JPH0527181A - 落射暗視野照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、落射暗視野観察において、より微細
な物を高精度に観察することが可能な落射暗視野照明装
置を提供する。 【構成】落射暗視野照明装置は、暗視野リング５０及び
遮光筒５６を備える。暗視野リング５０は、照明光の中
心部をカットする絞り５２と、この絞り５２を落射投光
管又はキューブに固定させるため、略１２０°の角度間
隔で配置され、且つ、円弧形状の３本のステー５４ａ、
５４ｂ、５４ｃと、を備えている。これらステーは、そ
のＸ部分の曲率（Ｒ）が、夫々、Ｒ＝１／２以上に設定
されている。また、遮光筒５６は、この遮光筒５６を鏡
体、レボルバーを一体的に支持する部材及び対物レンズ
に固定させるため、略１２０°の角度間隔で配置され、
且つ、円弧形状の３本のステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃ
を備えている。これらステーも、そのＹ部分の曲率
（Ｒ）が、夫々、Ｒ＝１／２以上に設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、システム顕微鏡の落射
暗視野観察に用いる照明装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の照明装置には、種々の観
察法に対応するユニバーサル落射投光管が用いられてい
る。このユニバーサル落射投光管は、主に、明視野観
察、暗視野観察、蛍光観察、偏光観察、ノマルスキー観
察等の観察が可能である。ここで、無限遠補正された光
学顕微鏡に用いられるユニバーサル落射投光管の構成及
び落射暗視野観察の原理を図７を参照しつつ説明する。

【０００３】図７に示すように、ランプハウス１に内蔵
されたフィラメント２から発光した照明光は、コレクタ
レンズ３で平行光束に規制され、鏡体１９に支持された
落射投光管１０に導光される。この落射投光管１０に導
光された照明光は、第１の照明レンズ４で集光され、開
口絞り５、視野絞り６、第２の照明レンズ７を経て、再
び、平行光束に規制され、暗視野リング８に照射され
る。この暗視野リング８に照射された照明光は、リング
状平行光束に変換され、キューブ１１に支持されたリン
グ状穴あきミラー９に照射される。リング状穴あきミラ
ー９に照射された照明光は、このリング状穴あきミラー
９で反射され、レボルバー２０に取付けられた対物レン
ズ１２に入射される。対物レンズ１２に入射された照明
光は、対物レンズ１２に内蔵された円環状ミラー１３又
は円環状レンズによって、対物面１４に集光される。こ
の対物面１４から反射される散乱光又は回折光は、対物
レンズ１２に内蔵されたレンズ１５によって、平行光束
に規制され、リング状穴あきミラー９を通過して結像レ
ンズ１６に照射される。この結像レンズ１６で結像され
た像を鏡筒１７を介して観察することによって、物体面
１４の落射暗視野観察が行われる。

【０００４】ところで、キューブ１１とは、ミラー及び
フィルタが内蔵可能であり、落射投光管１０に対して着
脱可能に構成されている。このようなキューブ１１は、
観察の種類によって、複数のキューブ１１を落射投光管
１０内で切り換えて使用されている。また、暗視野リン
グ８の構成に付いて、図８を参照しつつ説明する。

【０００５】図８に示すように、暗視野リング８は、一
般的に、平行光束の中心部をカットする絞り２１と、こ
の絞り２１を落射投光管１０又はキューブ１１（図７参
照）に固定させるため、略１２０°の角度間隔で配置さ
れた３本の支持部材、即ちステー２２ａ、２２ｂ、２２
ｃと、を備えている。

【０００６】また、観察光路内へのリング状照明光の混
入を防止するため、遮光筒１８を備えており、この遮光
筒１８は、一般的なシステム顕微鏡において、図７に示
すように、３つの遮光筒１８ａ、１８ｂ、１８ｃにより
構成されている。これら遮光筒１８ａ、１８ｂ、１８ｃ
のうち、鏡体１９には、遮光筒１８ａが配置され、レボ
ルバー２０を一体的に支持する部材２０ａには、遮光筒
１８ｂが配置され、対物レンズ１２には、遮光筒１８ｃ
が配置されている。図９には、上述した遮光筒１８の断
面が示されている。

【０００７】図９に示すように、遮光筒１８は、上述し
た暗視野リング８と同様に、この遮光筒１８を落射投光
管１０、鏡体１９、キューブ１１、レボルバー２０、部
材２０ａ及び対物レンズ１２に固定させるため、略１２
０°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステ
ー３１ａ、３１ｂ、３１ｃを備えている。

