JPH05261574A - レーザ加工機の暖機運転方法 - Google Patents
レーザ加工機の暖機運転方法Info
- Publication number
- JPH05261574A JPH05261574A JP4061958A JP6195892A JPH05261574A JP H05261574 A JPH05261574 A JP H05261574A JP 4061958 A JP4061958 A JP 4061958A JP 6195892 A JP6195892 A JP 6195892A JP H05261574 A JPH05261574 A JP H05261574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- resonator
- warm
- temperature
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 寒冷時でも短時間で加工が開始できるように
することにある。 【構成】 レーザ発振器1により発振されたレーザを加
工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射して
ワークの加工を行うようにしたレーザ加工機において、
上記レーザ発振器1内に設けられた共振器2のフレーム
温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場合に
予備放電時より高い出力で共振器2を放電させて暖機運
転を行うようにしたもので、寒冷時でも短時間で加工が
開始できるようになる。
することにある。 【構成】 レーザ発振器1により発振されたレーザを加
工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射して
ワークの加工を行うようにしたレーザ加工機において、
上記レーザ発振器1内に設けられた共振器2のフレーム
温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場合に
予備放電時より高い出力で共振器2を放電させて暖機運
転を行うようにしたもので、寒冷時でも短時間で加工が
開始できるようになる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は寒冷時でも短時間で加
工が開始できるようにしたレーザ加工機の暖機運転方法
に関する。
工が開始できるようにしたレーザ加工機の暖機運転方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来レーザを利用して加工を行うレーザ
加工機には、レーザ発振器が設けられていて、このレー
ザ発振器により発振されたレーザ光を光学系を使用して
加工ヘッドへ導き、加工ヘッドのノズルより加工すべき
ワークへ照射することにより、ワークの加工を行うよう
になっている。またレーザ発振器内には共振器が設けら
れていて、発振中の発熱により光学系を保持しているフ
レームに撓みが生じないよう水や油などの冷媒により一
定温度となるようこの共振器を冷却していると共に、レ
ーザを発振していないときには、共振器が冷え過ぎてフ
レームに逆の撓みが生じないよう比較的低い出力(予備
放電)で発振されている。
加工機には、レーザ発振器が設けられていて、このレー
ザ発振器により発振されたレーザ光を光学系を使用して
加工ヘッドへ導き、加工ヘッドのノズルより加工すべき
ワークへ照射することにより、ワークの加工を行うよう
になっている。またレーザ発振器内には共振器が設けら
れていて、発振中の発熱により光学系を保持しているフ
レームに撓みが生じないよう水や油などの冷媒により一
定温度となるようこの共振器を冷却していると共に、レ
ーザを発振していないときには、共振器が冷え過ぎてフ
レームに逆の撓みが生じないよう比較的低い出力(予備
放電)で発振されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このため長時間停止し
ていて冷却状態にあるレーザ加工機を運転すべく運転開
始スイッチを入れても、レーザ発振器内の共振器の温度
が一定温度になるまでモードや出力が安定しないことか
ら加工が開始できなかった。特に寒冷時では、モードや
出力が安定するまでに長い時間を要し、その間加工が開
始できないため、生産性が低下するなどの不具合があっ
た。この発明はかかる不具合を改善するためになされた
もので、寒冷時でも短時間で加工が開始できようにした
レーザ加工機の暖機運転方法を提供することを目的とす
るものである。
ていて冷却状態にあるレーザ加工機を運転すべく運転開
始スイッチを入れても、レーザ発振器内の共振器の温度
が一定温度になるまでモードや出力が安定しないことか
ら加工が開始できなかった。特に寒冷時では、モードや
出力が安定するまでに長い時間を要し、その間加工が開
始できないため、生産性が低下するなどの不具合があっ
た。この発明はかかる不具合を改善するためになされた
もので、寒冷時でも短時間で加工が開始できようにした
レーザ加工機の暖機運転方法を提供することを目的とす
るものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために、レーザ発振器により発振されたレーザを
加工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射し
てワークの加工を行うようにしたレーザ加工機におい
て、上記レーザ発振器内に設けられた共振器のフレーム
温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場合に
予備放電時より高い出力で共振器を放電させて暖機運転
を行うようにしたものである。
成するために、レーザ発振器により発振されたレーザを
加工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射し
てワークの加工を行うようにしたレーザ加工機におい
