JPH0526656A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPH0526656A JPH0526656A JP13298191A JP13298191A JPH0526656A JP H0526656 A JPH0526656 A JP H0526656A JP 13298191 A JP13298191 A JP 13298191A JP 13298191 A JP13298191 A JP 13298191A JP H0526656 A JPH0526656 A JP H0526656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- rail
- detecting device
- position detecting
- head portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メインスケールと検出部とが、ヘッド部とレ
ールとに対して別途位置決め配置される作業を不要とす
る。 【構成】 走り基準面３Ａを有するレール３の走り基準
面３Ａに目盛７が形成され、この目盛７と対向する位置
とされて、検出部９がヘッド部５に設けられる。
ールとに対して別途位置決め配置される作業を不要とす
る。 【構成】 走り基準面３Ａを有するレール３の走り基準
面３Ａに目盛７が形成され、この目盛７と対向する位置
とされて、検出部９がヘッド部５に設けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、噴出空気によりヘッド
部が浮上された状態でレール上を移動されるエアースラ
イド式でスケール装置が動作されるのに好適な位置検出
装置に関する。
部が浮上された状態でレール上を移動されるエアースラ
イド式でスケール装置が動作されるのに好適な位置検出
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の位置検出装置では、図４から理
解されるように、走り基準面５Ａを有するレール３上
を、ヘッド部５が移動（スライド）される。
解されるように、走り基準面５Ａを有するレール３上
を、ヘッド部５が移動（スライド）される。
【０００３】この場合、ヘッド部５とレール３との当接
部分Ａには空気が噴出されるので、ヘッド部５はレール
３から浮上（非接触）状態でスライドされる。
部分Ａには空気が噴出されるので、ヘッド部５はレール
３から浮上（非接触）状態でスライドされる。
【０００４】そして、ヘッド部５にはスライダ９Ａが取
り付けられ、スライダ９Ａには検出部９（磁気ヘッド等
で構成される）が設けられている。
り付けられ、スライダ９Ａには検出部９（磁気ヘッド等
で構成される）が設けられている。
【０００５】また、取付部材４を介して、メインスケー
ル２が取り付けられ、メインスケール２の検出部９との
対向面には磁気式、光学反射式、静電容量式等の目盛７
が、メインスケール２の長手方向に沿って形成されてい
る。
ル２が取り付けられ、メインスケール２の検出部９との
対向面には磁気式、光学反射式、静電容量式等の目盛７
が、メインスケール２の長手方向に沿って形成されてい
る。
【０００６】従って、スケール装置１０、すなわちスラ
イダ９Ａ、メインスケール２を主体とする部品が取り付
けられる際には、各々走り基準面５Ａに対する平行度、
平面度等の位置決めが充分に考慮され、スケール装置の
検出精度が維持される必要がある。
イダ９Ａ、メインスケール２を主体とする部品が取り付
けられる際には、各々走り基準面５Ａに対する平行度、
平面度等の位置決めが充分に考慮され、スケール装置の
検出精度が維持される必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スケー
ル装置の精度は、取り付け精度とともに、その構成部品
の精度も大きく影響し、ヘッド部５にスケール装置１０
が取り付けられる構成では 製造コストが高くなり、ま
た製造作業性が悪い。
ル装置の精度は、取り付け精度とともに、その構成部品
の精度も大きく影響し、ヘッド部５にスケール装置１０
が取り付けられる構成では 製造コストが高くなり、ま
た製造作業性が悪い。
【０００８】加えて、スケール装置１０の取り付けスペ
ースが狭い場合、走り基準面５Ａに対する位置決め精度
出しが困難で、位置検出装置１の設計自由度が制約され
る。
ースが狭い場合、走り基準面５Ａに対する位置決め精度
出しが困難で、位置検出装置１の設計自由度が制約され
る。
