JPH0526602A - 変位センサ - Google Patents
変位センサInfo
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- JPH0526602A JPH0526602A JP17676491A JP17676491A JPH0526602A JP H0526602 A JPH0526602 A JP H0526602A JP 17676491 A JP17676491 A JP 17676491A JP 17676491 A JP17676491 A JP 17676491A JP H0526602 A JPH0526602 A JP H0526602A
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- coils
- movable body
- bobbin
- displacement sensor
- coil
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 零点のバラツキを低減すると共に、ストロー
クリニアリティを向上する変位センサを提供することを
目的とする。 【構成】 検出端に連なる磁性体で構成された可動体４
と、可動体４が所望のエアギャップを存して直線移動可
能に係合されるボビン１と、ボビン１の外周面に巻線さ
れ、可動体４の変位量を電気量に変換して差動的に検出
する一対のコイル２，３を備えた変位センサにおいて、
一対のコイル２，３が、それぞれ複数個の分割コイル２
ａ，３ａで構成されている。
クリニアリティを向上する変位センサを提供することを
目的とする。 【構成】 検出端に連なる磁性体で構成された可動体４
と、可動体４が所望のエアギャップを存して直線移動可
能に係合されるボビン１と、ボビン１の外周面に巻線さ
れ、可動体４の変位量を電気量に変換して差動的に検出
する一対のコイル２，３を備えた変位センサにおいて、
一対のコイル２，３が、それぞれ複数個の分割コイル２
ａ，３ａで構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、差動変位センサおよび
差動トランス等の機械的変位を電気的に検出する変位セ
ンサに関するものである。
差動トランス等の機械的変位を電気的に検出する変位セ
ンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の差動変位センサを示して
おり、この差動変位センサでは、円筒状のボビン６１の
外周面が長さ方向に対称に２つに区画され、各区画に同
一巻数のコイル６２，６３が巻線されている。ボビン６
１内には磁性体からなる可動体６４が直線移動可能に挿
入されており、この可動体６４には検出端となるジョイ
ントロッド６５が連結されている。一対のコイル６２，
６３は直列に接続され、それぞれ出力が取り出せるよう
になっている（図６（ｂ））。このような構成では、可
動体６４がコイル６２，６３と磁気的に結合しており、
ボビン６１内で可動体６４が変位すると、可動体６４と
両コイル６２，６３の磁気的結合度が変化し、取り出し
た自己インダクタンスをインピーダンス変化として、こ
の可動体６４の変位を検出できるようになっている。
おり、この差動変位センサでは、円筒状のボビン６１の
外周面が長さ方向に対称に２つに区画され、各区画に同
一巻数のコイル６２，６３が巻線されている。ボビン６
１内には磁性体からなる可動体６４が直線移動可能に挿
入されており、この可動体６４には検出端となるジョイ
ントロッド６５が連結されている。一対のコイル６２，
６３は直列に接続され、それぞれ出力が取り出せるよう
になっている（図６（ｂ））。このような構成では、可
動体６４がコイル６２，６３と磁気的に結合しており、
ボビン６１内で可動体６４が変位すると、可動体６４と
両コイル６２，６３の磁気的結合度が変化し、取り出し
た自己インダクタンスをインピーダンス変化として、こ
の可動体６４の変位を検出できるようになっている。
【０００３】図７は、従来の差動トランスを示してお
り、この差動トランスでは、円筒状のボビン７１の外周
面が長さ方向に３つに区画され、中央部分に一次コイル
７２が巻線され、この一次コイル７２の両側に同一巻数
