光成分は反射さ
れ照明光となって上方へ射出され、P偏光成分は透過し
て円錐状第1反射部材35で反射され、再びPBS3
4、λ/4板33を透過し、円偏光となる。該戻り円偏
光は、コンデンサレンズ32Bによって第1結像点の光
軸回りにリング状に結像し、この結像位置に配置された
輪帯状第2反射部材36によって反射され、コンデンサ
レンズ32B、λ/4板33、PBS34を介して照明
光となる。
【0030】図5は、本発明の第5の実施例であり、第
4実施例を簡略化した照明光学系を示すものである。1
つのコンデンサレンズ42を用い、戻り光による光源像
を光源回りにリング状に結像させ、その結像位置に輪帯
状第2反射部材46を配置した。その他は同様に光源か
らの直接照明光と、戻り偏光成分による照明光とが得ら
れる。
【0031】図6は、本発明の第6の実施例であり、第
2反射部材56を、戻り光を反射して光源51の回りに
リング状に光源像を結像させるよう配置した照明光学系
を示すものである。ここで第2反射部材は、光源51部
に球心を有する凹面鏡であり、光源51に対して照明側
と反対側(図において左側)に配置される。
【0032】光源51から射出した光のうち、第1反射
部材55によって反射された戻り光は、光源51回りに
リング状に光源像を結像したのち、第2反射部材によっ
て反射され、再び光源51回りにリング状に光源像を結
像する。この後コンデンサレンズ52、λ/4板53、
PBS54を介して照明光として射出される。ここで、
光源から照明側と逆方向に射出された光は、第2反射部
材56によって光源51に戻り、一部が照明光として利
用されるという利点もある。
【0033】図7は、本発明の第7の実施例であり、光
源61から照明方向と逆方向に射出される光をも照明光
として利用するために第3の反射部材67を用いる照明
光学系を示す。光源61から照明側に射出された光およ
び照明側と逆方向に射出され、第3反射部材67によっ
て反射された光は、コンデンサレンズ62、λ/4板6
3を透過し、PBS64に入射する。
【0034】PBS64において、S偏光成分は反射さ
れて照明光として上方へ射出され、P偏光成分は透過し
て第1反射部材65で反射され、再びPBS64、λ/
4板63を透過し、円偏光となってコンデンサレンズ6
2を透過し、第2反射部材66で反射される。この後は
前述の実施例と同様にコンデンサレンズ62、λ/4板
63、PBS64を介して照明光となる。
【0035】本実施例においては、光源から照明方向と
逆方向に射出される光も照明光として用いようとするも
のであり、光源光が非常に有効に利用できる。また、本
実施例においては、実施例4のように2つのコンデンサ
レンズを用いる構成としたり、第1反射部材65および
第2反射部材66を円錐状のものや角錐状のもをとして
も有効である。また、光源61、第2反射部材66、第
3反射部材67を3次元的に配置することも可能であ
る。
【0036】図8は、本発明の第8の実施例であり、前
記第7実施例を改良した照明光学系を示したものであ
る。本実施例においては、光源71から照明方向に射出
される光と、照明方向と逆方向に射出され第3反射部材
77によって反射された光とを照明光として利用しよう
とするのは第7実施例と同様であるが、光源71から照
明方向に射出された光の第2反射部材75による戻り光
を再び照明側に反射させるのに、第3反射部材77を兼
用する構成にしたものである。
【0037】光源71から照明方向と逆方向に射出され
た光は、第3反射部材によって反射され、コンデンサレ
ンズ72、λ/4板73を透過してPBS74でS偏光
成分が反射されて照明光として上方へ射出される。P偏
光成分は、PBS74を透過し、第1反射部材75で反
射され、再びPBS74、λ/4板73、コンデンサレ
ンズ72を透過し、第2反射部材76で反射され、コン
デンサレンズ72、λ/4板73、PBS74を介して
照明光となる。
【0038】図9は、本発明の第9の実施例であり、第
2反射部材と第3反射部材とを同一のもので兼用させて
簡単な構成とした照明光学系を示す。光源81からの照
明方向へ射出された光および照明方向と逆方向に射出さ
れ、第2反射部材86で反射された光は、コンデンサレ
ンズ82、λ/4板83を透過し、PBS84に入射す
る。ここでS偏光成分は反射され照明光として上方へ照
射される。
【0039】P偏光成分は、PBS84を透過し、第1
反射部材85で反射され、再びλ/4板83、コンデン
