JPH05258335A - 光ディスク原盤露光機 - Google Patents
光ディスク原盤露光機Info
- Publication number
- JPH05258335A JPH05258335A JP4085981A JP8598192A JPH05258335A JP H05258335 A JPH05258335 A JP H05258335A JP 4085981 A JP4085981 A JP 4085981A JP 8598192 A JP8598192 A JP 8598192A JP H05258335 A JPH05258335 A JP H05258335A
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- JP
- Japan
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- light
- modulator
- acousto
- beam splitter
- optic modulator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２ビーム各軸の条件を電気的に変えて光学素
子での調整を省き、露光光学系の効率の向上を図る。 【構成】 レーザビーム２を第１のＡ／Ｏ変調器３に入
射させ、１次回折光４をビームスプリッタ１１に入射さ
せる。他方、０次光５は第２のＡ／Ｏ変調器８を介して
前記ビームスプリッタ１１に入射され、先のビームと合
成される。前記第２のＡ／Ｏ変調器８の出力光は、設定
値に対して一定になるように、光量モニタ５とフィード
バック回路１６を介して制御される。前記第１のＡ／Ｏ
変調器３で光量調整した場合の０次光５の光量変化が生
じても、常に同じ光量が得られる。
子での調整を省き、露光光学系の効率の向上を図る。 【構成】 レーザビーム２を第１のＡ／Ｏ変調器３に入
射させ、１次回折光４をビームスプリッタ１１に入射さ
せる。他方、０次光５は第２のＡ／Ｏ変調器８を介して
前記ビームスプリッタ１１に入射され、先のビームと合
成される。前記第２のＡ／Ｏ変調器８の出力光は、設定
値に対して一定になるように、光量モニタ５とフィード
バック回路１６を介して制御される。前記第１のＡ／Ｏ
変調器３で光量調整した場合の０次光５の光量変化が生
じても、常に同じ光量が得られる。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、光ディスク原盤露光機に関し、
より詳細には、音響・光学（Ａ／Ｏ）変調器を用いた光
ディスク原盤露光機に関する。
より詳細には、音響・光学（Ａ／Ｏ）変調器を用いた光
ディスク原盤露光機に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、２ビーム露光法では、例えば、特公
昭６０−２１４０３号公報に見られるように、光量変調
用の変調器を介したあと、２つのビームに分離し、それ
ぞれの光路に信号変調器を介し、その後、ビームスプリ
ッタで合成して対物レンズに入射させていた。また、２
つのビームでの条件を変えるために、あらかじめビーム
スプリッタにより２つのビームを分離した後、それぞれ
の光路に、光量変調用及び信号変調用の変調器を設け、
合成して対物レンズに入射させるという方法をとってい
た。
昭６０−２１４０３号公報に見られるように、光量変調
用の変調器を介したあと、２つのビームに分離し、それ
ぞれの光路に信号変調器を介し、その後、ビームスプリ
ッタで合成して対物レンズに入射させていた。また、２
つのビームでの条件を変えるために、あらかじめビーム
スプリッタにより２つのビームを分離した後、それぞれ
の光路に、光量変調用及び信号変調用の変調器を設け、
合成して対物レンズに入射させるという方法をとってい
た。
【０００３】従来の２ビーム露光法のように、１つの光
量変調器で２つのビームの光量を変調する場合には、そ
の後の光路中にフィルターを介在させ、２つのビーム光
量条件を変える必要があり、そのためにフィルターの選
定や調整作業が必要であり、そのための光軸変化等も生