【０００９】本発明の目的は、製造コストが低減される
とともに、製造作業能率が良好で、かつ設計自由度の向
上が可能とされた位置検出装置を提供することにある。
とともに、製造作業能率が良好で、かつ設計自由度の向
上が可能とされた位置検出装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る位置検出装
置は、例えば、図１、図２に示す如く走り基準面３Ａを
有するレール３に空気が噴出されることにより、レール
３から浮上された状態でヘッド部５が移動されるエアー
スライド式の位置検出装置１において、レール３に位置
検出用の目盛７が形成されるとともに、目盛７の読み取
り用検出部９が、目盛７と対向する位置とされて前記ヘ
ッド部５に設けられたものである。また本発明に係る位
置検出装置は例えば図１、図３に示す如く走り基準面３
Ａを有するレール３に空気噴出されることにより、レー
ル３から浮上された状態でヘッド部５が移動されるエア
ースライド式の位置検出装置において、ヘッド部５に位
置検出用の目盛７が形成されるとともに、この目盛７の
読み取り用検出部９が、目盛７と対向する位置とされて
レール３に設けられたものである。
置は、例えば、図１、図２に示す如く走り基準面３Ａを
有するレール３に空気が噴出されることにより、レール
３から浮上された状態でヘッド部５が移動されるエアー
スライド式の位置検出装置１において、レール３に位置
検出用の目盛７が形成されるとともに、目盛７の読み取
り用検出部９が、目盛７と対向する位置とされて前記ヘ
ッド部５に設けられたものである。また本発明に係る位
置検出装置は例えば図１、図３に示す如く走り基準面３
Ａを有するレール３に空気噴出されることにより、レー
ル３から浮上された状態でヘッド部５が移動されるエア
ースライド式の位置検出装置において、ヘッド部５に位
置検出用の目盛７が形成されるとともに、この目盛７の
読み取り用検出部９が、目盛７と対向する位置とされて
レール３に設けられたものである。
【００１１】
【作用】本発明に係る位置検出装置では、走り基準面を
有するレール３又はヘッド部５に目盛７が形成されると
ともに、その目盛読み取り用の検出部９がヘッド部５又
はレール３に設けられるので、メインスケールと検出部
とが別途位置決め配置される作業が不要となる。
有するレール３又はヘッド部５に目盛７が形成されると
ともに、その目盛読み取り用の検出部９がヘッド部５又
はレール３に設けられるので、メインスケールと検出部
とが別途位置決め配置される作業が不要となる。
【００１２】
【実施例】以下、図１及び図２を参照して本発明に係る
位置検出装置の一実施例を説明する。
位置検出装置の一実施例を説明する。
【００１３】図１には、本発明が適用された位置検出装
置１が示されており、装置１は、断面Ｈ状のセラミック
製レール３と、レール３の長手方向に沿って移動（スラ
イド）されるセラミック製ヘッド部５とを有している。
置１が示されており、装置１は、断面Ｈ状のセラミック
製レール３と、レール３の長手方向に沿って移動（スラ
イド）されるセラミック製ヘッド部５とを有している。
【００１４】この場合、図２より理解されるように、レ
ール３とヘッド部５との当接部分Ａに空気が噴出され、
その結果ヘッド部５はレール３から浮上された状態でス
ライドされる。
ール３とヘッド部５との当接部分Ａに空気が噴出され、
その結果ヘッド部５はレール３から浮上された状態でス
ライドされる。
【００１５】また、レール３の一側面はヘッド部５の走
り基準面３Ａとされるので、走り基準面３Ａは、平面
度、平面粗さなどが極めて精度良く加工されているとと
もに、当接部分Ａの間隙が常時一定になるように調整さ
れる。
り基準面３Ａとされるので、走り基準面３Ａは、平面
度、平面粗さなどが極めて精度良く加工されているとと
もに、当接部分Ａの間隙が常時一定になるように調整さ
れる。
【００１６】そして、走り基準面３Ａには、磁性体等を
蒸着、無電解メッキなどで付着させた薄膜状のスケール
媒体７（目盛）が形成されており、このスケール媒体７
が従来のメインスケール２と同様の機能を有する。
蒸着、無電解メッキなどで付着させた薄膜状のスケール
媒体７（目盛）が形成されており、このスケール媒体７
が従来のメインスケール２と同様の機能を有する。
【００１７】一方、ヘッド部５には、スケール媒体７と
対向する位置に検出部９が設けられており、検出部９
は、スケール媒体７が磁気式、光学反射式（例えばエッ
チングパターニングが蒸着される）、静電容量式（例え
ば、エッチングパターンで導電体が蒸着される）等とさ
れるに対応して、例えば磁気ヘッドで構成される。