【０００８】また、近年、落射暗視野観察において、よ
り大きい照度でムラの少ない照明を行うため、光ファイ
バー束を備えた落射暗視野観察の方法が特願平３−７７
８８１号の明細書中に開示されている。この方法は、図
１１に示すように、リング状光ファイバ４２をレボルバ
ー２０に対して着脱可能に形成し、その出射光を暗視野
照明光として対物レンズ１２に供給するように構成され
ている。また、この場合も、照明光と観察光とを分離さ
せるために、上述と同様、３本のステー３１ａ、３１
ｂ、３１ｃでレボルバー２０に固定された遮光筒１８が
設けられている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】図８に示されている３
本のステー２２ａ、２２ｂ、２２ｃは、夫々、例えば、
ステー２２ａのように、その両端部Ａ、Ｃは曲率して形
成され、これら両端部Ａ、Ｃを結ぶ中央部Ｂは、直線状
に形成されている。また、図９に示されている３本のス
テー３１ａ、３１ｂ、３１ｃも同様に、夫々、例えば、
ステー３１ａのように、その両端部Ｄ、Ｆは曲率して形
成され、これら両端部Ｄ、Ｆを結ぶ中央部Ｅは、直線状
に形成されている。この結果、暗視野リング８又は遮光
筒１８を固定する３本のステーは、合計６箇所の直線部
分が存在することになる。この直線部分に照明光が照射
されると、この部分から回折光が発生される。この回折
光とステーの影とによって、これらステーを通過した照
明光には、明／暗の縞が生じる。そして、この縞の影響
が暗視野リング８及び遮光筒１８の数だけ繰り返された
照明光が、物体面１４に集光される。この状態で、落射
暗視野観察の顕微鏡写真を撮ると、特に、高倍率観察の
場合、図１０に示すように、シリコンウエハ２０４のパ
ターン２０１のエッジ２０２の部分に、ケバ２０３のよ
うなものが観察される。この結果、観察像又は写真か
ら、より微細な物を高精度に観察することが困難になる
という問題が生じる。

【００１０】また、特願平３−７７８８１号の明細書中
に開示されたような方法において、遮光筒１８を、上述
したような３本のステー３１ａ、３１ｂ、３１ｃで固定
した場合にも、同様に、より微細な物を高精度に観察す
ることが困難になるという問題が生じる。

【００１１】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされ、その目的は、落射暗視野観察において、よ
り微細な物を高精度に観察することが可能な落射暗視野
照明装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明の落射暗視野照明装置は、システム顕
微鏡の落射暗視野観察に用いられ、

【００１３】前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リ
ング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支
持可能で、且つ、円弧形状の支持部材を備えていること
を特徴とする。また、本発明は、システム顕微鏡の落射
暗視野観察に用いられ、前記システム顕微鏡に内蔵可能
な遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支持可能
な透明な支持部材を備えていることを特徴とする。ま
た、本発明は、システム顕微鏡の落射暗視野観察に用い
られ、

【００１４】前記システム顕微鏡の構成であるレボルバ
ーに着脱可能に装着され、且つ、光ファイバ束が光学的
に接続された部材に、前記システム顕微鏡に内蔵可能な
遮光筒を支持する支持手段を設けたことを特徴とする。

【００１５】

【作用】請求項１の発明において、円弧形状の支持部材
を通った照明光は、明／暗の差が少ない状態で、システ
ム顕微鏡内を導光される。この結果、より微細な物に対
して、鮮明な落射暗視野観察が行われる。

【００１６】また、請求項２の発明において、透明な部
材を透過した照明光は、支持部材の影と回折光との影響
を受けること無く、システム顕微鏡内を導光される。こ
の結果、より微細な物に対して、鮮明な落射暗視野観察
が行われる。また、請求項３の発明において、支持部材
の影と回折光との影響を受けること無く、より微細な物
に対して、鮮明な落射暗視野観察が行われる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係る落射暗視
野照明装置について、図１及び図２を参照して説明す
る。図２には、本実施例の落射暗視野照明装置が設けら
れたシステム顕微鏡の主要な構成が示されている。

