JPH0527215A

JPH0527215A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPH0527215A
Application number: JP18240491A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiko Fuchigami; 安彦渕上
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1991-07-23
Filing date: 1991-07-23
Publication date: 1993-02-05

Abstract

(57)【要約】【目的】使用状況に関わらず基板を効率よく搬送するこ
とが可能な基板搬送装置を提供することにある。【構成】ガラス基板８…を収納する複数のマガジン２〜
５を備え、変位自在な搬送ア−ム１４、１５によりマガ
ジンからの基板８…の排出、および、マガジンへの基板
８…の収納を行う基板搬送装置１において、各マガジン
２〜５の排出側及び収納側の設定を任意に変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示装置用
のガラス基板等を搬送する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、図１（ａ）を引用して示すよう
な基板搬送装置（以下、搬送装置と称する）１がある。
この搬送装置１は、基板収納装置としてのマガジン２〜
５と基板載置装置（以下、載置装置と称する）６とを備
えており、さらに、マガジン２〜５と載置装置６との間
に搬送ロボット７を配置している。

【０００３】マガジン２〜５には、例えば基板としての
ガラス基板（以下、基板と称する）８…を収納し基板８…の排出のために待機した排出側の
マガジン２、３と、基板８…を収納せず基板８…の収納
のために待機した収納側のマガジン４、５とが在る。

【０００４】排出側のマガジン２、３においては、複数
の基板８…が上下に略等間隔で並べられている。そし
て、搬送ロボット７が駆動されて搬送ア−ム１４、１５
を変位させ、搬送ア−ム１４、１５が先端部１６、１７
を排出側のマガジン２、３の中に差込んで基板８…を取
出す。そして、取出された基板８…は載置装置６へ搬送
されて定盤１０の上に載置され、この基板８ａに対して
各種の作業が行われる。また、載置装置６上での作業が
終了した基板８ａは、再び搬送ア−ム１４、１５により
保持されて搬送され、収納側のマガジン４、５に収納さ
れる。

【０００５】そして、載置装置６上での作業が終了する
度に基板８…の収納と排出とが繰返され、排出側のマガ
ジン２、３に収納されていた基板８…が、各種の作業の
後、順次収納側のマガジン４、５に移される。

【０００６】ここで、マガジン２〜５は互いに略同一の
形状のものである。そして、図１（ａ）においては、１
つのマガジン２のみが具体的に示されており、他の３つ
のマガジン３〜５は概略的に示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の搬送
装置においては、排出側のマガジン２、３と収納側マガ
ジン４、５との設定に自由がなく、両マガジンの位置は
常に一定だった。つまり、両マガジンが設置された方向
や位置を基準として、搬送ア−ム１４、１５の移動方向
が決定され、基板８…の排出と収納とが行われていた。
そして、両マガジンの位置は、定盤１０上の基板８ａに
行われる作業の内容や搬送装置の周囲の環境等に関わら
ずに決められていた。このため、搬送装置の設置状況に
よっては、搬送ロボット７の駆動の制約や基板８…の搬
送経路の無駄が生じることがあった。本発明は、使用状
況に関わらず基板を効率よく搬送することが可能な基板
搬送装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために本発明は、基板を収納する基板収納装置を
複数備え、変位自在な基板保持ア−ムにより基板収納装
置からの基板の排出、および、基板収納装置への基板の
収納を行う基板搬送装置において、各基板収納装置の排
出側及び収納側の設定を任意に変更することにある。こ
うすることによって本発明は、基板搬送装置の使用状況
に関わらず基板を効率よく搬送できるようにしたことに
ある。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に基づいて説
明する。

【００１０】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
例の要部を示すものである。そして、両図中の１は基板
搬送装置（以下、搬送装置と称する）であり、この搬送
装置１は、例えば液晶表示装置用のカラ−フィルタの製
造に用いられる印刷機に組込まれている。

【００１１】搬送装置１は、図１（ａ）に示すように基
板収納部としてのマガジン２〜５、基板載置装置（以
下、載置装置と称する）６、および、搬送ロボット７を
備えている。

