JPS6313255B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6313255B2 JPS6313255B2 JP9609484A JP9609484A JPS6313255B2 JP S6313255 B2 JPS6313255 B2 JP S6313255B2 JP 9609484 A JP9609484 A JP 9609484A JP 9609484 A JP9609484 A JP 9609484A JP S6313255 B2 JPS6313255 B2 JP S6313255B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrite
- magnetic
- thin film
- perpendicular magnetization
- recording
- Prior art date
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- Expired
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明は、耐摩耗性および磁気記録特性にす
ぐれ、かつ膜面に対して垂直の磁気異方性をもつ
た磁気記録媒体の薄膜を具備した垂直磁化記録体
にして、高密度の磁気記録を可能とする垂直磁化
記録機能をもつた磁気デイスク、フロツピーデイ
スク、オーデイオ用磁気テープ、VTR用磁気テ
ープ、磁気写真用デイスク、さらにコンピユータ
用磁気テープなどの垂直磁化記録体に関するもの
である。 〔従来技術およびその問題点〕 これらの垂直磁化記録体は、通常、プラスチツ
クフイルムや金属シート、さらに金属デイスクや
ガラスデイスクなどの基板の表面に、スパツタリ
ング法や真空蒸着法、さらに化学メツキ法などの
表面処理技術を用いて、膜面に対して垂直の磁気
異方性をもつたCo−Cr合金やCo−Ru合金、さら
にCo−Cr−Ru合金などのCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜を、直接、あるいは高透磁率
をもつたFe−Ni合金などの薄膜を介して形成す
ることによつて製造されている。しかし、上記の
垂直磁化記録体は、すぐれた垂直磁化特性をもつ
ものの、Co系合金で構成された磁気記録媒体の
薄膜が軟質であるために、磁気記録時に、Mn−
Zn系フエライトの単結晶や高密度フエライト、
さらにセンダストや非晶質金属などの硬質の材料
で構成されている磁気ヘツドと摩擦接触すると著
しく摩耗し、かつ損傷を受け易いことから、実用
に際しては、さらにその上に数100〜数1000Å程
度の膜厚で、アルミナ（Al2O3）やシリカ
（SiO2）などで構成された非磁性硬質薄膜を形成
し、磁気ヘツドによる摩耗の抑制をはかつている
のが現状である。 しかしながら、この耐摩耗性にすぐれた従来垂
直磁化記録体においても、上記のように最上層が
Al2O3やSiO2などの非磁性薄膜で構成されている
ために、磁気記録に際しては、磁気が前記最上層
の膜厚分だけ離された状態、すなわちスペースロ
スのある状態で、下層の磁気記録媒体に磁気記録
がなされることになることから、その分だけ磁気
記録密度が低下することになる。 〔研究の目的および研究に基づく知見事項〕 そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、耐摩耗性にすぐれ、かつ磁気記録密度の低下
のない垂直磁化記録体を開発すべく研究を行なつ
た結果、垂直磁化記録体における膜面に対して垂
直の磁気異方性をもつたCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜の上面に、通常のスパツタリ
ング法にて、ターゲツトとして、Niフエライト、
Ni−Znフエライト、あるいはMn−Znフエライ
トを用い、このフエライトの薄膜を形成すると、
前記フエライト薄膜は、すぐれた耐摩耗性と磁気
特性をもつことから、この結果の最上層がNiフ
エライト、Ni−Znフエライト、あるいはMn−
Znフエライトの薄膜で構成された垂直磁化記録
体においては、磁気記録に際して、磁気ヘツドに
よる摩耗および損傷がほとんど皆無となつた状態
で、高密度の磁気記録を行なうことが可能となる
という知見を得たのである。 〔発明の構成要件〕 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、膜面に対して垂直の磁気異方性をも
つたCo系合金で構成された磁気記録媒体の薄膜
の上面に、最上層として耐摩耗性および磁気特性
のすぐれたNiフエライト、Ni−Znフエライト、
あるいはMn−Znフエライトからなる薄膜を形成