【００１８】図２に示すように、ランプハウス６０に内
蔵されたフィラメント６２から発光された照明光は、コ
レクタレンズ６３で平行光束に規制され、鏡体６９に支
持された落射投光管６８に導光される。この落射投光管
６８に導光された照明光は、第１の照明レンズ６４で集
光され、開口絞り６５、視野絞り６６、第２の照明レン
ズ６７を経て、再び、平行光束に規制され、キューブ７
０に支持された暗視野リング５０に照射される。この暗
視野リング５０に照射された照明光は、リング状平行光
束に変換され、キューブ７０に支持されたリング状穴あ
きミラー７１に照射される。リング状穴あきミラー７１
に照射された照明光は、このリング状穴あきミラー７１
で反射され、レボルバー７２に、着脱自在に取付けられ
た対物レンズ７３に入射される。対物レンズ７３に入射
された照明光は、対物レンズ７３に内蔵された円環状ミ
ラー７４又は円環状レンズによって、ステージ７９上の
対物面７５に集光される。この対物面７５から反射され
る散乱光又は回折光は、対物レンズ７３に内蔵されたレ
ンズ７６によって、平行光束に規制されて観察光路内を
進行する。そして、リング状穴あきミラー７１を通過し
て結像レンズ７７に照射される。この結像レンズ７７で
結像された像を鏡筒７８を介して観察することによっ
て、物体面７５の落射暗視野観察が行われる。なお、キ
ューブ７０とは、ミラー及びフィルタが内蔵可能であ
り、落射投光管６８に対して着脱可能に構成されてい
る。このようなキューブ７０は、観察の種類によって、
複数のキューブ７０を落射投光管６８内で切り換えて使
用されている。

【００１９】図１の（ａ）には、本実施例の落射暗視野
照明装置に設けられた暗視野リング５０の断面が示され
ている。この暗視野リング５０は、照射された照明光の
中心部をカットする絞り５２と、この絞り５２を落射投
光管６８又はキューブ７０に固定させるため、略１２０
°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステー
５４ａ、５４ｂ、５４ｃと、を備えている。これらステ
ー５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、夫々、円弧形状を有して
いる。好ましくは、各ステー５４ａ、５４ｂ、５４ｃの
Ｘ部分の曲率（Ｒ）を、暗視野リング５０と遮光筒５６
とで囲まれた照明光路の外周の曲率より小さく、且つ、
この照明光路の幅の１／２Ｒ以上に設定する。

【００２０】また、図１の（ｂ）には、上述した落射暗
視野照明装置に設けられ、観察光路内へのリング状照明
光の混入を防止する遮光筒５６の断面が示されている。
この遮光筒５６は、３つの遮光筒５６ａ、５６ｂ、５６
ｃを備えている。これら遮光筒５６ａ、５６ｂ、５６ｃ
のうち、鏡体６９には遮光筒５６ａが、また、レボルバ
ー７２を一体的に支持する部材７２ａには遮光筒５６ｂ
が、そして、対物レンズ７３には、遮光筒５６ｃが配置
されている。

【００２１】また、図１の（ｂ）には、上述した遮光筒
５６を鏡体６９、レボルバー７２を一体的に支持する部
材７２ａ及び対物レンズ７３に固定させるため、略１２
０°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステ
ー５８ａ、５８ｂ、５８ｃの断面が示されている。これ
らステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃも、夫々、上述したス
テーと同様に、円弧形状を有している。好ましくは、各
ステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃのＹ部分の曲率（Ｒ）
を、遮光筒５６の周囲に形成された照明光路の外周の曲
率より小さく、且つ、この照明光路の幅の１／２Ｒ以上
に設定する。

【００２２】このように、本実施例の落射暗視野照明装
置では、暗視野リング５０のステー５４ａ、５４ｂ、５
４ｃ及び遮光筒５６のステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃ
が、互いに同一形状、且つ、円弧形状に加工されてい
る。このため、これらステーで生じる回折効果が弱めら
れ、明／暗の差の少ない照明光が、落射暗視野照明とし
て対物レンズ７３に供給される。この結果、観察像又は
写真から、より微細な物に対して、高精度な落射暗視野
観察を行うことができる。

【００２３】次に、本発明の第２の実施例に係る落射暗
視野照明装置について、図３及び図４を参照して説明す
る。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一
の構成には、同一符号を付して、その説明を省略する。
図３には、本実施例の落射暗視野照明装置が設けられた
システム顕微鏡の主要な構成が示されている。