の一対の二次コイル７３，７４が巻線されている。ボビ
ン７１内には磁性体からなる可動体７５が直線移動可能
に挿入されており、この可動体７５には検出端なるジョ
イントロッド７６が連結されている。二次コイル７３，
７４は直列に接続されているが、逆向きに巻線され両端
から出力が取り出せるようになっている（図７
（ｂ））。このような構成では、可動体７５が一次コイ
ル７２および二次コイル７３，７４と磁気的に結合して
おり、ボビン２１内で可動体２５が変位すると、磁気的
結合度が変化し、取り出した相互インダクタンスによる
に二次誘導電圧の変化として、この可動体７５の変位を
検出できるようになっている。
り、この差動トランスでは、円筒状のボビン７１の外周
面が長さ方向に３つに区画され、中央部分に一次コイル
７２が巻線され、この一次コイル７２の両側に同一巻数
の一対の二次コイル７３，７４が巻線されている。ボビ
ン７１内には磁性体からなる可動体７５が直線移動可能
に挿入されており、この可動体７５には検出端なるジョ
イントロッド７６が連結されている。二次コイル７３，
７４は直列に接続されているが、逆向きに巻線され両端
から出力が取り出せるようになっている（図７
（ｂ））。このような構成では、可動体７５が一次コイ
ル７２および二次コイル７３，７４と磁気的に結合して
おり、ボビン２１内で可動体２５が変位すると、磁気的
結合度が変化し、取り出した相互インダクタンスによる
に二次誘導電圧の変化として、この可動体７５の変位を
検出できるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところでこれらのセン
サは、機械的に極めて微妙な変位を検出するものであ
り、上述の差動変位センサにおける一対のコイル６２，
６３、および上述の差動トランスにおける一対の二次コ
イル７３，７４は電気的に完全に同一のものである必要
がある。しかし、コイルをボビンに巻く際にたとえ機械
巻きで精度よく巻線しても、ボビンの巻きスペースの寸
法精度やコイルを完全に均一に巻回することは製造上不
可能であり、実際には二つのコイルを電気的に完全に同
一ものとすることはできない。このため、機械的零点と
電気的零点とが微妙にずれ、センサとして差動構成をと
っていても直線性や温度特性に影響してしまうこととな
っていた。すなわち、零点のバラツキの低減には一定の
限界があった。
サは、機械的に極めて微妙な変位を検出するものであ
り、上述の差動変位センサにおける一対のコイル６２，
６３、および上述の差動トランスにおける一対の二次コ
イル７３，７４は電気的に完全に同一のものである必要
がある。しかし、コイルをボビンに巻く際にたとえ機械
巻きで精度よく巻線しても、ボビンの巻きスペースの寸
法精度やコイルを完全に均一に巻回することは製造上不
可能であり、実際には二つのコイルを電気的に完全に同
一ものとすることはできない。このため、機械的零点と
電気的零点とが微妙にずれ、センサとして差動構成をと
っていても直線性や温度特性に影響してしまうこととな
っていた。すなわち、零点のバラツキの低減には一定の
限界があった。
【０００５】また、個々のコイルのインピーダンス変化
が非線形であるため、可動体の変位とコイルから出力さ
れる電圧とが比例関係となるのは、限られた狭い範囲と
なっており、この範囲でコイルや可動体の長さで決まる
ため、検出可能なストロークを長くするには、センサ全
体を長いものにする必要があった。
が非線形であるため、可動体の変位とコイルから出力さ
れる電圧とが比例関係となるのは、限られた狭い範囲と
なっており、この範囲でコイルや可動体の長さで決まる
ため、検出可能なストロークを長くするには、センサ全
体を長いものにする必要があった。
【０００６】本発明は、これらの事情に基づいて為され
たものであり、零点のバラツキを低減すると共に、スト
ロークリニアリティを向上する変位センサを提供するこ
とをその目的とする。
たものであり、零点のバラツキを低減すると共に、スト
ロークリニアリティを向上する変位センサを提供するこ
とをその目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１の発明は、検出端に連なる磁性体で構成された可
