JPH05263271A - 板端面フォトレジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 被塗布金属薄板の端面部に液状フォトレジス
トを過不足なく均一にきっちり塗布し、エッチングでリ
ードフレームパターンを製作する際に位置決めが精度よ
く行え、素材金属薄板幅をリードフレームの採取幅に等
しくし得る板端面の液状フォトレジスト塗布装置を提供
する。 【構成】 被塗布金属薄板の通板ライン１を挟んで設け
られ端面部２にフォトレジスト液６を塗布するロール４
と、前記塗布ロールとの接離間隔を変更自在に設けられ
た送給ロール７と、前記送給ロールと塗布ロールの対面
部の回転入り側にフォトレジスト液を供給する装置９を
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液状フォトレジストを薄
板端面にきっちり塗布する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】リードフレームのリードパターン形成に
はエッチングまたはプレス法が採用される。エッチング
でリードフレームを製作する際は素材金属薄板にフォト
レジストを塗布し、該フォトレジストにリードフレーム
パターンを対接して露光し、その後、現像して感光した
領域外のフォトレジストを除いてリードフレームマスク
を作り、次いでエッチングしてリードフレームが食刻形
成される。

【０００３】前述のようにフォトレジストを素材金属薄
板に塗布するが、塗布に例えばムラ、あるいは端部に塗
布不良箇所があるとエッチング液が食刻してはいけない
箇所に侵入し、所望のリードフレームパターンが形成さ
れなくなる。かかる事態が生じないようフォトレジスト
を塗布することが重要である。

【０００４】フォトレジストの塗布について、例えば特
開昭５８−１６５５６号公報にはエッチングの際にエッ
チング液が素材金属薄板の裏面にまわり、フォトレジス
トの塗布ムラから誤侵食が生じるので、これを防止する
ように裏面にドライフィルムをラミネートすることが示
されている。これによると裏面からの誤侵食が防がれリ
ードフレームの品質が向上する作用がある。

【０００５】

【この発明が解決しようとする課題】一方、リードフレ
ームの製造では素材金属薄板から歩留り高く製作するこ
とが省資源およびコスト切り下げ等のために重要であ
る。これには素材金属薄板の幅をリードフレームの採取
幅にできるだけ近ずける必要があるが、ドライフォトレ
ジストは極軟質で且つ極薄であるから素材金属薄板の全
幅にきっちり塗布するのは極めて難しい。かかることか
ら素材金属薄板はリードフレーム採取幅より広くされ、
その分の歩留り低下は致し方ないと考えられているのが
実情である。

【０００６】また、ドライフォトレジストを素材金属薄
板の幅以上として貼付することが考えられるが、この場
合は該薄板幅端部に余分のドライフォトレジストが存在
することになり、リードフレームパターンの焼き付けな
どエッチング工程での位置合わせ精度が劣化する問題が
ある。

【０００７】素材金属薄板へのフォトレジスト塗布には
前記ドライフォトレジストの他に液状フォトレジストを
浸漬法やスプレーで塗布する方法がある。しかしこれで
は板面に広く塗布することから塗布ムラが生じやすいこ
との他に表面張力の関係から板端面にフォトレジスト液
が付着せず端面は地鉄が露出したままとなる。

【０００８】本発明は板面にフォトレジストが塗布され
た、または塗布されるリードフレーム素材金属薄板の端
面部にフォトレジスト液をきっちり塗布して、端面の位
置合わせが精度よくでき、素材金属薄板の幅をリードフ
レーム採取幅と同一、あるいは可及的に等しくでき、ま
たエッチング液の誤侵入が生ぜず所望パターンのリード
フレームを得ることができる装置を目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、被塗布
金属薄板の通板ラインを挟んで板端面へ進退自在に設け
られ端面部に液状フォトレジストを塗布するロールと、
前記塗布ロールとの間隔が変更自在に設けられフォトレ
ジスト液を前記塗布ロール周面に送る送給ロールと、前
記送給ロールと塗布ロールの対面部にフォトレジスト液
を供給する装置を設けたことを特徴とする板端面フォト
レジスト塗布装置にある。

