JPH05267976A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPH05267976A JPH05267976A JP6451292A JP6451292A JPH05267976A JP H05267976 A JPH05267976 A JP H05267976A JP 6451292 A JP6451292 A JP 6451292A JP 6451292 A JP6451292 A JP 6451292A JP H05267976 A JPH05267976 A JP H05267976A
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- surface acoustic
- acoustic wave
- weight
- scandium
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は長期間、大電力での使用に際しても
弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の損傷を防ぎQの
低下、挿入損失の増大、通過帯域の変化などの特性変化
の小さい弾性表面波素子を形成することを目的とする。 【構成】 弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の電極
にパラジウムを０.０１重量％以上５重量％以下含有さ
せスカンジウムを０.０１重量％以上５重量％以下含有
させた電極を使用し、エレクトロマイグレーション、ス
トレスマイグレーションの発生を防ぐ。
弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の損傷を防ぎQの
低下、挿入損失の増大、通過帯域の変化などの特性変化
の小さい弾性表面波素子を形成することを目的とする。 【構成】 弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の電極
にパラジウムを０.０１重量％以上５重量％以下含有さ
せスカンジウムを０.０１重量％以上５重量％以下含有
させた電極を使用し、エレクトロマイグレーション、ス
トレスマイグレーションの発生を防ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波共振子、およ
び弾性表面波フィルタ、特に高周波、大電力を扱う弾性
表面波素子に関する。
び弾性表面波フィルタ、特に高周波、大電力を扱う弾性
表面波素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、発信器やフィルタに応用するた
め、弾性表面波素子の研究が盛んに行なわれてきた。特
に最近の移動体通信の発達、高周波化により、弾性表面
波素子の高周波化が必要となってきている。
め、弾性表面波素子の研究が盛んに行なわれてきた。特
に最近の移動体通信の発達、高周波化により、弾性表面
波素子の高周波化が必要となってきている。
【０００３】弾性表面波素子の共振子の基本構成は既に
よく知られているように圧電性基板上に弾性表面波を励
振するために櫛形電極（インターデジタルトランスデュ
ーサ）を形成するとともにその両側にストリップ幅λ／
４（λ：弾性表面波の波長）の複数本の金属ストリップ
をλ／２ピッチで周期的に配列してなるグレーティング
反射器を形成して構成される。インターデジタルトラン
スデューサで励振された弾性表面波は圧電性基板上を伝
搬するが、両側に設けられた反射器によりインターデジ
タルトランスヂューサー側に反射される。１本当たりの
反射量は少ないが、多数のストリップにより、反射が１
／２波長間隔で生じるため、これらの反射は重畳され、
結果として反射量はほぼ１となる。こういう状況では圧
電性基板上には弾性表面波の強い定在波が立つこととな
る。この現象はちょうど水晶振動子の共振現象と同じで
ある。このようにして反射器の位置、本数を適当に調整
することにより水晶振動子と同様の共振子を実現するこ
とが出来る。
よく知られているように圧電性基板上に弾性表面波を励