動体と、可動体が所望のエアギャップを存して直線移動
可能に係合されるボビンと、ボビンの外周面に巻線さ
れ、可動体の変位量を電気量に変換して差動的に検出す
る一対のコイルを備えた変位センサにおいて、一対のコ
イルが、それぞれ複数個の分割コイルで構成されている
ことを特徴とする。
求項１の発明は、検出端に連なる磁性体で構成された可
動体と、可動体が所望のエアギャップを存して直線移動
可能に係合されるボビンと、ボビンの外周面に巻線さ
れ、可動体の変位量を電気量に変換して差動的に検出す
る一対のコイルを備えた変位センサにおいて、一対のコ
イルが、それぞれ複数個の分割コイルで構成されている
ことを特徴とする。
【０００８】請求項２の発明は、検出端に連なる磁性体
で構成された可動体と、可動体が所望のエアギャップを
存して直線移動可能に係合されるボビンと、ボビンの外
周面に巻線され、可動体の変位量を電気量に変換して差
動的に検出する一次コイルおよび一対の二次コイルとを
備えた変位センサにおいて、少なくとも二次コイルが、
それぞれ複数個の分割コイルで構成されていることを特
徴とする。
で構成された可動体と、可動体が所望のエアギャップを
存して直線移動可能に係合されるボビンと、ボビンの外
周面に巻線され、可動体の変位量を電気量に変換して差
動的に検出する一次コイルおよび一対の二次コイルとを
備えた変位センサにおいて、少なくとも二次コイルが、
それぞれ複数個の分割コイルで構成されていることを特
徴とする。
【０００９】これらの場合、複数個の分割コイルの内、
差動構成の分割コイルは、左右対称であって各分割コイ
ルの巻数が、外端側が少なく、内端側が多いもので構成
されていること
差動構成の分割コイルは、左右対称であって各分割コイ
ルの巻数が、外端側が少なく、内端側が多いもので構成
されていること
【００１０】
【作用】任意の幅を持つコイルがある方向に偏って巻線
されているとき、このコイルの機械的零点と電気的零点
の差である零点のずれの分散をσx とすると、このコイ
ルをｎ個に分割したとき、この各分割コイルも上記同様
に偏って巻線されているとすると、その零点のずれの分
散はσx ／ｎとなる。個々の零点のずれの分散の総和σ
は誤差法則により、σ2 ＝ｎ（σx ／ｎ）2 ＝σx 2 ／
ｎとなる。したがって、σ＝σx ／√ｎとなり、零点の
分散は分割した方が１／√ｎだけ小さくなる。
されているとき、このコイルの機械的零点と電気的零点
の差である零点のずれの分散をσx とすると、このコイ
ルをｎ個に分割したとき、この各分割コイルも上記同様
に偏って巻線されているとすると、その零点のずれの分
散はσx ／ｎとなる。個々の零点のずれの分散の総和σ
は誤差法則により、σ2 ＝ｎ（σx ／ｎ）2 ＝σx 2 ／
ｎとなる。したがって、σ＝σx ／√ｎとなり、零点の
分散は分割した方が１／√ｎだけ小さくなる。
【００１１】また、各分割コイルの巻数が、外端側が少
なく、内端側が多いもので構成されていると、外端部で
の非線形となりがちなコイルのインピーダンス変化の影
響が緩和され、直線性が良好となる。
なく、内端側が多いもので構成されていると、外端部で
の非線形となりがちなコイルのインピーダンス変化の影
響が緩和され、直線性が良好となる。
【００１２】
【実施例】図１に基づいて、本発明の第１の実施例に係
る差動変位センサについて説明する。図１（ａ）は差動
変位センサの断面図であり、図１（ｂ）はその原理図で
ある。同図（ａ）に示すようにこの差動変位センサは、
円筒状のボビン１と、これに巻線された一対の第１およ
び第２コイル２，３と、ボビン１の内部に磁性体で構成
された可動体４（鉄心）とを備えている。ボビン１は、
その外周面が長さ方向に全体が２つに区画され巻線スペ
ース５，６となっており、さらに各巻線スペース５、６
内が４つの分割スペース５ａ（６ａ）に区分されてい
る。そして、これらの分割スペース５ａ（６ａ）に第１
および第２コイル２，３が巻線されて、それぞれの分割
コイル２ａ（３ａ）が構成されている。第１、第２両コ
イル２，３は電気的特性が同一になるように全く対称に
構成され、直列に接続された状態で２つの巻線スペース
５，６にそれぞれ同一の巻数で巻線されている（同図
（ｂ）参照）。また、第１、第２の各コイル２，３は、
外端の２つの分割コイル２ａ，２ａ（３ａ，３ａ）に対
