JPH05266581A - 偏芯調整装置 - Google Patents
偏芯調整装置Info
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- JPH05266581A JPH05266581A JP6237892A JP6237892A JPH05266581A JP H05266581 A JPH05266581 A JP H05266581A JP 6237892 A JP6237892 A JP 6237892A JP 6237892 A JP6237892 A JP 6237892A JP H05266581 A JPH05266581 A JP H05266581A
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- disk
- shaped object
- center
- pattern
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- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 3
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 29
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Rotational Drive Of Disk (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 円盤状物体の外径中心と回転テーブルの回転
中心とのズレを補正することにより円盤状物体の回転時
のパターン偏芯を小さくする。 【構成】 円盤状物体１を保持回転する回転テーブル２
と、回転テーブル２に固定され円盤状物体１の外周に接
するように配置された２個の位置決めストッパ３，４
と、２個の位置決めストッパ３，４の中心線５方向に移
動する移動調整機構６と、円盤状物体１に形成されたパ
ターンの外周エッジ７を含む領域をモニタする映像モニ
タ部８とで構成する。これにより、円盤状物体の回転時
のパターン偏芯を小さくできるため、光ディスク原盤等
の信号検査装置においてプリフォーマット信号変調度な
どの測定を正確に行うことができる。
中心とのズレを補正することにより円盤状物体の回転時
のパターン偏芯を小さくする。 【構成】 円盤状物体１を保持回転する回転テーブル２
と、回転テーブル２に固定され円盤状物体１の外周に接
するように配置された２個の位置決めストッパ３，４
と、２個の位置決めストッパ３，４の中心線５方向に移
動する移動調整機構６と、円盤状物体１に形成されたパ
ターンの外周エッジ７を含む領域をモニタする映像モニ
タ部８とで構成する。これにより、円盤状物体の回転時
のパターン偏芯を小さくできるため、光ディスク原盤等
の信号検査装置においてプリフォーマット信号変調度な
どの測定を正確に行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、偏芯調整装置、特に同
心円状あるいはスパイラル状にパターンが形成された円
盤状物体を保持回転する回転テーブルの回転中心と、前
記円盤状物体の外周中心との差が小さくなるように調整
する偏芯調整装置に関する。
心円状あるいはスパイラル状にパターンが形成された円
盤状物体を保持回転する回転テーブルの回転中心と、前
記円盤状物体の外周中心との差が小さくなるように調整
する偏芯調整装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の偏芯調整装置は、図６に示すよう
に円盤状物体１を保持回転する回転テーブル２と、回転
テーブル２上に固定された円盤状物体１の位置決めピン
１２とで構成される。例えば、円盤状物体１を光ディス
ク原盤とすると、光ディスク原盤用のガラス基板外径精
度は±０．１ｍｍ程度であるため位置決めピン１２は最
大径が入るように固定される。従って、ガラス基板を位
置決めピン１２により位置決めしたときのズレは最大で
２００μｍとなってしまう。
に円盤状物体１を保持回転する回転テーブル２と、回転
テーブル２上に固定された円盤状物体１の位置決めピン
１２とで構成される。例えば、円盤状物体１を光ディス
ク原盤とすると、光ディスク原盤用のガラス基板外径精
度は±０．１ｍｍ程度であるため位置決めピン１２は最
大径が入るように固定される。従って、ガラス基板を位
置決めピン１２により位置決めしたときのズレは最大で
２００μｍとなってしまう。
【０００３】図７は、従来の偏芯調整装置を使用した光
ディスク原盤信号検査装置の一例を示すもので、光ディ
スク原盤１を位置決めピン１２により装着し回転する回
転テーブル２と、光ディスク原盤１上にレーザビーム３
３を照射する光ヘッド３０と、レーザビーム３３を光デ
ィスク原盤１上に合焦集光するフォーカスサーボ手段３
４と、光ヘッド３０をモータ３２を駆動して光ディスク
原盤１のパターン領域に移動させるスライダ３１と、光
ヘッド３０からのセンサ信号ａを増幅して再生信号ｃを
出力するアンプ回路３６とで構成される。
ディスク原盤信号検査装置の一例を示すもので、光ディ
スク原盤１を位置決めピン１２により装着し回転する回
