JPH0526656A - Position detector - Google Patents
Position detectorInfo
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- JPH0526656A JPH0526656A JP13298191A JP13298191A JPH0526656A JP H0526656 A JPH0526656 A JP H0526656A JP 13298191 A JP13298191 A JP 13298191A JP 13298191 A JP13298191 A JP 13298191A JP H0526656 A JPH0526656 A JP H0526656A
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- Japan
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- scale
- rail
- detecting device
- position detecting
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- Pending
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メインスケールと検出部とが、ヘッド部とレ
ールとに対して別途位置決め配置される作業を不要とす
る。
【構成】 走り基準面３Ａを有するレール３の走り基準
面３Ａに目盛７が形成され、この目盛７と対向する位置
とされて、検出部９がヘッド部５に設けられる。
(57) [Abstract] [Purpose] The main scale and the detection unit do not require the work of separately positioning the head unit and the rail. [Structure] A scale 7 is formed on the running reference surface 3A of a rail 3 having a running reference surface 3A, and a detection unit 9 is provided in the head unit 5 at a position facing the scale 7.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、噴出空気によりヘッド
部が浮上された状態でレール上を移動されるエアースラ
イド式でスケール装置が動作されるのに好適な位置検出
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position detecting device suitable for operating a scale device of an air slide type which is moved on a rail in a state where a head portion is floated by jet air.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の位置検出装置では、図４から理
解されるように、走り基準面５Ａを有するレール３上
を、ヘッド部５が移動（スライド）される。2. Description of the Related Art In this type of position detecting device, as understood from FIG. 4, a head portion 5 is moved (slide) on a rail 3 having a running reference surface 5A.
【０００３】この場合、ヘッド部５とレール３との当接
部分Ａには空気が噴出されるので、ヘッド部５はレール
３から浮上（非接触）状態でスライドされる。In this case, since air is jetted to the contact portion A between the head portion 5 and the rail 3, the head portion 5 is slid from the rail 3 in a floating (non-contact) state.
【０００４】そして、ヘッド部５にはスライダ９Ａが取
り付けられ、スライダ９Ａには検出部９（磁気ヘッド等
で構成される）が設けられている。A slider 9A is attached to the head unit 5, and a detection unit 9 (composed of a magnetic head or the like) is provided on the slider 9A.
【０００５】また、取付部材４を介して、メインスケー
ル２が取り付けられ、メインスケール２の検出部９との
対向面には磁気式、光学反射式、静電容量式等の目盛７
が、メインスケール２の長手方向に沿って形成されてい
る。The main scale 2 is mounted via a mounting member 4, and a scale 7 of a magnetic type, an optical reflection type, a capacitance type, or the like is provided on a surface of the main scale 2 facing the detecting section 9.
Are formed along the longitudinal direction of the main scale 2.
【０００６】従って、スケール装置１０、すなわちスラ
イダ９Ａ、メインスケール２を主体とする部品が取り付
けられる際には、各々走り基準面５Ａに対する平行度、
平面度等の位置決めが充分に考慮され、スケール装置の
検出精度が維持される必要がある。Therefore, when the scale device 10, that is, the components mainly including the slider 9A and the main scale 2 are attached, the parallelism with respect to the running reference plane 5A,
It is necessary to sufficiently consider the positioning such as flatness and maintain the detection accuracy of the scale device.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スケー
ル装置の精度は、取り付け精度とともに、その構成部品
の精度も大きく影響し、ヘッド部５にスケール装置１０
が取り付けられる構成では 製造コストが高くなり、ま
た製造作業性が悪い。However, the accuracy of the scale device greatly affects not only the mounting accuracy but also the accuracy of its components, and the scale device 10 is attached to the head portion 5.
The manufacturing cost is high and the manufacturing workability is poor in the configuration where is attached.
【０００８】加えて、スケール装置１０の取り付けスペ
ースが狭い場合、走り基準面５Ａに対する位置決め精度
出しが困難で、位置検出装置１の設計自由度が制約され
る。In addition, when the mounting space for the scale device 10 is narrow, it is difficult to obtain the positioning accuracy with respect to the running reference surface 5A, and the degree of freedom in designing the position detecting device 1 is restricted.