【００２４】図３に示すように、鏡体６９には、暗視野
照明光の光束径よりも大きい径の第１の嵌合溝８０が設
けられている。この第１の嵌合溝８０には、外径が第１
の嵌合溝８０と同径の第１の環状透明部材（例えば、ガ
ラス又はプラスチック）８２が嵌合されている。また、
レボルバー７２を一体的に支持する部材７２ａには、第
２の嵌合溝８４が設けられている。この第２の嵌合溝８
４内にも、第２の環状透明部材８６が嵌合されている。
また、対物レンズ７３には、暗視野照明光の光束径より
も大きい径の第３の嵌合溝８８が設けられている。この
第３の嵌合溝８８には、外径が第３の嵌合溝８８と同径
の第３の環状透明部材９０が嵌合されている。

【００２５】図４には、第１の環状透明部材８２の平面
が示されている。なお、第２及び第３の環状透明部材８
６、９０については、第１の環状透明部材８２と同様で
あるので、その説明を省略する。

【００２６】図４に示すように、第１の環状透明部材８
２の中心部には、物体面７５から反射された観察光が通
過可能な円形穴９２が形成されている。なお、フィラメ
ント６２（図２参照）から発光されたリング状照明光
は、第１の環状透明部材８２の環状部分を透過するよう
に構成されている。

【００２７】円形穴９２の直径は、上述した遮光筒５６
ａの外径と同径である。遮光筒５６ａは、円形穴９２に
嵌合されて、鏡体６９内に固定されている。また、遮光
筒５６ｂ、５６ｃも、同様に、第２及び第３の環状透明
部材８６、９０に嵌合されて、レボルバー７２を一体的
に支持する部材７２ａ及び対物レンズ７３に固定されて
いる。

【００２８】本実施例の落射暗視野照明装置は、第１の
実施例で説明したようなステー５４ａ〜５４ｃ、５８ａ
〜５８ｃを必要としないため、これらステーから生じる
影及び回折効果の影響を全く受けず、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光が、対物レンズ７
３に供給される。この結果、観察像又は写真から、より
微細な物に対して、極めて高精度な落射暗視野観察を行
うことができる。また、第１ないし第３の環状透明部材
８２、８６、９０は、夫々、必ずしも環状に限定される
ことはなく、透明部材であればいかなる形状の部材でも
よい。

【００２９】次に、本発明の第３の実施例に係る落射暗
視野照明装置について、図５及び図６を参照して説明す
る。なお、本実施例の説明に際し、第１の実施例と同一
の構成には、同一符号を付して、その説明を省略する。
図５には、本実施例の落射暗視野照明装置が設けられた
システム顕微鏡の主要な構成が示されている。

【００３０】図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、レボ
ルバー７２には、物体面７５から反射された観察光が通
過可能な観察穴９４を有した固定部材９６が着脱自在に
装着されている。この固定部材９６には、落射暗視野照
明光を導光するリング状光ファイバ９８が、光学的に接
続されている。このような固定部材９６の観察穴９４の
直径は、観察光路内へのリング状照明光の混入を防止す
る遮光筒２００の外径と同径に構成されている。この遮
光筒２００は、その一端側の縁部が観察穴９４内に嵌合
されている。また、対物レンズ７３には、第２の実施例
と同様に、暗視野照明光の光束径よりも大きい径の嵌合
溝１０２が設けられている。この嵌合溝１０２には、外
径が嵌合溝１０２と同径の環状透明部材１０４が嵌合さ
れている。この環状透明部材１０４の中心部には、物体
面７５から反射された観察光が通過可能な円形穴（図示
しない）が形成されている。この円形穴の直径は、遮光
筒１００の外径と同径であり、遮光筒１００は、円形穴
に嵌合されている。

【００３１】図６には、本実施例の落射暗視野照明装置
を用いて落射暗視野観察を行ったとき、観察された観察
像が示されている。この図からも明らかなように、従来
の観察像（図１０参照）に比べて、パターン２０１のエ
ッジ２０２の部分に発生するケバ２０３が少なくなって
いることが分かる。

【００３２】本実施例の落射暗視野照明装置は、遮光筒
１００、２００をレボルバー７２及び対物レンズ７３に
固定するステーを必要としないため、ステーから生じる
影及び回折効果の影響を全く受けず、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光が、対物レンズ７
３に供給される。また、透明部材１０４の数も１つで足
りるため、装置の部品点数が減少し、製造コストも減少
する。更に、このように部品点数が少ないため、暗視野
照明の照度低下が防止される。この結果、観察像又は写
真から、より微細な物に対して、極めて高精度な落射暗
視野観察を行うことができる。また、本実施例の構成で
ある環状透明部材１０４も、必ずしも環状に限定される
ことはなく、透明部材であればいかなる形状の部材でも
よい。

