JPH08281165A - 超音波霧化装置 - Google Patents
超音波霧化装置Info
- Publication number
- JPH08281165A JPH08281165A JP7113655A JP11365595A JPH08281165A JP H08281165 A JPH08281165 A JP H08281165A JP 7113655 A JP7113655 A JP 7113655A JP 11365595 A JP11365595 A JP 11365595A JP H08281165 A JPH08281165 A JP H08281165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric vibrator
- electrode
- piezoelectric
- terminal
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims abstract description 48
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 33
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 52
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 2
- 239000004794 expanded polystyrene Substances 0.000 claims description 2
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 claims description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 8
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 229920006328 Styrofoam Polymers 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 239000008261 styrofoam Substances 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0653—Details
- B05B17/0676—Feeding means
- B05B17/0684—Wicks or the like
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 霧化効率、多量霧化、粒子の微小性および均
一性に優れ、低消費電力で低電圧駆動が可能な超音波霧
化装置を提供する。 【構成】 圧電磁器８にすだれ状電極Ｐおよび電極Ｇを
設けて成る圧電振動子１と、振動板２とから成る複合体
を自励式の駆動回路７を用いて駆動させると圧電振動子
１が振動し、その振動は振動板２に伝搬される。振動板
２の下面に供給される液体は振動板２の振動に伴い振動
板２に設けられている貫通孔９を通して振動板２の上方
へ霧化される。 【効果】 構造が簡単で、小型軽量で、長時間にわたり
安定な霧化を可能にする。
一性に優れ、低消費電力で低電圧駆動が可能な超音波霧
化装置を提供する。 【構成】 圧電磁器８にすだれ状電極Ｐおよび電極Ｇを
設けて成る圧電振動子１と、振動板２とから成る複合体
を自励式の駆動回路７を用いて駆動させると圧電振動子
１が振動し、その振動は振動板２に伝搬される。振動板
２の下面に供給される液体は振動板２の振動に伴い振動
板２に設けられている貫通孔９を通して振動板２の上方
へ霧化される。 【効果】 構造が簡単で、小型軽量で、長時間にわたり
安定な霧化を可能にする。
Description
【産業上の利用分野】本発明は、圧電振動子に振動板を
固着して成る複合体により発生させた弾性振動により液
体を霧化する超音波霧化装置に関する。
固着して成る複合体により発生させた弾性振動により液
体を霧化する超音波霧化装置に関する。
【従来の技術】従来の超音波霧化装置としては、ボルト
締ランジュバン型振動子を応用した超音波霧化装置およ
びネブライザーが挙げられる。ボルト締ランジュバン型
振動子による霧化装置は数１０ｋＨｚという周波数の超
音波を利用したもので、多量の霧を発生しうるという長
所を有するが、構造が複雑で装置が大がかりであるとい
う短所をあわせもつ。一方、ネブライザーは、ＭＨｚ領
域の超音波を利用したもので、粒子が微小で均一性に優
れるという長所を有するものの、霧化効率が悪く低電力
で多量の霧を発生させるのが難しいという短所をもつ。
つまり、従来の超音波霧化装置では、装置の規模、霧化
効率、多量霧化、粒子の微小性または駆動電源コストの
いずれかにおいて難点があった。しかも、装置を駆動す
るために複雑な回路構成を必要とし、また、回路を構成
する部品の数、部品の重量および部品の価格にも問題が
あった。圧電磁器と電極とから成る圧電振動子に振動板
を固着して成る複合体において超音波の弾性振動を発生
させ、その振動板に液体を接触させてその液体を霧化す
る超音波霧化装置が本願発明者により特願平２ー３３９
１８１、３ー８４７３０等で出願されている。これらの
超音波霧化装置は比較的複雑な駆動回路を必要とし、ま
た、比較的高い直流電圧の電源を必要とした。さらに、
温度変化等の使用条件に影響を受け易いという面で問題
があった。これは、複合体の共振周波数がその複合体の
温度に応じて変動するからである。超音波霧化装置の駆
動回路は高周波の高電圧を発生させしかも複合体の共振
周波数を追尾する必要がある。つまり、駆動回路は共振
周波数、電圧、電力などの諸元を満足すると同時に、複
合体の共振周波数に追随して周波数を変える手段が求め
られる。そこで、複合体の共振周波数の自動追尾機能を
具備した自励発振方式の駆動回路を備えた超音波霧化装
置が本願発明者により特願平４ー９３４３７で出願され
た。この超音波霧化装置の駆動回路によれば、圧電振動
子の所要駆動電圧より低い電圧の直流電源から電力を受
けて所要駆動電圧の高周波交流電力を出力できる。しか
し、この超音波霧化装置における自励発振回路がその機
能を果たすためには、圧電振動子はある程度の厚さを必
要とした。すなわち、極微小な粒径を有する霧を発生さ
せしかも低消費電力で低電圧駆動を実現するためには圧
電振動子の厚さが薄い複合体では不可能であった。そこ
で、圧電振動子の厚さに左右されることなく自励発振駆
動を可能にする複合体を備えた超音波霧化装置が本願発
明者により特願平５−２８７７３３で出願された。しか
し、この超音波霧化装置では圧電振動子自身の励振によ
って発生する圧電気を帰還電圧として再利用するときの
効率が悪く、その効率の悪い分がそのまま消費電力の増
加に反映されていた。
締ランジュバン型振動子を応用した超音波霧化装置およ
びネブライザーが挙げられる。ボルト締ランジュバン型
振動子による霧化装置は数１０ｋＨｚという周波数の超
音波を利用したもので、多量の霧を発生しうるという長
所を有するが、構造が複雑で装置が大がかりであるとい
う短所をあわせもつ。一方、ネブライザーは、ＭＨｚ領
域の超音波を利用したもので、粒子が微小で均一性に優
れるという長所を有するものの、霧化効率が悪く低電力
で多量の霧を発生させるのが難しいという短所をもつ。
つまり、従来の超音波霧化装置では、装置の規模、霧化
効率、多量霧化、粒子の微小性または駆動電源コストの
いずれかにおいて難点があった。しかも、装置を駆動す
るために複雑な回路構成を必要とし、また、回路を構成
する部品の数、部品の重量および部品の価格にも問題が
あった。圧電磁器と電極とから成る圧電振動子に振動板
を固着して成る複合体において超音波の弾性振動を発生
させ、その振動板に液体を接触させてその液体を霧化す
る超音波霧化装置が本願発明者により特願平２ー３３９
１８１、３ー８４７３０等で出願されている。これらの
超音波霧化装置は比較的複雑な駆動回路を必要とし、ま
た、比較的高い直流電圧の電源を必要とした。さらに、
温度変化等の使用条件に影響を受け易いという面で問題
があった。これは、複合体の共振周波数がその複合体の
温度に応じて変動するからである。超音波霧化装置の駆
動回路は高周波の高電圧を発生させしかも複合体の共振
周波数を追尾する必要がある。つまり、駆動回路は共振
周波数、電圧、電力などの諸元を満足すると同時に、複
合体の共振周波数に追随して周波数を変える手段が求め
られる。そこで、複合体の共振周波数の自動追尾機能を
具備した自励発振方式の駆動回路を備えた超音波霧化装
置が本願発明者により特願平４ー９３４３７で出願され
た。この超音波霧化装置の駆動回路によれば、圧電振動