【００１０】

【作用】本発明は、被塗布金属薄板の端面に接触して回
転する塗布ロールに対して、対面間隔を変更自在とした
フォトレジスト液の送給ロールを設け、該送給ロールと
塗布ロールの対面箇所にフォトレジスト液を供給するよ
うにしているから、当該送給ロールと塗布ロールの回転
に相応しながら対面箇所の間隙からフォトレジスト液が
塗布ロール周面へ送られるとともにそのフォトレジスト
液の層厚みが調整され被塗布金属薄板の端面部は所望厚
みに均一に塗布される。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明について１実施例に基ずき図
面を参照して詳細に説明する。図面において、１は被塗
布金属薄板で端面部に液状レジストが塗布される。該薄
板１には端面２と該端面近傍を除く板面にはこの実施例
では前もってドライレジスト３が貼付されている。被塗
布金属薄板１からリードフレームを製作するが、採取歩
留りを最高とするために板幅Ｗをリードフレーム採取幅
と等しくできるように端面にきっちり塗布せんとするも
のである。

【００１２】しかし、被塗布金属薄板１にはドライフォ
トレジスト３が全幅にきっちり貼付されていなく両端に
未塗布部Ｅが少々例えば１ｍｍ未満存在している。それ
はドライフォトレジスト３は前述のように極薄で且つ極
軟質のために全板幅Ｗに完全に合致させて貼付すること
が難しく、仮に全幅にきっちり貼ろうとすれば作業能率
が低下するからである。また端面２には隙間や重合を生
じることなくドライレジスト３を現場ラインで貼付する
のは非常に難しいので貼付されていない。

【００１３】フォトレジストの未塗布箇所はエッチング
の際に侵食され、被塗布金属薄板１の端面２側はリード
フレームを製作できなくなる。これを回避すべく本発明
の装置は被塗布金属薄板１の端面２と端面近傍の未塗布
部Ｅに液状フォトレジスト５をムラを生じることなく均
一にきっちり塗布するものである。

【００１４】４は塗布ロールで被塗布金属薄板１の通板
ラインを挟んで設けられ、被塗布金属薄板１の端面２に
移行装置５により進退自在で、端面２に接して回転しつ
つ液状フォトレジスト６を塗布する。該塗布ロール４は
ブライトあるいはダルロールが使用でき、また不織布な
どをロール面に設けることができる。

【００１５】７は送給ロールでフォトレジスト液を前記
塗布ロール４に送るものである。該送給ロール７は塗布
ロール４に対して移動装置８により接離間隔が調整自在
でロール面を対向して設けられ、その間隔の大きさによ
り塗布ロール周面に付されるフォトレジスト液の層厚み
を制御し端面２部の塗布量を調整する。送給ロール７は
塗布ロール４より小径で、これら両者の外周速を同等と
して回転させるのが前記層厚み制御のしやすさおよび気
泡巻き込み防止の面から好ましい。

【００１６】９はフォトレジスト液供給装置で、前記送
給ロール６と塗布ロール４の対面部を指向してフォトレ
ジスト液を供給するものである。１０はフォトレジスト
液収容容器で、前記送給ロール７と塗布ロール４の下方
に設けられ、該収容容器１０に収容されたフォトレジス
ト液を前記フォトレジスト液供給装置９へ循環させるこ
とができる。

【００１７】１１は搬送ロール、１２は通板ガイドであ
り、被塗布金属薄板１の通る位置を定めるので、前記塗
布ロール４を端面２に接させるのが容易でまた接触の際
に端面２を損傷させることがない。１３は乾燥装置で被
塗布金属薄板１の端面２に塗布された液状フォトレジス
トを乾燥させるものである。

