JPH05261324A - 超音波霧化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低い電圧の電源で駆動でき、電源効率に優
れ、構成が簡単な駆動回路を含み、小型軽量で安価な超
音波霧化装置を提供する。 【構成】 駆動回路５によって圧電振動子２に高周波電
力を供給すると、圧電振動子２に固着された振動板に供
給された液体が霧化される。駆動回路５において電流検
出部１１はダイオードＤ1、Ｄ2から成る。電圧増幅部１
２はインバータＩＣ1を増幅素子とし、帰還抵抗Ｒ1を備
える。コンデンサＣ1、Ｃ2は直流遮断用である。電力増
幅部１３では、直流電源から供給される電流をトランジ
スタＱ1 に導き、Ｑ1でその電流を断続することにより
コイルＬ1に逆起電圧を発生させ、電源電圧ＶCCより高
い電圧で圧電振動子２を励振する。電力増幅部１３の出
力電流の位相の信号は電圧増幅部１２で反転され、電力
増幅部１３に正帰還される。このようにして自励発振回
路を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電振動子と振動板と
から成る複合体に高周波電圧を印加することにより液体
を霧化する小型で軽量な超音波霧化装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】板状の圧電磁器に電極を設けてなる圧電
振動子と、この圧電振動子に一部分が固着された振動板
とでなる複合体において超音波の弾性振動を発生させ、
その振動板に液体を触れさせて該液体を霧化する超音波
霧化装置が本願発明者により特願平２ー３３９１８１、
３ー８４７３０等で出願されている。これら超音波霧化
装置で用いられている圧電振動子は角柱状または矩形板
状であり、その圧電振動子に振動板が梁として固着され
ている。

【０００３】ところで、圧電振動子と振動板とから成る
複合体に液体供給手段を設けることにより形成される超
音波霧化装置がこのように小型であるにもかかわらず、
該複合体を駆動するためには比較的複雑な回路構成を必
要とし、また、高い直流電圧の電源を必要とした。さら
に、消費電力に関し効率の面で問題があった。そのう
え、回路を構成する部品の数、該部品の重量、該部品の
価格にも問題があった。つまり、前記複合体が小型でそ
の性能が良ければ良いほど、その複合体を駆動するため
の回路も小型で高性能である必要がある。

【０００４】さらに、超音波霧化装置の駆動回路は、高
周波の高電圧を発生させ、しかも複合体の共振周波数を
追尾する必要がある。これは、複合体の共振周波数が該
複合体の温度に応じて変動するからである。そこで、駆
動回路には複合体の共振周波数に追随して周波数を変え
る手段が求められる。つまり、駆動回路は共振周波数、
電圧、電力などの諸元を満足すると同時に、複合体の共
振周波数の自動追尾機能を具備しなければならない。

【０００５】複合体の共振周波数に出力の周波数を自動
的に追尾させることのできる駆動回路には周波数自動追
尾の原理に関して２つの方式がある。第１の方式は自動
追尾発振方式である。自動追尾発振方式は、複合体の共
振周波数を検出し、共振周波数に一致させるよう自動的
に発振器の周波数をシフトさせる方式であり、ＰＬＬ
（Phase Locked Loop）方式がよく利用される。第２の
方式は自励発振方式である。自励発振方式は、発振と電
圧・電力増幅が一体となった回路構成を採用しており、
内部に独自の発振回路を持つことなく複合体の共振を利
用して発振させる方式であり、図１２〜１４に従来の回
路例を示す。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図１２はＣＲ結合増幅
回路で圧電振動子を駆動する場合を示している。ＣＲ結
合増幅回路は、抵抗Ｒ１での直流電圧降下が大きく、電
源の利用度が悪いという問題点がある。また、電源電圧
がそのまま圧電振動子の駆動電圧となるので、高い直流
電圧の電源を必要とするという欠点がある。

【０００７】図１３はスイッチング電源回路や超音波機
器用電源に良く使用されているＤＣ−ＡＣインバータ回
路で、圧電振動子を駆動する場合を示している。ＤＣ−
ＡＣインバータ回路は、低電圧駆動が可能という利点が
あるが（電源電圧２Ｖで圧電振動子の駆動可能）、圧電
振動子の消費電力に比較してトランスでの損失が大き
く、効率の面で問題がある。