サレンズ82を介して円偏光となって光源側に戻る。こ
の戻り円偏光は、コンデンサレンズ82の光軸と垂直方
向に光源81から離れた位置に光源像を結像し、その後
さらに第2反射部材86で反射され、コンデンサレンズ
82、λ/4板83、PBS84を介して照明光とな
る。
【0040】上記第6〜9の実施例では、第3反射部材
又は第2反射部材によって光源から照明方向と逆方向に
射出された光も照明光として利用するものであるが、第
2、4、5の実施例においても、光源のから照明側と逆
の側に反射ミラーを配置すれば同様に光源光の有効利用
が可能なのは言うまでもない。
【0041】また、以上の実施例においては、照明光と
して、PBSで反射された偏光成分(実施例中S偏光)
を用いているが、PBSで透過される偏光成分(実施例
中ではP偏光)を照明光として用いてもよい。図10
に、PBSで透過される偏光成分を照明光として用いる
照明光学系の一例を示す。
【0042】光源91からの光は楕円鏡97によって一
度結像し、コンデンサレンズ92によって概略平行光と
なり、λ/4板93を透過してPBS94へ入射する。
ここで、P偏光成分はPBS94を透過し、照明光とし
てそのまま射出される。一方S偏光成分は、PBS94
で反射され、上方に配置された第1反射部材95で反射
され、再びPBS94で反射される。
【0043】さらにλ/4板93を透過して円偏光とな
り、コンデンサレンズ92によって第1結像点から、コ
ンデンサレンズ92の光軸に対して垂直方向に離れた一
に再び光源像を結像し、其結像一に配置された第2反射
部材96によって反射され、コンデンサレンズ92、λ
/4板93、PBS94を介して照明光として射出され
る。
【0044】以上に説明した実施例において、光源又は
光源の共役位置からコンデンサレンズの光軸に対して垂
直方向に離れた位置に、第1反射部材による戻り光の光
源像を結像させるためには、光源を前記光軸よりズレた
位置に配置するだけでなく、第1反射部材の反射面を傾
けて調節する等の手段を用いてもよい。また、図3の実
施例のように他の実施例においても照明光の射出位置に
フライアイレンズを配置して照明の均一性をさらに高め
ることもできる。
【0045】次に、光源が、離散的で巻きが緩いフィラ
メントのようなものである場合の光源Fと第2反射部材
Xと戻り光との間の望ましい位置関係を図11に示し
た。フィラメントF’から照明方向へ射出された光A,
B,C,Dの戻り光A’,B’,C’,D’およびこれ
ら戻り光が第2反射部材Xによって反射され再び照明側
に向う光A'',B'',C'',D''の結像位置が、フィラ
メントF’間の中間に作られるようにするためには、反
射部材Xの光軸とコンデンサレンズCの光軸とのズレΔ
が、Δ=(1/4)d (dはフィラメントF’間の距
離)を満足し、フィラメントの中心と第2反射部材Xの
光軸とのズレもΔとなるように配置すればよい。
【0046】また、図12に、光源が離散的で巻きが緩
いフィラメントのようなものである場合の光源fと第3
反射部材Yとの望ましい位置関係を示した。フィラメン
トf’から照明方向と逆方向にに射出された光g,h,
iの第3反射部材Yによる反射光g’,h’,i’が、
フィラメントf’間の隙間をとおって照明方向へ向うよ
うにするには、フィラメントの中心と第3反射部材の光
軸とのズレΔが、 Δ=(1/4)d (dはフィラメ
ントf’間の距離)を満足するように配置すればよい。
このような構成は、例えば図6の光源部に組み込むと有
効である。
【0047】以上に実施例を示した本発明は、液晶プロ
ジェクタの照明装置として用いるだけでなく、例えば自
動車のヘッドライトにも用いることができる。この場
合、照明光が偏光照明であるため、バックミラーに偏光
特性のあるものを用いればまぶしさを低減できるなど、
有効である。また、半導体の製造に用いられる露光装置
用の偏光照明光学系とする場合にも本発明は有効であ
る。例えば図3の実施例において、フライアイの後にメ
インコンデンサレンズを設け、レチクルを照明すればよ
い。
【0048】
【発明の効果】本発明は以上説明したとおり、従来問題
であった前記戻り光が光源部で吸収されたり、偏光状態
が乱されたりする結果生じる光量損失や、照明ムラ等が
低減され、また、光源から照明方向と逆方向に射出され
た光を照明光として用いるでき、より光源からの光を有