て、上記レーザ発振器内に設けられた共振器のフレーム
温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場合に
予備放電時より高い出力で共振器を放電させて暖機運転
を行うようにしたものである。
【0005】
【作 用】上記構成により寒冷時でも短時間でフレー
ム温度が加工可能温度にまで達するため、少ない待ち時
間で加工が開始でき、生産性の向上が図れるようにな
る。
ム温度が加工可能温度にまで達するため、少ない待ち時
間で加工が開始でき、生産性の向上が図れるようにな
る。
【0006】
【実 施 例】この発明の一実施例を図面を参照して詳
述する。図1はこの発明方法を実施するレーザ加工機に
設けられたレーザ発振器1を示すもので、ケース1a内
に共振器2が設けられていて、この共振器2の近傍にこ
れを冷却するオイルクーラ3が設けられている。上記オ
イルクーラ3内にはオイルポンプ4により油が循環され
ていると共に、レーザ管2を冷却することにより熱せら
れた油は共振器ラジエータ5により放熱されるようにな
っている。
述する。図1はこの発明方法を実施するレーザ加工機に
設けられたレーザ発振器1を示すもので、ケース1a内
に共振器2が設けられていて、この共振器2の近傍にこ
れを冷却するオイルクーラ3が設けられている。上記オ
イルクーラ3内にはオイルポンプ4により油が循環され
ていると共に、レーザ管2を冷却することにより熱せら
れた油は共振器ラジエータ5により放熱されるようにな
っている。
【0007】上記共振器2は出力鏡や終段鏡及び折返し
鏡などの光学系と、陰極、陽極を有する放電管より構成
されていて、各光学部品を種々の環境条件下でも常に安
定して動作させるために、内部温度が一定(例えば約2
5℃)となるように調整されており、オイルクーラ3内
の油温を検出する油温検出器(図示せず)からの信号に
応じて共振器ラジエータ5を流れる冷却水の流量を制御
することにより一定温度約25℃を維持している。また
上記レーザ発振器1のケース1a内には、真空ポンプ7
やインバータ8、インバータ電源9、ガスクーラ10、
メカニカルブースタ11などが設けられている。
鏡などの光学系と、陰極、陽極を有する放電管より構成
されていて、各光学部品を種々の環境条件下でも常に安
定して動作させるために、内部温度が一定(例えば約2
5℃)となるように調整されており、オイルクーラ3内
の油温を検出する油温検出器(図示せず)からの信号に
応じて共振器ラジエータ5を流れる冷却水の流量を制御
することにより一定温度約25℃を維持している。また
上記レーザ発振器1のケース1a内には、真空ポンプ7
やインバータ8、インバータ電源9、ガスクーラ10、
メカニカルブースタ11などが設けられている。
【0008】次に上記構成されたレーザ発振器1を有す
るレーザ加工機の運転方法を図2に示すフローチャート
を参照して説明すると、まずレーザ加工機の運転を開始
すべくステップ(1)で運転開始スイッチ(図示せず)
を入れると、ステップ(2)で図示しない冷却装置より
冷却水がレーザ発振器1内へ供給されると同時に、レー
ザ発振器1内のオイルポンプ4や真空ポンプ7などが動
作を開始する。真空ポンプ7は共振器2内のガスを排出
するように動作すると共に、ステップ(3)では共振器
2内の真空度がチェックされて、ステップ(4)で予め
設定された真空度、例えば約5Torrと比較され、共
振器2内の真空度が約5Torrになるまで真空ポンプ
7が動作される。
るレーザ加工機の運転方法を図2に示すフローチャート
を参照して説明すると、まずレーザ加工機の運転を開始
すべくステップ(1)で運転開始スイッチ(図示せず)
を入れると、ステップ(2)で図示しない冷却装置より
冷却水がレーザ発振器1内へ供給されると同時に、レー
ザ発振器1内のオイルポンプ4や真空ポンプ7などが動
作を開始する。真空ポンプ7は共振器2内のガスを排出
するように動作すると共に、ステップ(3)では共振器
2内の真空度がチェックされて、ステップ(4)で予め
設定された真空度、例えば約5Torrと比較され、共
振器2内の真空度が約5Torrになるまで真空ポンプ
7が動作される。
【0009】そして共振器2内の真空度が約5Torr
に達すると、図示しないレーザガスバルブが開放され
て、ステップ(5)でメカニカルブースタ11によりレ
ーザガスが共振器2内へチャージされる。そしてステッ
プ(6)で共振器2内のガス圧が測定されて、ステップ
(7)で予め設定されたガス圧、例えば60Torr±
1Torrと比較され、この値になるまでガスチャージ
が行われる。共振器2内のガス圧が規定の60Torr
±1Torrに達したらステップ(8)へ進んで操作盤
(図示せず)上の準備完了のランプが点灯する。
に達すると、図示しないレーザガスバルブが開放され
て、ステップ(5)でメカニカルブースタ11によりレ
ーザガスが共振器2内へチャージされる。そしてステッ
プ(6)で共振器2内のガス圧が測定されて、ステップ
(7)で予め設定されたガス圧、例えば60Torr±
1Torrと比較され、この値になるまでガスチャージ
が行われる。共振器2内のガス圧が規定の60Torr
±1Torrに達したらステップ(8)へ進んで操作盤
(図示せず)上の準備完了のランプが点灯する。
【0010】これを見て作業者が放電スイッチ(図示せ
ず)入れると、ステップ(9)で共振器2のフレーム2
aに取付けられた温度検出器12によりフレーム2aの
温度Tが測定され、ステップ(10)で予め設定された
温度約25℃と比較される。そしてフレーム2aの温度
Tが約25℃に達していないときにはステップ(11)
へ進んで暖機運転が開始される。暖機運転は共振器2の
出力を加工時の400Wに対して1500Wに上げるこ
とにより行われる。一方暖機運転中は図3に示すように
共振器2より発振されるレーザビームの光路13上にロ
ータリソレノイドなどのアクチュエータ14によりメカ
ニカルシャッタ15が突出されるため、レーザビームは
ビームアブソーバ16側に反射されて、ビームアブソー
バ16により吸収され、加工ヘッド側へは供給されな
