JPH0526985Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0526985Y2 JPH0526985Y2 JP1987136315U JP13631587U JPH0526985Y2 JP H0526985 Y2 JPH0526985 Y2 JP H0526985Y2 JP 1987136315 U JP1987136315 U JP 1987136315U JP 13631587 U JP13631587 U JP 13631587U JP H0526985 Y2 JPH0526985 Y2 JP H0526985Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- main body
- base
- welding
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案はプロセス流体の2点間の圧力差により
その流量を測定したり、ゲージ圧力、絶対圧力を
測定する差圧、圧力発信器に係り、特に金属腐食
性流体の流量測定に用いられる耐食性差圧、圧力
発信器の改良に関するものである。
その流量を測定したり、ゲージ圧力、絶対圧力を
測定する差圧、圧力発信器に係り、特に金属腐食
性流体の流量測定に用いられる耐食性差圧、圧力
発信器の改良に関するものである。
従来から管内流体の流量を測定する場合、管内
にオリフイスを設けて流体抵抗とし、その上流側
と下流側の圧力差を測定し、この圧力差より流量
を算出測定することが行われている。この種の差
圧測定に用いられる差圧発信器としては、特に被
測定流体が酸性、アルカリ性等の金属腐食性流体
である場合、一般に第2図または第3図に示す耐
食構造とされる。すなわち、第2図において全体
を符号1で示す差圧発信器は、2つのプレート2
A,2Bを一体的に結合して形成した円盤状のボ
デイ本体2を備えている。
にオリフイスを設けて流体抵抗とし、その上流側
と下流側の圧力差を測定し、この圧力差より流量
を算出測定することが行われている。この種の差
圧測定に用いられる差圧発信器としては、特に被
測定流体が酸性、アルカリ性等の金属腐食性流体
である場合、一般に第2図または第3図に示す耐
食構造とされる。すなわち、第2図において全体
を符号1で示す差圧発信器は、2つのプレート2
A,2Bを一体的に結合して形成した円盤状のボ
デイ本体2を備えている。
前記ボデイ本体2はステンレス鋼等によつて製
作され、その両側面、すなわち受圧側面3a,3
bには高圧側の受圧ダイヤフラム4と、低圧側の
受圧ダイヤフラム5がその周縁部を固定されて配
設されている。各受圧ダイヤフラム4,5は通常
燐青銅、ベリウム銅、ステンレス鋼などの薄膜状
金属板によつて波形円板状に形成されている。ま
た、前記各受圧側面3a,3bも受圧ダイヤフラ
ム4,5と同形の波形に形成され、該ダイヤフラ
ム4,5との間にそれぞれ裏側室6,7を形成し
ている。
作され、その両側面、すなわち受圧側面3a,3
bには高圧側の受圧ダイヤフラム4と、低圧側の
受圧ダイヤフラム5がその周縁部を固定されて配
設されている。各受圧ダイヤフラム4,5は通常
燐青銅、ベリウム銅、ステンレス鋼などの薄膜状
金属板によつて波形円板状に形成されている。ま
た、前記各受圧側面3a,3bも受圧ダイヤフラ
ム4,5と同形の波形に形成され、該ダイヤフラ
ム4,5との間にそれぞれ裏側室6,7を形成し
ている。
前記ボデイ本体2の内部中央にはセンターダイ
ヤフラム8によつて画成された2つの内室9A,
9Bが形成され、その一方9Aが裏側室6と連通
路10を介して連通され、他方9Bが裏側室7と
連通路11を介して連通されている。また、前記
各内室9A,9Bは、ボデイ本体2の上面に設け
たセンサ用ハウジング12内のセンサ室13と封
入回路14,15を介してそれぞれ連通されてい
る。封入回路14,15は前記センサ室13内に
おいて圧力センサ16により仕切られている。そ
して、前記裏側室6,7、内室9A,9B、連通
路10,11、封入回路14,15およびセンサ
室13にはシリコンオイル等の非圧縮性内封液1
8が液封入用通路19a,19bよりそれぞれ封
入されている。
ヤフラム8によつて画成された2つの内室9A,