【００３３】なお、本実施例は、上述した構成に限定さ
れることはなく、例えば、光ファイバ９８を、レボルバ
ー７２を一体的に支持する部材７２ａに対して着脱可能
に構成してもよい。

【００３４】

【発明の効果】本発明の落射暗視野照明装置には、暗視
野リング及び遮光筒を支持する円弧形状の支持部材が設
けられている。このように支持部材を円弧形状に形成し
たことによって、この支持部材で生じる回折効果が弱め
られ、明／暗の差の少ない落射暗視野照明光を対物レン
ズに供給させることができる。この結果、落射暗視野観
察において、より微細な物を高精度に観察することがで
きる。

【００３５】また、遮光筒を支持する支持部材を透明部
材としたことによって、回折効果の影響を全く受けるこ
と無く、且つ、明／暗の差の生じない理想的な落射暗視
野照明光を対物レンズに供給させることができる。この
結果、落射暗視野観察において、より微細な物を高精度
に観察することができる。

【００３６】照明光を出射する光ファイバが接続された
部材に、遮光筒を支持する支持手段を設けたことによっ
て、遮光筒を支持する部品点数が減少できると共に、回
折効果の影響を全く受けること無く、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光を対物レンズに供
給させることができる。この結果、落射暗視野観察にお
いて、より微細な物を高精度に観察することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る落射暗視野照明装
置の構成の断面図を示しており、（ａ）は暗視野リング
の拡大断面図、（ｂ）は遮光筒の拡大断面図。

【図２】本発明の第１の実施例に係る落射暗視野照明装
置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成を概略的に
示す部分断面図。

【図３】本発明の第２の実施例に係る落射暗視野照明装
置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成を概略的に
示す部分拡大断面図。

【図４】図３の落射暗視野照明装置に設けられた環状透
明部材の拡大平面図。

【図５】（ａ）は、本発明の第３の実施例に係る落射暗
視野照明装置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成
を概略的に示す部分拡大断面図、（ｂ）は、（ａ）に示
す対物レンズの部分を拡大して示す部分拡大断面図。

【図６】図５のシステム顕微鏡を用いて落射暗視野観察
を行ったとき、観察された観察像の拡大平面図。

【図７】従来の落射暗視野照明装置が設けられたシステ
ム顕微鏡の主要な構成を概略的に示す部分断面図。

【図８】図７の落射暗視野照明装置に設けられた暗視野
リングの構成を示す拡大断面図。

【図９】図７の落射暗視野照明装置に設けられた遮光
筒、及び、この遮光筒を支持するステーの拡大断面図。

【図１０】従来の落射暗視野照明装置が設けられたシス
テム顕微鏡を用いて落射暗視野観察を行ったとき、観察
された観察像の拡大平面図。

【図１１】（ａ）は、光ファイバを有する従来の落射暗
視野照明装置が設けられたシステム顕微鏡の主要な構成
を概略的に示す部分拡大断面図、（ｂ）は、（ａ）に示
す対物レンズの部分を拡大して示す部分拡大断面図。

【符号の説明】

５０…暗視野リング、５２…絞り、５６…遮光筒、５４
ａ、５４ｂ、５４ｃ、５８ａ、５８ｂ、５８ｃ…ステ
ー。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成４年３月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】また、近年、落射暗視野観察において、よ
り大きい照度でムラの少ない照明を行うため、光ファイ
バー束を備えた落射暗視野観察の方法が特願平３−７７
８８１号の明細書中に開示されている。この方法は、図
１１に示すように、リング状光ファイバ４２をレボルバ
ー２０に対して着脱可能に形成し、その出射光を暗視野
照明光として対物レンズ１２に供給するように構成され
ている。また、この場合も、照明光と観察光とを分離さ
せるために、上述と同様、３本のステー３１ａ、３１
ｂ、３１ｃでレボルバー２０に固定された遮光筒１８ｄ
が設けられている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リ
ング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支
持可能で、且つ、円弧形状の支持部材を備えていること
を特徴とする。また、本発明は、システム顕微鏡の落射
暗視野観察に用いられ、前記システム顕微鏡に内蔵可能
な暗視野リング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所
定位置に支持可能な透明な支持部材を備えていることを
特徴とする。また、本発明は、システム顕微鏡の落射暗
視野観察に用いられ、