じることがあった。また、予じめビームスプリッタで２
ビームに分割し、それぞれに光量及び信号変調器を設け
た場合、特に音響光学（Ａ／Ｏ）変調器を用いる場合は
回折効率が７０％程度となるため、光量変調器や信号変
調器に加え、偏向変調器と３段の音響光学（Ａ／Ｏ）変
調器を介し、入射側を５０％の分割とすると、最終出力
では１７.１５％となり、露光光学系としては効率が非
常に悪くなる。そこで音響光学（Ａ／Ｏ）変調器の替り
に電気光学（Ｅ／Ｏ）変調器を用いれば、約８０％の効
率となり、出力側は２５.６％となるが、高価なものと
なってしまう。
量変調器で２つのビームの光量を変調する場合には、そ
の後の光路中にフィルターを介在させ、２つのビーム光
量条件を変える必要があり、そのためにフィルターの選
定や調整作業が必要であり、そのための光軸変化等も生
じることがあった。また、予じめビームスプリッタで２
ビームに分割し、それぞれに光量及び信号変調器を設け
た場合、特に音響光学（Ａ／Ｏ）変調器を用いる場合は
回折効率が７０％程度となるため、光量変調器や信号変
調器に加え、偏向変調器と３段の音響光学（Ａ／Ｏ）変
調器を介し、入射側を５０％の分割とすると、最終出力
では１７.１５％となり、露光光学系としては効率が非
常に悪くなる。そこで音響光学（Ａ／Ｏ）変調器の替り
に電気光学（Ｅ／Ｏ）変調器を用いれば、約８０％の効
率となり、出力側は２５.６％となるが、高価なものと
なってしまう。
【０００４】図３は、従来の光ディスク原盤露光光学系
を示す図で、図中、３１は露光用光源（アルゴンレー
ザ）、３２は出射ビーム、３３はビームスプリッタ、３
４ａ，３４ｂは光量変調用音響光学（Acoustooptic;Ａ
／Ｏ）変調器、３５ａ，３５ｂは１次回折光、３６ａ，
３６ｂは０次光、３７ａ，３７ｂは信号変調器、３８は
偏向用音響光学（Ａ／Ｏ）変調器、３９はλ／２板、４
０はミラー、４１はビームスプリッタ、４２は対物レン
ズ、４３はフォトレジスト、４４はガラス基板である。
を示す図で、図中、３１は露光用光源（アルゴンレー
ザ）、３２は出射ビーム、３３はビームスプリッタ、３
４ａ，３４ｂは光量変調用音響光学（Acoustooptic;Ａ
／Ｏ）変調器、３５ａ，３５ｂは１次回折光、３６ａ，
３６ｂは０次光、３７ａ，３７ｂは信号変調器、３８は
偏向用音響光学（Ａ／Ｏ）変調器、３９はλ／２板、４
０はミラー、４１はビームスプリッタ、４２は対物レン
ズ、４３はフォトレジスト、４４はガラス基板である。
【０００５】露光用光源、例えばアルゴンレーザ３１か
ら、出射したビーム３２はビームスプリッタ３３ａによ
って２つのビームに分離され、それぞれ光量を変える光
量変調用Ａ／Ｏ変調器３４ａ，３４ｂに入射し、１次回
折光３５ａ，３５ｂと、０次光３６ａ，３６ｂのビーム
が出射する。０次光は遮光されるが、１次回折光３５
ａ，３５ｂは信号変調用Ａ／Ｏ変調器３７ａ，３７ｂに
入射し、一方の信号変調用Ａ／Ｏ変調器３７ａの出射１
次光は、偏向用Ａ／Ｏ変調器３８を介してビームスプリ
ッタ４１に入射する。他方の信号変調用Ａ／Ｏ変調器３
７ｂの出射１次光は、λ／２板３９を介しビームスプリ
ッタ４１に入射する。該ビームスプリッタ４１で合成さ
れるそれぞれのビームは、わずかな角度差をもって対物
レンズ４２に入射し、ガラス基板４４上に塗布されたフ
ォトレジスト４３上に半径方向に位置の異なるスポット
として結像し、グルーブ又はピットの潜像をつくる。
ら、出射したビーム３２はビームスプリッタ３３ａによ
って２つのビームに分離され、それぞれ光量を変える光
量変調用Ａ／Ｏ変調器３４ａ，３４ｂに入射し、１次回
折光３５ａ，３５ｂと、０次光３６ａ，３６ｂのビーム
が出射する。０次光は遮光されるが、１次回折光３５
ａ，３５ｂは信号変調用Ａ／Ｏ変調器３７ａ，３７ｂに
入射し、一方の信号変調用Ａ／Ｏ変調器３７ａの出射１
次光は、偏向用Ａ／Ｏ変調器３８を介してビームスプリ
ッタ４１に入射する。他方の信号変調用Ａ／Ｏ変調器３
７ｂの出射１次光は、λ／２板３９を介しビームスプリ
ッタ４１に入射する。該ビームスプリッタ４１で合成さ
れるそれぞれのビームは、わずかな角度差をもって対物
レンズ４２に入射し、ガラス基板４４上に塗布されたフ