振するために櫛形電極（インターデジタルトランスデュ
ーサ）を形成するとともにその両側にストリップ幅λ／
４（λ：弾性表面波の波長）の複数本の金属ストリップ
をλ／２ピッチで周期的に配列してなるグレーティング
反射器を形成して構成される。インターデジタルトラン
スデューサで励振された弾性表面波は圧電性基板上を伝
搬するが、両側に設けられた反射器によりインターデジ
タルトランスヂューサー側に反射される。１本当たりの
反射量は少ないが、多数のストリップにより、反射が１
／２波長間隔で生じるため、これらの反射は重畳され、
結果として反射量はほぼ１となる。こういう状況では圧
電性基板上には弾性表面波の強い定在波が立つこととな
る。この現象はちょうど水晶振動子の共振現象と同じで
ある。このようにして反射器の位置、本数を適当に調整
することにより水晶振動子と同様の共振子を実現するこ
とが出来る。
【０００４】弾性表面波フィルタの基本構成は良く知ら
れているように圧電性基板上に弾性表面波を励振するた
めに弾性表面波変換器を少なくとも１組以上形成し、片
側の弾性表面波変換器を入力、反対側の弾性表面波変換
器を出力とし、電気信号ー弾性表面波ー電気信号の変換
の周波数特性を利用してフィルタとして利用するもので
ある。
れているように圧電性基板上に弾性表面波を励振するた
めに弾性表面波変換器を少なくとも１組以上形成し、片
側の弾性表面波変換器を入力、反対側の弾性表面波変換
器を出力とし、電気信号ー弾性表面波ー電気信号の変換
の周波数特性を利用してフィルタとして利用するもので
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような弾
性表面波素子においては通常電極としてアルミニウムを
使用してきた。これは加工性が良い、密度が小さく軽い
などの点で他の金属と比較して有利であるためである。
電極金属としてアルミニウムを使用し、前述の共振子を
作成して耐久性を確認したところ、時間とともに共振周
波数の変化、Qの低下が確認された。この共振子の電極
を顕微鏡で確認したところ、反射器の電極が破損してい
た。
性表面波素子においては通常電極としてアルミニウムを
使用してきた。これは加工性が良い、密度が小さく軽い
などの点で他の金属と比較して有利であるためである。
電極金属としてアルミニウムを使用し、前述の共振子を
作成して耐久性を確認したところ、時間とともに共振周
波数の変化、Qの低下が確認された。この共振子の電極
を顕微鏡で確認したところ、反射器の電極が破損してい
た。
【０００６】また、同様に弾性表面波フィルタを形成
し、耐久性を確認したところ、共振子と同様に、通過帯
域の変化、挿入損失の増加が認められた。これも共振子
と同様に電極の劣化が原因であった。
し、耐久性を確認したところ、共振子と同様に、通過帯
域の変化、挿入損失の増加が認められた。これも共振子
と同様に電極の劣化が原因であった。
【０００７】このような現象が起きる理由は、弾性表面
波変換器が電気ー機械系の変換器であることに起因して
いる。電極の劣化はエレクトロマイグレーション、スト
レスマイグレーションによって起きるものと推定され
る。通常の小信号入力の場合は電極に流れる電流や弾性
表面波の機械的変位も小さく電極劣化はおきにくい。し
かし、大信号を入力した場合や、共振子のように１部に
エネルギーが集中する構成になっていたりすると、電極
に流れる電流によりエレクトロマイグレーションがおき
やすくなる。また弾性表面波の機械的変位も大きくな
り、ストレスマイグレーションがおきてくるようにな
る。特に最近は移動体通信、特に携帯電話の小型化のた
めに高周波フィルタとして弾性表面波フィルタを使用す
る場合が多くなっている。しかしこの電話システムの高
周波回路部は８００ー９００MHz帯を使用しており、弾
性表面波変換器の電極幅はおよそ１um程度となる。その
ためエレクトロマイグレーション、ストレスマイグレー
ションがおきやすく、特に大信号が通過する場所のフィ
ルタは体積の大きな誘電体フィルタを使用しているのが
現状である。
波変換器が電気ー機械系の変換器であることに起因して
いる。電極の劣化はエレクトロマイグレーション、スト
レスマイグレーションによって起きるものと推定され