対向する位置に検出部９が設けられており、検出部９
は、スケール媒体７が磁気式、光学反射式（例えばエッ
チングパターニングが蒸着される）、静電容量式（例え
ば、エッチングパターンで導電体が蒸着される）等とさ
れるに対応して、例えば磁気ヘッドで構成される。
【００１８】従って、磁気式の場合には、磁気記録され
たスケール媒体７のパターンピッチがＭＲ素子などの磁
気検出素子で読み取られる。
たスケール媒体７のパターンピッチがＭＲ素子などの磁
気検出素子で読み取られる。
【００１９】なお、他の実施例として、走り基準面が他
の側面３Ｂに形成されている場合には、この側面３Ｂに
スケール媒体７が形成され、検出部９の配置位置もその
側面３Ｂに対向する位置とされる。以上説明したよう
に、この実施例では、走り基準面３Ａにスケール媒体７
が形成されるとともに、ヘッド部５に検出部９が設けら
れている。
の側面３Ｂに形成されている場合には、この側面３Ｂに
スケール媒体７が形成され、検出部９の配置位置もその
側面３Ｂに対向する位置とされる。以上説明したよう
に、この実施例では、走り基準面３Ａにスケール媒体７
が形成されるとともに、ヘッド部５に検出部９が設けら
れている。
【００２０】従って、メインスケール２、スライダ９Ａ
等が不要となるとともに、それら部品の位置決め・取り
付け作業が不要となる。
等が不要となるとともに、それら部品の位置決め・取り
付け作業が不要となる。
【００２１】その結果、装置１の部品点数が低減される
ともに、それら部品の精度出し等が不要となるので、製
造コストが廉価になり、かつ製造作業能率が向上され
る。
ともに、それら部品の精度出し等が不要となるので、製
造コストが廉価になり、かつ製造作業能率が向上され
る。
【００２２】また、例えばヘッド部５の微少走り誤差
（ピッチング、ヨーイング等）が最小となる位置に、検
出部９とスケール媒体７とを主体とするスケール装置が
配置可能であるため、スケール装置の精度を高精度に維
持することができる。
（ピッチング、ヨーイング等）が最小となる位置に、検
出部９とスケール媒体７とを主体とするスケール装置が
配置可能であるため、スケール装置の精度を高精度に維
持することができる。
【００２３】加えて、メインスケール２等が別途形成さ
れるものに比べ、装置１が小型化され、省スペースが実
現される。
れるものに比べ、装置１が小型化され、省スペースが実
現される。
【００２４】さらに、スケール媒体７が薄膜状であるた
め、その熱膨張がレール３の熱膨張に追従されるので、
各々の部品の熱膨張の差による検出誤差の影響を極めて
小さくすることが可能となる。
め、その熱膨張がレール３の熱膨張に追従されるので、
各々の部品の熱膨張の差による検出誤差の影響を極めて
小さくすることが可能となる。
【００２５】また図３は本発明の他の実施例を示し、こ
の図３例ではヘッド部５に目盛を形成するスケール媒体
７を設けると共にレール３のスケール媒体７と対向する
位置に検出部９を設け、その他は図１、図２と同様に構
成したものである。斯る図３例において、図１、図２例
と同様の作用効果が得られることは容易に理解できよ
う。また本発明は上述実施例に限らず本発明の要旨を逸
脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿
論である。
の図３例ではヘッド部５に目盛を形成するスケール媒体
７を設けると共にレール３のスケール媒体７と対向する
位置に検出部９を設け、その他は図１、図２と同様に構
成したものである。斯る図３例において、図１、図２例
と同様の作用効果が得られることは容易に理解できよ
う。また本発明は上述実施例に限らず本発明の要旨を逸
脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿
論である。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明で理解されるように、本発明
に係る位置検出装置では、走り基準面を有するレールに
目盛が形成されるとともに、その目盛読み取り用の検出
部がヘッド部に設けられるので、メインスケールと検出
部とが別途位置決め配置される作業が不要となる。
に係る位置検出装置では、走り基準面を有するレールに
目盛が形成されるとともに、その目盛読み取り用の検出
部がヘッド部に設けられるので、メインスケールと検出
部とが別途位置決め配置される作業が不要となる。
【００２７】従って、部品材料のコストダウン、取付け
作業時間の短縮化が図れる。
作業時間の短縮化が図れる。
【００２８】また、検出部等の取り付けスペースが狭い