しては巻数が少なく、内端の２つの分割コイル２ａ，２
ａ（３ａ，３ａ）に対しては巻数が多く、しかも、全体
としては対称かつ所望のコイル長となるように巻線され
ている。
る差動変位センサについて説明する。図１（ａ）は差動
変位センサの断面図であり、図１（ｂ）はその原理図で
ある。同図（ａ）に示すようにこの差動変位センサは、
円筒状のボビン１と、これに巻線された一対の第１およ
び第２コイル２，３と、ボビン１の内部に磁性体で構成
された可動体４（鉄心）とを備えている。ボビン１は、
その外周面が長さ方向に全体が２つに区画され巻線スペ
ース５，６となっており、さらに各巻線スペース５、６
内が４つの分割スペース５ａ（６ａ）に区分されてい
る。そして、これらの分割スペース５ａ（６ａ）に第１
および第２コイル２，３が巻線されて、それぞれの分割
コイル２ａ（３ａ）が構成されている。第１、第２両コ
イル２，３は電気的特性が同一になるように全く対称に
構成され、直列に接続された状態で２つの巻線スペース
５，６にそれぞれ同一の巻数で巻線されている（同図
（ｂ）参照）。また、第１、第２の各コイル２，３は、
外端の２つの分割コイル２ａ，２ａ（３ａ，３ａ）に対
しては巻数が少なく、内端の２つの分割コイル２ａ，２
ａ（３ａ，３ａ）に対しては巻数が多く、しかも、全体
としては対称かつ所望のコイル長となるように巻線され
ている。
【００１３】また、ボビン１の内部にはジョイントロッ
ド７を介して検出部に接続、あるいは当接される可動体
４が、所望のエアーギャップを存して直線移動可能に挿
入されている。この変位センサの軸方向に対し、可動体
４の中間点は第１、第２両コイル２，３の中間点と合致
して、この点が変位センサの零点となり、変位と電圧が
この零点を中心に比例関係を示すようになっている（図
２参照）。この零点に対して、可動体４が前後方向いず
れかに移動することにより、自己インダクタンスが増減
する。この場合、可動体４の移動の方向と、移動による
変位量が第１、第２両コイル２，３のインピーダンス変
化により検出される。この場合、上述のように機械的零
点と電気的零点とを合致させるようにしているが、実際
には第１、第２両コイル２，３は電気的に全く同一に構
成することは不可能であり、機械的零点と電気的零点の
間にずれが生ずる。
ド７を介して検出部に接続、あるいは当接される可動体
４が、所望のエアーギャップを存して直線移動可能に挿
入されている。この変位センサの軸方向に対し、可動体
４の中間点は第１、第２両コイル２，３の中間点と合致
して、この点が変位センサの零点となり、変位と電圧が
この零点を中心に比例関係を示すようになっている（図
２参照）。この零点に対して、可動体４が前後方向いず
れかに移動することにより、自己インダクタンスが増減
する。この場合、可動体４の移動の方向と、移動による
変位量が第１、第２両コイル２，３のインピーダンス変
化により検出される。この場合、上述のように機械的零
点と電気的零点とを合致させるようにしているが、実際
には第１、第２両コイル２，３は電気的に全く同一に構
成することは不可能であり、機械的零点と電気的零点の
間にずれが生ずる。
【００１４】ここで本実施例における機械的零点と電気
的零点のずれを理論的に説明する。コイルがある方向に
偏って巻線されているとき、このコイルの機械的零点と
電気的零点の差である零点のずれの分散をσx とする
と、このコイルをｎ個（本実施例で４個）に分割したと
き、この各分割コイルも上記同様に偏って巻線されてい
るとすると、その零点のずれの分散はσx ／ｎとなる。
個々のコイルの零点のずれの分散の総和σは誤差法則に
より、σ2 ＝ｎ（σx ／ｎ）2 ＝σx 2 ／ｎとなる。し
たがって、σ＝σx ／√ｎとなり零点のずれの分散は、
全体としては分割コイルの方が１／√ｎだけ小さくな
る。すなわち、コイルの分割数ｎが大きくなればなるほ
ど零点のずれは小さくなる。
的零点のずれを理論的に説明する。コイルがある方向に
偏って巻線されているとき、このコイルの機械的零点と
電気的零点の差である零点のずれの分散をσx とする
と、このコイルをｎ個（本実施例で４個）に分割したと
き、この各分割コイルも上記同様に偏って巻線されてい
るとすると、その零点のずれの分散はσx ／ｎとなる。