子の所要駆動電圧より低い電圧の直流電源から電力を受
けて所要駆動電圧の高周波交流電力を出力できる。しか
し、この超音波霧化装置における自励発振回路がその機
能を果たすためには、圧電振動子はある程度の厚さを必
要とした。すなわち、極微小な粒径を有する霧を発生さ
せしかも低消費電力で低電圧駆動を実現するためには圧
電振動子の厚さが薄い複合体では不可能であった。そこ
で、圧電振動子の厚さに左右されることなく自励発振駆
動を可能にする複合体を備えた超音波霧化装置が本願発
明者により特願平５−２８７７３３で出願された。しか
し、この超音波霧化装置では圧電振動子自身の励振によ
って発生する圧電気を帰還電圧として再利用するときの
効率が悪く、その効率の悪い分がそのまま消費電力の増
加に反映されていた。
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は霧化効
率がよく、多量霧化ができ、粒子の微小性かつ均一性に
優れ、装置が小型かつ軽量であり、構造が簡単で、低消
費電力で低電圧駆動が可能で構造が簡単な自励発振駆動
回路を備え、長時間の連続使用が可能で持ち運びに便利
な超音波霧化装置を提供することにある。
率がよく、多量霧化ができ、粒子の微小性かつ均一性に
優れ、装置が小型かつ軽量であり、構造が簡単で、低消
費電力で低電圧駆動が可能で構造が簡単な自励発振駆動
回路を備え、長時間の連続使用が可能で持ち運びに便利
な超音波霧化装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の超音波
霧化装置は、圧電振動子に多数の微小な貫通孔を有する
振動板を固着して成る複合体により発生させた弾性振動
により、前記振動板に供給された液体を霧化する超音波
霧化装置において、前記圧電振動子は圧電磁器、電極
Ｄ，ＦおよびＧから成り、前記電極ＤおよびＦは前記圧
電磁器の厚さ方向に垂直な一方の端面に形成され、前記
電極Ｇは前記圧電磁器の厚さ方向に垂直なもう一方の端
面に形成されており、前記電極ＤおよびＦは互いに絶縁
されており、前記電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子
ＴD，ＴFおよびＴGが設けられ、前記端子ＴDとＴGとの
間に前記圧電振動子の共振周波数とほぼ等しい周波数の
電圧を印加することにより、前記複合体を駆動する回路
が備えてあり、前記圧電振動子は長さと幅の寸法比が１
に近くしかも１に等しくない矩形状の板または長さと幅
と厚さのうちのどれか２つの寸法比が１に近くしかも１
に等しくない矩形状の角柱であって、前記振動板は前記
圧電振動子の前記電極Ｇを有する端面上における前記圧
電振動子の幅方向に沿った部分に一体的に連なって固着
されていて、前記端子ＴDおよびＴFは前記圧電振動子の
前記電極ＤおよびＦを有する端面上における前記圧電振
動子の幅方向に沿った部分に設けられており、前記圧電
振動子の共振周波数は前記複合体の共振周波数にほぼ等
しいことを特徴とする。請求項２に記載の超音波霧化装
置は、前記駆動回路が、直流電源と前記端子ＴDとの間
に接続されている昇圧用のコイルと、出力端子が前記端
子ＴDに接続され入力端子が前記端子ＴFに接続されるこ
とにより前記端子ＴFに現われる圧電気を帰還電圧とし
て受けるトランジスタとを備え、前記駆動回路は、前記
トランジスタを増幅素子とし前記複合体を共振素子とす
る発振回路を構成することを特徴とする。請求項３に記
載の超音波霧化装置は、前記圧電磁器の一方の端面上に
おける前記電極Ｄの面積が前記電極Ｆの面積のほぼ３倍
から４倍であることを特徴とする。請求項４に記載の超
音波霧化装置は、圧電振動子に多数の微小な貫通孔を有
する振動板を固着して成る複合体により発生させた弾性
振動により、前記振動板に供給された液体を霧化する超
音波霧化装置において、前記圧電振動子は圧電磁器、す
だれ状電極Ｐおよび電極Ｇから成り、前記すだれ状電極
Ｐおよび前記電極Ｇは前記圧電磁器の厚さ方向に垂直な
両端面のそれぞれに形成されており、前記すだれ状電極
Ｐの互いに絶縁する部分ＰDおよびＰFにはそれぞれ端子
ＴDおよびＴFが設けられ、前記電極Ｇには端子ＴGが設
けられており、前記端子ＴDとＴGとの間に前記圧電振動
子の共振周波数とほぼ等しい周波数の電圧を印加するこ
とにより、前記複合体を駆動する回路が備えてあり、前
記圧電振動子は長さと幅の寸法比が１に近くしかも１に
等しくない矩形状の板または長さと幅と厚さのうちのど
れか２つの寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩形
状の角柱であって、前記振動板は前記圧電振動子の前記
電極Ｇを有する端面上における前記圧電振動子の幅方向
に沿った部分に一体的に連なって固着されていて、前記
端子ＴDおよびＴFは前記圧電振動子の前記すだれ状電極
Ｐを有する端面上における前記圧電振動子の幅方向に沿
った部分に設けられており、前記圧電振動子の共振周波
数は前記複合体の共振周波数にほぼ等しいことを特徴と
する。請求項５に記載の超音波霧化装置は、前記駆動回
路が、直流電源と前記端子ＴDとの間に接続されている
昇圧用のコイルと、出力端子が前記端子ＴDに接続され
入力端子が前記端子ＴFに接続されることにより前記端
子ＴFに現われる圧電気を帰還電圧として受けるトラン
ジスタとを備え、前記駆動回路は、前記トランジスタを
増幅素子とし前記複合体を共振素子とする発振回路を構
成することを特徴とする。請求項６に記載の超音波霧化
装置は、前記圧電磁器の一方の端面上における前記部分
ＰDの面積が前記部分ＰFの面積のほぼ２倍であることを
特徴とする。請求項７に記載の超音波霧化装置は、前記
振動板に前記液体を供給する手段が、前記複合体を支持
する支持具と、多数の貫通孔を有する吸液能力の大きい
物質から成る保液材とを含み、前記支持具は前記複合体
を固定物に対し所定位置に保持し、前記支持具のうち少
なくとも前記圧電振動子に接触する部分は前記圧電振動
子に比べて音響インピーダンスが低い発泡スチロールそ
の他の物質から成り、前記支持具のうち少なくとも前記
振動板に接触する部分は前記振動板に比べて音響インピ
ーダンスが低い発泡スチロールその他の物質から成り、
前記振動板は常時または間欠的に前記保液材と接触し
て、前記保液材に吸収されている前記液体を霧化するこ
とを特徴とする。
霧化装置は、圧電振動子に多数の微小な貫通孔を有する
振動板を固着して成る複合体により発生させた弾性振動
により、前記振動板に供給された液体を霧化する超音波
霧化装置において、前記圧電振動子は圧電磁器、電極
Ｄ，ＦおよびＧから成り、前記電極ＤおよびＦは前記圧
電磁器の厚さ方向に垂直な一方の端面に形成され、前記
電極Ｇは前記圧電磁器の厚さ方向に垂直なもう一方の端
面に形成されており、前記電極ＤおよびＦは互いに絶縁
されており、前記電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子
ＴD，ＴFおよびＴGが設けられ、前記端子ＴDとＴGとの
間に前記圧電振動子の共振周波数とほぼ等しい周波数の
電圧を印加することにより、前記複合体を駆動する回路
が備えてあり、前記圧電振動子は長さと幅の寸法比が１
に近くしかも１に等しくない矩形状の板または長さと幅
と厚さのうちのどれか２つの寸法比が１に近くしかも１
に等しくない矩形状の角柱であって、前記振動板は前記
圧電振動子の前記電極Ｇを有する端面上における前記圧
電振動子の幅方向に沿った部分に一体的に連なって固着
されていて、前記端子ＴDおよびＴFは前記圧電振動子の
前記電極ＤおよびＦを有する端面上における前記圧電振
動子の幅方向に沿った部分に設けられており、前記圧電
振動子の共振周波数は前記複合体の共振周波数にほぼ等
しいことを特徴とする。請求項２に記載の超音波霧化装
置は、前記駆動回路が、直流電源と前記端子ＴDとの間
に接続されている昇圧用のコイルと、出力端子が前記端
子ＴDに接続され入力端子が前記端子ＴFに接続されるこ
とにより前記端子ＴFに現われる圧電気を帰還電圧とし
て受けるトランジスタとを備え、前記駆動回路は、前記
トランジスタを増幅素子とし前記複合体を共振素子とす
る発振回路を構成することを特徴とする。請求項３に記
載の超音波霧化装置は、前記圧電磁器の一方の端面上に
おける前記電極Ｄの面積が前記電極Ｆの面積のほぼ３倍
から４倍であることを特徴とする。請求項４に記載の超
音波霧化装置は、圧電振動子に多数の微小な貫通孔を有
する振動板を固着して成る複合体により発生させた弾性
振動により、前記振動板に供給された液体を霧化する超
音波霧化装置において、前記圧電振動子は圧電磁器、す
だれ状電極Ｐおよび電極Ｇから成り、前記すだれ状電極
Ｐおよび前記電極Ｇは前記圧電磁器の厚さ方向に垂直な
両端面のそれぞれに形成されており、前記すだれ状電極
Ｐの互いに絶縁する部分ＰDおよびＰFにはそれぞれ端子