【０００８】図１４はトランス結合増幅回路で圧電振動
子を駆動する場合を示している。トランス結合増幅回路
は、高域の周波数特性が悪く、トランスＴ１の価格、重
量の問題がある。

【０００９】また、先に挙げたＰＬＬを用いた自動追尾
発振方式には複雑で高価な回路を必要とするという欠点
がある。

【００１０】そこで、本発明の目的は、圧電振動子の所
要駆動電圧より低い電圧の電源から電力を受けてその所
要駆動電圧の高周波交流電力を出力でき、しかも電力効
率に優れ、回路構成が簡単で安価で、小型軽量な超音波
霧化装置の提供にある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
霧化装置は、圧電セラミックの互いに平行な両端面にそ
れぞれ電極ＡおよびＢを設けてなる圧電振動子と、該圧
電振動子に固着されている振動板とで成り、前記振動板
に液体を接触させることにより該液体を霧化する超音波
霧化装置において、前記電極ＡとＢとの間に前記圧電振
動子の共振周波数とほぼ等しい周波数の電圧を印加する
ことにより、前記圧電振動子を駆動する回路が備えてあ
り、前記駆動回路は、前記電極ＡとＢとの間に流れる電
流の位相を検出する手段と、この電流検出手段の出力信
号を増幅して得た高周波電力を前記電極ＡとＢとの間に
加える電力増幅手段とを備え、前記電力増幅手段の出力
の高周波信号は、前記電流検出手段により該電力増幅手
段に正帰還され、前記電力増幅手段の終段増幅素子はト
ランジスタでなり、該トランジスタに電力を供給する流
路に昇圧用のコイルが挿入してあることを特徴とする。

【００１２】請求項２に記載の超音波霧化装置は、前記
電極ＡおよびＢのうちで少なくとも電極Ａは互いに絶縁
された電極Ａ１およびＡ２に分割されていることを特徴
とする。

【００１３】請求項３に記載の超音波霧化装置は、前記
駆動回路が、前記圧電振動子に供給する電圧として交流
パルス電圧を出力し、該交流パルス電圧の電圧値を調節
する手段と、該交流パルス電圧のパルス幅およびパルス
繰り返し周波数を調節する手段とを備えることを特徴と
する。

【００１４】請求項４に記載の超音波霧化装置は、前記
電流検出手段が前記圧電振動子に直列に接続された第１
のダイオードと、この第１のダイオードに並列に該第１
のダイオードとは逆の極性に接続された第２のダイオー
ドとから成ることを特徴とする。

【００１５】請求項５に記載の超音波霧化装置は、前記
圧電振動子の共振周波数のうちの１つが、前記圧電振動
子と前記振動板とから成る複合体の共振周波数のうちの
１つとほぼ等しいことを特徴とする。

【００１６】請求項６に記載の超音波霧化装置は、前記
圧電振動子が、長さと幅の寸法比が１に近くしかも１に
等しくない矩形状の板であることを特徴とする。

【００１７】請求項７に記載の超音波霧化装置は、前記
圧電振動子が、３辺のうちの２辺の寸法比が１に近くし
かも１に等しくない矩形状の角柱であることを特徴とす
る。

【００１８】請求項８に記載の超音波霧化装置は、前記
圧電振動子が、該圧電振動子の厚さ方向に平行に貫通さ
れた貫通穴を有し、前記厚さ方向に垂直な断面の形が枠
型構造を成し、前記厚さ方向の長さと、前記枠型の外縁
と内縁との最短距離との比がほぼ１に等しいことを特徴
とする。