個々のコイルの零点のずれの分散の総和σは誤差法則に
より、σ2 ＝ｎ（σx ／ｎ）2 ＝σx 2 ／ｎとなる。し
たがって、σ＝σx ／√ｎとなり零点のずれの分散は、
全体としては分割コイルの方が１／√ｎだけ小さくな
る。すなわち、コイルの分割数ｎが大きくなればなるほ
ど零点のずれは小さくなる。
【００１５】また、外端の２つの分割コイル２ａ，２ａ
（３ａ，３ａ）はコイルの巻数が少なく、内端の２つの
分割コイル２ａ，２ａ（３ａ，３ａ）はコイルの巻数が
多く巻線されているので、非線形となりがちなインピー
ダンス変化の影響は全体としては少なくなる。すなわ
ち、センサとして感度的には幾分低下するものの、出力
と変位の関係が比例関係となる距離が長くなる。また、
本実施例をＡとし従来例をＢとしてプロットした図３に
示すように、直線性が良好となる。このことは、短いセ
ンサ寸法でありながら検出ストロークが長くなることを
意味する。
（３ａ，３ａ）はコイルの巻数が少なく、内端の２つの
分割コイル２ａ，２ａ（３ａ，３ａ）はコイルの巻数が
多く巻線されているので、非線形となりがちなインピー
ダンス変化の影響は全体としては少なくなる。すなわ
ち、センサとして感度的には幾分低下するものの、出力
と変位の関係が比例関係となる距離が長くなる。また、
本実施例をＡとし従来例をＢとしてプロットした図３に
示すように、直線性が良好となる。このことは、短いセ
ンサ寸法でありながら検出ストロークが長くなることを
意味する。
【００１６】図４は第２の実施例を示しており、この実
施例では可動体４が筒状に形成され、ボビン１がこの可
動体４の中空部に緩挿された構造となっている。また、
ジョイントロッド７の代えてジョイントパイプ８が設け
られ、このジョイントパイプ８は可動体４に嵌合されて
いる。この場合も第１実施例と全く同様の作用、効果を
奏する。
施例では可動体４が筒状に形成され、ボビン１がこの可
動体４の中空部に緩挿された構造となっている。また、
ジョイントロッド７の代えてジョイントパイプ８が設け
られ、このジョイントパイプ８は可動体４に嵌合されて
いる。この場合も第１実施例と全く同様の作用、効果を
奏する。
【００１７】次に、図５に基づいて、本発明の第３の実
施例に係る差動トランスについて説明する。図５（ａ）
は差動トランスの断面図であり、図５（ｂ）はその原理
図である。同図（ａ）に示すようにこの差動トランス
は、円筒状のボビン１１と、これに巻線された一次コイ
ル１２及び一対の二次コイル１３，１４と、ボビン１１
の内部に磁性体で構成された可動体１５（鉄心）とを備
えている。ボビン１１はその外面が長さ方向に全体が３
つの巻線スペース１６，１７，１８に区画されている。
中央の巻線スペース１７は一次コイル１２を巻線する部
分であり、この巻線スペース１７はさらに２つの分割ス
ペース１７ａ，１７ａに区分されている。そして、これ
らの分割スペース１７ａ，１７ａに一次コイル１２が巻
線されて、それぞれの分割コイル１２ａ，１２ａが構成
されている。
施例に係る差動トランスについて説明する。図５（ａ）
は差動トランスの断面図であり、図５（ｂ）はその原理
図である。同図（ａ）に示すようにこの差動トランス
は、円筒状のボビン１１と、これに巻線された一次コイ
ル１２及び一対の二次コイル１３，１４と、ボビン１１
の内部に磁性体で構成された可動体１５（鉄心）とを備
えている。ボビン１１はその外面が長さ方向に全体が３
つの巻線スペース１６，１７，１８に区画されている。
中央の巻線スペース１７は一次コイル１２を巻線する部
分であり、この巻線スペース１７はさらに２つの分割ス
ペース１７ａ，１７ａに区分されている。そして、これ
らの分割スペース１７ａ，１７ａに一次コイル１２が巻
線されて、それぞれの分割コイル１２ａ，１２ａが構成
されている。
【００１８】一方、両側の２つの巻線スペース１６，１
８は二次コイル１３，１４を巻線する区画であり、この
各巻線スペース１６，１８はさらに３つの分割スペース
１６ａ，１６ａ、１６ａ（１８ａ，１８ａ、１８ａ）に
区分されている。そして、これらの分割スペース１６
ａ，（１８ａ）に二次コイル１３，１４が巻線されて、
それぞれの分割コイル１３ａ（１４ａ）が構成されてい
る。一対の二次コイル１３，１４は電気的特性が同一に