転テーブル２と、光ディスク原盤１上にレーザビーム３
３を照射する光ヘッド３０と、レーザビーム３３を光デ
ィスク原盤１上に合焦集光するフォーカスサーボ手段３
４と、光ヘッド３０をモータ３２を駆動して光ディスク
原盤１のパターン領域に移動させるスライダ３１と、光
ヘッド３０からのセンサ信号ａを増幅して再生信号ｃを
出力するアンプ回路３６とで構成される。
【０００４】光ヘッド３０は光源として半導体レーザを
使用し、光ディスク原盤１にレーザビーム３３を照射し
て得られる反射ビームを検出する２分割あるいは４分割
センサにより構成する。従って、光ヘッド３０から得ら
れるセンサ信号ａは公知のフォーカスサーボ回路３４に
より駆動信号ｂを出力し光ヘッド３０の集光レンズを駆
動するアクチュエータ３５に印加されレーザビーム３３
を光ディスク原盤１上に合焦集光する。
使用し、光ディスク原盤１にレーザビーム３３を照射し
て得られる反射ビームを検出する２分割あるいは４分割
センサにより構成する。従って、光ヘッド３０から得ら
れるセンサ信号ａは公知のフォーカスサーボ回路３４に
より駆動信号ｂを出力し光ヘッド３０の集光レンズを駆
動するアクチュエータ３５に印加されレーザビーム３３
を光ディスク原盤１上に合焦集光する。
【０００５】ここで、レーザビーム３３をフォーカスサ
ーボ手段３４により光ディスク原盤１上に合焦集光し、
スライダ３１により光ヘッド３０を光ディスク原盤１の
グループ領域に移動することにより、光ヘッド３０から
センサ信号ａが出力されアンプ回路３６により処理され
て再生信号ｃとして端子１０１に出力される。
ーボ手段３４により光ディスク原盤１上に合焦集光し、
スライダ３１により光ヘッド３０を光ディスク原盤１の
グループ領域に移動することにより、光ヘッド３０から
センサ信号ａが出力されアンプ回路３６により処理され
て再生信号ｃとして端子１０１に出力される。
【０００６】従って、光ヘッド３０がグループ上にあれ
ば再生信号ｃは溝横断信号を取り出すことができる。ま
た、例えば、光ディスク原盤１のパターンがＩＳＯフォ
ーマットのパターンであれば、ランド部に公知のトラッ
キング手段でトラッキングすることにより再生信号ｃか
らプリフォーマット信号を取り出すことができる。
ば再生信号ｃは溝横断信号を取り出すことができる。ま
た、例えば、光ディスク原盤１のパターンがＩＳＯフォ
ーマットのパターンであれば、ランド部に公知のトラッ
キング手段でトラッキングすることにより再生信号ｃか
らプリフォーマット信号を取り出すことができる。
【０００７】プリフォーマット信号は光ディスク原盤１
のパターンに偏芯がある場合、スピンドルの回転中心と
パターン中心とがずれることにより、偏芯量の大きい所
でトラッキングの状態が悪くなるため、再生信号の信号
変動を起こすことになる。
のパターンに偏芯がある場合、スピンドルの回転中心と
パターン中心とがずれることにより、偏芯量の大きい所
でトラッキングの状態が悪くなるため、再生信号の信号
変動を起こすことになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の偏芯調
整装置は、光ディスク原盤の検査装置に使用した場合
に、回転テーブルの回転軸と光ディスク原盤の外径との
ズレが最大で２００μｍとなるため、パターン中心がズ
レ偏芯量が大きくなり、トラッキング状態が悪くなって
も偏芯調整ができないため、プリフォーマット信号の信
号変調度の正確な測定ができないという欠点があった。
整装置は、光ディスク原盤の検査装置に使用した場合
に、回転テーブルの回転軸と光ディスク原盤の外径との
ズレが最大で２００μｍとなるため、パターン中心がズ
レ偏芯量が大きくなり、トラッキング状態が悪くなって
も偏芯調整ができないため、プリフォーマット信号の信
号変調度の正確な測定ができないという欠点があった。
【０００９】本発明の目的は、円盤状物体の回転時のパ
ターン偏芯を小さくする偏芯調整装置を提供することに
ある。
ターン偏芯を小さくする偏芯調整装置を提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る偏芯調整装置は、同心円状あるいはス
パイラル状にパターンが形成された円盤状物体を保持回
転する回転テーブルと、該回転テーブルに固定され前記
円盤状物体の外周に接するように配置された２個の位置
決めストッパと、前記円盤状物体を前記２個の位置決め
ストッパの中心線方向に移動する移動調整機構と、前記
円盤状物体に形成されたパターンの外周エッジまたは内
周エッジを含む領域をモニタする映像モニタ部とを有す
るものである。
め、本発明に係る偏芯調整装置は、同心円状あるいはス
パイラル状にパターンが形成された円盤状物体を保持回
転する回転テーブルと、該回転テーブルに固定され前記
円盤状物体の外周に接するように配置された２個の位置
決めストッパと、前記円盤状物体を前記２個の位置決め
ストッパの中心線方向に移動する移動調整機構と、前記
円盤状物体に形成されたパターンの外周エッジまたは内
周エッジを含む領域をモニタする映像モニタ部とを有す
るものである。
【００１１】
【作用】円盤状物体の外径中心と回転テーブルの回転中
心とのズレを補正することにより、円盤状物体の回転時
のパターン偏芯を小さくする。