ォトレジスト４３上に半径方向に位置の異なるスポット
として結像し、グルーブ又はピットの潜像をつくる。
【０００６】この従来例では、最初に、ビームスプリッ
タ３３ａで所定の光量に分割され、またＡ／Ｏ変調器の
設定値自体も最大回折光量の８０％程度しか使用しな
く、また、Ａ／Ｏ変調器の回折効率も約７０％のため、
光量は仮にビームスプリッタで５０％ずつに分割して
も、１軸は、０.５×０.７×０.８×０.７×０.７＝０.
１３７２、他軸は、０.５×０.７×０.８×０.７＝０.
１９６と、約レーザ光量の１〜２割の効率しか得られな
かった。
タ３３ａで所定の光量に分割され、またＡ／Ｏ変調器の
設定値自体も最大回折光量の８０％程度しか使用しな
く、また、Ａ／Ｏ変調器の回折効率も約７０％のため、
光量は仮にビームスプリッタで５０％ずつに分割して
も、１軸は、０.５×０.７×０.８×０.７×０.７＝０.
１３７２、他軸は、０.５×０.７×０.８×０.７＝０.
１９６と、約レーザ光量の１〜２割の効率しか得られな
かった。
【０００７】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、２ビーム各軸の条件を、電気的に変えられるよ
うにして光学素子での調整を省き、従来の露光光学系を
あまり変えることなく効率を向上させること、また、音
響光学（Ａ／Ｏ）変調器の効率を向上させる光学系を得
るようにした光ディスク原盤露光機を提供することを目
的としてなされたものである。
もので、２ビーム各軸の条件を、電気的に変えられるよ
うにして光学素子での調整を省き、従来の露光光学系を
あまり変えることなく効率を向上させること、また、音
響光学（Ａ／Ｏ）変調器の効率を向上させる光学系を得
るようにした光ディスク原盤露光機を提供することを目
的としてなされたものである。
【０００８】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
レーザ光源と、該レーザ光源から出射したビームの光量
を変調する第１の音響光学変調器と、該第１の音響光学
変調器からの０次光を光量変調する第２の音響光学変調
器と、前記第１の音響光学変調器からの１次光と、前記
第２の音響光学変調器からの光を入射するビームスプリ
ッタとから成り、前記第２の音響光学変調器の出力側に
光量モニタを設けてフィードバック制御したこと、更に
は、（２）前記第１の音響光学変調器からの０次光を全
反射するミラーを介して、再度該第１の音響光学変調器
に出力側から入射させ、該第１の音響光学変調器からの
１次光を他のミラーを介して先の１次光と合致合成する
ビームスプリッタを設けたこと、更には、（３）前記
（２）において、前記１次光を前記ビームスプリッタに
入射させるために用いられるミラーを、微動アオリ調整
が可能である調整台上に装着し、前記ビームスプリッタ
からの出力光が合致又は微少角度差を有する光軸として
出力されるようにしたことを特徴としたものである。以
下、本発明の実施例に基づいて説明する。
レーザ光源と、該レーザ光源から出射したビームの光量
を変調する第１の音響光学変調器と、該第１の音響光学
変調器からの０次光を光量変調する第２の音響光学変調
器と、前記第１の音響光学変調器からの１次光と、前記
第２の音響光学変調器からの光を入射するビームスプリ
ッタとから成り、前記第２の音響光学変調器の出力側に
光量モニタを設けてフィードバック制御したこと、更に
は、（２）前記第１の音響光学変調器からの０次光を全
反射するミラーを介して、再度該第１の音響光学変調器
に出力側から入射させ、該第１の音響光学変調器からの
１次光を他のミラーを介して先の１次光と合致合成する
ビームスプリッタを設けたこと、更には、（３）前記
（２）において、前記１次光を前記ビームスプリッタに
入射させるために用いられるミラーを、微動アオリ調整
が可能である調整台上に装着し、前記ビームスプリッタ
からの出力光が合致又は微少角度差を有する光軸として
出力されるようにしたことを特徴としたものである。以
下、本発明の実施例に基づいて説明する。
【０００９】図１は、本発明による光ディスク原盤露光
機の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は露