【０００９】本発明の目的は、製造コストが低減される
とともに、製造作業能率が良好で、かつ設計自由度の向
上が可能とされた位置検出装置を提供することにある。It is an object of the present invention to provide a position detecting device which has a reduced manufacturing cost, a good manufacturing work efficiency, and an improved degree of freedom in design.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明に係る位置検出装
置は、例えば、図１、図２に示す如く走り基準面３Ａを
有するレール３に空気が噴出されることにより、レール
３から浮上された状態でヘッド部５が移動されるエアー
スライド式の位置検出装置１において、レール３に位置
検出用の目盛７が形成されるとともに、目盛７の読み取
り用検出部９が、目盛７と対向する位置とされて前記ヘ
ッド部５に設けられたものである。また本発明に係る位
置検出装置は例えば図１、図３に示す如く走り基準面３
Ａを有するレール３に空気噴出されることにより、レー
ル３から浮上された状態でヘッド部５が移動されるエア
ースライド式の位置検出装置において、ヘッド部５に位
置検出用の目盛７が形成されるとともに、この目盛７の
読み取り用検出部９が、目盛７と対向する位置とされて
レール３に設けられたものである。A position detecting device according to the present invention is levitated from a rail 3 by ejecting air onto a rail 3 having a running reference surface 3A as shown in FIGS. In the air-slide type position detection device 1 in which the head unit 5 is moved in the closed state, a scale 7 for position detection is formed on the rail 3, and a reading detection unit 9 of the scale 7 faces the scale 7. It is a position and is provided on the head part 5. Further, the position detecting device according to the present invention includes a running reference plane 3 as shown in FIGS. 1 and 3, for example.
In an air slide type position detecting device in which the head portion 5 is moved in a state of being levitated from the rail 3 by being blown out onto the rail 3 having A, a scale 7 for position detection is formed on the head portion 5. In addition, the reading detection unit 9 of the scale 7 is provided on the rail 3 at a position facing the scale 7.
【００１１】[0011]
【作用】本発明に係る位置検出装置では、走り基準面を
有するレール３又はヘッド部５に目盛７が形成されると
ともに、その目盛読み取り用の検出部９がヘッド部５又
はレール３に設けられるので、メインスケールと検出部
とが別途位置決め配置される作業が不要となる。In the position detecting device according to the present invention, the scale 7 is formed on the rail 3 or the head portion 5 having the running reference surface, and the detecting portion 9 for reading the scale is provided on the head portion 5 or the rail 3. Therefore, the work of separately positioning the main scale and the detection unit is not necessary.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、図１及び図２を参照して本発明に係る
位置検出装置の一実施例を説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the position detecting device according to the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１３】図１には、本発明が適用された位置検出装
置１が示されており、装置１は、断面Ｈ状のセラミック
製レール３と、レール３の長手方向に沿って移動（スラ
イド）されるセラミック製ヘッド部５とを有している。FIG. 1 shows a position detecting device 1 to which the present invention is applied. The device 1 is made of a ceramic rail 3 having an H-shaped cross section and moves (slides) along the longitudinal direction of the rail 3. And a ceramic head portion 5 that is formed.
【００１４】この場合、図２より理解されるように、レ
ール３とヘッド部５との当接部分Ａに空気が噴出され、
その結果ヘッド部５はレール３から浮上された状態でス
ライドされる。In this case, as understood from FIG. 2, air is ejected to the contact portion A between the rail 3 and the head portion 5,
As a result, the head portion 5 is slid while being floated from the rail 3.
【００１５】また、レール３の一側面はヘッド部５の走
り基準面３Ａとされるので、走り基準面３Ａは、平面
度、平面粗さなどが極めて精度良く加工されているとと
もに、当接部分Ａの間隙が常時一定になるように調整さ
れる。Since one side surface of the rail 3 is the running reference surface 3A of the head portion 5, the running reference surface 3A is machined with extremely high degree of flatness and flatness, and the abutting portion. The gap A is adjusted so that it is always constant.
【００１６】そして、走り基準面３Ａには、磁性体等を
蒸着、無電解メッキなどで付着させた薄膜状のスケール
媒体７（目盛）が形成されており、このスケール媒体７
が従来のメインスケール２と同様の機能を有する。On the running reference surface 3A, there is formed a thin film scale medium 7 (scale) to which a magnetic substance or the like is attached by vapor deposition, electroless plating or the like.
Has the same function as the conventional main scale 2.