【００１２】各マガジン２〜５は箱枠状のものであり、
それぞれ略同一な構造を有している。さらに、各マガジ
ン２〜５は、矩形なガラス基板（以下、基板と称する）
８…をその内側で水平に保持できるよう、内面に互いに
略平行な複数の溝を形成されている。そして、各マガジ
ン２〜５は、基板８…を上下に略等間隔で並べて収納す
る。

【００１３】また、マガジン２〜５は扇形のマガジン載
置部９上に載置されており、出入口をマガジン載置部９
の中央に向けながら、放射状に且つ略等間隔で並んでい
る。そして、マガジン２〜５には、処理前の基板８…を
収納したものと収納していないものとが在る。ここで、
図１（ａ）においては、１つのマガジン２のみが具体的
に示されており、他の３つのマガジン３〜５は一点鎖線
により概略的に示されている。

【００１４】前記載置装置６は、定盤１０とこの定盤１
０を支持する台車１１とを有しており、マガジン載置部
９の中央部の近傍に位置している。さらに、載置装置６
は定盤１０と台車１１との間に図示を省略したＸＹΘ駆
動機構部を備えており、定盤１０はこのＸＹΘ駆動機構
部とともにＸＹΘテ−ブルを構成している。

【００１５】そして、載置装置６は定盤１０に基板８…
を一枚ずつ載置し、載置された基板８ａをＸＹΘの３方
向に位置合せする。また、定盤１０に載置された基盤８
ａを、位置決め爪等を備えた位置決め機構によって保持
することが可能である。

【００１６】また、載置装置６は突没自在な複数の突上
げピン１２…（２つのみ図示）を有しており、定盤１０
に供給された基板８ａをこの突上げピン１２…により水
平な状態で一旦支持したのち、突上げピン１２…を降ろ
して基板８ａを定盤１０の載置面１３に接触させる。そ
して、載置装置６は、定盤１０に載置された基板８ａを
真空吸引し、載置面１３に固定する。

【００１７】さらに、載置装置６は、基板８ａの処理後
には、突上げピン１２…を上昇させて基板８ａを水平な
まま突上げ、基板８ａと載置面１３との間に隙間を形成
する。

【００１８】前記搬送ロボット７は、マガジン２〜５と
載置装置６との間に配置されており、マガジン載置部９
の略中央部に位置している。さらに、搬送ロボット７
は、ともに板体からなる基板保持ア−ムとしての２つの
搬送ア−ム１４、１５を備えており、ア−ム１４、１５
の先端部１６、１７（１つのみ図示）を例えば矩形状に
拡げている。

【００１９】また、搬送ロボット７は上下機構部１８を
有しており、この上下機構１８に搬送ア−ム１４、１５
を連結している。そして、搬送ロボット７は、上下機構
部１８の可動体１８ａを上下動或いは回転させ、搬送ア
−ム１４、１５を図中に矢印で示すようにＺ方向及びΘ
方向に変位させる。

【００２０】上記搬送ア−ム１４、１５は例えば上下に
並設されるとともに、空圧アクチュエ−タ１９、２０に
別々に連結されている。空気アクチュ−タ１９、２０は
空気圧を利用して磁石を直線変位させるロッドレスタイ
プのものであり、上記搬送ア−ム１４、１５は空気アク
チュ−タ１９、２０の駆動に伴って直線変位する。さら
に、搬送ア−ム１４、１５は互いに干渉せずに独立に変
位し、マガジン２〜５と載置装置６との間を往復する。

【００２１】また、搬送ア−ム１４、１５はその内部に
空気通路を形成されており、先端部１６、１７にこの空
気通路と連通した吸着孔を開口している。さらに、搬送
ア−ムは例えば基端側にエアホ−スを接続されている。
そして、搬送ア−ム１４、１５内の空気通路を介して真
空吸引が行われる。