ＴDおよびＴFが設けられ、前記電極Ｇには端子ＴGが設
けられており、前記端子ＴDとＴGとの間に前記圧電振動
子の共振周波数とほぼ等しい周波数の電圧を印加するこ
とにより、前記複合体を駆動する回路が備えてあり、前
記圧電振動子は長さと幅の寸法比が１に近くしかも１に
等しくない矩形状の板または長さと幅と厚さのうちのど
れか２つの寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩形
状の角柱であって、前記振動板は前記圧電振動子の前記
電極Ｇを有する端面上における前記圧電振動子の幅方向
に沿った部分に一体的に連なって固着されていて、前記
端子ＴDおよびＴFは前記圧電振動子の前記すだれ状電極
Ｐを有する端面上における前記圧電振動子の幅方向に沿
った部分に設けられており、前記圧電振動子の共振周波
数は前記複合体の共振周波数にほぼ等しいことを特徴と
する。請求項５に記載の超音波霧化装置は、前記駆動回
路が、直流電源と前記端子ＴDとの間に接続されている
昇圧用のコイルと、出力端子が前記端子ＴDに接続され
入力端子が前記端子ＴFに接続されることにより前記端
子ＴFに現われる圧電気を帰還電圧として受けるトラン
ジスタとを備え、前記駆動回路は、前記トランジスタを
増幅素子とし前記複合体を共振素子とする発振回路を構
成することを特徴とする。請求項６に記載の超音波霧化
装置は、前記圧電磁器の一方の端面上における前記部分
ＰDの面積が前記部分ＰFの面積のほぼ２倍であることを
特徴とする。請求項７に記載の超音波霧化装置は、前記
振動板に前記液体を供給する手段が、前記複合体を支持
する支持具と、多数の貫通孔を有する吸液能力の大きい
物質から成る保液材とを含み、前記支持具は前記複合体
を固定物に対し所定位置に保持し、前記支持具のうち少
なくとも前記圧電振動子に接触する部分は前記圧電振動
子に比べて音響インピーダンスが低い発泡スチロールそ
の他の物質から成り、前記支持具のうち少なくとも前記
振動板に接触する部分は前記振動板に比べて音響インピ
ーダンスが低い発泡スチロールその他の物質から成り、
前記振動板は常時または間欠的に前記保液材と接触し
て、前記保液材に吸収されている前記液体を霧化するこ
とを特徴とする。
【作用】本発明の超音波霧化装置の使用時、圧電振動子
には圧電振動子と振動板との複合体の共振周波数にほぼ
等しい周波数を有する電気信号が印加され圧電振動子は
励振される。圧電振動子の励振は振動板を振動させ、振
動板に供給された液体は振動板に設けられている多数の
微小な貫通孔を通して霧化される。貫通孔を通しての霧
化は粒子の微小性、均一性を促し、しかも霧化効率を増
大させることができる。また、霧化効率が高いことから
多量の霧化が低消費電力で実現できるだけでなく装置の
小型化も容易にできる。自励式駆動が可能で電池での駆
動も容易なことから温度などの環境変化に対応しうる形
で低消費電力での駆動が可能となる。本発明の超音波霧
化装置では圧電振動子が圧電磁器、電極Ｄ，ＦおよびＧ
から成る構造を採用できる。電極ＤおよびＦは圧電磁器
の厚さ方向に垂直な一方端面に形成され、電極Ｇは圧電
磁器の厚さ方向に垂直なもう一方の端面に形成されてい
る。電極ＤおよびＦにはそれぞれ端子ＴDおよびＴFが設
けられている。電極Ｇには端子ＴGが設けられている。
このような簡単な構造の圧電振動子の採用により、超音
波霧化装置の小型化が可能となるばかりでなく霧化効率
の向上をもたらし、さらに、自励式駆動が可能となるこ
とから低消費電力で低電圧での駆動が可能となる。圧電
振動子として長さと幅の寸法比が１に近くしかも１に等
しくない矩形状の板または長さと幅と厚さのうちのどれ
か２つの寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩形状
の角柱を採用することにより、複合体の結合振動が増強
され、霧化効率が促進される。また、振動板が圧電振動
子の電極Ｇを有する端面上における圧電振動子の幅方向
に沿った部分に一体的に連なって固着されていることに
より、振動板は圧電振動子と振動板との接合部を固定端
として振動する。従って、振動板に供給された液体はそ
の弾性振動により霧化され、その振動板に垂直な上方に
向けて霧として効率よく放散される。本発明の超音波霧
化装置では、端子ＴDとＴGとの間に圧電振動子の共振周
波数とほぼ等しい周波数の電圧を印加することにより複
合体を駆動する回路が備えられている。この駆動回路に
は、直流電源と端子ＴDとの間に昇圧用のコイルが接続
されている。また、出力端子が端子ＴDに接続され入力
端子が端子ＴFに接続されたトランジスタを備えてい
る。このトランジスタは端子ＴFに現われる圧電気を帰
還電圧として受けるためのものである。このようにし
て、駆動回路には、トランジスタを増幅素子とし複合体
を共振素子とする発振回路が構成されており、複合体の
共振周波数に追随して周波数を変える機能が備えられて
いる。そのうえ、コイルの逆起電圧を利用した機能が備
えられていることにより、電源電圧より高い電圧で圧電
振動子を駆動することが可能である。この逆起電圧回路
はコイルの特性を利用することで高電圧を発生させるも
ので、トランスの使用と比較して価格、重量および容積
の点で有利である。また、回路構成が簡単で小型であ
り、電源効率及び周波数特性が良い等の特徴をもたらす
ことができる。本発明の超音波霧化装置では、端子ＴD
およびＴFは圧電振動子の電極ＤおよびＦを有する端面
上における圧電振動子の幅方向に沿った部分に設けられ
ている。つまり、端子ＴDおよびＴFが圧電振動子の幅方
向に沿った部分に配置されるように電極ＤおよびＦが配
置されている。また、圧電磁器の一方の端面上における
電極Ｄの面積は電極Ｆの面積のほぼ３倍から４倍であ
る。このような構造を採用することにより、圧電振動子
自身の励振によって発生し端子ＴFに現われる圧電気を
帰還電圧として再び端子ＴDに供給し利用するときの効
率を向上させることができる。従って、電源効率をさら
に向上させることが可能となる。本発明の超音波霧化装
置では圧電振動子が圧電磁器、すだれ状電極Ｐおよび電
極Ｇから成る構造を採用することができる。すだれ状電
極の採用により電源効率はいっそう向上するが、圧電磁
器の一方の端面上におけるすだれ状電極の部分Ｐ Dの面
積が部分ＰFの面積のほぼ２倍になるような構造を採用
することにより、電源効率は最も向上する。従って、さ
らなる低消費電力、低電圧駆動が可能となる。振動板に
液体を供給する手段は複合体を支持する支持具と、多数
の貫通孔を有する吸液能力の大きい物質から成る保液材
とを含む。保液材は液体を吸収して振動板に供給する。
支持具は複合体を固定物に対し所定位置に保持してい
る。この際、支持具と複合体との接触面積をできるだけ
少なくする方が望ましいが、支持具のうち少なくとも圧
電振動子に接触する部分には発泡スチロール等のような
圧電振動子に比べて音響インピーダンスが低い物質を採
用し、支持具のうち少なくとも振動板に接触する部分に
は発泡スチロール等のような振動板に比べて音響インピ
ーダンスが低い物質を採用することにより、圧電振動子
の励振が支持具自身や固定物に伝搬し散失されるのを抑
制でき、効率良く振動板を振動させることができる。従
って、霧化効率を増大させることができる。また、振動
板が常時または間欠的に保液材と接触することにより、
その保液材に吸収されている液体を効率よく霧化するこ
とが可能となる。
には圧電振動子と振動板との複合体の共振周波数にほぼ
等しい周波数を有する電気信号が印加され圧電振動子は
励振される。圧電振動子の励振は振動板を振動させ、振
動板に供給された液体は振動板に設けられている多数の
微小な貫通孔を通して霧化される。貫通孔を通しての霧
化は粒子の微小性、均一性を促し、しかも霧化効率を増
大させることができる。また、霧化効率が高いことから
多量の霧化が低消費電力で実現できるだけでなく装置の
小型化も容易にできる。自励式駆動が可能で電池での駆
動も容易なことから温度などの環境変化に対応しうる形
で低消費電力での駆動が可能となる。本発明の超音波霧
化装置では圧電振動子が圧電磁器、電極Ｄ，ＦおよびＧ
から成る構造を採用できる。電極ＤおよびＦは圧電磁器
の厚さ方向に垂直な一方端面に形成され、電極Ｇは圧電
磁器の厚さ方向に垂直なもう一方の端面に形成されてい
る。電極ＤおよびＦにはそれぞれ端子ＴDおよびＴFが設
けられている。電極Ｇには端子ＴGが設けられている。
このような簡単な構造の圧電振動子の採用により、超音
波霧化装置の小型化が可能となるばかりでなく霧化効率
の向上をもたらし、さらに、自励式駆動が可能となるこ
とから低消費電力で低電圧での駆動が可能となる。圧電
振動子として長さと幅の寸法比が１に近くしかも１に等
しくない矩形状の板または長さと幅と厚さのうちのどれ