る。通常の小信号入力の場合は電極に流れる電流や弾性
表面波の機械的変位も小さく電極劣化はおきにくい。し
かし、大信号を入力した場合や、共振子のように１部に
エネルギーが集中する構成になっていたりすると、電極
に流れる電流によりエレクトロマイグレーションがおき
やすくなる。また弾性表面波の機械的変位も大きくな
り、ストレスマイグレーションがおきてくるようにな
る。特に最近は移動体通信、特に携帯電話の小型化のた
めに高周波フィルタとして弾性表面波フィルタを使用す
る場合が多くなっている。しかしこの電話システムの高
周波回路部は８００ー９００MHz帯を使用しており、弾
性表面波変換器の電極幅はおよそ１um程度となる。その
ためエレクトロマイグレーション、ストレスマイグレー
ションがおきやすく、特に大信号が通過する場所のフィ
ルタは体積の大きな誘電体フィルタを使用しているのが
現状である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記のような点に鑑み、
本発明では弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の電極
をパラジウムを０.０１重量％以上５重量％以下含有さ
せ、さらにスカンジウムを０.０１重量％以上５重量％
以下含有させたアルミニウムを使用し、エレクトロマイ
グレーション、ストレスマイグレーションの発生を防ぐ
ものである。
本発明では弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の電極
をパラジウムを０.０１重量％以上５重量％以下含有さ
せ、さらにスカンジウムを０.０１重量％以上５重量％
以下含有させたアルミニウムを使用し、エレクトロマイ
グレーション、ストレスマイグレーションの発生を防ぐ
ものである。
【０００９】
【作用】弾性表面波素子の電極をパラジウムを０.０１
重量％以上５重量％以下含有させ、さらにスカンジウム
を０.０１重量％以上５重量％以下含有させたアルミニ
ウムで構成することにより、長期間、大電力の使用にお
いても弾性表面波素子の劣化を押えるものである。
重量％以上５重量％以下含有させ、さらにスカンジウム
を０.０１重量％以上５重量％以下含有させたアルミニ
ウムで構成することにより、長期間、大電力の使用にお
いても弾性表面波素子の劣化を押えるものである。
【００１０】
【実施例】（実施例１）以下、本発明の実施例を図面を
参照して詳細に説明する。図１は本発明の実施例１によ
る弾性表面波共振子を示すものである。この弾性表面波
共振子はタンタル酸リチウムなどの圧電性基板１１上に
電気端子１２より入力される電気信号を弾性表面波に変
換する弾性表面波変換器としてインターデジタルトラン
スジューサ１３を形成する。このインターデジタルトラ
ンスデューサ１３の両側に弾性表面波をインターデジタ
ルトランスデューサに反射するため弾性表面波反射器１
４をグレーティング反射器の構成で形成する。このグレ
ーティング反射器はストリップ幅λ／４の多数の金属ス
トリップをλ／２の間隔で配列したもので、反射器を構
成する各金属ストリップからの反射が同相で重畳される
ようになっている。このような構成の弾性表面波共振子
において、弾性表面波変換器、弾性表面波反射器の電極
をパラジウムとスカンジウムを含有したアルミニウムに
よって形成されている。
参照して詳細に説明する。図１は本発明の実施例１によ
る弾性表面波共振子を示すものである。この弾性表面波
共振子はタンタル酸リチウムなどの圧電性基板１１上に
電気端子１２より入力される電気信号を弾性表面波に変
換する弾性表面波変換器としてインターデジタルトラン
スジューサ１３を形成する。このインターデジタルトラ
ンスデューサ１３の両側に弾性表面波をインターデジタ
ルトランスデューサに反射するため弾性表面波反射器１
４をグレーティング反射器の構成で形成する。このグレ
ーティング反射器はストリップ幅λ／４の多数の金属ス
トリップをλ／２の間隔で配列したもので、反射器を構
成する各金属ストリップからの反射が同相で重畳される
ようになっている。このような構成の弾性表面波共振子