光用光源（アルゴンレーザ）、２は出射ビーム、３は第
１の光量調整用音響光学（Ａ／Ｏ）変調器、４は１次回
折光、５は０次光、６は信号変調用Ａ／Ｏ変調器、７は
偏向変調器、８は第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調器、９は
信号変調用Ａ／Ｏ変調器、１０はλ／２板、１１はビー
ムスプリッタ、１２は対物レンズ、１３はフォトレジス
ト、１４はガラス基板、１５は光量モニタ（フォトダイ
オード；ＰＤ）、１６はフィードバック回路である。
機の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は露
光用光源（アルゴンレーザ）、２は出射ビーム、３は第
１の光量調整用音響光学（Ａ／Ｏ）変調器、４は１次回
折光、５は０次光、６は信号変調用Ａ／Ｏ変調器、７は
偏向変調器、８は第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調器、９は
信号変調用Ａ／Ｏ変調器、１０はλ／２板、１１はビー
ムスプリッタ、１２は対物レンズ、１３はフォトレジス
ト、１４はガラス基板、１５は光量モニタ（フォトダイ
オード；ＰＤ）、１６はフィードバック回路である。
【００１０】露光用光源１からのレーザービーム２を第
１の光量調整用Ａ／Ｏ変調器３に入射させ、該Ａ／Ｏ変
調器３からの１次回折光４は、信号変調用Ａ／Ｏ変調器
６と偏向変調器７を介してビームスプリッタ１１に入射
させる。他方、前記Ａ／Ｏ変調器３からの０次光５は、
第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調器８を介し、その出力光で
ある１次回折光の一部もしくは０次光を、例えばフォト
ダイオード１５でモニタし、設定値に対して常に一定に
なる様にフィードバック回路１６を介して前記Ａ／Ｏ変
調器８にフィードバックする。このことにより、第１の
光量調整用Ａ／Ｏ変調器３で光量調整した場合の０次光
の光量変化があっても常に同じ光量が得られる。また、
第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調器８の１次光は信号用のＡ
／Ｏ変調器９とλ／２板１０を介しビームスプリッタ１
１に入射し、先のビームと合成される。
１の光量調整用Ａ／Ｏ変調器３に入射させ、該Ａ／Ｏ変
調器３からの１次回折光４は、信号変調用Ａ／Ｏ変調器
６と偏向変調器７を介してビームスプリッタ１１に入射
させる。他方、前記Ａ／Ｏ変調器３からの０次光５は、
第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調器８を介し、その出力光で
ある１次回折光の一部もしくは０次光を、例えばフォト
ダイオード１５でモニタし、設定値に対して常に一定に
なる様にフィードバック回路１６を介して前記Ａ／Ｏ変
調器８にフィードバックする。このことにより、第１の
光量調整用Ａ／Ｏ変調器３で光量調整した場合の０次光
の光量変化があっても常に同じ光量が得られる。また、
第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調器８の１次光は信号用のＡ
／Ｏ変調器９とλ／２板１０を介しビームスプリッタ１
１に入射し、先のビームと合成される。
【００１１】このことにより、各ビームの光量はＡ／Ｏ
変調器３の最大回折光量の８０％を１軸目のＭＡＸとす
ると、１×０.７×０.８×０.７×０.７＝０.２７４
４、もう一方の軸は（０.３＋０.７×０.２）×０.７×
０.７＝０.２１５６ と、従来に比べて一軸は２倍の効
率が得られるとともに、分割光量もビームスプリッタに
依存せず、電気的に選択が可能となる。
変調器３の最大回折光量の８０％を１軸目のＭＡＸとす
ると、１×０.７×０.８×０.７×０.７＝０.２７４
４、もう一方の軸は（０.３＋０.７×０.２）×０.７×
０.７＝０.２１５６ と、従来に比べて一軸は２倍の効
率が得られるとともに、分割光量もビームスプリッタに
依存せず、電気的に選択が可能となる。
【００１２】図２は、本発明による光ディスク原盤露光