か２つの寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩形状
の角柱を採用することにより、複合体の結合振動が増強
され、霧化効率が促進される。また、振動板が圧電振動
子の電極Ｇを有する端面上における圧電振動子の幅方向
に沿った部分に一体的に連なって固着されていることに
より、振動板は圧電振動子と振動板との接合部を固定端
として振動する。従って、振動板に供給された液体はそ
の弾性振動により霧化され、その振動板に垂直な上方に
向けて霧として効率よく放散される。本発明の超音波霧
化装置では、端子ＴDとＴGとの間に圧電振動子の共振周
波数とほぼ等しい周波数の電圧を印加することにより複
合体を駆動する回路が備えられている。この駆動回路に
は、直流電源と端子ＴDとの間に昇圧用のコイルが接続
されている。また、出力端子が端子ＴDに接続され入力
端子が端子ＴFに接続されたトランジスタを備えてい
る。このトランジスタは端子ＴFに現われる圧電気を帰
還電圧として受けるためのものである。このようにし
て、駆動回路には、トランジスタを増幅素子とし複合体
を共振素子とする発振回路が構成されており、複合体の
共振周波数に追随して周波数を変える機能が備えられて
いる。そのうえ、コイルの逆起電圧を利用した機能が備
えられていることにより、電源電圧より高い電圧で圧電
振動子を駆動することが可能である。この逆起電圧回路
はコイルの特性を利用することで高電圧を発生させるも
ので、トランスの使用と比較して価格、重量および容積
の点で有利である。また、回路構成が簡単で小型であ
り、電源効率及び周波数特性が良い等の特徴をもたらす
ことができる。本発明の超音波霧化装置では、端子ＴD
およびＴFは圧電振動子の電極ＤおよびＦを有する端面
上における圧電振動子の幅方向に沿った部分に設けられ
ている。つまり、端子ＴDおよびＴFが圧電振動子の幅方
向に沿った部分に配置されるように電極ＤおよびＦが配
置されている。また、圧電磁器の一方の端面上における
電極Ｄの面積は電極Ｆの面積のほぼ３倍から４倍であ
る。このような構造を採用することにより、圧電振動子
自身の励振によって発生し端子ＴFに現われる圧電気を
帰還電圧として再び端子ＴDに供給し利用するときの効
率を向上させることができる。従って、電源効率をさら
に向上させることが可能となる。本発明の超音波霧化装
置では圧電振動子が圧電磁器、すだれ状電極Ｐおよび電
極Ｇから成る構造を採用することができる。すだれ状電
極の採用により電源効率はいっそう向上するが、圧電磁
器の一方の端面上におけるすだれ状電極の部分Ｐ Dの面
積が部分ＰFの面積のほぼ２倍になるような構造を採用
することにより、電源効率は最も向上する。従って、さ
らなる低消費電力、低電圧駆動が可能となる。振動板に
液体を供給する手段は複合体を支持する支持具と、多数
の貫通孔を有する吸液能力の大きい物質から成る保液材
とを含む。保液材は液体を吸収して振動板に供給する。
支持具は複合体を固定物に対し所定位置に保持してい
る。この際、支持具と複合体との接触面積をできるだけ
少なくする方が望ましいが、支持具のうち少なくとも圧
電振動子に接触する部分には発泡スチロール等のような
圧電振動子に比べて音響インピーダンスが低い物質を採
用し、支持具のうち少なくとも振動板に接触する部分に
は発泡スチロール等のような振動板に比べて音響インピ
ーダンスが低い物質を採用することにより、圧電振動子
の励振が支持具自身や固定物に伝搬し散失されるのを抑
制でき、効率良く振動板を振動させることができる。従
って、霧化効率を増大させることができる。また、振動
板が常時または間欠的に保液材と接触することにより、
その保液材に吸収されている液体を効率よく霧化するこ
とが可能となる。
【実施例】図１は本発明の超音波霧化装置の一実施例を
示す断面図である。本実施例は圧電振動子１、振動板
２、支持具３、支持具４、保液材５、貯液室６および自
励式の駆動回路７から成る。駆動回路７は電源室に設け
られている。但し図１では、駆動回路７は省いて描かれ
ている。振動板２は圧電振動子１の一方の端面に圧電振
動子１と一体的に連なって固着されている。振動板２の
下端面には保液材５の上端部が接触していて、保液材５
によって吸い上げられた液体は振動板２に供給され、振
動板２の上方へ霧化される。図２は圧電振動子１および
振動板２から成る複合体を示す斜視図である。圧電振動
子１は圧電磁器８、すだれ状電極Ｐおよび電極Ｇから成
る。圧電磁器８は矩形板状のＴＤＫ７２Ａ材（製品名）
で成り、その長さは１７ｍｍ、幅は２０ｍｍ、厚さは１
ｍｍである。圧電磁器８の分極軸の方向は厚さ方向に一
致しており、この厚さ方向に垂直な両端面のそれぞれに
すだれ状電極Ｐおよび電極Ｇが形成されている。電極Ｇ
はアルミニウム薄膜で成り、圧電磁器８の一方の端面の
ほぼ全域を覆っている。すだれ状電極Ｐはアルミニウム
薄膜で成り、６対の電極指を有するもので、電極周期長
は２ｍｍ、電極交叉幅は４．８ｍｍである。電極Ｇには
端子ＴGが取り付けられ、すだれ状電極Ｐは部分ＰDおよ
びＰFから成り、部分ＰDおよびＰFにはそれぞれ端子ＴD
およびＴFが取り付けられている。振動板２はステンレ
ス製で、長さ２０ｍｍ、幅２０ｍｍ、厚さ０．０５ｍｍ
である。振動板２の一方の板面の端部（長さ２ｍｍ、幅
２０ｍｍ）は圧電振動子１に固着され、残部（長さ１８
ｍｍ、幅２０ｍｍ）は圧電振動子１の外部に張り出して
いる。図３は図２の複合体の平面図である。部分ＰDの
面積は部分ＰFの面積のほぼ２倍である。図４は振動板
２を板面に垂直な平面で切断したときの部分拡大断面図
である。振動板２にはその厚さ方向に貫通する微細な多
数の貫通孔９が設けられている。貫通孔９の形状はすり
鉢状で、等しいピッチで配列されており、一方の開口面
積は他方の開口面積より大きい。開口面積が大きい方を
液体の入口側としその直径は８０μｍで、開口面積が小
さい方を出口側としその直径は７μｍである。図１の超
音波霧化装置の駆動時、圧電振動子１と振動板２との複
合体の共振周波数にほぼ等しい周波数を有する電気信号
を端子ＴDおよびＴGを介して圧電振動子１に入力する
と、圧電振動子１に圧電的に振動が励振される。振動板
２を圧電振動子１の一方の端面上に一体的に連なって固
着させる構造を採用していることから、圧電振動子１の
振動に伴って振動板２は圧電振動子１との接合領域を固
定端とする形で振動される。支持具３の圧電振動子１と
の接触部は圧電振動子１に比べて音響インピーダンスが
低い発泡スチロール等で成り、支持具４の振動板２との
接触部は振動板２に比べて音響インピーダンスが低い発
泡スチロール等で成る。これは、圧電振動子１からの超
音波が支持具３および支持具４に伝搬し散失されるのを
防ぐためである。保液材５は圧電振動子１に比べて音響
インピーダンスが低くしかも吸液能力が大きいスポンジ
等で成り、圧電振動子１からの超音波が保液材５を介し
て液体中に伝搬し散失するのを防いでいる。振動板２の
振動に伴い、保液材５によって吸い上げられた液体は毛
細管現象により貫通孔９に導かれる。液体が貫通孔９を
通過するとき、貫通孔９における液体の通過面積はその
入口側から出口側に向けて減少するから、液体は貫通孔
９によって絞り作用を受け、微小でかつ均一な粒子とな
って振動板２の上部に流出し、効率良く霧化される。図
５は駆動回路７の一実施例を示す構成図である。端子Ｔ
DおよびＴGを介して圧電振動子１に電圧を引加すること
により圧電振動子１に励振された振動は、その大部分が
振動板２に伝搬されるとともに、圧電振動子１の振動に
応じて圧電振動子１に引加された電圧とは逆相の電圧と
して端子ＴFおよびＴGから出力される。この動作の繰り
返しによって正帰還の自励発振が生じる。つまり、複合
体の共振周波数にほぼ等しい周波数を有する電気信号が
雰囲気温度の変化に追随して安定して圧電振動子１に供
給される。このとき、部分ＰDの面積が部分ＰFの面積の
ほぼ２倍になるような構造を採用することにより、圧電
振動子１の励振によって発生し端子ＴFに現われる圧電
気を帰還電圧として再び端子ＴDに供給し利用するとき
の効率を向上させることができる。従って、電源効率が
向上する。このようにして、常に自らの最適の発振状態
を維持することを可能にし、他励駆動の際に問題となる
発熱等により複合体の共振周波数が偏移して発振条件が
悪くなるという問題点が解決される。また、１つのコイ
ルＬ1、１つのトランジスタＴr1、２つの抵抗Ｒ1および
Ｒ2、および１つのダイオードＤ1という極く少ない部品
で回路を構成することが可能である。しかも、部品点数
が少ないにもかかわらず、直流電源Ｖdcを利用すること
ができ電力効率もよいことから、電源の小型化対応を可
能にしている。図５の駆動回路７に直流電源Ｖdcからた
とえば０〜１０Ｖの直流電圧を印加すると、コイルＬ1
の値を調整することにより、端子ＴDに最大で約６０Ｖ