してなる垂直磁化記録体に特徴を有するものであ
る。 〔実施例〕 つぎに、この発明の垂直磁化記録体を実施例に
より具体的に説明する。 基板として、厚さ：50μｍのポリエステルフイ
ルムを用意し、この基板を通常のマグネトロンス
パツタ装置に装着し、回転を加えながら、それぞ
れFe−Ni合金（Ni：50％含有）、Co−Cr合金
（Cr：18％含有）、アルミナ（Al2O3）、シリカ
（SiO2）、Niフエライト、Ni−Znフエライト、
Mn−Znフエライトのターゲツトを用い、 (1) 到達真空度：2.0×10-6torr以下、 (2) Arガス圧：3.0×10-3torr、 (3) 基板とターゲツト間の距離：50mm (4) 放電パワーおよびスパツタ時間、 (a) Co−Cr合金およびFe−Ni合金ターゲツト
の場合：DC360Wで400秒、 (b) Niフエライト、Ni−Znフエライト、Mn
−Znフエライト、Al2O3、およびSiO2ターゲ
ツトの場合：RF100Wで600秒、 の条件でスパツタを行ない、それぞれ第１表に示
される平均層厚をもつた薄膜を上記基板表面に順
次形成することによつて本発明垂直磁化記録体１
〜３および従来垂直磁化記録体１，２をそれぞれ
製造した。 ついで、この結果得られた各種の垂直磁化記録
体について、振動型磁気測定装置を用いて、異方
性磁界（Hk）と保磁力（Hc）を測定し、さらに
これをフロツピーデイスクサイズに形成し、フエ
ライトヘツドを備えたデイスクドライブ装置を用
いて走行テストを行ない、耐摩耗性を評価する目
的で、100万バス経過後の再生電圧（Vm）の初
期再生電圧（Vi）に対する比、すなわちｒ＝
Vm／Vi（劣化率）を測定し、かつ高密度磁気記
録特性を評価する目的で、記録密度を変化
ぐれ、かつ膜面に対して垂直の磁気異方性をもつ
た磁気記録媒体の薄膜を具備した垂直磁化記録体
にして、高密度の磁気記録を可能とする垂直磁化
記録機能をもつた磁気デイスク、フロツピーデイ
スク、オーデイオ用磁気テープ、VTR用磁気テ
ープ、磁気写真用デイスク、さらにコンピユータ
用磁気テープなどの垂直磁化記録体に関するもの
である。 〔従来技術およびその問題点〕 これらの垂直磁化記録体は、通常、プラスチツ
クフイルムや金属シート、さらに金属デイスクや
ガラスデイスクなどの基板の表面に、スパツタリ
ング法や真空蒸着法、さらに化学メツキ法などの
表面処理技術を用いて、膜面に対して垂直の磁気
異方性をもつたCo−Cr合金やCo−Ru合金、さら
にCo−Cr−Ru合金などのCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜を、直接、あるいは高透磁率
をもつたFe−Ni合金などの薄膜を介して形成す
ることによつて製造されている。しかし、上記の
垂直磁化記録体は、すぐれた垂直磁化特性をもつ
ものの、Co系合金で構成された磁気記録媒体の
薄膜が軟質であるために、磁気記録時に、Mn−
Zn系フエライトの単結晶や高密度フエライト、
さらにセンダストや非晶質金属などの硬質の材料
で構成されている磁気ヘツドと摩擦接触すると著
しく摩耗し、かつ損傷を受け易いことから、実用
に際しては、さらにその上に数100〜数1000Å程
度の膜厚で、アルミナ（Al2O3）やシリカ
（SiO2）などで構成された非磁性硬質薄膜を形成
し、磁気ヘツドによる摩耗の抑制をはかつている
のが現状である。 しかしながら、この耐摩耗性にすぐれた従来垂
直磁化記録体においても、上記のように最上層が
Al2O3やSiO2などの非磁性薄膜で構成されている
ために、磁気記録に際しては、磁気が前記最上層
の膜厚分だけ離された状態、すなわちスペースロ
スのある状態で、下層の磁気記録媒体に磁気記録
がなされることになることから、その分だけ磁気
記録密度が低下することになる。 〔研究の目的および研究に基づく知見事項〕 そこで、本発明者等は、上述のような観点か
ら、耐摩耗性にすぐれ、かつ磁気記録密度の低下
のない垂直磁化記録体を開発すべく研究を行なつ
た結果、垂直磁化記録体における膜面に対して垂
直の磁気異方性をもつたCo系合金で構成された
磁気記録媒体の薄膜の上面に、通常のスパツタリ
ング法にて、ターゲツトとして、Niフエライト、
Ni−Znフエライト、あるいはMn−Znフエライ
トを用い、このフエライトの薄膜を形成すると、
前記フエライト薄膜は、すぐれた耐摩耗性と磁気
特性をもつことから、この結果の最上層がNiフ
エライト、Ni−Znフエライト、あるいはMn−
Znフエライトの薄膜で構成された垂直磁化記録
体においては、磁気記録に際して、磁気ヘツドに
よる摩耗および損傷がほとんど皆無となつた状態
で、高密度の磁気記録を行なうことが可能となる
という知見を得たのである。 〔発明の構成要件〕 この発明は、上記知見にもとづいてなされたも