【００１７】一方、ヘッド部５には、スケール媒体７と
対向する位置に検出部９が設けられており、検出部９
は、スケール媒体７が磁気式、光学反射式（例えばエッ
チングパターニングが蒸着される）、静電容量式（例え
ば、エッチングパターンで導電体が蒸着される）等とさ
れるに対応して、例えば磁気ヘッドで構成される。On the other hand, the head portion 5 is provided with a detecting portion 9 at a position facing the scale medium 7, and the detecting portion 9 is provided.
Corresponds to that the scale medium 7 is of a magnetic type, an optical reflection type (for example, an etching pattern is vapor-deposited), a capacitance type (for example, a conductor is vapor-deposited by an etching pattern), or the like. Composed of a head.
【００１８】従って、磁気式の場合には、磁気記録され
たスケール媒体７のパターンピッチがＭＲ素子などの磁
気検出素子で読み取られる。Therefore, in the case of the magnetic type, the pattern pitch of the magnetically recorded scale medium 7 is read by a magnetic detection element such as an MR element.
【００１９】なお、他の実施例として、走り基準面が他
の側面３Ｂに形成されている場合には、この側面３Ｂに
スケール媒体７が形成され、検出部９の配置位置もその
側面３Ｂに対向する位置とされる。以上説明したよう
に、この実施例では、走り基準面３Ａにスケール媒体７
が形成されるとともに、ヘッド部５に検出部９が設けら
れている。As another embodiment, when the running reference surface is formed on the other side surface 3B, the scale medium 7 is formed on this side surface 3B, and the position of the detecting portion 9 is also arranged on the side surface 3B. The positions are opposite to each other. As described above, in this embodiment, the scale medium 7 is provided on the running reference surface 3A.
And the detection unit 9 is provided in the head unit 5.
【００２０】従って、メインスケール２、スライダ９Ａ
等が不要となるとともに、それら部品の位置決め・取り
付け作業が不要となる。Therefore, the main scale 2 and the slider 9A
And the like, and the work of positioning and mounting those parts is also unnecessary.
【００２１】その結果、装置１の部品点数が低減される
ともに、それら部品の精度出し等が不要となるので、製
造コストが廉価になり、かつ製造作業能率が向上され
る。As a result, the number of parts of the apparatus 1 is reduced, and it is not necessary to obtain the accuracy of those parts, so that the manufacturing cost is reduced and the manufacturing work efficiency is improved.
【００２２】また、例えばヘッド部５の微少走り誤差
（ピッチング、ヨーイング等）が最小となる位置に、検
出部９とスケール媒体７とを主体とするスケール装置が
配置可能であるため、スケール装置の精度を高精度に維
持することができる。Further, for example, the scale device mainly including the detection unit 9 and the scale medium 7 can be arranged at a position where the minute running error (pitching, yawing, etc.) of the head unit 5 is minimized. The precision can be maintained at high precision.
【００２３】加えて、メインスケール２等が別途形成さ
れるものに比べ、装置１が小型化され、省スペースが実
現される。In addition, the device 1 can be made smaller and space can be saved as compared with the case where the main scale 2 and the like are separately formed.
【００２４】さらに、スケール媒体７が薄膜状であるた
め、その熱膨張がレール３の熱膨張に追従されるので、
各々の部品の熱膨張の差による検出誤差の影響を極めて
小さくすることが可能となる。Further, since the scale medium 7 is in the form of a thin film, its thermal expansion follows the thermal expansion of the rail 3,
It is possible to reduce the influence of the detection error due to the difference in thermal expansion between the respective parts to an extremely small level.
【００２５】また図３は本発明の他の実施例を示し、こ
の図３例ではヘッド部５に目盛を形成するスケール媒体
７を設けると共にレール３のスケール媒体７と対向する
位置に検出部９を設け、その他は図１、図２と同様に構
成したものである。斯る図３例において、図１、図２例
と同様の作用効果が得られることは容易に理解できよ
う。また本発明は上述実施例に限らず本発明の要旨を逸
脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿
論である。FIG. 3 shows another embodiment of the present invention. In the example of FIG. 3, a scale medium 7 for forming a scale is provided on the head portion 5 and a detecting portion 9 is provided on the rail 3 at a position facing the scale medium 7. Is provided, and the rest is configured similarly to FIG. 1 and FIG. It can be easily understood that the same effects as those of the examples of FIGS. 1 and 2 can be obtained in the example of FIG. Further, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various other configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上の説明で理解されるように、本発明
に係る位置検出装置では、走り基準面を有するレールに
目盛が形成されるとともに、その目盛読み取り用の検出
部がヘッド部に設けられるので、メインスケールと検出
部とが別途位置決め配置される作業が不要となる。As can be understood from the above description, in the position detecting device according to the present invention, the rail having the running reference surface is provided with the scale, and the detecting portion for reading the scale is provided in the head portion. Therefore, the work of separately positioning and arranging the main scale and the detection unit becomes unnecessary.