場合であっても、その取り付けのために設計自由度が制
約されることがない。
場合であっても、その取り付けのために設計自由度が制
約されることがない。
【図１】本発明に係る位置検出装置の一実施例を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】図１におけるII−II線断面図を示す構成図であ
る。
る。
【図３】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図４】従来の位置検出装置の例を示す構成図である。
１ 位置検出装置
３ レール
３Ａ，３Ｂ 走り基準面
５ ヘッド部
７ 目盛（スケール媒体）
９ 検出部
Claims (2)
- 【請求項１】 走り基準面を有するレールに空気が噴出
されることにより、該レールから浮上された状態でヘッ
ド部が移動されるエアースライド式の位置検出装置にお
いて、 前記レールに位置検出用の目盛が形成されるとともに、
該目盛の読み取り用検出部が、該目盛と対向する位置と
されて前記ヘッド部に設けられた、 ことを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項２】 走り基準面を有するレールに空気が噴出
されることにより、該レールから浮上された状態でヘッ
ド部が移動されるエアースライド式の位置検出装置にお
いて、 前記ヘッド部に位置検出用の目盛が形成されるととも
に、該目盛の読み採り用検出部が、該目盛と対向する位
置とされて前記レールに設けられた、 ことを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13298191A JPH0526656A (ja) | 1991-05-10 | 1991-06-04 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10598191 | 1991-05-10 | ||
| JP3-105981 | 1991-05-10 | ||
| JP13298191A JPH0526656A (ja) | 1991-05-10 | 1991-06-04 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526656A true JPH0526656A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=26446196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13298191A Pending JPH0526656A (ja) | 1991-05-10 | 1991-06-04 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526656A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120137285A (ko) * | 2011-06-10 | 2012-12-20 | 쉬니베르거 홀딩 아게 | 선형 위치 측정 시스템 |
| CN108613647A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-10-02 | 燕山大学 | 三自由度平面并联机构动平台位姿检测装置 |
-
1991
- 1991-06-04 JP JP13298191A patent/JPH0526656A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120137285A (ko) * | 2011-06-10 | 2012-12-20 | 쉬니베르거 홀딩 아게 | 선형 위치 측정 시스템 |
| JP2013003143A (ja) * | 2011-06-10 | 2013-01-07 | Schneeberger Holding Ag | 線形位置測定システム |
| CN108613647A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-10-02 | 燕山大学 | 三自由度平面并联机构动平台位姿检测装置 |
| CN108613647B (zh) * | 2018-07-02 | 2020-02-25 | 燕山大学 | 三自由度平面并联机构动平台位姿检测装置 |
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