【００１９】請求項９に記載の超音波霧化装置は、前記
枠型が円環状であることを特徴とする。

【００２０】請求項１０に記載の超音波霧化装置は、前
記振動板に多数の孔が設けられていることを特徴とす
る。

【００２１】請求項１１に記載の超音波霧化装置は、前
記孔における前記振動板の一方の開口面積と他方の開口
面積とが互いに異なることを特徴とする。

【００２２】請求項１２に記載の超音波霧化装置は、前
記振動板の少なくとも一方の端面における前記孔には、
開口面積に関して少なくとも２種類あることを特徴とす
る。

【００２３】請求項１３に記載の超音波霧化装置は、前
記振動板に前記液体を接触させる手段が、前記圧電振動
子と前記振動板とで成る複合体を支持する支持具と、前
記液体を収容する貯液室と、多数の貫通孔を有する吸液
能力の大きい物質から成り前記液体を吸収する保液材と
を備え、前記支持具は前記複合体を固定物に対し所定位
置に保持するか、または浮力により前記複合体を前記液
体中に浮かせ、前記支持具のうち少なくとも前記複合体
に接触する部分は前記圧電振動子に比べて音響インピー
ダンスが低い発泡スチロールその他の物質から成り、前
記振動板は常時または間欠的に前記保液材と接触して、
前記保液材に吸収されている前記液体を霧化することを
特徴とする。

【００２４】請求項１４に記載の超音波霧化装置は、前
記液体接触手段が、前記貯液室から前記振動板に前記液
体を供給するためのチューブを備えることを特徴とす
る。

【００２５】

【作用】本発明の超音波霧化装置では、２端子方式の自
励発振方式を採用している。２端子方式とは、圧電振動
子との接続のために２つの端子を有する方式のことであ
る。圧電振動子の両端面にそれぞれ設けられている電極
ＡおよびＢに２つの端子が各々接続される駆動回路の方
式が２端子方式である。本発明においては、自励発振方
式の駆動回路（以下、自励回路と略記する）を採用する
ことにより、複合体の共振周波数（圧電振動子の共振周
波数とほぼ等しい）の変動に追随した周波数で圧電振動
子を励振させ、その励振を振動板に伝搬させている。

【００２６】図１１は電流検出部１１、電圧増幅部１２
および電力増幅部１３から構成される２端子方式の自励
回路を示すブロック図である。電流検出部１１は圧電振
動子に流れる電流の位相を検出するためのものであり、
圧電振動子に直列に接続されている。電圧増幅部１２は
電流検出部１１で検出した微小な電圧信号を増幅し、次
段の電力増幅部１３をドライブする信号を発生するもの
である。圧電振動子の片側の電極（前述の電極Ａ１また
はＡ２）は電圧を印加するドライブ電極Ｄとして使用さ
れ、もう一方の電極（前述の電極Ｂ）はグランド電極Ｇ
として接地されている。

【００２７】前記圧電振動子は電力増幅部１３から電圧
が印加されると共振子として動作する。電流検出部１１
は印加された電圧のうちの共振周波数成分を検出する。
検出された電圧は電圧増幅部１２および電力増幅部１３
の２段の増幅器によって増幅され、同相の電圧が前記圧
電振動子に印加される。これにより、正帰還のフィード
バックループが構成され自励発振する。

【００２８】この発振回路の構成では、動作原理からも
明らかなように圧電振動子に流れる電流と電圧の位相が
等しい周波数で自励発振する。圧電振動子で電流と電圧
の位相差がゼロになる周波数は、第１共振周波数及び軸
反対称１次振動モードをはじめ多く存在するが、最も周
波数が低く、電気機械結合係数の大きい第１共振周波数
で自励発振する。

【００２９】

【実施例】図１は本発明の超音波霧化装置の一実施例を
示す斜視図である。本実施例は角柱状の圧電振動子２に
振動板３を片持ち梁状に接合することによって形成され
る複合体１と、保液手段として用いられる保液材４と、
複合体１を駆動する回路５とから成る。但し図１では、
駆動回路５は省いて描かれている。振動板３の下端面に
は保液材４の上端部が接触していて、保液材４によって
吸い上げられた液体は振動板３に供給され、振動板３の
上方へ霧化される。