9Bが形成され、その一方9Aが裏側室6と連通
路10を介して連通され、他方9Bが裏側室7と
連通路11を介して連通されている。また、前記
各内室9A,9Bは、ボデイ本体2の上面に設け
たセンサ用ハウジング12内のセンサ室13と封
入回路14,15を介してそれぞれ連通されてい
る。封入回路14,15は前記センサ室13内に
おいて圧力センサ16により仕切られている。そ
して、前記裏側室6,7、内室9A,9B、連通
路10,11、封入回路14,15およびセンサ
室13にはシリコンオイル等の非圧縮性内封液1
8が液封入用通路19a,19bよりそれぞれ封
入されている。
20,21は被測定流体が金属腐食性流体であ
る場合、前記ボデイ本体2の各受圧側面3a,3
bにOリング22を介してそれぞれ密接されかつ
溶接23によつてそれぞれ接合されたベースで、
これらのベース20,21の受圧側面、すなわち
被測定流体と接する接液部はタンタル、モネル、
ハステロイ、ニツケル、チタン等の耐食性金属に
よつて形成され、その外側面にはそれぞれ波形円
板状に形成された接液ダイヤフラム24,25が
その周縁部を固定されて配設され、これらのダイ
ヤフラム24,25にオリフイス上流側の高圧
PHと、オリフイス下流側の低圧PLがそれぞれ印
加されている。接液ダイヤフラム24,25の被
測定流体と接する接液部もベース20,21と同
様な耐食性金属によつて形成されている。ベース
20,21にはその表裏面に貫通する貫通孔2
6,27がそれぞれ形成され、これにより接液ダ
イヤフラム24,25の内室28,29と、前記
受圧ダイヤフラム4,5の表側室30,31とを
それぞれ連通させている。そして、前記貫通孔2
6,27、内室28,29および表側室30,3
1にも内封液32がそれぞれ封入されている。
る場合、前記ボデイ本体2の各受圧側面3a,3
bにOリング22を介してそれぞれ密接されかつ
溶接23によつてそれぞれ接合されたベースで、
これらのベース20,21の受圧側面、すなわち
被測定流体と接する接液部はタンタル、モネル、
ハステロイ、ニツケル、チタン等の耐食性金属に
よつて形成され、その外側面にはそれぞれ波形円
板状に形成された接液ダイヤフラム24,25が
その周縁部を固定されて配設され、これらのダイ
ヤフラム24,25にオリフイス上流側の高圧
PHと、オリフイス下流側の低圧PLがそれぞれ印
加されている。接液ダイヤフラム24,25の被
測定流体と接する接液部もベース20,21と同
様な耐食性金属によつて形成されている。ベース
20,21にはその表裏面に貫通する貫通孔2
6,27がそれぞれ形成され、これにより接液ダ
イヤフラム24,25の内室28,29と、前記
受圧ダイヤフラム4,5の表側室30,31とを
それぞれ連通させている。そして、前記貫通孔2
6,27、内室28,29および表側室30,3
1にも内封液32がそれぞれ封入されている。
33,34は前記ベース20,21の表面にO
リング35を介してそれぞれ嵌合固定されたプロ
セス受圧カバー(以下カバーと略す)で、被測定
流体供給用の挿通孔36,37がそれぞれ形成さ
れている。
リング35を介してそれぞれ嵌合固定されたプロ
セス受圧カバー(以下カバーと略す)で、被測定
流体供給用の挿通孔36,37がそれぞれ形成さ
れている。
このような構成からなる差圧発信器において、
接液ダイヤフラム24,25に高圧PHと低圧PL
をそれぞれ印加すると、この時の差圧(PH−PL)
に応じて該ダイヤフラム24,25が変位して内
封液32を移動させ、さらに該内封液32の移動
により受圧ダイヤフラム4,5が変位し、これに
伴う内封液18の移動により圧力センサ16を歪
ませ、この歪量を電気的出力として取り出すこと
で前記圧力センサ16による差圧測定が行なわれ
る。そして、この電気信号は増幅器で増幅された
後、計器に記録表示されたり遠隔発進され、正確
な流速等の計測、バルブ制御等に供される。
接液ダイヤフラム24,25に高圧PHと低圧PL
をそれぞれ印加すると、この時の差圧(PH−PL)
に応じて該ダイヤフラム24,25が変位して内
封液32を移動させ、さらに該内封液32の移動
により受圧ダイヤフラム4,5が変位し、これに
伴う内封液18の移動により圧力センサ16を歪
ませ、この歪量を電気的出力として取り出すこと