のであつて、膜面に対して垂直の磁気異方性をも
つたCo系合金で構成された磁気記録媒体の薄膜
の上面に、最上層として耐摩耗性および磁気特性
のすぐれたNiフエライト、Ni−Znフエライト、
あるいはMn−Znフエライトからなる薄膜を形成
してなる垂直磁化記録体に特徴を有するものであ
る。 〔実施例〕 つぎに、この発明の垂直磁化記録体を実施例に
より具体的に説明する。 基板として、厚さ：50μｍのポリエステルフイ
ルムを用意し、この基板を通常のマグネトロンス
パツタ装置に装着し、回転を加えながら、それぞ
れFe−Ni合金（Ni：50％含有）、Co−Cr合金
（Cr：18％含有）、アルミナ（Al2O3）、シリカ
（SiO2）、Niフエライト、Ni−Znフエライト、
Mn−Znフエライトのターゲツトを用い、 (1) 到達真空度：2.0×10-6torr以下、 (2) Arガス圧：3.0×10-3torr、 (3) 基板とターゲツト間の距離：50mm (4) 放電パワーおよびスパツタ時間、 (a) Co−Cr合金およびFe−Ni合金ターゲツト
の場合：DC360Wで400秒、 (b) Niフエライト、Ni−Znフエライト、Mn
−Znフエライト、Al2O3、およびSiO2ターゲ
ツトの場合：RF100Wで600秒、 の条件でスパツタを行ない、それぞれ第１表に示
される平均層厚をもつた薄膜を上記基板表面に順
次形成することによつて本発明垂直磁化記録体１
〜３および従来垂直磁化記録体１，２をそれぞれ
製造した。 ついで、この結果得られた各種の垂直磁化記録
体について、振動型磁気測定装置を用いて、異方
性磁界（Hk）と保磁力（Hc）を測定し、さらに
これをフロツピーデイスクサイズに形成し、フエ
ライトヘツドを備えたデイスクドライブ装置を用
いて走行テストを行ない、耐摩耗性を評価する目
的で、100万バス経過後の再生電圧（Vm）の初
期再生電圧（Vi）に対する比、すなわちｒ＝
Vm／Vi（劣化率）を測定し、かつ高密度磁気記
録特性を評価する目的で、記録密度を変化
上述のように、この発明の垂直磁化記録体は、
その最上層を実質的にNiフエライト、Ni−Znフ
エライトあるいはMn−Znフエライトからなる薄
膜で構成することによつて、すぐれた耐摩耗性が
確保され、かつ高密度の磁気記録を可能としたも
のである。
その最上層を実質的にNiフエライト、Ni−Znフ
エライトあるいはMn−Znフエライトからなる薄
膜で構成することによつて、すぐれた耐摩耗性が
確保され、かつ高密度の磁気記録を可能としたも
のである。
Claims (1)
- １ 表面薄膜が膜面に対して垂直の磁気異方性を
もつたCo系合金の磁気記録媒体で構成された垂
直磁化記録媒体において、前記表面薄膜の上に、
さらに耐摩耗性および磁気特性のすぐれたNiフ
エライト、Ni−Znフエライト、あるいはMn−
Znフエライトからなる薄膜を形成してなる垂直
磁化記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9609484A JPS60239917A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 垂直磁化記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9609484A JPS60239917A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 垂直磁化記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60239917A JPS60239917A (ja) | 1985-11-28 |
| JPS6313255B2 true JPS6313255B2 (ja) | 1988-03-24 |
Family
ID=14155804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9609484A Granted JPS60239917A (ja) | 1984-05-14 | 1984-05-14 | 垂直磁化記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60239917A (ja) |
-
1984
- 1984-05-14 JP JP9609484A patent/JPS60239917A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60239917A (ja) | 1985-11-28 |
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