において、弾性表面波変換器、弾性表面波反射器の電極
をパラジウムとスカンジウムを含有したアルミニウムに
よって形成されている。
【００１１】圧電性基板として、３６°YカットX伝搬の
LiTaO3を使用し、インターデジタルトランスデューサ１
３は２０対の電極指で構成し、グレーティング反射器１
４は１００本のストリップで構成した。電極としてはパ
ラジウムを０.２重量％、スカンジウムを０.２重量％混
入させたアルミニウムを使用した。同様の構成で電極の
効果を確かめるために電極に純粋なアルミニウムを用い
たものも作成、比較した。この弾性表面波共振子に１０
mWの電力を印加し、１０００時間放置したところ、共振
周波数は図２のような特性で変化していった。これを見
ればわかるように、電極に純粋なアルミニウムを使用し
た場合に比較してパラジウム及びスカンジウムを混入さ
せた場合の方が耐久性が優れていることが顕著にわか
る。この理由は正確には解明されてはいないが、アルミ
ニウムの結晶粒界に不純物であるパラジウム及びスカン
ジウムが析出し、これが核となって金属疲労による劣化
を防いでいるものと考えられる。このように長期間の使
用に耐えうる、つまり特性の変化の少ない弾性表面波共
振子を得ることが出来る。
LiTaO3を使用し、インターデジタルトランスデューサ１
３は２０対の電極指で構成し、グレーティング反射器１
４は１００本のストリップで構成した。電極としてはパ
ラジウムを０.２重量％、スカンジウムを０.２重量％混
入させたアルミニウムを使用した。同様の構成で電極の
効果を確かめるために電極に純粋なアルミニウムを用い
たものも作成、比較した。この弾性表面波共振子に１０
mWの電力を印加し、１０００時間放置したところ、共振
周波数は図２のような特性で変化していった。これを見
ればわかるように、電極に純粋なアルミニウムを使用し
た場合に比較してパラジウム及びスカンジウムを混入さ
せた場合の方が耐久性が優れていることが顕著にわか
る。この理由は正確には解明されてはいないが、アルミ
ニウムの結晶粒界に不純物であるパラジウム及びスカン
ジウムが析出し、これが核となって金属疲労による劣化
を防いでいるものと考えられる。このように長期間の使
用に耐えうる、つまり特性の変化の少ない弾性表面波共
振子を得ることが出来る。
【００１２】パラジウム及びスカンジウムの添加量によ
る効果を確認するために上記の構成でパラジウムの添加
量とスカンジウムの添加量を０.０１重量％から５重量
％まで変化させたものを種々作成してその効果を確認し
たが、効果の大小はあるもののこの範囲で耐久性の向上
が確認された。またスカンジウムの添加量が０.０１重
量％から５重量％までのうち特にスカンジウムの添加量
が０.０５重量％から０.３重量％までのものが耐久性向
上の効果が顕著であった。
る効果を確認するために上記の構成でパラジウムの添加
量とスカンジウムの添加量を０.０１重量％から５重量
％まで変化させたものを種々作成してその効果を確認し
たが、効果の大小はあるもののこの範囲で耐久性の向上
が確認された。またスカンジウムの添加量が０.０１重
量％から５重量％までのうち特にスカンジウムの添加量
が０.０５重量％から０.３重量％までのものが耐久性向
上の効果が顕著であった。
【００１３】同様な構成で電極にパラジウムの含有率と
スカンジウムの含有率が０.０１重量％以下のアルミニ
ウムを使用したものを作成して試験を行なったが電極に
純粋なアルミニウムを用いたものと比較して有意性は見
られなかった。逆に電極にパラジウムの含有率とスカン
ジウムの含有率が５重量％以上のアルミニウムを使用し
たものを作成して試験を行なったが電極に純粋なアルミ
ニウムを用いたものと比較して電極抵抗の増大によると
思われる特性悪化、作成プロセス時の問題があり、実用
に耐え得るものではなかった。
スカンジウムの含有率が０.０１重量％以下のアルミニ
ウムを使用したものを作成して試験を行なったが電極に
純粋なアルミニウムを用いたものと比較して有意性は見
られなかった。逆に電極にパラジウムの含有率とスカン
ジウムの含有率が５重量％以上のアルミニウムを使用し
たものを作成して試験を行なったが電極に純粋なアルミ
ニウムを用いたものと比較して電極抵抗の増大によると