p-pの交流電圧を印加させることができる。このとき端
子ＴFから約１Ｖp-pの電気信号が取り出される。このよ
うにして、駆動回路７では直流電源電圧の約６倍の交流
電圧を圧電振動子１に印加することが可能である。図１
の超音波霧化装置においては６Ｖ以上の直流電圧を印加
することにより霧化動作が確認できた。霧の粒子は極微
小でしかも均一であった。図１の超音波霧化装置によれ
ば、長時間にわたり極微小の霧を安定に霧化できる。図
６は複合体における端子ＴDとＴGとの間のアドミタンス
ピークと、部分ＰFの面積を１とした場合の部分ＰDの面
積比との関係を示す特性図である。但し、図６のアドミ
タンスピークは圧電振動子１の共振周波数近傍での値を
示す。アドミタンスピークは部分ＰDの面積が部分ＰFの
面積のほぼ２倍のときに最大値を示す。図７は霧化量
と、部分ＰFの面積を１とした場合の部分ＰDの面積比と
の関係を示す特性図である。但し、図７の霧化量は直流
電源Ｖdcの電圧が９Ｖのときの値を示す。霧化量は部分
ＰDの面積が部分ＰFの面積のほぼ２倍のときに最大値の
１５ｍｌを示し、この値は図６のアドミタンスピークの
最大値に対応している。図８は霧化効率と、部分ＰFの
面積を１とした場合の部分ＰDの面積比との関係を示す
特性図である。但し、図８の霧化効率は直流電源Ｖdcの
電圧が９Ｖのときの値を示す。霧化効率は部分ＰDの面
積が部分ＰFの面積のほぼ２倍のときに最大値の２２．
５ｍｌ／ｈｗを示し、この値は図６のアドミタンスピー
クの最大値に対応している。図９は圧電振動子１単体ま
たは複合体における端子ＴDとＴGとの間のアドミタンス
の位相と周波数との関係を示す特性図である。点線は圧
電振動子１単体の場合を示し、実線は複合体の場合を示
す。但し、図９では振動板２における圧電振動子１との
固着部分を除く張り出し部分の長さが２２ｍｍの場合
と、１７．９ｍｍの場合の２通りを示す。振動板２の張
り出し部分の長さが１７．９ｍｍの場合において、複合
体の共振周波数の１つ（９２．５ｋＨｚ）が圧電振動子
１単体の共振周波数と一致している。このとき、霧化効
率は最大値を示した。図１０は霧化量と直流電源Ｖdcの
電圧との関係を示す特性図である。但し、図１０では振
動板２の張り出し部分の長さが１７．９ｍｍの場合を示
す。図１１は複合体のもう一つの実施例を示す斜視図で
ある。本実施例の複合体は圧電振動子１０および振動板
１１から成る。圧電振動子１０は圧電磁器１２、すだれ
状電極Ｐおよび電極Ｇから成る。圧電磁器１２は矩形角
柱状のＴＤＫ９１Ａ材（製品名）で成り、その長さは１
０ｍｍ、幅は５ｍｍ、厚さは６ｍｍである。圧電磁器１
２の分極軸の方向は厚さ方向に一致しており、この厚さ
方向に垂直な両端面のそれぞれにすだれ状電極Ｐおよび
電極Ｇが形成されている。電極Ｇには端子ＴGが取り付
けられ、すだれ状電極Ｐの部分ＰDおよびＰFにはそれぞ
れ端子ＴDおよびＴFが取り付けられている。振動板２は
ステンレス製で、長さ１１ｍｍ、幅５ｍｍ、厚さ０．０
４ｍｍである。振動板２の一方の板面の端部（長さ１．
５ｍｍ、幅５ｍｍ）は圧電振動子１に固着され、残部
（長さ９．５ｍｍ、幅５ｍｍ）は圧電振動子１の外部に
張り出している。部分ＰDの面積は部分ＰFの面積のほぼ
２倍である。図１１の複合体を用いた場合にも図２の複
合体を用いた場合と同様な霧化効果が見られた。図１２
は複合体のさらにもう一つの実施例を示す斜視図であ
る。本実施例の複合体は圧電振動子１３および振動板２
から成り、圧電振動子１３は圧電磁器８、電極Ｄ，Ｆお
よびＧから成る。電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子
ＴD，ＴFおよびＴGが取り付けられている。電極Ｄの面
積は電極Ｆの面積のほぼ４倍である。 図１３は霧化量
と、電極Ｆの面積を１とした場合の電極Ｄの面積比との
関係を示す特性図である。但し、図１３は振動板２の張
り出し部分の長さが１８ｍｍの場合を示す。また、直流
電源Ｖdcの電圧が１２，１１，１０，９，８または７Ｖ
の場合を示す。霧化量は直流電源Ｖdcの電圧が１２Ｖ
で、電極Ｄの面積が電極Ｆの面積のほぼ４倍のときに最
大値の５．７ｍｌを示した。
示す断面図である。本実施例は圧電振動子１、振動板
２、支持具３、支持具４、保液材５、貯液室６および自
励式の駆動回路７から成る。駆動回路７は電源室に設け
られている。但し図１では、駆動回路７は省いて描かれ
ている。振動板２は圧電振動子１の一方の端面に圧電振
動子１と一体的に連なって固着されている。振動板２の
下端面には保液材５の上端部が接触していて、保液材５
によって吸い上げられた液体は振動板２に供給され、振
動板２の上方へ霧化される。図２は圧電振動子１および
振動板２から成る複合体を示す斜視図である。圧電振動
子１は圧電磁器８、すだれ状電極Ｐおよび電極Ｇから成
る。圧電磁器８は矩形板状のＴＤＫ７２Ａ材（製品名）
で成り、その長さは１７ｍｍ、幅は２０ｍｍ、厚さは１
ｍｍである。圧電磁器８の分極軸の方向は厚さ方向に一
致しており、この厚さ方向に垂直な両端面のそれぞれに
すだれ状電極Ｐおよび電極Ｇが形成されている。電極Ｇ
はアルミニウム薄膜で成り、圧電磁器８の一方の端面の
ほぼ全域を覆っている。すだれ状電極Ｐはアルミニウム
薄膜で成り、６対の電極指を有するもので、電極周期長
は２ｍｍ、電極交叉幅は４．８ｍｍである。電極Ｇには
端子ＴGが取り付けられ、すだれ状電極Ｐは部分ＰDおよ
びＰFから成り、部分ＰDおよびＰFにはそれぞれ端子ＴD
およびＴFが取り付けられている。振動板２はステンレ
ス製で、長さ２０ｍｍ、幅２０ｍｍ、厚さ０．０５ｍｍ
である。振動板２の一方の板面の端部（長さ２ｍｍ、幅
２０ｍｍ）は圧電振動子１に固着され、残部（長さ１８
ｍｍ、幅２０ｍｍ）は圧電振動子１の外部に張り出して
いる。図３は図２の複合体の平面図である。部分ＰDの
面積は部分ＰFの面積のほぼ２倍である。図４は振動板
２を板面に垂直な平面で切断したときの部分拡大断面図
である。振動板２にはその厚さ方向に貫通する微細な多
数の貫通孔９が設けられている。貫通孔９の形状はすり
鉢状で、等しいピッチで配列されており、一方の開口面
積は他方の開口面積より大きい。開口面積が大きい方を
液体の入口側としその直径は８０μｍで、開口面積が小
さい方を出口側としその直径は７μｍである。図１の超
音波霧化装置の駆動時、圧電振動子１と振動板２との複
合体の共振周波数にほぼ等しい周波数を有する電気信号
を端子ＴDおよびＴGを介して圧電振動子１に入力する
と、圧電振動子１に圧電的に振動が励振される。振動板
２を圧電振動子１の一方の端面上に一体的に連なって固
着させる構造を採用していることから、圧電振動子１の
振動に伴って振動板２は圧電振動子１との接合領域を固
定端とする形で振動される。支持具３の圧電振動子１と
の接触部は圧電振動子１に比べて音響インピーダンスが
低い発泡スチロール等で成り、支持具４の振動板２との
接触部は振動板２に比べて音響インピーダンスが低い発
泡スチロール等で成る。これは、圧電振動子１からの超
音波が支持具３および支持具４に伝搬し散失されるのを
防ぐためである。保液材５は圧電振動子１に比べて音響
インピーダンスが低くしかも吸液能力が大きいスポンジ
等で成り、圧電振動子１からの超音波が保液材５を介し
て液体中に伝搬し散失するのを防いでいる。振動板２の
振動に伴い、保液材５によって吸い上げられた液体は毛
細管現象により貫通孔９に導かれる。液体が貫通孔９を
通過するとき、貫通孔９における液体の通過面積はその
入口側から出口側に向けて減少するから、液体は貫通孔
９によって絞り作用を受け、微小でかつ均一な粒子とな
って振動板２の上部に流出し、効率良く霧化される。図
５は駆動回路７の一実施例を示す構成図である。端子Ｔ
DおよびＴGを介して圧電振動子１に電圧を引加すること
により圧電振動子１に励振された振動は、その大部分が
振動板２に伝搬されるとともに、圧電振動子１の振動に
応じて圧電振動子１に引加された電圧とは逆相の電圧と
して端子ＴFおよびＴGから出力される。この動作の繰り
返しによって正帰還の自励発振が生じる。つまり、複合
体の共振周波数にほぼ等しい周波数を有する電気信号が
雰囲気温度の変化に追随して安定して圧電振動子１に供
給される。このとき、部分ＰDの面積が部分ＰFの面積の
ほぼ２倍になるような構造を採用することにより、圧電
振動子１の励振によって発生し端子ＴFに現われる圧電
気を帰還電圧として再び端子ＴDに供給し利用するとき
の効率を向上させることができる。従って、電源効率が
向上する。このようにして、常に自らの最適の発振状態
を維持することを可能にし、他励駆動の際に問題となる
発熱等により複合体の共振周波数が偏移して発振条件が
悪くなるという問題点が解決される。また、１つのコイ
ルＬ1、１つのトランジスタＴr1、２つの抵抗Ｒ1および