心とのズレを補正することにより、円盤状物体の回転時
のパターン偏芯を小さくする。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施例を示す平面図で
ある。図１に示す偏芯調整装置は、同心円状あるいはス
パイラル状にパターン形成された円盤状物体１を保持回
転する回転テーブル２と、回転テーブル２に固定され円
盤状物体１の外周に接するように配置された２個の位置
決めストッパ３，４と、２個の位置決めストッパ３，４
の中心線５方向に移動する移動調整機構６と、円盤状物
体１に形成されたパターンの外周エッジまたは内周エッ
ジを含む領域をモニタする映像モニタ部８とで構成され
る。
て説明する。図１は、本発明の一実施例を示す平面図で
ある。図１に示す偏芯調整装置は、同心円状あるいはス
パイラル状にパターン形成された円盤状物体１を保持回
転する回転テーブル２と、回転テーブル２に固定され円
盤状物体１の外周に接するように配置された２個の位置
決めストッパ３，４と、２個の位置決めストッパ３，４
の中心線５方向に移動する移動調整機構６と、円盤状物
体１に形成されたパターンの外周エッジまたは内周エッ
ジを含む領域をモニタする映像モニタ部８とで構成され
る。
【００１３】位置決めストッパ３，４は図２に示すよう
に、円盤状物体１の側面に当たる円柱状リング２０と、
円柱状リング２０を回転させる中心軸２１とから構成さ
れ、円盤状物体１が回転方向２２に回転することによる
動摩擦により、円柱状リング２０は回転方向２３に回転
する。
に、円盤状物体１の側面に当たる円柱状リング２０と、
円柱状リング２０を回転させる中心軸２１とから構成さ
れ、円盤状物体１が回転方向２２に回転することによる
動摩擦により、円柱状リング２０は回転方向２３に回転
する。
【００１４】移動調整機構６は図３に示すように、円柱
状リング２０と、円柱状リング２０を回転させる中心軸
２１と、中心軸２１を円盤状物体１の側面に対してｄ方
向またはｅ方向に移動させるマイクロメータ等の移動機
構２４で構成される。
状リング２０と、円柱状リング２０を回転させる中心軸
２１と、中心軸２１を円盤状物体１の側面に対してｄ方
向またはｅ方向に移動させるマイクロメータ等の移動機
構２４で構成される。
【００１５】図４は、偏芯調整装置の動作を説明するた
めの図であり、位置決めストッパ３，４に円盤状物体１
の側面を押し当て円盤状物体１を回転テーブル２により
回転する。この時、円盤状物体１の外径の違いによって
円盤状物体１の外径中心１０と回転テーブル２の回転中
心軸１１にズレが生じる。
めの図であり、位置決めストッパ３，４に円盤状物体１
の側面を押し当て円盤状物体１を回転テーブル２により
回転する。この時、円盤状物体１の外径の違いによって
円盤状物体１の外径中心１０と回転テーブル２の回転中
心軸１１にズレが生じる。
【００１６】図５は、映像モニタ部８の一構成例であ
り、例えば、ＣＣＤカメラ２５ａと前記ＣＣＤカメラ２
５ａの映像を表示するモニタ２５とで構成される。
り、例えば、ＣＣＤカメラ２５ａと前記ＣＣＤカメラ２
５ａの映像を表示するモニタ２５とで構成される。
【００１７】ＣＣＤカメラ２５ａにより円盤状物体１の
パターン外周エッジ７を含む領域の映像をモニタに表示
し、移動調整機構６をｄまたはｅの方向に移動すること
により、円盤状物体１のパターン外周エッジ７とモニタ
２５の画面上の中心線９が一致するように、移動調整機
構６の円柱状リングと位置決めストッパ３，４の円柱状
リングで調整する。
パターン外周エッジ７を含む領域の映像をモニタに表示
し、移動調整機構６をｄまたはｅの方向に移動すること
により、円盤状物体１のパターン外周エッジ７とモニタ
２５の画面上の中心線９が一致するように、移動調整機
構６の円柱状リングと位置決めストッパ３，４の円柱状
リングで調整する。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、回転テー
ブルに装着した円盤状物体の外径中心と、回転テーブル
の回転中心とのズレを移動調整機構と映像モニタ部によ
り補正することにより、前記円盤状物体の回転時のパタ
ーン偏芯を小さくできるため、例えば、光ディスク原盤
検査装置等に使用することによりトラッキングを安定に
でき、プリフォーマット信号変調度の正確な測定ができ
るという効果がある。
ブルに装着した円盤状物体の外径中心と、回転テーブル
の回転中心とのズレを移動調整機構と映像モニタ部によ
り補正することにより、前記円盤状物体の回転時のパタ
ーン偏芯を小さくできるため、例えば、光ディスク原盤
検査装置等に使用することによりトラッキングを安定に
でき、プリフォーマット信号変調度の正確な測定ができ
るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】円柱状リングの説明図である。
【図３】移動機構の説明図である。
【図４】図１を左から見た側面図である。
【図５】映像モニタ部の説明図である。
【図６】従来の技術を示す上面図である。
【図７】従来の偏芯調整装置を使用した光ディスク原盤
検査装置の一例を示す図である。
検査装置の一例を示す図である。