思われる特性悪化、作成プロセス時の問題があり、実用
に耐え得るものではなかった。
【００１４】（実施例２）次に図３のような構成で９０
０MHz のフィルタを構成した。電極は低挿入損失化する
ために４入力２１、５出力２２の多電極構成とし、基板
として３６°Y カットX 伝搬のタンタル酸リチウム２３
を使用した。それぞれの入力、出力の弾性表面波変換器
は２０対のインターデジタルトランスデューサーで構成
した。ここでも電極の違いによる効果を確認するため
に、０. ２重量％のパラジウム及びスカンジウムを混入
させたものを電極として使用した場合と、純粋なアルミ
ニウムを電極として使用した場合の２種類を作成し、こ
の弾性表面波フィルタに２W の電力を印加し、挿入損失
の時間変化を測定したところ、図４のような時間変化を
示した。この図を見ると明らかなように、純粋なアルミ
ニウムを電極として使用した場合には挿入損失の劣化が
激しく破壊されているが、パラジウム及びスカンジウム
を混入させた場合はほとんど劣化なく十分使用に耐える
ことがわかる。この原因も前述したように高い電力が印
化されたことによるエレクトロマイグレーション、印加
された電力に比例して大きな変位が電極に加わったため
によるストレスマイグレーションによるものであり、パ
ラジウム及びスカンジウムを混入させた電極を使用した
場合はアルミニウムの結晶粒界に不純物であるパラジウ
ム及びスカンジウムが析出し、これが核となって金属疲
労による劣化を防いでいるものと考えられる。
０MHz のフィルタを構成した。電極は低挿入損失化する
ために４入力２１、５出力２２の多電極構成とし、基板
として３６°Y カットX 伝搬のタンタル酸リチウム２３
を使用した。それぞれの入力、出力の弾性表面波変換器
は２０対のインターデジタルトランスデューサーで構成
した。ここでも電極の違いによる効果を確認するため
に、０. ２重量％のパラジウム及びスカンジウムを混入
させたものを電極として使用した場合と、純粋なアルミ
ニウムを電極として使用した場合の２種類を作成し、こ
の弾性表面波フィルタに２W の電力を印加し、挿入損失
の時間変化を測定したところ、図４のような時間変化を
示した。この図を見ると明らかなように、純粋なアルミ
ニウムを電極として使用した場合には挿入損失の劣化が
激しく破壊されているが、パラジウム及びスカンジウム
を混入させた場合はほとんど劣化なく十分使用に耐える
ことがわかる。この原因も前述したように高い電力が印
化されたことによるエレクトロマイグレーション、印加
された電力に比例して大きな変位が電極に加わったため
によるストレスマイグレーションによるものであり、パ
ラジウム及びスカンジウムを混入させた電極を使用した
場合はアルミニウムの結晶粒界に不純物であるパラジウ
ム及びスカンジウムが析出し、これが核となって金属疲
労による劣化を防いでいるものと考えられる。
【００１５】スカンジウムの添加量による効果を確認す
るために上記の構成でパラジウムの添加量とスカンジウ
ムの添加量を０.０１重量％から５重量％まで変化させ
たものを種々作成してその効果を確認したが、効果の大
小はあるもののこの範囲で耐久性の向上が確認された。
またスカンジウムの添加量が０.０１重量％から５重量
％までのうち特にスカンジウムの添加量が０.０５重量
％から０.３重量％までのものが耐久性向上の効果が顕
著であった。
るために上記の構成でパラジウムの添加量とスカンジウ
ムの添加量を０.０１重量％から５重量％まで変化させ
たものを種々作成してその効果を確認したが、効果の大
小はあるもののこの範囲で耐久性の向上が確認された。
またスカンジウムの添加量が０.０１重量％から５重量
％までのうち特にスカンジウムの添加量が０.０５重量
％から０.３重量％までのものが耐久性向上の効果が顕
著であった。
【００１６】同様な構成で電極にパラジウムの含有率と
スカンジウムの含有率が０.０１重量％以下のアルミニ
ウムを使用したものを作成して試験を行なったが電極に
純粋なアルミニウムを用いたものと比較して有意性は見
られなかった。逆に電極にパラジウムの含有率とスカン
ジウムの含有率が５重量％以上のアルミニウムを使用し
