JPH01240832A - 差圧発信器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばシリコンオイル等の圧力伝達液をその
計器内に封入してなる差圧発信器に関する。

〔従来の技術］ 一般に、差圧発信器としては、高圧側および低圧側の受
圧ダイヤフラムに各プロセス流体圧を与え、この圧力に
よる圧力伝達液の移動を圧力センサの歪により電気的な
出力として取り出すものが知られている。

従来、この種の差圧発信器は第４図に示すように構成さ
れている。これを同図に基づいて説明すると、同図にお
いて、符号１で示すものは各々が互いに接合してなる高
圧側のボディ２と低圧側のボディ３からなる円盤状の検
出器ボディで、両開口端部には断面波形状に形成された
各々高圧側のバリアダイヤフラム４と低圧側のバリアダ
イヤフラム５が装着されている。この検出器ボディ１に
は、前記両バリアダイヤフラム４．５に対向する断面波
形形状のバックアップ面６．７が形成されており、また
これら両バックアップ面６．７に開口する圧力伝送孔８
．９が設けられている。そして、前記各ボディ２，３に
は外周面に開口する液通路１０．１１が設けられており
、これら両液通路１０．１１の内部にはプロセス流体の
急激な圧力変動や脈動を抑制するりストリクタ１２．１
３が正大保持されている。１４および１５は前記リスト
リクタ１２．１３と同一の機能を有するリストリクタで
、各々が前記両圧力伝送孔８．９の内部に正大保持され
ている。１６は高圧側内室１７と低圧側内室１８の２室
に画成する断面波形形状のセンタダイヤフラムで、前記
検出器ボディ１の両ボディ２．３間に介装されている。

１９および２０は各口径が互いに異なる内外２つの筒体
で、前記検出ボディ１の上方に固定されており、このう
ち内側の筒体２０には例えばシリコンダイヤフラムから
なる圧力センサ（図示せず）が内蔵されている。そして
、これら両筒体１９，２０間には前記液通路１０．１１
のうち低圧側の液通路１１に連通ずる環状通路２１が形
成されており、この環状通路２１は前記圧力センサ（図
示せず）の−方側通路（図示せず）に接続されている。

なお、前記圧力センサ（図示せず）の他方側通路（図示
せず）には前記高圧側の液通路１０が接続されている。

このように構成された差圧発信器においては、高圧側の
バリアダイヤフラム４および低圧側のバリアダイヤフラ
ム５に各プロセス流体が印加されると、各バリアダイヤ
フラム４，５が凹んで圧力伝達液（図示せず）が移動し
、この移動量の差を圧力センサ（図示せず）が検出して
これを電気信号として発信することにより差圧として測
定することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、この種の差圧発信器においては、各プロセス
流体の圧力印加時にセンタダイヤフラム１６の近傍で第
５図に示すように圧力Ｆ＋、　Ｆｚがボディ径方向に作
用し、センタダイヤフラム１６が同一の方向に伸張して
変動しくセンタダイヤフラム１６は左右非対称であるか
ら）、このシフｌ−ｆｆ１によってゼロ点誤差が発生す
るという問題があった。また、センタダイヤフラム１６
が径方向に伸張することは、センタダイヤフラム１６の
コンプライアンスΦ。が小さくなり、ΔＰ、−ΔＰＸＩ
／（１＋Ｚ（ΦＣ／Φ、））より圧力センサ（図示せず
）における受圧値ΔＰ５が変化してスパンシフトが発生
するという不都合があった。

ここで、ΔＰおよびφ８はプロセス流体の差圧とバリア
ダイヤフラム４．５のコンプライアンスである。また、
計器の製品出荷前には、キャラクタリゼーションによっ
てシフト量を補正しているものの、十分に補正すること
ができないばかりか。

補正する計器が限定されているのが現状である。

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、ゼロ点
誤差およびスパンシフトの発生を防止することができ、
もって正確な圧力測定を行うことができる差圧発信器を
提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る差圧発信器は、各々が互いに接合され周面
に開口する液通路を有する検出器ボディと、この検出器
ボディの両ボディ間に介装され高圧側内室と低圧側内室
に画成するセンタダイヤフラムとを備え、このセンタダ
イヤフラー゛、の周囲に延在する環状室を検出器ボディ
に設け、この環状室と両液通路のうちいずれか一方の液
通路とを連通させたものである。