で前記圧力センサ16による差圧測定が行なわれ
る。そして、この電気信号は増幅器で増幅された
後、計器に記録表示されたり遠隔発進され、正確
な流速等の計測、バルブ制御等に供される。
なお、被測定流体が腐食性流体でない場合は、
ベース20,21が不便で、カバー33,34が
ボデイ本体2の各受圧側面3a,3bに直接嵌合
固定され、高圧PHと低圧PLが受圧ダイヤフラム
4,5に加えられる。
ベース20,21が不便で、カバー33,34が
ボデイ本体2の各受圧側面3a,3bに直接嵌合
固定され、高圧PHと低圧PLが受圧ダイヤフラム
4,5に加えられる。
ところで、ボデイ本体2と各ベース20,21
との溶接部23を、これら両部材の接合面外周に
すると、溶接方向が矢印で示すようにボデイ本体
2の径方向となりセンサ用ハウジング12が邪魔
になるため、電子ビーム溶接する場合、ボデイ本
体2の上面側が溶接しにくく、テイグ溶接で行な
つている。しかし、テイグ溶接は電子ビーム溶接
と比較して溶けこみ深さ、溶けこみ形状のコント
ロールが難しく、耐圧強度、耐食性等の安定性に
問題があつた。
との溶接部23を、これら両部材の接合面外周に
すると、溶接方向が矢印で示すようにボデイ本体
2の径方向となりセンサ用ハウジング12が邪魔
になるため、電子ビーム溶接する場合、ボデイ本
体2の上面側が溶接しにくく、テイグ溶接で行な
つている。しかし、テイグ溶接は電子ビーム溶接
と比較して溶けこみ深さ、溶けこみ形状のコント
ロールが難しく、耐圧強度、耐食性等の安定性に
問題があつた。
そこで、このような問題を解決する方法として
第3図に示すようにベース20,21の外径をボ
デイ本体2の外側より小さくして、ボデイ本体2
との接合端部外周面に該ボデイ本体2の受圧側面
外周部に密接する環状の張出部40を一体に突設
し、該張出部40の裏面41側より、各受圧側面
3a,3bの外周部付近に電子ビーム溶接43を
行つて各ベース20,21をボデイ本体2に固定
するようにしたものが知られている。
第3図に示すようにベース20,21の外径をボ
デイ本体2の外側より小さくして、ボデイ本体2
との接合端部外周面に該ボデイ本体2の受圧側面
外周部に密接する環状の張出部40を一体に突設
し、該張出部40の裏面41側より、各受圧側面
3a,3bの外周部付近に電子ビーム溶接43を
行つて各ベース20,21をボデイ本体2に固定
するようにしたものが知られている。
このような構造においては溶接方向を矢印Aで
示すようにボデイ本体2の径方向に対して斜めに
することができるため、センサ用ハウジング12
が邪魔にならず、電子ビーム溶接を行うことがで
きるという大きな利点を有するが、反面ベース2
0,21の外径がボデイ本体2の外径より小さく
なると、それだけ接液ダイヤフラム24,25の
径R1を受圧ダイヤフラム4,5の径R2より小さ
くしなければならないので、次のような欠点が生
じる。
示すようにボデイ本体2の径方向に対して斜めに
することができるため、センサ用ハウジング12
が邪魔にならず、電子ビーム溶接を行うことがで
きるという大きな利点を有するが、反面ベース2
0,21の外径がボデイ本体2の外径より小さく
なると、それだけ接液ダイヤフラム24,25の
径R1を受圧ダイヤフラム4,5の径R2より小さ
くしなければならないので、次のような欠点が生
じる。
外側のダイヤフラムが小さいぼど内封液1
8,32の温度上昇による内封液の膨脹が吸収で
きず、内封液の圧力上昇となる。外側のダイヤ
フラムが小さいとプロセス流体から受ける圧力変
化に敏感に反応しなくなる。ベース20,21
の外径が小さいと、通常の差圧発信器のカバーの
外径より小さく、専用のカバーを必要とする。
ボデイ本体2とベース20,21を溶接で固定す
る際、中心を合わせるため、適宜な治具が必要で
ある。これは第2図構造のものについても同様の
ことが云えるものである。
8,32の温度上昇による内封液の膨脹が吸収で
きず、内封液の圧力上昇となる。外側のダイヤ
フラムが小さいとプロセス流体から受ける圧力変
化に敏感に反応しなくなる。ベース20,21
の外径が小さいと、通常の差圧発信器のカバーの
外径より小さく、専用のカバーを必要とする。
ボデイ本体2とベース20,21を溶接で固定す
る際、中心を合わせるため、適宜な治具が必要で