【００３０】図２は複合体１の分解斜視図であり、図３
は複合体１における振動板３の拡大平面図、図４は振動
板３のＡ−Ａ矢視断面図である。角柱状の圧電磁器６は
厚み方向の分極軸を有し、５×１０×６ｍｍ³ の直方体
である。図のように上・下両端面に電極を有し上部電極
は等面積の電極ＤおよびＦに分割されている。振動板３
は梁３Ａと接合部３Ｂとでなっている。梁３Ａは、図
３、図４に示すように、高密度の微細な穴７を有し、厚
さは５０μｍである。穴７の径は上面側が約７μｍ、下
面側が８０μｍで、円錐台形状である。振動板３は、１
２×５ｍｍ² の板であって、圧電振動子２と振動板３と
の接合部３Ｂの幅は１．５ｍｍで、この接合部３Ｂの接
着剤８にはエポキシ樹脂系アラルダイトを用いている。

【００３１】図１の超音波霧化装置の駆動時、圧電振動
子２は励振され圧電振動子２の励振に伴って、振動板２
はその接合部３Ｂを固定端とする片持ち梁の形で振動さ
れる。梁３Ａの弾性振動が液体の霧化に有効に機能す
る。保液材４によって吸い上げられて液体は、毛細管現
象により各穴７にに導かれる。前記液体が各穴７を通過
するとき、各穴７の液体の通過面積はその入口側から出
口側に向けて減少するから、前記液体は穴７によって絞
り作用を受け、微小でかつ均一な粒子となって梁３Ａの
上部に流出する。その結果、前記絞り作用、梁３Ａの弾
性振動により、穴７から流出した液体は効率良く霧化さ
れる。

【００３２】図５は図１の超音波霧化装置の駆動回路５
の一実施例を示す図である。本実施例は、電流検出部１
１と、電圧増幅部１２と、電力増幅部１３とから構成さ
れる。２端子方式の自励回路では圧電振動子の電極は２
個あれば足りるが、この実施例に示す２端子方式の自励
回路では、圧電振動子２の片側の電極をドライブ電極Ｄ
およびフィードバック電極Ｆに２分割し、フィードバッ
ク電極Ｆとグランド電極Ｇを短絡して使用している。圧
電振動子２の他方の電極Ｇは接地されている。

【００３３】電力増幅部１３は、Ｑ1、Ｌ1、Ｃ3 および
Ｒ3 から構成される逆起電圧回路である。トランジスタ
Ｑ1 はスイッチング用であり、スイッチング速度とドラ
イブの簡単なことを考慮し、パワーＭＯＳ ＦＥＴを使
用している。Ｌ1は逆起電圧を発生させ圧電振動子２に
電源電圧Ｖｃｃより高い電圧の電力を供給するためのも
のであり、Ｃ3 は逆起電圧の時定数調整用である。Ｃ3
を大きくすると時定数が延びるが、最大電圧が低くな
る。Ｃ3 を小さくした場合は、その逆である。

【００３４】電流検出部１１は検波整流用ダイオードＤ
1 及びＤ2 から構成され、圧電振動子２に流れる電流の
位相を検出することを目的としている。回路図に示すよ
うに電流検出部１１は圧電振動子２と直列に接続されて
おり、電流検出部１１のインピーダンスが大きいほど圧
電振動子２に分圧される電圧は小さくなる。このため電
流検出部１１の条件としてはインピーダンスが低い方が
よい。しかし、インピーダンスが低すぎると検出される
電圧も小さくなり自励の立ちがり時間が遅くなる。

【００３５】本発明の超音波霧化装置の駆動回路５では
電流検出部１１にダイオードが使用されている。ダイオ
ードは電流電圧特性から明らかなように、自励発振の立
ち上がり時の電圧の低い時は高抵抗として動作し、自励
が安定し電圧が高い時は低抵抗として動作するから、電
流検出部１１の素子として好都合である。

【００３６】電圧増幅部１２は、ＩＣ1、Ｃ1、Ｃ2、Ｒ1
およびＲ2で構成され、電流検出部１１で検出した微小
な電圧信号を増幅し、次段の電力増幅部１３をドライブ
することを目的としている。圧電振動子２の駆動に十分
な高周波電力を得るには、電力増幅手段がトランジスタ
等で構成される場合、高速で大きな利得を得るために複
数の電圧増幅器で成る電圧増幅部を使用しなければなら
ない。この実施例では電圧増幅部１２にＣＭＯＳロジッ
クＩＣで成るインバータＩＣ1 が使用されている。この
電圧増幅部１２はＣＭＯＳ ＩＣのインバータＩＣ1に抵
抗Ｒ1 で帰還をかけると、スレシホールド付近で止まっ
た状態となり、アナログアンプとして動作することを利
用したものである。この電圧増幅部１２の回路には高速
でゲインが大きいという特徴があるが、電源の電圧に制
限があるから、本回路ではツェナーダイオードＺＤ1 を
使用して、インバータＩＣ1 に所定の電圧を得ている。
なお、Ｃ1 及びＣ2 は直流カット用のコンデンサであ
る。

【００３７】図５の実施例では、電源の電圧が１２Ｖの
ときに５０Ｖｐ−ｐの駆動電圧が得られた。このように
して、電源電圧の４倍のピーク電圧で圧電振動子２を駆
動できる。圧電振動子２を駆動できる最小電圧は２０Ｖ
ｐ−ｐであるから、電源電圧は５Ｖ以上であれば圧電振
動子２を駆動できる。低い電源電圧で圧電振動子を駆動
できることは、超音波霧化装置の用途を広くする点で効
果は極めて大きい。

【００３８】本発明の超音波霧化装置の駆動回路５で
は、上述の低電圧駆動を可能にする昇圧手段として、ス
イッチング用のトランジスタＱ1 とコイルＬ1 を用いて
いる。昇圧手段としては図１３、図１４のようなトラン
スもある。しかし、同じ程度に昇圧するのにトランジス
タ＋コイルの組み合せとトランスとを比べると、トラン
ジスタ＋コイルの方がトランスより小型、軽量、安価で
ある。本発明の超音波霧化装置における圧電振動子は極
く小型のものであるから、駆動回路５も小型であること
が実用上必須である。この点で本発明の超音波霧化装置
の駆動回路はトランスを昇圧手段とする図１３、図１４
の従来回路に比べて実用性において格段に優れている。

【００３９】また、本発明の超音波霧化装置の駆動回路
５では、電力増幅部１３の負荷回路がコイルＬ1 および
コンデンサＣ3 で成り、抵抗器を含まないから、図９の
従来回路に比べて電源の電力利用効率、すなわち電力効
率において優れている。

【００４０】図６は、圧電振動子２の動作状態での共振
周波数の変化を測定した結果を示している。時間と共に
共振周波数が変動していくことがわかる。しかしなが
ら、本発明の超音波霧化装置では、複合体の共振周波数
（圧電振動子の共振周波数とほぼ等しい）の変動に追随
した周波数で圧電振動子を励振させることができるか
ら、常に安定した霧化を実現できる。

【００４１】図７は梁の長さと霧化量の関係を示してい
る。梁３Ａの長さが５．０〜６．５ｍｍの範囲に限られ
ているのは、この範囲の梁の長さにおいて、特に良好な
霧化動作が得られたからである。この範囲での梁の長さ
と消費電力の関係が図８に、単位消費電力あたりの霧化
量、即ち霧化効率が図９に示されている。以上の結果か
ら、梁の長さが５．５ｍｍの状態で最大霧化量が得られ
ている。アドミタンスの位相の周波数特性において、圧
電振動子単体の特性と複合振動子の特性とが良好に一致
する場合に最大霧化量が得られた。

【００４２】図１０は複合体１による挿入損失と位相差
の周波数依存性を測定した結果（梁の長さ５．５ｍｍ）
を示す。実線は位相差、破線が入力損失を示している。
測定にはＨＰ製 4195A NETWORK/SPECTRUM ANALYZERを用
いた。霧化周波数で位相の反転が起き、挿入損失が最も
少ないことから、駆動回路５における周波数の安定性は
十分に高いことが明らかである。

【００４３】このようにして本発明の超音波霧化装置で
は、梁の長さが５．５ｍｍで最大霧化効率化が得られ、
霧化量は７２ｃｃ／ｈ・Ｗであった。アドミタンスの周
波数特性において、圧電振動子単体と複合振動子との特
性が良好に一致することが、自励駆動での最大霧化の最
適条件であり、このことを理論値と振動解析、実験結果
の良好な対応関係をもとに説明することができた。