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】図１の（ａ）には、本実施例の落射暗視野
照明装置に設けられた暗視野リング５０の断面が示され
ている。この暗視野リング５０は、照射された照明光の
中心部をカットする絞り５２と、この絞り５２を落射投
光管６８又はキューブ７０に固定させるため、略１２０
°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステー
５４ａ、５４ｂ、５４ｃと、を備えている。これらステ
ー５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、夫々、円弧形状を有して
いる。好ましくは、各ステー５４ａ、５４ｂ、５４ｃの
Ｘ部分の曲率（Ｒ）を、暗視野リング５０と遮光筒５６
とで囲まれた照明光路の幅の１／２Ｒ以上に設定する。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２１】また、図１の（ｂ）には、上述した遮光筒
５６を鏡体６９、レボルバー７２を一体的に支持する部
材７２ａ及び対物レンズ７３に固定させるため、略１２
０°の角度間隔で配置された３本の支持部材、即ちステ
ー５８ａ、５８ｂ、５８ｃの断面が示されている。これ
らステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃも、夫々、上述したス
テーと同様に、円弧形状を有している。好ましくは、各
ステー５８ａ、５８ｂ、５８ｃのＹ部分の曲率（Ｒ）
を、遮光筒５６の周囲に形成された照明光路の幅の１／
２Ｒ以上に設定する。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２８】本実施例の落射暗視野照明装置は、第１の
実施例で説明したようなステー５４ａ〜５４ｃ、５８ａ
〜５８ｃを必要としないため、これらステーから生じる
影及び回折効果の影響を全く受けず、且つ、明／暗の差
の生じない理想的な落射暗視野照明光が、対物レンズ７
３に供給される。この結果、観察像又は写真から、より
微細な物に対して、極めて高精度な落射暗視野観察を行
うことができる。また、第１ないし第３の環状透明部材
８２、８６、９０は、夫々、必ずしも環状に限定される
ことはなく、透明部材であればいかなる形状の部材でも
よい。また、暗視野リングを上記形状にしても全く同様
の効果が得られる。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３０】図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、レボ
ルバー７２には、物体面７５から反射された観察光が通
過可能な観察穴９４を有した固定部材９６が着脱自在に
装着されている。この固定部材９６には、落射暗視野照
明光を導光するリング状光ファイバ９８が、光学的に接
続されている。このような固定部材９６の観察穴９４の
一部には、観察光路内へのリング状照明光の混入を防止
する遮光筒２００の外径と同径に構成されている。この
遮光筒２００は、その一端側の縁部が観察穴９４内に嵌
合固定されている。また、対物レンズ７３には、第２の
実施例と同様に、暗視野照明光の光束径よりも大きい径
の嵌合溝１０２が設けられている。この嵌合溝１０２に
は、外径が嵌合溝１０２と同径の環状透明部材１０４が
嵌合されている。この環状透明部材１０４の中心部に
は、物体面７５から反射された観察光が通過可能な円形
穴（図示しない）が形成されている。この円形穴の直径
は、遮光筒１００の外径と同径であり、遮光筒１００
は、円形穴に嵌合固定されている。

【手続補正８】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正９】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

【手続補正１０】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図７

【補正方法】変更

【補正内容】

【図７】

【手続補正１１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１１】

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 システム顕微鏡の落射暗視野観察に用い
   られ、 前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リング及び遮光
   筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支持可能で、且
   つ、円弧形状の支持部材を備えていることを特徴とする
   落射暗視野照明装置。
2. 【請求項２】 システム顕微鏡の落射暗視野観察に用い
   られ、 前記システム顕微鏡に内蔵可能な遮光筒を、前記システ
   ム顕微鏡の所定位置に支持可能な透明な支持部材を備え
   ていることを特徴とする落射暗視野照明装置。
3. 【請求項３】 システム顕微鏡の落射暗視野観察に用い
   られ、 前記システム顕微鏡の構成であるレボルバーに着脱可能
   に装着され、且つ、光ファイバ束が光学的に接続された
   部材に、前記システム顕微鏡に内蔵可能な遮光筒を支持
   する支持手段を設けたことを特徴とする落射暗視野照明
   装置。
4. 【請求項４】 前記支持手段は、少なくとも透明な部材
   及び不透明な非直線形状の部材のいずれか一方の部材を
   備えていることを特徴とする請求項３に記載の落射暗視
   野照明装置。