ある。これは第2図構造のものについても同様の
ことが云えるものである。
したがつて、本考案では上述したような問題点
を解決し、溶接ダイヤフラムの径を小さくするこ
となく電子ビーム溶接を行うことができ、またボ
デイ本体とベースとを溶接する際に軸合わせの治
具が不要で、通常ボデイ本体に取付けられるカバ
ーを共通使用し得る差圧、圧力発信器を提供しよ
うとするものである。
を解決し、溶接ダイヤフラムの径を小さくするこ
となく電子ビーム溶接を行うことができ、またボ
デイ本体とベースとを溶接する際に軸合わせの治
具が不要で、通常ボデイ本体に取付けられるカバ
ーを共通使用し得る差圧、圧力発信器を提供しよ
うとするものである。
本考案は上記目的を達成するために、内部に内
封液が封入されたボデイ本体の被測定流体側受圧
側面に接液部が耐食部材からなるベースを溶接固
定してなり、このベースの前記ボデイ本体との当
接面には該ボデイ本体の外周面が嵌合するいんろ
う用嵌合部が設けられ、前記ベースの外周面で前
記嵌合凹部の裏面側には前記ボデイ本体側に小径
となるトーパ部が形成され、前記嵌合凹部裏面を
前記ベースを前記ボデイ本体に溶接するための溶
接用環状平面としたものである。
封液が封入されたボデイ本体の被測定流体側受圧
側面に接液部が耐食部材からなるベースを溶接固
定してなり、このベースの前記ボデイ本体との当
接面には該ボデイ本体の外周面が嵌合するいんろ
う用嵌合部が設けられ、前記ベースの外周面で前
記嵌合凹部の裏面側には前記ボデイ本体側に小径
となるトーパ部が形成され、前記嵌合凹部裏面を
前記ベースを前記ボデイ本体に溶接するための溶
接用環状平面としたものである。
本考案においては嵌合凹部裏面がボデイ本体の
受圧側面に対して斜め方向からの溶接を可能にす
る溶接平面を形成する。ボデイ本体とベースは嵌
合凹部により軸合わせされる。
受圧側面に対して斜め方向からの溶接を可能にす
る溶接平面を形成する。ボデイ本体とベースは嵌
合凹部により軸合わせされる。
以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
第1図は本考案を差圧発信器に適用した場合の
一実施例を示す断面図である。なお、図中第2図
および第3図と同一構成部品、部分に対しては同
一符号を以つて示し、その説明を省略する。同図
において、各ベース20,21のボデイ本体2側
端部外周面には、前記ボデイ本体2の側端部外周
面がそれぞれいんろう嵌合する嵌合凹部50,5
1を有する嵌合部51,53が一体に突設されて
いる。また、各ベース20,21の外周面で前記
各嵌合部52,53の裏面54,55側にはボデ
イ本体2側に小径となるテーパ部56,57がそ
れぞれ形成され、該テーパ部56,57よりボデ
イ本体2側とは反対側端までの外周部58,59
は前記ボデイ本体2の外径と等しく、カバー3
3,34とのはめ合い部を構成している。この場
合、カバー締めつけによる影響を少なくするた
め、第3図に示すようにテーパ部57,56の小
径部ΦAをベース21,20の内径ΦBよりでき
るだけ大きく設定することが望ましい。前記各嵌
合部52,53の裏面54,55は各ベース2
0,21をボデイ本体2に溶接固定する際、該裏
面より各受圧側面3a,3bの外周部に電子ビー
ム溶接されることにより溶接用環状平面を形成し
ている。
一実施例を示す断面図である。なお、図中第2図
および第3図と同一構成部品、部分に対しては同
一符号を以つて示し、その説明を省略する。同図
において、各ベース20,21のボデイ本体2側
端部外周面には、前記ボデイ本体2の側端部外周
面がそれぞれいんろう嵌合する嵌合凹部50,5
1を有する嵌合部51,53が一体に突設されて
いる。また、各ベース20,21の外周面で前記
各嵌合部52,53の裏面54,55側にはボデ
イ本体2側に小径となるテーパ部56,57がそ
れぞれ形成され、該テーパ部56,57よりボデ
イ本体2側とは反対側端までの外周部58,59
は前記ボデイ本体2の外径と等しく、カバー3
3,34とのはめ合い部を構成している。この場
合、カバー締めつけによる影響を少なくするた
め、第3図に示すようにテーパ部57,56の小
径部ΦAをベース21,20の内径ΦBよりでき
るだけ大きく設定することが望ましい。前記各嵌
合部52,53の裏面54,55は各ベース2