【００４４】回路の動作原理および動作特性の考察から
本実施例で用いた駆動回路は、部品点数が少ないうえ、
直流電源を利用する低消費電力タイプであり、小型化が
可能であること、霧化周波数が安定した領域にあること
による動作の安定性等の特徴を有しているといえる。

【００４５】

【発明の効果】以上に実施例を挙げて詳しく説明したよ
うに、本発明によれば、圧電振動子の所要駆動電圧より
低い電圧の電源から直流電力を受けてその所要駆動電圧
の高周波交流電力を出力でき、しかも電力効率に優れ、
回路構成が簡単で安価で、小型軽量な超音波霧化装置を
提供できる。しかもその駆動回路は外部温度などの環境
変化にも対応しうる駆動回路である。

【００４６】また、圧電振動子に供給する励振電圧とし
て交流パルス電圧を出力し、該交流パルス電圧の電圧値
を調節する手段と、該交流パルス電圧のパルス幅および
パルス繰り返し周波数を調節する手段とが駆動回路に備
えられていることから、霧化動作を極めて正確にステッ
プ状にも制御することができ、安定した霧化を実現でき
る。

【００４７】本発明の超音波霧化装置の駆動回路は、小
型軽量で低消費電力駆動が可能であるばかりでなく、装
置のさらなる小型化かつ軽量化を実現できる。従って、
携帯にも便利であるから利用範囲も広い。

【００４８】なお、本発明の超音波霧化装置の駆動回路
によれば、矩形角柱状の圧電振動子を駆動できるが、こ
の他に、矩形板状圧電振動子、または中心部に貫通穴を
有する柱状の圧電振動子をも駆動できることは明かであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波霧化装置の一実施例を示す斜視
図

【図２】複合体１の分解斜視図。

【図３】複合体１における振動板３の拡大平面図。

【図４】振動板３のＡ−Ａ矢視断面図。

【図５】図１の超音波霧化装置の駆動回路５の一実施例
を示す図。

【図６】圧電振動子２における共振周波数の時間変化を
示す図。

【図７】図１の実施例における梁の長さと霧化量の関係
を示す図。

【図８】図１の実施例における梁の長さと消費電力の関
係を示す図。

【図９】図１の実施例における梁の長さと霧化効率の関
係を示す図。

【図１０】複合振動子による挿入損失と位相差との周波
数特性を示す図。

【図１１】２端子方式で自励発振する駆動回路の基本構
成を示す図。

【図１２】従来の自励式駆動回路の例を示す図。

【図１３】従来の自励式駆動回路の例を示す図。

【図１４】従来の自励式駆動回路の例を示す図。

【符号の説明】

１ 複合体 ２ 圧電振動子 ３ 振動板 ３Ａ 接合部 ３Ｂ 梁 ４ 保液材 ５ 駆動回路 ６ 圧電磁器 ７ 穴 ８ 接着剤 １１ 電流検出部 １２ 電圧増幅部 １３ 電力増幅部 Ｄ、Ｆ、Ｇ 電極 ＩＣ1 ＣＭＯＳ ＩＣ インバータ Ｖｃｃ 電源電圧 Ｌ1 昇圧用コイル Ｑ1 トランジスタ ＺＤ1 ツェナーダイオード Ｄ1、Ｄ2 ダイオード Ｃ1、Ｃ2、Ｃ3 コンデンサ Ｒ1、Ｒ2、Ｑ3、Ｑ4 抵抗