たものを作成して試験を行なったが電極に純粋なアルミ
ニウムを用いたものと比較して電極抵抗の増大によると
思われる特性悪化、作成プロセス時の問題があり、実用
に耐え得るものではなかった。
スカンジウムの含有率が０.０１重量％以下のアルミニ
ウムを使用したものを作成して試験を行なったが電極に
純粋なアルミニウムを用いたものと比較して有意性は見
られなかった。逆に電極にパラジウムの含有率とスカン
ジウムの含有率が５重量％以上のアルミニウムを使用し
たものを作成して試験を行なったが電極に純粋なアルミ
ニウムを用いたものと比較して電極抵抗の増大によると
思われる特性悪化、作成プロセス時の問題があり、実用
に耐え得るものではなかった。
【００１７】（実施例３）次に図１のような構成で実施
例１と同様に弾性表面波共振子を作成した。ただし電極
にはパラジウムの含有による効果を確認するためにアル
ミニウムにスカンジウムを０.１５％混入させたアルミ
ニウムを使用したものと、アルミニウムにスカンジウム
を０.１５％、パラジウムを０.１５％混入させたものを
使用して、実施例１と同様な手法で弾性表面波共振子の
耐久性を測定したところ図５に示すようにパラジウム添
加の効果が確認された。さらにスカンジウムの添加量を
０.０１重量％から５重量％まで、パラジウムの添加量
を０.０１重量％から５重量％まで変化させたものを種
々測定したが、効果の大小はあるもののこの範囲で耐久
性の向上が確認された。またスカンジウムの添加量が
０.０１重量％から５重量％までのうち特にスカンジウ
ムの添加量が０.０５重量％から０.３重量％までのもの
が耐久性向上の効果が顕著であった。
例１と同様に弾性表面波共振子を作成した。ただし電極
にはパラジウムの含有による効果を確認するためにアル
ミニウムにスカンジウムを０.１５％混入させたアルミ
ニウムを使用したものと、アルミニウムにスカンジウム
を０.１５％、パラジウムを０.１５％混入させたものを
使用して、実施例１と同様な手法で弾性表面波共振子の
耐久性を測定したところ図５に示すようにパラジウム添
加の効果が確認された。さらにスカンジウムの添加量を
０.０１重量％から５重量％まで、パラジウムの添加量
を０.０１重量％から５重量％まで変化させたものを種
々測定したが、効果の大小はあるもののこの範囲で耐久
性の向上が確認された。またスカンジウムの添加量が
０.０１重量％から５重量％までのうち特にスカンジウ
ムの添加量が０.０５重量％から０.３重量％までのもの
が耐久性向上の効果が顕著であった。
【００１８】（実施例４）次にスカンジウム添加による
効果を確認するために電極としてアルミニウムにパラジ
ウムを混入させたアルミニウムを使用したものと、アル
ミニウムにスカンジウム、パラジウムを混入させたもの
を使用して、弾性表面波共振子を作成した。これらの弾
性表面波共振子を実施例１と同様な手法で弾性表面波共
振子の耐久性を測定した。その結果電極としてアルミニ
ウムにスカンジウムを０.１５重量％、パラジウムを０.
２重量％混入させたものを使用した場合と同じ効果を得
ようとするとパラジウムを３重量％混入させたアルミニ
ウムを電極として使用する必要があった。この２つの共
振子としての特性を比較してみると電極抵抗の違いによ
る差が確認され、電極としてアルミニウムにスカンジウ
ムを０.１５重量％、パラジウムを０.２重量％混入させ
たものを使用した弾性表面波共振子の方が特性はよかっ
た。スカンジウムの添加量を種々変えて実験を行なった
が、いずれのばあいもスカンジウムを加えた場合とスカ
ンジウムを加えない場合におなじ耐久性を得ようとする
とスカンジウムを加えない場合はスカンジウムを加えた
場合よりもパラジウムの含有量を多くする必要があり、
そのため、電極抵抗の増加に起因する特性劣化が確認さ
れた。
効果を確認するために電極としてアルミニウムにパラジ
ウムを混入させたアルミニウムを使用したものと、アル
ミニウムにスカンジウム、パラジウムを混入させたもの
を使用して、弾性表面波共振子を作成した。これらの弾
性表面波共振子を実施例１と同様な手法で弾性表面波共
振子の耐久性を測定した。その結果電極としてアルミニ
ウムにスカンジウムを０.１５重量％、パラジウムを０.