い。暖機運転中もフレーム2aの温度Tが設定値約25
℃と比較され、フレーム2aの温度が約25℃に達する
とステップ(12)へ進んで共振器2の出力が400W
にまで低下され、暖機運転が終了すると共に、共振器2
は予備放電状態になる。
ず)入れると、ステップ(9)で共振器2のフレーム2
aに取付けられた温度検出器12によりフレーム2aの
温度Tが測定され、ステップ(10)で予め設定された
温度約25℃と比較される。そしてフレーム2aの温度
Tが約25℃に達していないときにはステップ(11)
へ進んで暖機運転が開始される。暖機運転は共振器2の
出力を加工時の400Wに対して1500Wに上げるこ
とにより行われる。一方暖機運転中は図3に示すように
共振器2より発振されるレーザビームの光路13上にロ
ータリソレノイドなどのアクチュエータ14によりメカ
ニカルシャッタ15が突出されるため、レーザビームは
ビームアブソーバ16側に反射されて、ビームアブソー
バ16により吸収され、加工ヘッド側へは供給されな
い。暖機運転中もフレーム2aの温度Tが設定値約25
℃と比較され、フレーム2aの温度が約25℃に達する
とステップ(12)へ進んで共振器2の出力が400W
にまで低下され、暖機運転が終了すると共に、共振器2
は予備放電状態になる。
【0011】すなわち従来では図4の曲線Bに示すよう
にフレーム2aの温度が例えば5℃のときに運転開始ス
イッチをいれた場合、フレーム温度が約25℃に達して
加工が開始できる状態になるまで約30分かかったのに
対して、この発明の暖機運転方法を採用することによ
り、図4の曲線Aで示すように約5分で加工が開始でき
る状態となり、待ち時間の大幅な短縮が図れるようにな
る。またフレーム温度とモード形状の関係は図5に示す
ようになっているが、フレーム温度が短時間で所定温度
に達するため、モードが安定するまでの時間も短縮する
ことができるようになる。
にフレーム2aの温度が例えば5℃のときに運転開始ス
イッチをいれた場合、フレーム温度が約25℃に達して
加工が開始できる状態になるまで約30分かかったのに
対して、この発明の暖機運転方法を採用することによ
り、図4の曲線Aで示すように約5分で加工が開始でき
る状態となり、待ち時間の大幅な短縮が図れるようにな
る。またフレーム温度とモード形状の関係は図5に示す
ようになっているが、フレーム温度が短時間で所定温度
に達するため、モードが安定するまでの時間も短縮する
ことができるようになる。
【0012】
【発明の効果】この発明は以上詳述したように共振器の
フレーム温度が所定値より低い場合手動または自動的に
暖機運転を開始して、短時間で加工が開始できる温度に
まで上昇させるため、寒冷時であっても短時間で加工が
開始でき、生産性の向上が図れるようになる。
フレーム温度が所定値より低い場合手動または自動的に
暖機運転を開始して、短時間で加工が開始できる温度に
まで上昇させるため、寒冷時であっても短時間で加工が
開始でき、生産性の向上が図れるようになる。
【図1】この発明方法を実施するレーザ加工機に設けら
れたレーザ発振器の構成図である。
れたレーザ発振器の構成図である。
【図2】この発明方法の一実施例を示すフローチャート
である。
である。
【図3】暖機運転中のレーザビームを遮断する構成を示
す説明図である。
す説明図である。
【図4】フレーム温度とレーザ発振器の立上り特性を示
す線図である。
す線図である。
【図5】フレーム温度とモード形状の関係を示す説明図
である。
である。
1…レーザ発振器、2…共振器。
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザ発振器1により発振されたレーザ
を加工ヘッドへ導き、かつ加工ヘッドよりワークへ照射
してワークの加工を行うようにしたレーザ加工機におい
て、上記レーザ発振器1内に設けられた共振器2のフレ
ーム温度を測定して、フレーム温度が設定値より低い場
合に予備放電時より高い出力で共振器2を放電させて暖
機運転を行うことを特徴とするレーザ加工機の暖機運転
装置。 - 【請求項2】 暖機運転を手動または自動的に行うよう
にしてなる請求項1記載の暖機運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061958A JP3035754B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | レーザ加工機の暖機運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4061958A JP3035754B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | レーザ加工機の暖機運転方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05261574A true JPH05261574A (ja) | 1993-10-12 |
| JP3035754B2 JP3035754B2 (ja) | 2000-04-24 |
Family
ID=13186211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4061958A Expired - Fee Related JP3035754B2 (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | レーザ加工機の暖機運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3035754B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008233760A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Matsuura Machinery Corp | ガルバノシステムのフォーカスレンズ系冷却システム |