効に利用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図2】本発明の第2の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図3】本発明の第3の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図4】本発明の第4の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図5】本発明の第5の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図6】本発明の第6の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図7】本発明の第7の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図8】本発明の第8の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図9】本発明の第9の実施例に係る照明光学系の概略
構成図である。
【図10】本発明の第10の実施例に係る照明光学系の
概略構成図である。
【図11】本発明の第11の実施例に係る照明光学系の
概略構成図である。
【図12】本発明の第12の実施例に係る照明光学系の
概略構成図である。
【図13】従来の照明光学系の概略構成図である。
【図14】従来の照明光学系の概略構成図である。
【図15】従来の照明光学系の概略構成図である。
【符号の説明】
1,21,91,110:放電型ランプ光源 11,31,41,51,61,71,81,100,
120:白熱ランプ光源 2,12,22,32A,32B,42,52,62,
72,82,92,101,121:コンデンサレンズ 3,13,23,33,43,53,63,73,8
3,93,102:位相板(λ/4板) 112:位相板 125:位相板(λ/2板) 4,14,24,34,44,54,64,74,8
4,94,103,113,123:偏光ビームスプリ
ッタ 5,15,65,75,85,95,104,114:
第1反射部材 25,35,45,55,:円錐状第1反射部材 6,16,56,66,76,96:第2反射部材 26,36,46:輪帯状第2反射部材 7,27,97:楕円鏡 67,77:第3反射鏡 86:第2反射鏡兼第3反射鏡 111:放物面鏡 9:フライアイレンズ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源と、光源からの光を2つの偏光方向
    に分離する偏光分離手段と、該偏光分離手段によって分
    離された偏光の一方を反射して光源側に戻す第1の反射
    光学部材と、該第1の反射光学部材による戻り光の偏光
    を変える偏光素子と、前記光源と前記第1の反射光学部
    材との間に設けられた集光光学系と、戻り偏光を反射し
    再び前記偏光素子へ入射させる第2の反射光学部材とを
    有し、 前記光源と、偏光分離手段と、第1の反射光学部材と、
    集光光学系とが、前記第1の反射光学部材による戻り光
    の光源像を、前記集光光学系の光軸に対して垂直方向に
    前記光源又は該光源の共役位置から離れた位置に結像す
    るように配置されていることを特徴とする照明光学系。
  2. 【請求項2】 前記第2の反射光学部材が、前記戻り光
    による光源像の結像位置に配置されることを特徴とする
    請求項1に記載の照明光学系。
  3. 【請求項3】 前記第2の反射光学部材が、前記戻り光
    を反射し、再び前記集光光学系の光軸に対して垂直方向
    に前記光源から離れた位置に光源像を結像するよう配置
    されることを特徴とする請求項1に記載の照明光学系。
  4. 【請求項4】 前記光源から照明方向とは逆方向に射出
    された光による光源像を、前記集光光学系の光軸に対し
    て垂直方向に前記光源から離れた位置に結像させる第3
    の反射光学部材を設けたことを特徴とする請求項1〜3
    のいずれか1項に記載の照明光学系。
  5. 【請求項5】 前記偏光素子がλ/4板であることを特
    徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の照明光学
    系。
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