２重量％混入させたものを使用した場合と同じ効果を得
ようとするとパラジウムを３重量％混入させたアルミニ
ウムを電極として使用する必要があった。この２つの共
振子としての特性を比較してみると電極抵抗の違いによ
る差が確認され、電極としてアルミニウムにスカンジウ
ムを０.１５重量％、パラジウムを０.２重量％混入させ
たものを使用した弾性表面波共振子の方が特性はよかっ
た。スカンジウムの添加量を種々変えて実験を行なった
が、いずれのばあいもスカンジウムを加えた場合とスカ
ンジウムを加えない場合におなじ耐久性を得ようとする
とスカンジウムを加えない場合はスカンジウムを加えた
場合よりもパラジウムの含有量を多くする必要があり、
そのため、電極抵抗の増加に起因する特性劣化が確認さ
れた。
【００１９】これらの実施例では圧電性基板として３６
°YカットX伝搬のLiTaO3を使用したがその他のカット角
のLiTaO3や他の圧電性基板、例えばLiNbO3などでも同様
の効果が得られることは明らかである。
°YカットX伝搬のLiTaO3を使用したがその他のカット角
のLiTaO3や他の圧電性基板、例えばLiNbO3などでも同様
の効果が得られることは明らかである。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば長期間、大電力での使用
に際しても弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の損傷
を防ぎQの低下、挿入損失の増大、通過帯域の変化など
の特性変化の小さい弾性表面波素子を形成することが出
来る。
に際しても弾性表面波反射器、弾性表面波変換器の損傷
を防ぎQの低下、挿入損失の増大、通過帯域の変化など
の特性変化の小さい弾性表面波素子を形成することが出
来る。
【図１】本発明の実施例１における弾性表面波共振子の
構成図
構成図
【図２】同実施例１における共振周波数の時間変化を示
す図
す図
【図３】同実施例２における弾性表面波フィルタの構成
図
図
【図４】同実施例２における挿入損失の時間変化を示す
図
図
【図５】同実施例３における挿入損失の時間変化を示す
図
図
１１ 圧電性基板３６°YカットX伝搬LiTaO3 １２ 電気端子 １３ インターデジタルトランスデューサ １４ 弾性表面波反射器 ２１ 入力端子 ２２ 出力端子 ２３ 圧電性基板３６°YカットX伝搬LiTaO3
フロントページの続き (72)発明者 大西 慶治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】圧電性基板と、この圧電性基板上に設けら
れた入力電気信号を前記圧電性基板上を伝搬する弾性表
面波に変換するための弾性表面波用変換器を備え、この
弾性表面波変換器に対向して前記圧電性基板上に設けら
れた前記弾性表面波を反射する複数の金属ストリップを
周期的に配列して構成される反射器を備え、前記弾性表
面波変換器と弾性表面波反射器をパラジウムを０.０１
重量％以上５重量％以下含有させ、さらにスカンジウム
を０.０１重量％以上５重量％以下含有させたアルミニ
ウムで構成することを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項２】アルミニウム中のスカンジウムの含有量を
特に０.０５重量％から０.３重量％としたことを特徴と
する請求項１記載の弾性表面波素子。 - 【請求項３】圧電性基板と、この圧電性基板上に設けら
れた入力電気信号を前記圧電性基板上を伝搬する弾性表
面波に変換するための弾性表面波用変換器を少なくとも
１組備え、電気信号がこの弾性表面波変換器間を弾性表
面波として伝搬するような構造を持ったフィルタにおい
て前記弾性表面波変換器をパラジウムを０.０１重量％
以上５重量％以下含有させ、さらにスカンジウムを０.
０５重量％以上５重量％以下含有させたアルミニウムで
構成することを特徴とする弾性表面波素子。 - 【請求項４】アルミニウム中のスカンジウムの含有量を
特に０.０５重量％から０.３重量％としたことを特徴と
する請求項３記載の弾性表面波素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6451292A JPH05267976A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 弾性表面波素子 |
| EP92121660A EP0548862A1 (en) | 1991-12-27 | 1992-12-19 | Surface accoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6451292A JPH05267976A (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267976A true JPH05267976A (ja) | 1993-10-15 |
Family
ID=13260336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6451292A Pending JPH05267976A (ja) | 1991-12-27 | 1992-03-23 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05267976A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190019813A (ko) | 2017-08-17 | 2019-02-27 | 삼성전기주식회사 | 체적 음향 공진기 |
| KR20200039521A (ko) | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 삼성전기주식회사 | 체적 음향 공진기 |
| US10756701B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-08-25 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk acoustic wave resonator |
| US11595016B2 (en) | 2018-10-05 | 2023-02-28 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk-acoustic wave resonator |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP6451292A patent/JPH05267976A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190019813A (ko) | 2017-08-17 | 2019-02-27 | 삼성전기주식회사 | 체적 음향 공진기 |
| US10756701B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-08-25 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk acoustic wave resonator |
| KR20200039521A (ko) | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 삼성전기주식회사 | 체적 음향 공진기 |
| US11595016B2 (en) | 2018-10-05 | 2023-02-28 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk-acoustic wave resonator |
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