【００２７】従って、部品材料のコストダウン、取付け
作業時間の短縮化が図れる。Therefore, it is possible to reduce the cost of parts materials and the installation work time.
【００２８】また、検出部等の取り付けスペースが狭い
場合であっても、その取り付けのために設計自由度が制
約されることがない。Further, even when the mounting space for the detecting portion or the like is small, the degree of freedom in design is not restricted by the mounting.
【図１】本発明に係る位置検出装置の一実施例を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a position detecting device according to the present invention.
【図２】図１におけるII−II線断面図を示す構成図であ
る。FIG. 2 is a configuration diagram showing a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図４】従来の位置検出装置の例を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing an example of a conventional position detection device.
１ 位置検出装置 ３ レール ３Ａ，３Ｂ 走り基準面 ５ ヘッド部 ７ 目盛（スケール媒体） ９ 検出部 1 Position detection device 3 rails 3A, 3B Running reference plane 5 head 7 scale (scale medium) 9 Detector
Claims (2)
されることにより、該レールから浮上された状態でヘッ
ド部が移動されるエアースライド式の位置検出装置にお
いて、 前記レールに位置検出用の目盛が形成されるとともに、
該目盛の読み取り用検出部が、該目盛と対向する位置と
されて前記ヘッド部に設けられた、 ことを特徴とする位置検出装置。1. An air slide type position detecting device in which a head part is moved in a state of being levitated from a rail having a running reference surface by ejecting air, the position detecting device being used for position detection on the rail. As the scale is formed,
The position detecting device, wherein the reading unit for reading the scale is provided on the head unit at a position facing the scale.
されることにより、該レールから浮上された状態でヘッ
ド部が移動されるエアースライド式の位置検出装置にお
いて、 前記ヘッド部に位置検出用の目盛が形成されるととも
に、該目盛の読み採り用検出部が、該目盛と対向する位
置とされて前記レールに設けられた、 ことを特徴とする位置検出装置。2. An air slide type position detecting device in which a head portion is moved in a state of being levitated from the rail by jetting air to a rail having a running reference surface, the position detecting portion being for detecting the position of the head portion. The position detecting device is characterized in that the scale is formed, and the reading detection unit of the scale is provided on the rail at a position facing the scale.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13298191A JPH0526656A (en) | 1991-05-10 | 1991-06-04 | Position detector |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-105981 | 1991-05-10 | ||
| JP10598191 | 1991-05-10 | ||
| JP13298191A JPH0526656A (en) | 1991-05-10 | 1991-06-04 | Position detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526656A true JPH0526656A (en) | 1993-02-02 |
Family
ID=26446196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13298191A Pending JPH0526656A (en) | 1991-05-10 | 1991-06-04 | Position detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526656A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120137285A (en) * | 2011-06-10 | 2012-12-20 | 쉬니베르거 홀딩 아게 | Linear position measuring system |
| CN108613647A (en) * | 2018-07-02 | 2018-10-02 | 燕山大学 | Three-DOF planar parallel mechanism moving platform apparatus for detecting position and posture |
-
1991
- 1991-06-04 JP JP13298191A patent/JPH0526656A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120137285A (en) * | 2011-06-10 | 2012-12-20 | 쉬니베르거 홀딩 아게 | Linear position measuring system |
| JP2013003143A (en) * | 2011-06-10 | 2013-01-07 | Schneeberger Holding Ag | Linear position measurement system |
| CN108613647A (en) * | 2018-07-02 | 2018-10-02 | 燕山大学 | Three-DOF planar parallel mechanism moving platform apparatus for detecting position and posture |
| CN108613647B (en) * | 2018-07-02 | 2020-02-25 | 燕山大学 | Three-degree-of-freedom plane parallel mechanism motion platform pose detection device |
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