なるように全く対称に構成され、極を逆にして直列に接
続された状態で２つの巻線スペース１６，１８にそれぞ
れ同一の巻数で巻線されている。また、巻線スペース１
６，１８内の各二次コイル１３，１４は外端の１つの分
割コイル１３ａ（１４ａ）に対しては巻数が少なく、内
端の２つの分割コイル１３ａ，１３ａ（１４ａ，１４
ａ）に対しては巻数が多く巻線され、全体としては対称
かつ所望のコイル長となるように巻線されている。
８は二次コイル１３，１４を巻線する区画であり、この
各巻線スペース１６，１８はさらに３つの分割スペース
１６ａ，１６ａ、１６ａ（１８ａ，１８ａ、１８ａ）に
区分されている。そして、これらの分割スペース１６
ａ，（１８ａ）に二次コイル１３，１４が巻線されて、
それぞれの分割コイル１３ａ（１４ａ）が構成されてい
る。一対の二次コイル１３，１４は電気的特性が同一に
なるように全く対称に構成され、極を逆にして直列に接
続された状態で２つの巻線スペース１６，１８にそれぞ
れ同一の巻数で巻線されている。また、巻線スペース１
６，１８内の各二次コイル１３，１４は外端の１つの分
割コイル１３ａ（１４ａ）に対しては巻数が少なく、内
端の２つの分割コイル１３ａ，１３ａ（１４ａ，１４
ａ）に対しては巻数が多く巻線され、全体としては対称
かつ所望のコイル長となるように巻線されている。
【００１９】また、ボビン１１の内部にはジョイントロ
ッド１９を介して検出部に接続された可動体１５が、所
望のエアーギャップを存して直線移動可能に挿入されて
いる。一次コイル１２の中間点が可動体１５の中間点と
合致した位置が零点であり（図２参照）、この点が起電
力零となっている。この零点に対して可動体が前後方向
いずれかに移動することにより、相互インダクタンスに
よる起電力が発生する。この場合、両二次コイル１３，
１４の中心（零点）の両側では誘起電圧の位相が１８０
°ずれていて、移動の方向と、移動による変位量が一対
のコイル３，４の誘起電圧変化により計測されるように
なっている。
ッド１９を介して検出部に接続された可動体１５が、所
望のエアーギャップを存して直線移動可能に挿入されて
いる。一次コイル１２の中間点が可動体１５の中間点と
合致した位置が零点であり（図２参照）、この点が起電
力零となっている。この零点に対して可動体が前後方向
いずれかに移動することにより、相互インダクタンスに
よる起電力が発生する。この場合、両二次コイル１３，
１４の中心（零点）の両側では誘起電圧の位相が１８０
°ずれていて、移動の方向と、移動による変位量が一対
のコイル３，４の誘起電圧変化により計測されるように
なっている。
【００２０】この実施例では、第１実施例と構造的に異
なるものの原理的には、第１実施例と全く同様の作用、
効果を奏する。
なるものの原理的には、第１実施例と全く同様の作用、
効果を奏する。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、差動コイ
ルが、それぞれ複数個の分割コイルで構成されているの
で、零点のずれを小さくすることができる。また、各分
割コイルの巻数が、外端側が少なく、内端側が多いもの
で構成されているので、直線性を向上することができス
トロークを長くとることができる効果を有する。
ルが、それぞれ複数個の分割コイルで構成されているの
で、零点のずれを小さくすることができる。また、各分
割コイルの巻数が、外端側が少なく、内端側が多いもの
で構成されているので、直線性を向上することができス
トロークを長くとることができる効果を有する。
【図１】本発明の第１実施例の変位センサを示す断面図
である。
である。
【図２】可動体の変位と出力電圧の関係を示す線図であ
る。
る。
【図３】直線性を表した線図である。
【図４】本発明の第２実施例の変位センサを示す断面図
である。
である。
【図５】本発明の第３実施例の変位センサを示す断面図
である。
である。
【図６】従来の変位センサを示す断面図である。
【図７】従来の変位センサを示す断面図である。
１，１１…ボビン、
２…第１コイル、
２ａ，３ａ，１２ａ，１３ａ，１４ａ…分割コイル
３…第２コイル、
４，１５…可動体
５ａ，６ａ，１６ａ，１７ａ，１８ａ…分割スペース
１２…一次コイル
１３，１４…二次コイル