機の他の露光光学系を示す図で、図中、１７，１８，１
９はミラー、２０は移動台、２１はビームスプリッタ、
２２はＡ／Ｏ変調器である。Ａ／Ｏ変調器２２の出力０
次光をミラー１７で全反射させて再度Ａ／Ｏ変調器２２
に入射させ、その１次回折光を、例えばミラー１８，１
９を用い、先の１次回折光と合成するためのビームスプ
リッタ２１に入射させる。この時、ミラー１７は、最大
効率となるように微小アオリができるようにし、またミ
ラー１９は互いの一次回折光を合致もしくは微小角度変
位調整できるような移動台２０上に搭載されている。こ
のことにより、各変調器では、０.３×０.７＝０.２１
の光量アップが期待され、損失分は９％となり、９０％
近い効率で露光光学系が得られる。また、微動台２０に
より微小角又は微小位置の変更によりビーム強度分布を
変えることができ、このことによりピット形状を変える
ことも可能となる。
機の他の露光光学系を示す図で、図中、１７，１８，１
９はミラー、２０は移動台、２１はビームスプリッタ、
２２はＡ／Ｏ変調器である。Ａ／Ｏ変調器２２の出力０
次光をミラー１７で全反射させて再度Ａ／Ｏ変調器２２
に入射させ、その１次回折光を、例えばミラー１８，１
９を用い、先の１次回折光と合成するためのビームスプ
リッタ２１に入射させる。この時、ミラー１７は、最大
効率となるように微小アオリができるようにし、またミ
ラー１９は互いの一次回折光を合致もしくは微小角度変
位調整できるような移動台２０上に搭載されている。こ
のことにより、各変調器では、０.３×０.７＝０.２１
の光量アップが期待され、損失分は９％となり、９０％
近い効率で露光光学系が得られる。また、微動台２０に
より微小角又は微小位置の変更によりビーム強度分布を
変えることができ、このことによりピット形状を変える
ことも可能となる。
【００１３】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１に対応する効果；光量損失の最も大きな
光量調整Ａ／Ｏ変調器の０次光を利用しているため、効
率が向上するとともに２ビームの光量分割量が任意に設
定できるため、品種によって光量を変える場合、光学素
子の変更を伴なわず、そのため光学系の調整が不要とな
る。 （２）請求項２に対応する効果；露光光学系のＡ／Ｏ変
調器を全てこのタイプにすることで効率は９０％の組合
わせとなって向上する。また高出力のレーザ源を必要と
せず、維持が容易となる。さらに同一変調器で２つのビ
ームを出力するため、変調器ドライバ及び制御用信号は
１つですむため、別制御が不要となる。 （３）請求項３に対応する効果；同一信号光を合致させ
たり、微小変位させることができるため、ピット形状を
変化させることができ、信号レベルに合わせたピット形
状が得易い。
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１に対応する効果；光量損失の最も大きな
光量調整Ａ／Ｏ変調器の０次光を利用しているため、効
率が向上するとともに２ビームの光量分割量が任意に設
定できるため、品種によって光量を変える場合、光学素
子の変更を伴なわず、そのため光学系の調整が不要とな
る。 （２）請求項２に対応する効果；露光光学系のＡ／Ｏ変
調器を全てこのタイプにすることで効率は９０％の組合
わせとなって向上する。また高出力のレーザ源を必要と
せず、維持が容易となる。さらに同一変調器で２つのビ
ームを出力するため、変調器ドライバ及び制御用信号は
１つですむため、別制御が不要となる。 （３）請求項３に対応する効果；同一信号光を合致させ
たり、微小変位させることができるため、ピット形状を
変化させることができ、信号レベルに合わせたピット形
状が得易い。
【図１】 本発明による光ディスク原盤露光機の一実施
例を説明するための構成図である。
例を説明するための構成図である。
【図２】 他の露光光学系を示す図である。
【図３】 従来の光ディスク原盤露光光学系を示す図で
ある。
ある。
１…露光用光源（アルゴンレーザ）、２…出射ビーム、
３…第１の光量調整用音響光学（Ａ／Ｏ）変調器、４…
１次回折光、５…０次光、６…信号変調用Ａ／Ｏ変調