１ 円盤状物体 ２ 回転テーブル ３，４ 位置決めストッパ ５ 中心線 ６ 移動調整機構 ７ 外周エッジ ８ 映像モニタ部 ９ 中心線 １０ 外径中心 １１ 回転中心 １２ 位置決めピン ２０ 円柱状リング ２１ 中心軸 ２２，２３ 回転方向 ２４ 移動機構 ２５ モニタ ２５ａ ＣＣＤカメラ ３０ 光ヘッド ３１ スライダ ３２ モータ ３３ レーザビーム ３４ フォーカスサーボ手段 ３５ アクチュエータ ３６ アンプ回路 １０１ 出力端子 ａ センサ信号 ｂ 駆動信号 ｃ 再生信号 ｄ，ｅ 移動方向
Claims (1)
- 【請求項１】 同心円状あるいはスパイラル状にパター
ンが形成された円盤状物体を保持回転する回転テーブル
と、 該回転テーブルに固定され前記円盤状物体の外周に接す
るように配置された２個の位置決めストッパと、 前記円盤状物体を前記２個の位置決めストッパの中心線
方向に移動する移動調整機構と、 前記円盤状物体に形成されたパターンの外周エッジまた
は内周エッジを含む領域をモニタする映像モニタ部とを
有することを特徴とする偏芯調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6237892A JPH05266581A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 偏芯調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6237892A JPH05266581A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 偏芯調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05266581A true JPH05266581A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13198398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6237892A Pending JPH05266581A (ja) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | 偏芯調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05266581A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100498460B1 (ko) * | 2002-11-20 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브의 디스크 밸런싱장치 및 방법 |
| KR100496177B1 (ko) * | 1997-12-29 | 2005-10-26 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브의 바이아스 지그 |
| KR100553879B1 (ko) * | 1999-07-02 | 2006-02-24 | 삼성전자주식회사 | 디스크 드라이브 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58108077A (ja) * | 1981-12-21 | 1983-06-28 | デイスコビジヨン・アソシエイツ | 偏心を検出する方法 |
| JPS63213160A (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-06 | Toshiba Corp | 磁気デイスク装置 |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP6237892A patent/JPH05266581A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58108077A (ja) * | 1981-12-21 | 1983-06-28 | デイスコビジヨン・アソシエイツ | 偏心を検出する方法 |
| JPS63213160A (ja) * | 1987-02-28 | 1988-09-06 | Toshiba Corp | 磁気デイスク装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100496177B1 (ko) * | 1997-12-29 | 2005-10-26 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브의 바이아스 지그 |
| KR100553879B1 (ko) * | 1999-07-02 | 2006-02-24 | 삼성전자주식회사 | 디스크 드라이브 |
| KR100498460B1 (ko) * | 2002-11-20 | 2005-07-01 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브의 디스크 밸런싱장치 및 방법 |
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