Ｒ2、および１つのダイオードＤ1という極く少ない部品
で回路を構成することが可能である。しかも、部品点数
が少ないにもかかわらず、直流電源Ｖdcを利用すること
ができ電力効率もよいことから、電源の小型化対応を可
能にしている。図５の駆動回路７に直流電源Ｖdcからた
とえば０〜１０Ｖの直流電圧を印加すると、コイルＬ1
の値を調整することにより、端子ＴDに最大で約６０Ｖ
p-pの交流電圧を印加させることができる。このとき端
子ＴFから約１Ｖp-pの電気信号が取り出される。このよ
うにして、駆動回路７では直流電源電圧の約６倍の交流
電圧を圧電振動子１に印加することが可能である。図１
の超音波霧化装置においては６Ｖ以上の直流電圧を印加
することにより霧化動作が確認できた。霧の粒子は極微
小でしかも均一であった。図１の超音波霧化装置によれ
ば、長時間にわたり極微小の霧を安定に霧化できる。図
６は複合体における端子ＴDとＴGとの間のアドミタンス
ピークと、部分ＰFの面積を１とした場合の部分ＰDの面
積比との関係を示す特性図である。但し、図６のアドミ
タンスピークは圧電振動子１の共振周波数近傍での値を
示す。アドミタンスピークは部分ＰDの面積が部分ＰFの
面積のほぼ２倍のときに最大値を示す。図７は霧化量
と、部分ＰFの面積を１とした場合の部分ＰDの面積比と
の関係を示す特性図である。但し、図７の霧化量は直流
電源Ｖdcの電圧が９Ｖのときの値を示す。霧化量は部分
ＰDの面積が部分ＰFの面積のほぼ２倍のときに最大値の
１５ｍｌを示し、この値は図６のアドミタンスピークの
最大値に対応している。図８は霧化効率と、部分ＰFの
面積を１とした場合の部分ＰDの面積比との関係を示す
特性図である。但し、図８の霧化効率は直流電源Ｖdcの
電圧が９Ｖのときの値を示す。霧化効率は部分ＰDの面
積が部分ＰFの面積のほぼ２倍のときに最大値の２２．
５ｍｌ／ｈｗを示し、この値は図６のアドミタンスピー
クの最大値に対応している。図９は圧電振動子１単体ま
たは複合体における端子ＴDとＴGとの間のアドミタンス
の位相と周波数との関係を示す特性図である。点線は圧
電振動子１単体の場合を示し、実線は複合体の場合を示
す。但し、図９では振動板２における圧電振動子１との
固着部分を除く張り出し部分の長さが２２ｍｍの場合
と、１７．９ｍｍの場合の２通りを示す。振動板２の張
り出し部分の長さが１７．９ｍｍの場合において、複合
体の共振周波数の１つ（９２．５ｋＨｚ）が圧電振動子
１単体の共振周波数と一致している。このとき、霧化効
率は最大値を示した。図１０は霧化量と直流電源Ｖdcの
電圧との関係を示す特性図である。但し、図１０では振
動板２の張り出し部分の長さが１７．９ｍｍの場合を示
す。図１１は複合体のもう一つの実施例を示す斜視図で
ある。本実施例の複合体は圧電振動子１０および振動板
１１から成る。圧電振動子１０は圧電磁器１２、すだれ
状電極Ｐおよび電極Ｇから成る。圧電磁器１２は矩形角
柱状のＴＤＫ９１Ａ材（製品名）で成り、その長さは１
０ｍｍ、幅は５ｍｍ、厚さは６ｍｍである。圧電磁器１
２の分極軸の方向は厚さ方向に一致しており、この厚さ
方向に垂直な両端面のそれぞれにすだれ状電極Ｐおよび
電極Ｇが形成されている。電極Ｇには端子ＴGが取り付
けられ、すだれ状電極Ｐの部分ＰDおよびＰFにはそれぞ
れ端子ＴDおよびＴFが取り付けられている。振動板２は
ステンレス製で、長さ１１ｍｍ、幅５ｍｍ、厚さ０．０
４ｍｍである。振動板２の一方の板面の端部（長さ１．
５ｍｍ、幅５ｍｍ）は圧電振動子１に固着され、残部
（長さ９．５ｍｍ、幅５ｍｍ）は圧電振動子１の外部に
張り出している。部分ＰDの面積は部分ＰFの面積のほぼ
２倍である。図１１の複合体を用いた場合にも図２の複
合体を用いた場合と同様な霧化効果が見られた。図１２
は複合体のさらにもう一つの実施例を示す斜視図であ
る。本実施例の複合体は圧電振動子１３および振動板２
から成り、圧電振動子１３は圧電磁器８、電極Ｄ，Ｆお
よびＧから成る。電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子
ＴD，ＴFおよびＴGが取り付けられている。電極Ｄの面
積は電極Ｆの面積のほぼ４倍である。 図１３は霧化量
と、電極Ｆの面積を１とした場合の電極Ｄの面積比との
関係を示す特性図である。但し、図１３は振動板２の張
り出し部分の長さが１８ｍｍの場合を示す。また、直流
電源Ｖdcの電圧が１２，１１，１０，９，８または７Ｖ
の場合を示す。霧化量は直流電源Ｖdcの電圧が１２Ｖ
で、電極Ｄの面積が電極Ｆの面積のほぼ４倍のときに最
大値の５．７ｍｌを示した。
【発明の効果】本発明の超音波霧化装置では、圧電振動
子が圧電磁器、電極Ｄ，ＦおよびＧから成る構造を採用
できる。電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子ＴD，ＴF
およびＴGが設けられている。このような簡単な構造の
圧電振動子の採用により、超音波霧化装置の小型化が可
能となるばかりでなく霧化効率の向上をもたらす。さら
に、自励式駆動が可能となることから低消費電力で低電
圧での駆動が可能となるばかりでなく、温度などの環境
変化に対応しうる形での低消費電力、低電圧での駆動が
可能となる。圧電振動子として長さと幅の寸法比が１に
近くしかも１に等しくない矩形状の板または長さと幅と
厚さのうちのどれか２つの寸法比が１に近くしかも１に
等しくない矩形状の角柱を採用することにより、圧電振
動子と振動板との複合体の結合振動が増強され、霧化効
率が促進される。また、複合体における共振周波数が圧
電振動子単体の共振周波数とほぼ等しくなるような構造
を採用することにより、複合体の結合振動が増強され、
霧化効率が促進される。さらに、振動板が圧電振動子の
電極Ｇを有する端面上における圧電振動子の幅方向に沿
った部分に一体的に連なって固着されていることによ
り、振動板は圧電振動子と振動板との接合部を固定端と
して振動する。従って、振動板に供給された液体はその
弾性振動により、振動板に設けられている多数の微小な
貫通孔を通して霧化され振動板の上方に向けて霧として
放散される。複合体を駆動するための回路には、直流電
源と端子ＴDとの間に接続された昇圧用のコイルと、出
力端子が端子ＴDに接続され入力端子が端子ＴFに接続さ
れたトランジスタとが備えられている。駆動回路には、
トランジスタを増幅素子とし複合体を共振素子とする発
振回路が構成されており、複合体の共振周波数に追随し
て周波数を変える機能が備えられている。そのうえ、コ
イルの逆起電圧を利用した機能が備えられていることに
より、電源電圧より高い電圧で圧電振動子を駆動するこ
とが可能である。このようにして、本発明の超音波霧化
装置では回路構成が簡単で小型であり、電源効率及び周
波数特性が良い。本発明の超音波霧化装置では、端子Ｔ
DおよびＴFが圧電振動子の電極ＤおよびＦを有する端面
上における圧電振動子の幅方向に沿った部分に設けられ
た構造、つまり、端子ＴDおよびＴFが圧電振動子の幅方
向に沿った部分に配置されるように電極ＤおよびＦが配
置された構造が採用されている。さらに、圧電磁器の一
方の端面上における電極Ｄの面積が電極Ｆの面積のほぼ
３倍から４倍になるような構造が採用されている。この
ような構造を採用することにより、圧電振動子自身の励
振によって発生し端子ＴFに現われる圧電気を帰還電圧
として再び端子ＴDに供給し利用するときの効率を向上
させることができる。従って、電源効率をさらに向上さ
せることが可能となる。本発明の超音波霧化装置では、
圧電振動子が圧電磁器、すだれ状電極Ｐおよび電極Ｇで
成る構造を採用することが可能である。すだれ状電極の
採用により電源効率はいっそう向上する。この場合、す
だれ状電極の部分ＰDの面積が部分ＰFの面積のほぼ２倍
になるような構造を採用することにより、電源効率は最
も向上する。従って、さらなる低消費電力、低電圧駆動
が可能となる。振動板に液体を供給する手段が複合体を
支持する支持具と、多数の貫通孔を有する吸液能力の大
きい物質から成る保液材とを含むことにより、長時間に
わたり安定な霧化を実現することができる。支持具およ
び保液材として複合体の振動が伝搬しにくいような材質
が採用されることにより、効率良く振動板が振動され、
効率よく液体を霧化することが可能となる。
子が圧電磁器、電極Ｄ，ＦおよびＧから成る構造を採用
できる。電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子ＴD，ＴF
およびＴGが設けられている。このような簡単な構造の
圧電振動子の採用により、超音波霧化装置の小型化が可
能となるばかりでなく霧化効率の向上をもたらす。さら
に、自励式駆動が可能となることから低消費電力で低電
圧での駆動が可能となるばかりでなく、温度などの環境
変化に対応しうる形での低消費電力、低電圧での駆動が