器、７…偏向変調器、８…第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調
器、９…信号変調用Ａ／Ｏ変調器、１０…λ／２板、１
１…ビームスプリッタ、１２…対物レンズ、１３…フォ
トレジスト、１４…ガラス基板、１５…光量モニタ（フ
ォトダイオード；ＰＤ）、１６…フィードバック回路。
３…第１の光量調整用音響光学（Ａ／Ｏ）変調器、４…
１次回折光、５…０次光、６…信号変調用Ａ／Ｏ変調
器、７…偏向変調器、８…第２の光量調整用Ａ／Ｏ変調
器、９…信号変調用Ａ／Ｏ変調器、１０…λ／２板、１
１…ビームスプリッタ、１２…対物レンズ、１３…フォ
トレジスト、１４…ガラス基板、１５…光量モニタ（フ
ォトダイオード；ＰＤ）、１６…フィードバック回路。
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源と、該レーザ光源から出射し
たビームの光量を変調する第１の音響光学変調器と、該
第１の音響光学変調器からの０次光を光量変調する第２
の音響光学変調器と、前記第１の音響光学変調器からの
１次光と、前記第２の音響光学変調器からの光を入射す
るビームスプリッタとから成り、前記第２の音響光学変
調器の出力側に光量モニタを設けてフィードバック制御
したことを特徴とする光ディスク原盤露光機。 - 【請求項２】 前記第１の音響光学変調器からの０次光
を全反射するミラーを介して、再度該第１の音響光学変
調器に出力側から入射させ、該第１の音響光学変調器か
らの１次光を他のミラーを介して先の１次光と合致合成
するビームスプリッタを設けたことを特徴とする請求項
１記載の光ディスク原盤露光機。 - 【請求項３】 前記１次光を前記ビームスプリッタに入
射させるために用いられるミラーを、微動アオリ調整が
可能である調整台上に装着し、前記ビームスプリッタか
らの出力光が合致又は微少角度差を有する光軸として出
力されるようにしたことを特徴とする請求項２記載の光
ディスク原盤露光機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4085981A JPH05258335A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 光ディスク原盤露光機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4085981A JPH05258335A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 光ディスク原盤露光機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05258335A true JPH05258335A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=13873885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4085981A Pending JPH05258335A (ja) | 1992-03-09 | 1992-03-09 | 光ディスク原盤露光機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05258335A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100713203B1 (ko) * | 2006-09-15 | 2007-05-02 | 이창호 | 화장실용 칸막이 |
-
1992
- 1992-03-09 JP JP4085981A patent/JPH05258335A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100713203B1 (ko) * | 2006-09-15 | 2007-05-02 | 이창호 | 화장실용 칸막이 |
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