【００２２】搬送ア−ム１４、１５は、定盤１０に載置
された基板８ａの位置合せやこの基板８ａに対する各種
の作業に関連して、基板８…の排出側のマガジン内から
の取出し、収納側のマガジンへの収納、および、基板８
…のマガジン２〜５と定盤１０との間での搬送を行う。

【００２３】つまり、例えば排出側のマガジン２（或い
は３）に搬送ア−ム１４が近付き、搬送ア−ム１４が板
状の先端部１６をマガジン２の中に入込ませる。そし
て、先端部１６が、上記マガジン２内で並べられた基板
８…間の隙間に進入したのちに上昇し、先端部１６に一
枚の基板８が載置される。この際、搬送ア−ム１４は基
板８によって前記吸着孔を塞がれ、基板８が先端部１６
に吸着される。

【００２４】さらに、搬送ア−ム１４が、基板８を保持
したまま上記マガジン２の外側に抜出され、図１（ａ）
に示すように先端部１６を載置装置６に向けながら移動
する。そして、搬送ア−ム１４は、基板８を定盤１０の
上に搬送して下降し、定盤１０の載置面１３から突出し
た突上げピン１２…に基板８を載せる。

【００２５】こののち、搬送ア−ム１４が載置面１３上
の基板８ａを解放し、先端部１６が基板８ａと載置面１
３との間の隙間から抜出される。そして、突上げピン１
２…が下降し、基板８ａが背面を定盤１０の載置面１３
に接する。定盤１０に載置された基板８ａは、図１
（ｂ）に示すような基板位置認識装置（以下、認識装置
と称する）２１により位置認識される。

【００２６】つまり、認識装置２１は載置装置６上に配
置されており、例えば２つのＣＣＤカメラ２２、２３を
備えている。そして、認識装置２１は載置装置６上に架
設された支持台２４に２つのＸＹテ−ブル２５、２６を
搭載しており、このＸＹテ−ブル２５、２６に連結され
たカメラ支持ア−ム２７、２８の先端に上記ＣＣＤカメ
ラ２２、２３を取付けている。さらに、ＣＣＤカメラ２
２、２３の向きは下方に設定されている。

【００２７】ＣＣＤカメラ２２、２３は、ＸＹテ−ブル
２４、２５によってその位置を調節される。そして、Ｃ
ＣＤカメラ２２、２３は基板８ａの上方に位置してお
り、基板８ａの全体或いは所定位置をその視野におさめ
る。さらに、ＣＣＤカメラ２２、２３の位置は、例えば
基板８ａの品種に応じて決定される。

【００２８】ＣＣＤカメラ２２、２３に取込まれた画像
を基に画像処理が行なわれ、基板のずれが求められる。
そして、載置装置６のＸＹΘテ−ブルに指令が出力さ
れ、基板８ａが位置合せされる。

【００２９】位置合せされた基板８ａは、台車１１の駆
動に伴って次の作業位置に送られる。そして、基板８ａ
が図示しないオフセット式の印刷機本体に達し、基板８
ａに対してカラ−フィルタ形成のための印刷作業が行な
われる。

【００３０】基板８ａに対する各種の作業が終ったのち
には、台車１１が戻されるとともに基板８ａが突上げピ
ン１２…によって持上げられ、搬送ア−ム１４（或いは
１５）が基板８ａと定盤１０との間に形成された隙間に
先端部１６（或いは１７）を入込ませる。そして、搬送
ア−ム１４が基板８ａを先端部１６に載置して吸着し、
基板８ａが搬送ア−ム１４によって背面側を保持され
る。

【００３１】そして、搬送ア−ム１４が、収納側のマガ
ジン４（或いは５）に向って移動して先端部１６を上記
マガジン４に差込み、基板８ａを上記マガジン４内に入
込ませる。そして、搬送ア−ム１４が、基板８ａの側縁
部を上記マガジン４の内面に形成された溝に係合させな
がら、基板８ａを奥へスライドさせ、基板８ａが上記マ
ガジン４に収納される。こののち、搬送ア−ム１４が基
板８ａを解放し、マガジン４から外側へ抜出される。ま
た、搬送ア−ム１４（或いは１５）の移動制御は、例え
ば搬送装置１の近傍に設置された操作盤（図示しない）
を介して行われる。

