JPH0527169B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0527169B2 JPH0527169B2 JP4688584A JP4688584A JPH0527169B2 JP H0527169 B2 JPH0527169 B2 JP H0527169B2 JP 4688584 A JP4688584 A JP 4688584A JP 4688584 A JP4688584 A JP 4688584A JP H0527169 B2 JPH0527169 B2 JP H0527169B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- recording
- magnetic recording
- perpendicular magnetization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 19
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 15
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 9
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims description 2
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910000929 Ru alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000005300 metallic glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
この発明は、耐摩耗性および磁気記録特性にす
ぐれ、かつ膜面に対して垂直の磁気異方性をもつ
た磁気記録媒体の薄膜を具備した垂直磁化記録体
に関するものである。 一般に、高密度の磁気記録を可能とする垂直磁
化記録機能をもつた磁気デイスク，フロツピーデ
イスク，オーデイオ用磁気テープ，VTR用磁気
テープ，磁気写真用デイスク，さらにコンピユー
タ用磁気テープなどが垂直磁化記録体として知ら
れている。 これらの垂直磁化記録体は、通常、プラスチツ
クフイルムや金属シート、さらに金属デイスクや
ガラスデイスクなどの基板の表面に、スパツタリ
ング法や真空蒸着法、さらに化学メツキ法などの
表面処理技術を用いて、膜面に対して垂直の磁気
異方性をもつたCo−Cr合金やCo−Ru合金、さら
にCo−Cr−RuなどのCo系合金で構成された磁気
記録媒体の薄膜を、直接、あるいは高透磁率をも
つたFe−Ni合金などの薄膜を介して形成するこ
とによつて製造されている。 しかし、上記の垂直磁化記録体は、すぐれた垂
直磁化特性をもつものの、Co系合金で構成され
た磁気記録媒体の薄膜が軟質であるために、磁気
記録時に、Mn−Zn系フエライトの単結晶や高密
度フエライト、さらにセンダストや非晶質金属な
どの硬質の材料で構成されている磁気ヘツドと摩
擦接触すると著しく摩耗し、かつ損傷を受け易い
ことから、実用に際しては、さらにその上に数
100〜数1000Å程度の膜厚で、アルミナ（Al2O3
やシリカ（SiO2）などで構成された非磁性硬質
薄膜を形成し、磁気ヘツドによる摩耗の抑制をは
かつているのが現状である。 しかしながら、この耐摩耗性にすぐれた従来垂
直磁化記録体においても、上記のように最上層が
Al2O3やSiO2などの非磁性薄膜で構成されている
ために、磁気記録に際しては、磁気が前記最上層
の膜厚分だけ離された状態，すなわちスペースロ
スのある状態で、下層の磁気記録媒体に磁気記録
がなされることになることから、その分だけ磁気
記録密度が低下することになる。 そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、耐摩耗性にすぐれ、かつ磁気記録密度の低下
のない垂直磁化記録体を開発すべく研究を行なつ
た結果、垂直磁化記録体における膜面に対して垂
直の磁気異方性をもつたCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜の上面に、通常のスパツタリ
ング法にて、ターゲツトとして、実質的に、組成
式：CoxFe3−xO4（ただしｘは0.01〜1.0の範囲内
の値をもつことが望ましい）を有するFe−Co系
フエライトを用い、このFe−Co系フエライトの
薄膜を形成すると、前記Fe−Co系フエライト薄
膜は、すぐれた耐摩耗性と磁気記録特性をもつこ
とから、この結果の最上層がFe−Co系フエライ
トの薄膜で構成された垂直磁化記録体において
は、磁気記録に際して、磁気ヘツドによる摩耗お
よび損傷がほとんど皆無となつた状態で、高密度
の磁気記録を行なうことが可能となるという知見
を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、膜面に対して垂直の磁気異方性をも
つたCo系合金で構成された磁気記録媒体の薄膜
の上面に、最上層として耐摩耗性および磁気記録
特性のすぐれたFe−Co系フエライトからなる薄
膜を形成してなる垂直磁化記録体に特徴を有する
ものである。 つぎに、この発明の垂直磁化記録体を実施例に
より具体的に説明する。 実施例 基板として、厚さ：50μmのポリエステルフイ
ルムを用意し、この基板を通常のマグネトロンス
パツタ装置に装着し、回転を加えながら、それぞ
れFe−Ni合金（Ni：50％含有），Co−Cr合金
（Cr：18％含有），アルミナ（Al2O3C），シリカ
（SiO2），および第１表に示される組成をもつた
各種のFe−Co系フエライトのターゲツトを用い、 (1) 到達真空度：2.0×10-6torr以下、 (2) Arガス圧：3.0×10-3torr、 (3) 基板とターゲツト間の距離：50mm、 (4) 放電パワーおよびスパツタ時間、 (a) Co−Cr合金およびFe−Ni合金ターゲツト
の場合：Dc360Wで400秒、 (b) Fe−Co系フエライト，Al2O3，および
SiO2ターゲツトの場合：RF100Wで600秒、 の条件でスパツタを行ない、それぞれ第１表に示
される平均層厚をもつた薄膜を上記基板表面に順
ぐれ、かつ膜面に対して垂直の磁気異方性をもつ
た磁気記録媒体の薄膜を具備した垂直磁化記録体