可能となる。圧電振動子として長さと幅の寸法比が１に
近くしかも１に等しくない矩形状の板または長さと幅と
厚さのうちのどれか２つの寸法比が１に近くしかも１に
等しくない矩形状の角柱を採用することにより、圧電振
動子と振動板との複合体の結合振動が増強され、霧化効
率が促進される。また、複合体における共振周波数が圧
電振動子単体の共振周波数とほぼ等しくなるような構造
を採用することにより、複合体の結合振動が増強され、
霧化効率が促進される。さらに、振動板が圧電振動子の
電極Ｇを有する端面上における圧電振動子の幅方向に沿
った部分に一体的に連なって固着されていることによ
り、振動板は圧電振動子と振動板との接合部を固定端と
して振動する。従って、振動板に供給された液体はその
弾性振動により、振動板に設けられている多数の微小な
貫通孔を通して霧化され振動板の上方に向けて霧として
放散される。複合体を駆動するための回路には、直流電
源と端子ＴDとの間に接続された昇圧用のコイルと、出
力端子が端子ＴDに接続され入力端子が端子ＴFに接続さ
れたトランジスタとが備えられている。駆動回路には、
トランジスタを増幅素子とし複合体を共振素子とする発
振回路が構成されており、複合体の共振周波数に追随し
て周波数を変える機能が備えられている。そのうえ、コ
イルの逆起電圧を利用した機能が備えられていることに
より、電源電圧より高い電圧で圧電振動子を駆動するこ
とが可能である。このようにして、本発明の超音波霧化
装置では回路構成が簡単で小型であり、電源効率及び周
波数特性が良い。本発明の超音波霧化装置では、端子Ｔ
DおよびＴFが圧電振動子の電極ＤおよびＦを有する端面
上における圧電振動子の幅方向に沿った部分に設けられ
た構造、つまり、端子ＴDおよびＴFが圧電振動子の幅方
向に沿った部分に配置されるように電極ＤおよびＦが配
置された構造が採用されている。さらに、圧電磁器の一
方の端面上における電極Ｄの面積が電極Ｆの面積のほぼ
３倍から４倍になるような構造が採用されている。この
ような構造を採用することにより、圧電振動子自身の励
振によって発生し端子ＴFに現われる圧電気を帰還電圧
として再び端子ＴDに供給し利用するときの効率を向上
させることができる。従って、電源効率をさらに向上さ
せることが可能となる。本発明の超音波霧化装置では、
圧電振動子が圧電磁器、すだれ状電極Ｐおよび電極Ｇで
成る構造を採用することが可能である。すだれ状電極の
採用により電源効率はいっそう向上する。この場合、す
だれ状電極の部分ＰDの面積が部分ＰFの面積のほぼ２倍
になるような構造を採用することにより、電源効率は最
も向上する。従って、さらなる低消費電力、低電圧駆動
が可能となる。振動板に液体を供給する手段が複合体を
支持する支持具と、多数の貫通孔を有する吸液能力の大
きい物質から成る保液材とを含むことにより、長時間に
わたり安定な霧化を実現することができる。支持具およ
び保液材として複合体の振動が伝搬しにくいような材質
が採用されることにより、効率良く振動板が振動され、
効率よく液体を霧化することが可能となる。
【図１】本発明の超音波霧化装置の一実施例を示す断面
図。
図。
【図２】圧電振動子１および振動板２から成る複合体を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図３】図２の複合体の平面図。
【図４】振動板２を板面に垂直な平面で切断したときの
部分拡大断面図。
部分拡大断面図。
【図５】駆動回路７の一実施例を示す構成図。
【図６】複合体における端子ＴDとＴGとの間のアドミタ
ンスピークと、部分ＰFの面積を１とした場合の部分ＰD
の面積比との関係を示す特性図。
ンスピークと、部分ＰFの面積を１とした場合の部分ＰD
の面積比との関係を示す特性図。
【図７】霧化量と、部分ＰFの面積を１とした場合の部
分ＰDの面積比との関係を示す特性図。
分ＰDの面積比との関係を示す特性図。
【図８】霧化効率と、部分ＰFの面積を１とした場合の
部分ＰDの面積比との関係を示す特性図。
部分ＰDの面積比との関係を示す特性図。
【図９】圧電振動子１単体または複合体における端子Ｔ
DとＴGとの間のアドミタンスの位相と周波数との関係を
示す特性図。
DとＴGとの間のアドミタンスの位相と周波数との関係を
示す特性図。
【図１０】霧化量と直流電源Ｖdcの電圧との関係を示す
特性図。
特性図。
【図１１】複合体のもう一つの実施例を示す斜視図。
【図１２】複合体のさらにもう一つの実施例を示す斜視
図。
図。
【図１３】霧化量と、電極Ｆの面積を１とした場合の電
極Ｄの面積比との関係を示す特性図。
極Ｄの面積比との関係を示す特性図。
１ 圧電振動子 ２ 振動板 ３ 支持具 ４ 支持具 ５ 保液材 ６ 貯液室 ７ 駆動回路 ８ 圧電磁器 ９ 貫通孔 １０ 圧電振動子 １１ 振動板 １２ 圧電磁器 １３ 圧電振動子 Ｐ すだれ状電極 ＰD 部分 ＰF 部分 Ｇ 電極 Ｄ 電極 Ｆ 電極 ＴD，ＴF，ＴG 端子 Ｌ1 コイル Ｔr1 トランジスタ Ｒ1，Ｒ2 抵抗 Ｄ1 ダイオード Ｖdc 直流電源
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電振動子に多数の微小な貫通孔を有す
る振動板を固着して成る複合体により発生させた弾性振
動により、前記振動板に供給された液体を霧化する超音
波霧化装置において、 前記圧電振動子は圧電磁器、電極Ｄ，ＦおよびＧから成
り、 前記電極ＤおよびＦは前記圧電磁器の厚さ方向に垂直な
一方の端面に形成され、前記電極Ｇは前記圧電磁器の厚
さ方向に垂直なもう一方の端面に形成されており、 前記電極ＤおよびＦは互いに絶縁されており、 前記電極Ｄ，ＦおよびＧにはそれぞれ端子ＴD，ＴFおよ
びＴGが設けられ、 前記端子ＴDとＴGとの間に前記圧電振動子の共振周波数
とほぼ等しい周波数の電圧を印加することにより、前記
複合体を駆動する回路が備えてあり、 前記圧電振動子は長さと幅の寸法比が１に近くしかも１
に等しくない矩形状の板または長さと幅と厚さのうちの
どれか２つの寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩
形状の角柱であって、前記振動板は前記圧電振動子の前
記電極Ｇを有する端面上における前記圧電振動子の幅方
向に沿った部分に一体的に連なって固着されていて、 前記端子ＴDおよびＴFは前記圧電振動子の前記電極Ｄお
よびＦを有する端面上における前記圧電振動子の幅方向
に沿った部分に設けられており、 前記圧電振動子の共振周波数は前記複合体の共振周波数
にほぼ等しいことを特徴とする超音波霧化装置。 - 【請求項２】 前記駆動回路は、直流電源と前記端子Ｔ
Dとの間に接続されている昇圧用のコイルと、出力端子
が前記端子ＴDに接続され入力端子が前記端子ＴFに接続
されることにより前記端子ＴFに現われる圧電気を帰還
電圧として受けるトランジスタとを備え、 前記駆動回路は、前記トランジスタを増幅素子とし前記
複合体を共振素子とする発振回路を構成することを特徴
とする請求項１に記載の超音波霧化装置。 - 【請求項３】 前記圧電磁器の一方の端面上における前
記電極Ｄの面積は前記電極Ｆの面積のほぼ３倍から４倍
であることを特徴とする請求項１または２に記載の超音
波霧化装置。 - 【請求項４】 圧電振動子に多数の微小な貫通孔を有す
る振動板を固着して成る複合体により発生させた弾性振
動により、前記振動板に供給された液体を霧化する超音
波霧化装置において、 前記圧電振動子は圧電磁器、すだれ状電極Ｐおよび電極
Ｇから成り、 前記すだれ状電極Ｐおよび前記電極Ｇは前記圧電磁器の
厚さ方向に垂直な両端面のそれぞれに形成されており、 前記すだれ状電極Ｐの互いに絶縁する部分ＰDおよびＰF
にはそれぞれ端子ＴDおよびＴFが設けられ、 前記電極Ｇには端子ＴGが設けられており、 前記端子ＴDとＴGとの間に前記圧電振動子の共振周波数
とほぼ等しい周波数の電圧を印加することにより、前記
複合体を駆動する回路が備えてあり、 前記圧電振動子は長さと幅の寸法比が１に近くしかも１
に等しくない矩形状の板または長さと幅と厚さのうちの
どれか２つの寸法比が１に近くしかも１に等しくない矩
形状の角柱であって、前記振動板は前記圧電振動子の前
記電極Ｇを有する端面上における前記圧電振動子の幅方
向に沿った部分に一体的に連なって固着されていて、 前記端子ＴDおよびＴFは前記圧電振動子の前記すだれ状
電極Ｐを有する端面上における前記圧電振動子の幅方向
に沿った部分に設けられており、 前記圧電振動子の共振周波数は前記複合体の共振周波数
にほぼ等しいことを特徴とする超音波霧化装置。 - 【請求項５】 前記駆動回路は、直流電源と前記端子Ｔ
Dとの間に接続されている昇圧用のコイルと、出力端子
が前記端子ＴDに接続され入力端子が前記端子ＴFに接続
されることにより前記端子ＴFに現われる圧電気を帰還