【００１８】次に、この実施例における塗布方法および
作用について述べる。被塗布金属薄板１は幅サイズが予
め分かるから、端面２が通る予定位置に塗布ロール４を
移行装置５により進行させ、端面２に接触して回転しつ
つ塗布できるように配設する。また端面２からのドライ
フォトレジスト３が貼付されていない未塗布部Ｅの程度
も例えば０．４ｍｍ未満と予め分かるから、移動装置８
を作動させて送給ロール７と塗布ロール４のロール間隙
を調整し、塗布ロール周面に付くフォトレジスト液の層
厚みを制御する。また塗布ロール４と送給ロール７は外
周速が同じになるように回転させ前記層厚みを安定化さ
せている。

【００１９】塗布ロール４は通板してくる被塗布金属薄
板１の端面２に回転接触しフォトレジスト液を塗布する
が、当該塗布ロール４には周面にフォトレジスト液が付
いているから、図３に示すように被塗布金属薄板１の端
面２とそれと連なる近傍板面の未塗布部Ｅにも回り込ん
で塗布する。かかるロール塗布では端面２を主体として
フォトレジスト液を塗布するから、表面張力で端面２か
ら離脱することなく確実と当該端面に付着される。しか
してドライレジスト２が貼付されていなかった端面３お
よび幅方向板面端部に液状フォトレジスト６が被覆さ
れ、被塗布金属薄板１は全周面にフォトレジスト膜が設
けられる。

【００２０】塗布ロール１には送給ロール７との対面部
の間隙から常に一定のフォトレジスト液が送られるか
ら、塗布ムラや局部的未塗布箇所が生ぜず均一に端面２
部は塗布される。

【００２１】端面２とその近傍への塗布量を変える必要
が生じた場合は、塗布ロール４と送給ロール７の間隙を
変え、また必要に応じてそれらの外周速を変えて塗布ロ
ール４の周面に付けるフォトレジスト液の層厚み変る。

【００２２】この実施例ではドライフォトレジストが被
塗布金属薄板１に先に貼付され、その後に端面２へフォ
トレジスト液を塗布したが、これに限らず、本発明装置
で端面２にフォトレジスト液を塗布してから板面にドラ
イフォトレジストを貼付してもよい。また前記ドライフ
ォトレジストに変えて任意のレジスト液を板面に塗布し
たものにも適用できる。

【００２３】

【発明の効果】本発明は前述のように、塗布ロールの周
面に付けるフォトレジスト液層厚みを調整できその量を
一定とし得るので、被塗布金属薄板の端面部にフォトレ
ジストが過不足なく塗布される。また端面から板面側へ
フォトレジスト液が大きく張り出すようなことはなく端
面にすっきりフォトレジストが被覆されるので、その後
のエッチング工程での位置合わせが精度よく且つ容易に
できる。前記の如く幅端面位置が精度よく同定できるか
ら、フォトレジストが被覆された被塗布金属薄板は全板
幅にわたって有効に活用できリードフレーム採寸幅と等
しくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明装置の１実施例の概略を示す図。

【図２】本発明の１実施例におけるフォトレジスト塗布
装置を示す図。

【図３】本発明の１実施例で被塗布金属薄板の端面部へ
のフォトレジスト液塗布の作用を説明するための図。

【符号の説明】

１ 被塗布金属薄板 ２ 端面 ３ ドライレジスト ４ 塗布ロール ５ 移行装置 ６ 液状フォトレジスト ７ 送給ロール ８ 移動装置 ９ フォトレジスト液供給装置 １０ フォトレジスト液収容容器 １１ 搬送ロール １２ 通板ガイド １３ 乾燥装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/50 Ａ 9272−4Ｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被塗布薄板の通板ラインを挟んで設けられ薄板端面へ進
   退自在で端面部に液状フォトレジストを塗布するロール
   と、前記塗布ロールとの接離間隔が変更自在に設けられ
   フォトレジスト液を前記塗布ロールに送る送給ロール
   と、前記送給ロールと前記塗布ロールの対面部にフォト
   レジスト液を供給する装置を設けたことを特徴とする板
   端面フォトレジスト塗布装置。