に関するものである。 一般に、高密度の磁気記録を可能とする垂直磁
化記録機能をもつた磁気デイスク，フロツピーデ
イスク，オーデイオ用磁気テープ，VTR用磁気
テープ，磁気写真用デイスク，さらにコンピユー
タ用磁気テープなどが垂直磁化記録体として知ら
れている。 これらの垂直磁化記録体は、通常、プラスチツ
クフイルムや金属シート、さらに金属デイスクや
ガラスデイスクなどの基板の表面に、スパツタリ
ング法や真空蒸着法、さらに化学メツキ法などの
表面処理技術を用いて、膜面に対して垂直の磁気
異方性をもつたCo−Cr合金やCo−Ru合金、さら
にCo−Cr−RuなどのCo系合金で構成された磁気
記録媒体の薄膜を、直接、あるいは高透磁率をも
つたFe−Ni合金などの薄膜を介して形成するこ
とによつて製造されている。 しかし、上記の垂直磁化記録体は、すぐれた垂
直磁化特性をもつものの、Co系合金で構成され
た磁気記録媒体の薄膜が軟質であるために、磁気
記録時に、Mn−Zn系フエライトの単結晶や高密
度フエライト、さらにセンダストや非晶質金属な
どの硬質の材料で構成されている磁気ヘツドと摩
擦接触すると著しく摩耗し、かつ損傷を受け易い
ことから、実用に際しては、さらにその上に数
100〜数1000Å程度の膜厚で、アルミナ（Al2O3
やシリカ（SiO2）などで構成された非磁性硬質
薄膜を形成し、磁気ヘツドによる摩耗の抑制をは
かつているのが現状である。 しかしながら、この耐摩耗性にすぐれた従来垂
直磁化記録体においても、上記のように最上層が
Al2O3やSiO2などの非磁性薄膜で構成されている
ために、磁気記録に際しては、磁気が前記最上層
の膜厚分だけ離された状態，すなわちスペースロ
スのある状態で、下層の磁気記録媒体に磁気記録
がなされることになることから、その分だけ磁気
記録密度が低下することになる。 そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、耐摩耗性にすぐれ、かつ磁気記録密度の低下
のない垂直磁化記録体を開発すべく研究を行なつ
た結果、垂直磁化記録体における膜面に対して垂
直の磁気異方性をもつたCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜の上面に、通常のスパツタリ
ング法にて、ターゲツトとして、実質的に、組成
式：CoxFe3−xO4（ただしｘは0.01〜1.0の範囲内
の値をもつことが望ましい）を有するFe−Co系
フエライトを用い、このFe−Co系フエライトの
薄膜を形成すると、前記Fe−Co系フエライト薄
膜は、すぐれた耐摩耗性と磁気記録特性をもつこ
とから、この結果の最上層がFe−Co系フエライ
トの薄膜で構成された垂直磁化記録体において
は、磁気記録に際して、磁気ヘツドによる摩耗お
よび損傷がほとんど皆無となつた状態で、高密度
の磁気記録を行なうことが可能となるという知見
を得たのである。 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、膜面に対して垂直の磁気異方性をも
つたCo系合金で構成された磁気記録媒体の薄膜
の上面に、最上層として耐摩耗性および磁気記録
特性のすぐれたFe−Co系フエライトからなる薄
膜を形成してなる垂直磁化記録体に特徴を有する
ものである。 つぎに、この発明の垂直磁化記録体を実施例に
より具体的に説明する。 実施例 基板として、厚さ：50μmのポリエステルフイ
ルムを用意し、この基板を通常のマグネトロンス
パツタ装置に装着し、回転を加えながら、それぞ
れFe−Ni合金（Ni：50％含有），Co−Cr合金
（Cr：18％含有），アルミナ（Al2O3C），シリカ
（SiO2），および第１表に示される組成をもつた
各種のFe−Co系フエライトのターゲツトを用い、 (1) 到達真空度：2.0×10-6torr以下、 (2) Arガス圧：3.0×10-3torr、 (3) 基板とターゲツト間の距離：50mm、 (4) 放電パワーおよびスパツタ時間、 (a) Co−Cr合金およびFe−Ni合金ターゲツト
の場合：Dc360Wで400秒、 (b) Fe−Co系フエライト，Al2O3，および
SiO2ターゲツトの場合：RF100Wで600秒、 の条件でスパツタを行ない、それぞれ第１表に示
される平均層厚をもつた薄膜を上記基板表面に順
【表】
【表】
次形成することによつて本発明垂直磁化記録体１
〜６および従来垂直磁化記録体１，２をそれぞれ
製造した。 ついで、この結果得られた各種の垂直磁化記録
体について、振動型磁気測定装置を用いて、異方
性磁界Hkと保磁力Hcを測定し、さらにこれをフ
ロツピーデイスクサイズに形成し、フエライトヘ
ツドを備えたデイスクドライブ装置を用いて走行
テストを行ない、耐摩耗性を評価する目的で、
100万パス経過後の再生電圧（Vm）の初期再生
電圧（Vi）に対する比、すなわちγ＝Vm／Vi
（劣化率）を測定し、かつ高密度磁気記録特性を
評価する目的で、記録密度を変化させて記録再生
を行ない、再生電圧が1KBPIの再生電圧の半分
になる記録密度（D50）を測定した。 さらに、スパツタ時間を２時間とする以外は同
じ条件でガラス基板上に上記各種のFe−Co系フ
エライト，Al2O3，およびSiO2の薄膜を形成し、
これらの形成した薄膜のヌープ硬度計による硬さ
を測定した。これらの測定結果を第１表に合せて
示した。 第１表に示される結果から、本発明垂直磁化記
録体１〜６は従来垂直磁化記録体１，２に比して
すぐれた耐摩耗性を有するばかりなく、より高密
度の磁気記録が可能であることが明らかである。 上述のように、この発明の垂直磁化記録体は、
その最上層を実質的にFe−Co系フエライトから
なる薄膜で構成することによつて、すぐれた耐摩
耗性が確保され、かつ高密度の磁気記録を可能と
したものである。
〜６および従来垂直磁化記録体１，２をそれぞれ
製造した。 ついで、この結果得られた各種の垂直磁化記録
体について、振動型磁気測定装置を用いて、異方
性磁界Hkと保磁力Hcを測定し、さらにこれをフ
ロツピーデイスクサイズに形成し、フエライトヘ
ツドを備えたデイスクドライブ装置を用いて走行
テストを行ない、耐摩耗性を評価する目的で、
100万パス経過後の再生電圧（Vm）の初期再生
電圧（Vi）に対する比、すなわちγ＝Vm／Vi
（劣化率）を測定し、かつ高密度磁気記録特性を
評価する目的で、記録密度を変化させて記録再生
を行ない、再生電圧が1KBPIの再生電圧の半分
になる記録密度（D50）を測定した。 さらに、スパツタ時間を２時間とする以外は同