〔作　用〕

本発明においては、各プロセス流体の圧力印加時にセン
タダイヤフラムの周囲に作用する圧力を相殺する方向に
圧力が環状室内の周壁に作用する。

〔実施例〕

以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。

第１図は本発明に係る差圧発信器を示す断面図で、同図
以下において第４図および第５図と同一の部材について
は同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同図にお
いて、符号３１で示す検出器ボディは高圧側のボディ３
２および低圧側のボディ３３からなり、このうち低圧側
のボディ３３には前記センタダイヤフラム１６の周囲に
延在する環状室３４が設けられている。そして、この検
出器ボディ３１には前記環状室３４および前記両液通路
１０．１１のうち低圧側の７佼通路１１に連通する連通
孔３５が設けられている。

このように構成された差圧発信器においては、各プロセ
ス流体の圧力印加時にセンタダイヤフラム１６の周囲に
作用する圧力を相殺する方向に圧力が環状室３４内の周
壁３４ａに作用する。すなわち、高圧側のバリアダイヤ
フラム４および低圧側のバリアダイヤフラム５に各プロ
セス流体が印加されると、この圧力Ｆ、、　Ｆ、が第２
図に矢印で示すように高圧側内室１７．低圧側内室１８
の壁面１７ａ、１８ａに作用するが、環状室３４内の周
壁３４ａに圧力Ｆ、、　Ｆ２を相殺する方向に圧力Ｆ３
が作用するのである。

したがって、本発明においては、各プロセス流体の圧力
印加時にセンタダイヤフラム１６の伸張による変動を阻
止することができるから、ゼロ点誤差およびスパンシフ
トの発生を防止することができる。

なお、本実施例においては、圧力センサ（図示せず）と
してシリコンダイヤフラムを用いて圧力変化を検出する
例を示したが、本発明はこれに服定されるものではな（
、この他検出手段としては容量変化や抵抗変化を利用す
るもの等があり、これら検出手段も実施例と同様に種々
の差圧発信器に適用可能である。

また、本実施例においては、低圧側のボディ３３に連通
孔３５を設ける場合を示したが、本発明はこれに限定さ
れず、高圧側のボディ３２δこ設けても実施例と同様の
効果を奏する。

因に、本発明における両ボディ３２．３３の接合は、第
３図に示すようにＥＢＷ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｂｅａｍ
　Ｗｅｌｄｉｎｇ）によってＡおよびＢで示す部分を同
時に行うことができる。この後、計器内に圧力伝達液（
図示せず）を封入する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、各々が互いに接合
され周面に開口する液通路を有する検出器ボディと、こ
の検出器ボディの両ボディ間に介装され高圧側内室と低
圧側内室に画成するセンタダイヤフラムとを備え、この
センタダイヤフラムの周囲に延在する環状室を検出器ボ
ディに設け、この環状室と両液通路のうちいずれか一方
の液通路とを連通させたので、各プロセス流体の圧力印
加時にセンタダイヤフラムの周囲に作用する圧力を相殺
する方向に圧力が環状室内の周壁に作用する。したがっ
て、各プロセス流体の圧力印加時にセンタダイヤプラム
の伸張による変動を阻止することができるから、ゼロ点
誤差およびスパンシフトの発生を防止することができ、
正確な圧力測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る差圧発信器を示す断面図、第２図
は同じく本発明におけるプロセス流体の圧力印加状態を
示す断面図、第３図は検出器ボディの接合方法を説明す
るための断面図、第４図は従来の差圧発信器を示す断面
図、第５図はプロセス流体の圧力印加状態を示す断面図
である。 １０．１１・・・・液通路、１６・・・・センタダイヤ
フラム、１７・・・・高圧側内室、１８・・・・低圧側
内室、３１・・・・検出器ボディ、３２・・・・高圧側
のボディ、３３・・・・低圧側のボディ、３４・・・・
環状室、３５・・・・連通孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 各々が互いに接合され周面に開口する液通路を有する高
   圧側のボディと低圧側のボディからなる検出器ボディと
   、この検出器ボディの両ボディ間に介装され高圧側内室
   と低圧側内室に画成するセンタダイヤフラムとを備え、
   このセンタダイヤフラムの周囲に延在する環状室を前記
   検出器ボディに設け、この環状室と前記両液通路のうち
   いずれか一方の液通路とを連通させたことを特徴とする
   差圧発信器。