0,21をボデイ本体2に溶接固定する際、該裏
面より各受圧側面3a,3bの外周部に電子ビー
ム溶接されることにより溶接用環状平面を形成し
ている。
このような構成からなる差圧発信器においては
テーパ部56,57の形成により矢印A方向から
溶接43できるため、センサ用ハウジング12が
邪魔にならず、電子ビーム溶接を可能にする。ま
た、各ベース20,21のはめあい部58,59
はボデイ本体2の外径と同一の外径を有している
ので、通常の差圧計のボデイ本体に直接取付けら
れるカバー33,34をそのまま使用できるばか
りか、該はめあい部の径がボデイ本体2と同一径
であれば、接液ダイヤフラム24,25の径も受
圧ダイヤフラム4,5と同一にすることができる
ので、温度上昇による内封液32の膨脹による圧
力上昇をダイヤフラム24,25の変形で吸収す
ることができ、またプロセス流体が受ける圧力変
化も敏感に受圧ダイヤフラム4,5に伝えること
ができる。さらに、ボデイ本体2とベース20,
21とは嵌合部52,53によりいんろう結合さ
れるため、溶接の際、軸合わせの治具を使う必要
がない。
テーパ部56,57の形成により矢印A方向から
溶接43できるため、センサ用ハウジング12が
邪魔にならず、電子ビーム溶接を可能にする。ま
た、各ベース20,21のはめあい部58,59
はボデイ本体2の外径と同一の外径を有している
ので、通常の差圧計のボデイ本体に直接取付けら
れるカバー33,34をそのまま使用できるばか
りか、該はめあい部の径がボデイ本体2と同一径
であれば、接液ダイヤフラム24,25の径も受
圧ダイヤフラム4,5と同一にすることができる
ので、温度上昇による内封液32の膨脹による圧
力上昇をダイヤフラム24,25の変形で吸収す
ることができ、またプロセス流体が受ける圧力変
化も敏感に受圧ダイヤフラム4,5に伝えること
ができる。さらに、ボデイ本体2とベース20,
21とは嵌合部52,53によりいんろう結合さ
れるため、溶接の際、軸合わせの治具を使う必要
がない。
なお、本考案は両側面が被測定流体の受圧側面
を構成する差圧発信器に適用した場合について説
明したが、これに特定されるものではなく、一方
の受圧側面にのみ被測定流体を作用させ、他方の
受圧側面には他のプロセス圧基準圧を作用させる
ようにしたフランジ型差圧計とか、圧力発信器
(ゲージ圧力、絶対圧力発信器)にも適用実施し
得るものであり、その場合には被測定流体に接す
るベースの接液部(すなわちベースの受圧側面
と、接液ダイヤフラム)を耐食部材で構成すれば
よい。
を構成する差圧発信器に適用した場合について説
明したが、これに特定されるものではなく、一方
の受圧側面にのみ被測定流体を作用させ、他方の
受圧側面には他のプロセス圧基準圧を作用させる
ようにしたフランジ型差圧計とか、圧力発信器
(ゲージ圧力、絶対圧力発信器)にも適用実施し
得るものであり、その場合には被測定流体に接す
るベースの接液部(すなわちベースの受圧側面
と、接液ダイヤフラム)を耐食部材で構成すれば
よい。
以上説明したように本考案に係る差圧、圧力発
信器によれば、構造簡易にして耐食性材料からな
るベースをボデイ本体の受圧側面に電子ビーム溶
接することが可能で、また溶接に際してはベース
とボデイ本体とをいんろう嵌合させているので治
具によつて位置合せする必要がなく、その上接液
ダイヤフラムの径を受圧ダイヤフラムと等しくで
きるため、内封液の温度上昇に伴う圧力上昇を吸
収すると共にプロセス流体の圧力変化に敏感に反
応し、高精度な流量測定を行うことができるなど
その実用上の効果は非常に大である。
信器によれば、構造簡易にして耐食性材料からな
るベースをボデイ本体の受圧側面に電子ビーム溶
接することが可能で、また溶接に際してはベース
とボデイ本体とをいんろう嵌合させているので治
具によつて位置合せする必要がなく、その上接液
ダイヤフラムの径を受圧ダイヤフラムと等しくで
きるため、内封液の温度上昇に伴う圧力上昇を吸
収すると共にプロセス流体の圧力変化に敏感に反
応し、高精度な流量測定を行うことができるなど
その実用上の効果は非常に大である。
第1図は本考案を差圧発信器に適用した場合の
一実施例を示す断面図、第2図および第3図はそ
れぞれ従来の差圧発信器の断面図である。 1……差圧発信器、2……ボデイ本体、3a,