電圧として受けるトランジスタとを備え、 前記駆動回路は、前記トランジスタを増幅素子とし前記
複合体を共振素子とする発振回路を構成することを特徴
とする請求項４に記載の超音波霧化装置。 - 【請求項６】 前記圧電磁器の一方の端面上における前
記部分ＰDの面積は前記部分ＰFの面積のほぼ２倍である
ことを特徴とする請求項４または５に記載の超音波霧化
装置。 - 【請求項７】 前記振動板に前記液体を供給する手段
は、前記複合体を支持する支持具と、多数の貫通孔を有
する吸液能力の大きい物質から成る保液材とを含み、 前記支持具は前記複合体を固定物に対し所定位置に保持
し、 前記支持具のうち少なくとも前記圧電振動子に接触する
部分は前記圧電振動子に比べて音響インピーダンスが低
い発泡スチロールその他の物質から成り、前記支持具の
うち少なくとも前記振動板に接触する部分は前記振動板
に比べて音響インピーダンスが低い発泡スチロールその
他の物質から成り、 前記振動板は常時または間欠的に前記保液材と接触し
て、前記保液材に吸収されている前記液体を霧化するこ
とを特徴とする請求項１，２，３，４，５または６に記
載の超音波霧化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7113655A JPH08281165A (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 超音波霧化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7113655A JPH08281165A (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 超音波霧化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08281165A true JPH08281165A (ja) | 1996-10-29 |
Family
ID=14617788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7113655A Pending JPH08281165A (ja) | 1995-04-14 | 1995-04-14 | 超音波霧化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08281165A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000037132A1 (en) * | 1998-12-18 | 2000-06-29 | Omron Corporation | Sprayer |
| JP2006281170A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Optnics Precision Co Ltd | 超音波振動ユニット |
| JP2008188515A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Fukoku Co Ltd | 超音波霧化装置 |
| US7538473B2 (en) | 2004-02-03 | 2009-05-26 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Drive circuits and methods for ultrasonic piezoelectric actuators |
| CN114738648A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-07-12 | 上海工程技术大学 | 一种微量润滑系统 |
-
1995
- 1995-04-14 JP JP7113655A patent/JPH08281165A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000037132A1 (en) * | 1998-12-18 | 2000-06-29 | Omron Corporation | Sprayer |
| US6679436B1 (en) | 1998-12-18 | 2004-01-20 | Omron Corporation | Sprayer |
| US7538473B2 (en) | 2004-02-03 | 2009-05-26 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Drive circuits and methods for ultrasonic piezoelectric actuators |
| JP2006281170A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Optnics Precision Co Ltd | 超音波振動ユニット |
| JP2008188515A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Fukoku Co Ltd | 超音波霧化装置 |
| CN114738648A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-07-12 | 上海工程技术大学 | 一种微量润滑系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5657926A (en) | Ultrasonic atomizing device | |
| JPH0852216A (ja) | 超音波吸入装置 | |
| JP3083902B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP2644621B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JPH08281165A (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JPH067721A (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP2698488B2 (ja) | 超音波噴霧装置 | |
| JP3398870B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP2718567B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP3304401B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP2599844B2 (ja) | 超音波発生素子 | |
| JP2723690B2 (ja) | 超音波カラーオルガン | |
| JP3527998B2 (ja) | 超音波成膜装置 | |
| JPH05161877A (ja) | 圧電セラミック振動子 | |
| JP3111201B2 (ja) | 超音波デバイス駆動回路 | |
| JPH04207800A (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP2672397B2 (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JPH05185032A (ja) | 超音波振動板 | |
| JP4264630B2 (ja) | 架橋型超音波霧化装置 | |
| JP3463148B2 (ja) | 指紋検出装置 | |
| JPS6372295A (ja) | 超音波共振装置 | |
| JP3301491B2 (ja) | 反応物感知装置 | |
| JPH05261324A (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JPH06304507A (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP3551421B2 (ja) | 超音波アクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040722 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040824 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041019 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050329 |