【００３２】つまり、定盤１０上の基板８ａに対して行
なわれる各種の作業に要する時間や、搬送装置１の設置
環境等を基に、効率の良い搬送手順や搬送経路が考慮さ
れる。そして、排出側のマガジンと収納側のマガジンと
の理想的な配置が決定され、この決定に従って上記操作
盤へ指示が入力される。

【００３３】そして、各マガジン２〜５が排出側或いは
収納側に設定され、搬送ア−ム１４、１５が、マガジン
２〜５の設定に従って、排出側のマガジン２、３から処
理前の基板を取出し、収納側のマガジン４、５に処理後
の基板を収納する。

【００３４】カラ−フィルタを作成する場合、ＲＧＢに
対応するよう印刷機本体が三台並べられる。そして、マ
ガジン２〜５の設定を印刷機本体の配置に合せて行うこ
とが可能である。

【００３５】なお、上述の説明は、マガジン２、３が排
出側に設定され、残りのマガジン４、５が収納側に設定
された場合の説明であるが、効率の良い搬送を行うため
にマガジン４、５が排出側に設定され、マガジン２、３
が収納側に設定される場合もある。

【００３６】さらに、排出側のマガジンと収納側のマガ
ジンとを交互に配置し、例えばマガジン２、４とマガジ
ン３、５とを組合わせて排出側或いは収納側に設定する
ことも可能である。また、マガジン２〜５の設定が一旦
終ったのちに、設置環境等の変化に合わせてマガジン２
〜５を再設定することも可能である。そして、マガジン
の数が３つ以下、或いは、５つ以上の場合も同様に、各
マガジンの設定を任意に行うことが可能である。また、
排出側のマガジンから基板８…が排出された後、このマ
ガジンを収納側として利用することが可能である。

【００３７】すなわち、上述のような搬送装置１におい
ては、基板８ａへの各種の作業に要する時間や、搬送装
置１の設置環境等に応じて、マガジン２〜５が排出側と
収納側とに設定される。このため、実際に搬送ア−ム１
４、１５を動作させ、搬送ア−ム１４、１５の効率的な
動作を予め調べた後にマガジン２〜５の設定を行うこと
ができる。

【００３８】また、搬送装置１の周囲の環境が変化した
場合等には排出側と収納側との変更を簡単に行うことが
でき、設置環境の変化に合せてマガジン２〜５の最適な
配置を選択できる。したがって、搬送装置１の使用状況
に関わらず基板８…を効率よく搬送することができる。
なお、本発明は、要旨を逸脱しない範囲で種々に変形す
ることが可能である。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、基板を収
納する基板収納装置を複数備え、変位自在な基板保持ア
−ムにより基板収納装置からの基板の排出、および、基
板収納装置への基板の収納を行う基板搬送装置におい
て、各基板収納装置の排出側及び収納側の設定を任意に
変更するものである。したがって本発明は、基板搬送装
置の使用状況に関わらず基板を効率よく搬送できるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部を示すもので、（ａ）
は搬送ロボットとその周辺部の斜視図であり、（ｂ）は
基板位置認識装置とその周辺部の同じく斜視図である。

【符号の説明】

１…基板搬送装置、２〜５…マガジン（基板収納装
置）、８…ガラス基板（基板）、１４、１５…搬送ア−
ム（基板保持ア−ム）。

Claims

【特許請求の範囲】【請求項１】基板を収納する基板収納装置を複数備
え、変位自在な基板保持ア−ムにより上記基板収納装置
からの上記基板の排出、および、上記基板収納装置への
上記基板の収納を行う基板搬送装置において、上記各基
板収納装置の排出側及び収納側の設定を任意に変更する
ことを特徴とする基板搬送装置。