3b……受圧側面、4,5……受圧ダイヤフラ
ム、8……センターダイヤフラム、14,15…
…封入回路、16……圧力センサ、18……内封
液、20,21……ベース、24,25……接液
ダイヤフラム、32……内封液、33,34……
カバー、43……溶接、50,51……嵌合凹
部、52,53……嵌合部、54,55……溶接
用環状平面、56,57……テーパ部。
一実施例を示す断面図、第2図および第3図はそ
れぞれ従来の差圧発信器の断面図である。 1……差圧発信器、2……ボデイ本体、3a,
3b……受圧側面、4,5……受圧ダイヤフラ
ム、8……センターダイヤフラム、14,15…
…封入回路、16……圧力センサ、18……内封
液、20,21……ベース、24,25……接液
ダイヤフラム、32……内封液、33,34……
カバー、43……溶接、50,51……嵌合凹
部、52,53……嵌合部、54,55……溶接
用環状平面、56,57……テーパ部。
Claims (1)
- 内部に内封液が封入されたボデイ本体の被測定
流体側受圧側面に接液部が耐食部材からなるベー
スを溶接固定してなり、このベースの前記ボデイ
本体との当接面には該ボデイ本体の外周面が嵌合
するいんろう用嵌合凹部が設けられ、前記ベース
の外周面で前記嵌合凹部の裏面側には前記ボデイ
本体側に小径となるテーパ部が形成され、前記嵌
合凹部裏面が前記ベースを前記ボデイ本体に溶接
するための溶接用環状平面を形成することを特徴
とする差圧、圧力発信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987136315U JPH0526985Y2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987136315U JPH0526985Y2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6442433U JPS6442433U (ja) | 1989-03-14 |
| JPH0526985Y2 true JPH0526985Y2 (ja) | 1993-07-08 |
Family
ID=31396709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987136315U Expired - Lifetime JPH0526985Y2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526985Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1172640A1 (de) * | 2000-07-13 | 2002-01-16 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Differenzdrucksensor |
| NL2003385A (en) * | 2008-10-23 | 2010-04-26 | Asml Holding Nv | Fluid assisted gas gauge proximity sensor. |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5763242U (ja) * | 1980-09-30 | 1982-04-15 | ||
| JPS5790126A (en) * | 1980-11-26 | 1982-06-04 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
| JPS5860232A (ja) * | 1981-10-07 | 1983-04-09 | Hitachi Ltd | 圧力または差圧伝送器 |
-
1987
- 1987-09-08 JP JP1987136315U patent/JPH0526985Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6442433U (ja) | 1989-03-14 |
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