Claims (3)
- 【請求項１】 検出端に連なる磁性体で構成された可動
体と、 当該可動体が所望のエアギャップを存して直線移動可能
に係合されるボビンと、 当該ボビンの外周面に巻線され、当該可動体の変位量を
電気量に変換して差動的に検出する一対のコイルを備え
た変位センサにおいて、 前記一対のコイルが、それぞれ複数個の分割コイルで構
成されていることを特徴とする変位センサ。 - 【請求項２】 検出端に連なる磁性体で構成された可動
体と、 当該可動体が所望のエアギャップを存して直線移動可能
に係合されるボビンと、 当該ボビンの外周面に巻線され、当該可動体の変位量を
電気量に変換して差動的に検出する一次コイルおよび一
対の二次コイルとを備えた変位センサにおいて、 少なくとも前記一対の二次コイルが、それぞれ複数個の
分割コイルで構成されていることを特徴とする変位セン
サ。 - 【請求項３】 前記複数個の分割コイルの内、差動構成
の分割コイルは、左右対称であって各分割コイルの巻数
が、外端側が少なく、内端側が多いもので構成されてい
ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の変
位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17676491A JPH0526602A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17676491A JPH0526602A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526602A true JPH0526602A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16019411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17676491A Pending JPH0526602A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | 変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526602A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10303546A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Marcom:Kk | 電子部品接続用溶接部材の加熱溶融装置 |
| KR20150111953A (ko) * | 2013-02-01 | 2015-10-06 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | 감지 디바이스를 제조하기 위한 방법 |
| CN113670181A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-11-19 | 西人马联合测控（泉州）科技有限公司 | 线位移传感器 |
-
1991
- 1991-07-17 JP JP17676491A patent/JPH0526602A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10303546A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Marcom:Kk | 電子部品接続用溶接部材の加熱溶融装置 |
| KR20150111953A (ko) * | 2013-02-01 | 2015-10-06 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | 감지 디바이스를 제조하기 위한 방법 |
| CN113670181A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-11-19 | 西人马联合测控（泉州）科技有限公司 | 线位移传感器 |
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