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電セラミックの互いに平行な両端面に
   それぞれ電極ＡおよびＢを設けてなる圧電振動子と、該
   圧電振動子に一部分が固着されている振動板とで成り、
   前記振動板に液体を接触させることにより該液体を霧化
   する超音波霧化装置において、 前記電極ＡとＢとの間に前記圧電振動子の共振周波数と
   ほぼ等しい周波数の電圧を印加することにより、前記圧
   電振動子を駆動する回路が備えてあり、 前記駆動回路は、前記電極ＡとＢとの間に流れる電流の
   位相を検出する手段と、この電流検出手段の出力信号を
   増幅して得た高周波電力を前記電極ＡとＢとの間に加え
   る電力増幅手段とを備え、 前記電力増幅手段の出力の高周波信号は、前記電流検出
   手段により該電力増幅手段に正帰還され、 前記電力増幅手段の終段増幅素子はトランジスタでな
   り、該トランジスタに電力を供給する流路に昇圧用のコ
   イルが挿入してあることを特徴とする超音波霧化装置。
2. 【請求項２】 前記電極ＡおよびＢのうちで少なくとも
   電極Ａは互いに絶縁された電極Ａ１およびＡ２に分割さ
   れていることを特徴とする請求項１に記載の超音波霧化
   装置。
3. 【請求項３】 前記駆動回路は、前記圧電振動子に供給
   する電圧として交流パルス電圧を出力し、該交流パルス
   電圧の電圧値を調節する手段と、該交流パルス電圧のパ
   ルス幅およびパルス繰り返し周波数を調節する手段とを
   備えることを特徴とする請求項１または２に記載の超音
   波霧化装置。
4. 【請求項４】 前記電流検出手段は前記圧電振動子に直
   列に接続された第１のダイオードと、この第１のダイオ
   ードに並列に該第１のダイオードとは逆の極性に接続さ
   れた第２のダイオードとから成ることを特徴とする請求
   項１、２または３に記載の超音波霧化装置。
5. 【請求項５】 前記圧電振動子の共振周波数のうちの１
   つが、前記圧電振動子と前記振動板とから成る複合体の
   共振周波数のうちの１つとほぼ等しいことを特徴とする
   請求項１、２、３または４に記載の超音波霧化装置。
6. 【請求項６】 前記圧電振動子は、長さと幅の寸法比が
   １に近くしかも１に等しくない矩形状の板であることを
   特徴とする請求項５に記載の超音波霧化装置。
7. 【請求項７】 前記圧電振動子は、３辺のうちの２辺の
   寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩形状の角柱で
   あることを特徴とする請求項５に記載の超音波霧化装
   置。
8. 【請求項８】 前記圧電振動子は、該圧電振動子の厚さ
   方向に平行に貫通された貫通穴を有し、前記厚さ方向に
   垂直な断面の形が枠型構造を成し、前記厚さ方向の長さ
   と、前記枠型の外縁と内縁との最短距離との比がほぼ１
   に等しいことを特徴とする請求項５に記載の超音波霧化
   装置。
9. 【請求項９】 前記枠型が円環状であることを特徴とす
   る請求項８に記載の超音波霧化装置。
10. 【請求項１０】 前記振動板には多数の孔が設けられて
    いることを特徴とする請求項１から９までに記載の超音
    波霧化装置。
11. 【請求項１１】 前記孔における前記振動板の一方の開
    口面積と他方の開口面積とが互いに異なることを特徴と
    する請求項１０に記載の超音波霧化装置。
12. 【請求項１２】 前記振動板の少なくとも一方の端面に
    おける前記孔には、開口面積に関して少なくとも２種類
    あることを特徴とする請求項１１に記載の超音波霧化装
    置。
13. 【請求項１３】 前記振動板に前記液体を接触させる手
    段は、前記圧電振動子と前記振動板とで成る複合体を支
    持する支持具と、前記液体を収容する貯液室と、多数の
    貫通孔を有する吸液能力の大きい物質から成り前記液体
    を吸収する保液材とを備え、 前記支持具は前記複合体を固定物に対し所定位置に保持
    するか、または浮力により前記複合体を前記液体中に浮
    かせ、 前記支持具のうち少なくとも前記複合体に接触する部分
    は前記圧電振動子に比べて音響インピーダンスが低い発
    泡スチロールその他の物質から成り、 前記振動板は常時または間欠的に前記保液材と接触し
    て、前記保液材に吸収されている前記液体を霧化するこ
    とを特徴とする請求項１から１２までに記載の超音波霧
    化装置。
14. 【請求項１４】 前記液体接触手段は、前記貯液室から
    前記振動板に前記液体を供給するためのチューブを備え
    ることを特徴とする請求項１３に記載の超音波霧化装
    置。