じ条件でガラス基板上に上記各種のFe−Co系フ
エライト，Al2O3，およびSiO2の薄膜を形成し、
これらの形成した薄膜のヌープ硬度計による硬さ
を測定した。これらの測定結果を第１表に合せて
示した。 第１表に示される結果から、本発明垂直磁化記
録体１〜６は従来垂直磁化記録体１，２に比して
すぐれた耐摩耗性を有するばかりなく、より高密
度の磁気記録が可能であることが明らかである。 上述のように、この発明の垂直磁化記録体は、
その最上層を実質的にFe−Co系フエライトから
なる薄膜で構成することによつて、すぐれた耐摩
耗性が確保され、かつ高密度の磁気記録を可能と
したものである。
Claims (1)
- １ 表面薄膜が膜面に対して垂直の磁気異方性を
もつたCo系合金の磁気記録媒体で構成された垂
直磁化記録体において、前記表面薄膜の上に、さ
らに耐摩耗性および磁気記録特性のすぐれたFe
−Co系フエライトからなる薄膜を形成してなる
垂直磁化記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4688584A JPS60191428A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 垂直磁化記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4688584A JPS60191428A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 垂直磁化記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191428A JPS60191428A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0527169B2 true JPH0527169B2 (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=12759810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4688584A Granted JPS60191428A (ja) | 1984-03-12 | 1984-03-12 | 垂直磁化記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191428A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0461834A2 (en) * | 1990-06-11 | 1991-12-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | A magnetic recording medium and its manufacturing process |
-
1984
- 1984-03-12 JP JP4688584A patent/JPS60191428A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60191428A (ja) | 1985-09-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP3359706B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0750008A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0527169B2 (ja) | ||
| JP3625865B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP3582435B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS60160028A (ja) | 垂直磁化記録体 | |
| JP2002324313A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| US6749956B1 (en) | Magnetic recording medium | |
| JPS6313255B2 (ja) | ||
| JP2508639B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| Abarra et al. | Low noise properties and thermal stability of Co-based thin film media for high density longitudinal recording | |
| JP2000339657A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0831639A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2906480B2 (ja) | 磁気記録体 | |
| JP2749046B2 (ja) | 面内記録用磁気記録媒体およびそれを用いた面内記録用磁気記録装置 | |
| JP2511997B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61199233A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2715783B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| KR890004255B1 (ko) | 자기 기록 매체 | |
| JPS61199236A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH08138228A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録装置 | |
| JP3013598B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS60191429A (ja) | 垂直磁化記録体 | |
| US20020155322A1 (en) | Magnetic recording medium |