| JP2010109289A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | レーザ発振器の励起状態判定方法、レーザ発振器及びレーザ加工装置 |
| WO2012053297A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機制御装置およびレーザ加工機制御方法 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP4061958A patent/JP3035754B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008233760A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Matsuura Machinery Corp | ガルバノシステムのフォーカスレンズ系冷却システム |
| JP2010109289A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sunx Ltd | レーザ発振器の励起状態判定方法、レーザ発振器及びレーザ加工装置 |
| WO2012053297A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機制御装置およびレーザ加工機制御方法 |
| CN103167928A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-06-19 | 三菱电机株式会社 | 激光加工机控制装置及激光加工机控制方法 |
| US20130220981A1 (en) * | 2010-10-19 | 2013-08-29 | Mitsubishi Electric Corporation | Control device and control method for laser processing machine |
| JP5301039B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2013-09-25 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工機制御装置およびレーザ加工機制御方法 |
| US9492884B2 (en) | 2010-10-19 | 2016-11-15 | Mitsubishi Electric Corporation | Control device and control method for laser processing machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3035754B2 (ja) | 2000-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4689467A (en) | Laser machining apparatus | |
| US5182434A (en) | Laser beam machining method | |
| JPH08206858A (ja) | レーザ加工装置および加工方法 | |
| EP1747837B1 (en) | Gas laser processing device with control means for adapting the laser gas pressure to the work to be processed | |
| JP3035754B2 (ja) | レーザ加工機の暖機運転方法 | |
| EP0419671A1 (en) | Laser output control system | |
| JPH1126858A (ja) | Qスイッチ発振固体レーザ装置の制御方法及びqスイッチ発振固体レーザ装置 | |
| KR20180073475A (ko) | 레이저 용접 방법 및 레이저 용접 장치 | |
| JPH037477B2 (ja) | ||
| JPH02303695A (ja) | レーザビームによる切断加工方法 | |
| US20060093009A1 (en) | Gas laser device and exposure apparatus using the same | |
| JPH0819888A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH07227688A (ja) | ガスレ−ザ加工機 | |
| JPH04127987A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPS59166390A (ja) | 水素原子加工装置 | |
| JPS59206189A (ja) | レ−ザ切断装置 | |
| JP2501594B2 (ja) | レ―ザ加工機の焦点位置調整方法 | |
| JP2698678B2 (ja) | レーザ装置の送風機制御装置 | |
| JPS59130695A (ja) | 光加工装置 | |
| JPS6342533Y2 (ja) | ||
| JPH058080A (ja) | レーザ加工方法 | |
| JP2924423B2 (ja) | レーザ加工装置とその集光レンズ高さ制御方法 | |
| JP2524449B2 (ja) | レ―ザ加工装置及び方法 | |
| JP2501595B2 (ja) | レ―ザ加工機における焦点位置設定方法 | |
| JPS6364377A (ja) | レ−ザ発振器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080225 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090225 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |