JPH05275004A - 蛍光表示管の蛍光面形成方法 - Google Patents
蛍光表示管の蛍光面形成方法Info
- Publication number
- JPH05275004A JPH05275004A JP9852392A JP9852392A JPH05275004A JP H05275004 A JPH05275004 A JP H05275004A JP 9852392 A JP9852392 A JP 9852392A JP 9852392 A JP9852392 A JP 9852392A JP H05275004 A JPH05275004 A JP H05275004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor
- screen
- photosensitive
- phosphor screen
- fluorescent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 微細かつ高密度でしかも多色の蛍光面を容易
に形成できるようにした。 【構成】 Ａｌ薄膜パターン２が形成されたガラス基板
１上に水溶性のネガ型感光剤と蛍光体とを混合してなる
感光性蛍光体ペーストを塗布して感光性蛍光膜４を形成
し、この感光性蛍光膜４をフォトマスク５を用いて所定
形状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面７を得
る。
に形成できるようにした。 【構成】 Ａｌ薄膜パターン２が形成されたガラス基板
１上に水溶性のネガ型感光剤と蛍光体とを混合してなる
感光性蛍光体ペーストを塗布して感光性蛍光膜４を形成
し、この感光性蛍光膜４をフォトマスク５を用いて所定
形状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面７を得
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光表示管の蛍光面形
成方法に係わり、特に蛍光面を塗布法により形成する蛍
光面形成方法に関するものである。
成方法に係わり、特に蛍光面を塗布法により形成する蛍
光面形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、蛍光表示管の蛍光面形成方法は、
蛍光体と有機バインダーとを混練し、スクリーン印刷法
にて基板上に印刷し、所定の位置に蛍光体を被覆するこ
とによって蛍光面を形成していた。
蛍光体と有機バインダーとを混練し、スクリーン印刷法
にて基板上に印刷し、所定の位置に蛍光体を被覆するこ
とによって蛍光面を形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
蛍光面形成方法によると、近年のグラフィックディスプ
レイなど対して蛍光面の高精細化が要求されるにつれて
所定の位置に蛍光体を被覆することは著しく困難となっ
てきている。つまり、スクリーン印刷に用いる製版と基
板との位置ずれ，印刷面の弛れ，製版の伸縮などによ
り、設計値通りの印刷パターンを形成することが不可能
であった。
蛍光面形成方法によると、近年のグラフィックディスプ
レイなど対して蛍光面の高精細化が要求されるにつれて
所定の位置に蛍光体を被覆することは著しく困難となっ
てきている。つまり、スクリーン印刷に用いる製版と基
板との位置ずれ，印刷面の弛れ，製版の伸縮などによ
り、設計値通りの印刷パターンを形成することが不可能
であった。
【０００４】また、このような従来の蛍光面形成方法に
よると、微細かつ高密度な蛍光面を歩留まり良く形成す
ることは不可能であり、微細蛍光面を応用したグラフィ
ックディスプレイなどの要望に応えることができなかっ
た。
よると、微細かつ高密度な蛍光面を歩留まり良く形成す
ることは不可能であり、微細蛍光面を応用したグラフィ
ックディスプレイなどの要望に応えることができなかっ
た。
【０００５】したがつて本発明は、前述した従来の問題
を解決するためになされたものであり、その目的は、微
細かつ高密度でしかも多色の蛍光面を容易に形成するこ
とができる蛍光表示管の蛍光面形成方法を提供すること
にある。
を解決するためになされたものであり、その目的は、微
細かつ高密度でしかも多色の蛍光面を容易に形成するこ
とができる蛍光表示管の蛍光面形成方法を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明による蛍光表示管の蛍光面形成方法は、
電極が形成された絶縁性基板上に水溶性のネガ型感光剤
と蛍光体とを混合してなる感光性蛍光体ペーストを塗布
して感光性蛍光膜を形成し、この感光性蛍光膜を所定形
状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面を形成す
るものである。
るために本発明による蛍光表示管の蛍光面形成方法は、
電極が形成された絶縁性基板上に水溶性のネガ型感光剤
と蛍光体とを混合してなる感光性蛍光体ペーストを塗布
して感光性蛍光膜を形成し、この感光性蛍光膜を所定形
状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面を形成す
るものである。
【０００７】
【作用】本発明においては、感光性蛍光膜の露光した部
分のみが硬化し、蛍光面が形成されることになり、より
精度の高い微細な蛍光体パターンが形成される。
分のみが硬化し、蛍光面が形成されることになり、より
精度の高い微細な蛍光体パターンが形成される。
【０００８】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１〜図５は本発明による蛍光表示管の蛍光
面形成方法の一実施例を説明する工程の断面図である。
これらの図において、まず、図１に示すようにガラス基
板１上に所定寸法のＡｌ薄膜パターン２を形成した電極
基板３を用意し、次に図２に示すようにこの電極基板３
上のほぼ全面（蛍光面を形成すべき範囲）にわたって下
記に示す組成からなる感光性蛍光体ペーストをスクリー
ン印刷法により塗布し、約２０μｍの厚さの感光性蛍光
膜４を形成する。
説明する。図１〜図５は本発明による蛍光表示管の蛍光
面形成方法の一実施例を説明する工程の断面図である。
これらの図において、まず、図１に示すようにガラス基
板１上に所定寸法のＡｌ薄膜パターン２を形成した電極
基板３を用意し、次に図２に示すようにこの電極基板３
上のほぼ全面（蛍光面を形成すべき範囲）にわたって下
記に示す組成からなる感光性蛍光体ペーストをスクリー
ン印刷法により塗布し、約２０μｍの厚さの感光性蛍光
膜４を形成する。
【０００９】なお、ここで用いる感光性蛍光体ペースト
は、 蛍光体（例えばＺｎＯ：Ｚｎ，（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ2Ｏ3， ＺｎＳ系蛍光体＋Ｉｎ2Ｏ3） １０部 ネガ型フォトレジスト（例えばジアゾ化したポバールなど） １０部 ポバール ５部 ｎ−ブチルアルコール ２部 の組成からなり、この感光性蛍光体ペースト内に成膜性
を良くするためにエチレングリコールなどを適宜加えて
も良い。
は、 蛍光体（例えばＺｎＯ：Ｚｎ，（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ＋Ｉｎ2Ｏ3， ＺｎＳ系蛍光体＋Ｉｎ2Ｏ3） １０部 ネガ型フォトレジスト（例えばジアゾ化したポバールなど） １０部 ポバール ５部 ｎ−ブチルアルコール ２部 の組成からなり、この感光性蛍光体ペースト内に成膜性
を良くするためにエチレングリコールなどを適宜加えて
も良い。
【００１０】次に表面に感光性蛍光膜４を印刷塗布した
電極基板３をオーブン中で約５０℃，３０分間の乾燥を
行った後、図３に示すようにこの電極基板３上にフォト
マスク５を配置し、このフォトマスク５を用いて蛍光体
を被覆したい部分のみを露光する。この露光条件は、発
光出力が約５〜６ｍＷ／ｃｍ2 ，３分間である。この露
光によって露光部分が硬化する。
電極基板３をオーブン中で約５０℃，３０分間の乾燥を
行った後、図３に示すようにこの電極基板３上にフォト
マスク５を配置し、このフォトマスク５を用いて蛍光体
を被覆したい部分のみを露光する。この露光条件は、発
光出力が約５〜６ｍＷ／ｃｍ2 ，３分間である。この露
光によって露光部分が硬化する。
【００１１】次に露光を終了した電極基板３は現像液と
しての水に数分間浸漬した後、水スプレーにて未露光部
分を溶解させて除去し、図４に示すようにＡｌ薄膜パタ
ーン２上にフォトマスク５のマスクパターンの形状に忠
実に沿ったレジスト成分を含んだ蛍光面６が形成され
る。
しての水に数分間浸漬した後、水スプレーにて未露光部
分を溶解させて除去し、図４に示すようにＡｌ薄膜パタ
ーン２上にフォトマスク５のマスクパターンの形状に忠
実に沿ったレジスト成分を含んだ蛍光面６が形成され
る。
【００１２】次にこのレジスト成分を含んだ蛍光面６が
形成された電極基板３を５００℃，１０分間空気中にて
焼成することによって蛍光面６に含まれている有機物を
除去させ、図５に示すように蛍光体のみからなる所望の
蛍光面７が形成される。
形成された電極基板３を５００℃，１０分間空気中にて
焼成することによって蛍光面６に含まれている有機物を
除去させ、図５に示すように蛍光体のみからなる所望の
蛍光面７が形成される。
【００１３】このようにして形成された蛍光面７の形状
は、ドット寸法０．２２×０．２２ｍ／ｍ，ピッチ０．
４ｍ／ｍである微細パターンを形成することができ、フ
ォトマスク５のマスクパターンの開口寸法とほぼ同等寸
法を有する極めて正確な蛍光面を形成することができ
る。
は、ドット寸法０．２２×０．２２ｍ／ｍ，ピッチ０．
４ｍ／ｍである微細パターンを形成することができ、フ
ォトマスク５のマスクパターンの開口寸法とほぼ同等寸
法を有する極めて正確な蛍光面を形成することができ
る。
【００１４】また、この蛍光面７の形状およびＡｌ薄膜
パターン２に対する位置精度は、印刷条件には全く関係
せず、使用したフォトマスク５のマスクパターン形状お
よび電極基板３に対する位置精度に一義的に律せられる
ものであり、極めて微細かつ高密度な蛍光面を形成する
ことができる。
パターン２に対する位置精度は、印刷条件には全く関係
せず、使用したフォトマスク５のマスクパターン形状お
よび電極基板３に対する位置精度に一義的に律せられる
ものであり、極めて微細かつ高密度な蛍光面を形成する
ことができる。
【００１５】なお、前述した実施例では、一色蛍光面の
形成方法について説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、二色以上の蛍光面を形成する場合に
は、一色目の蛍光面を現像した後、ガラス基板に強固に
固着させるために約１２０℃以上の高温にて乾燥し、次
いで二色目の蛍光面印刷工程からスタートし、一色目と
同様な方法にて蛍光面を形成することができる。つま
り、多色蛍光面形成の場合は、単色蛍光面形成工程を蛍
光体の種類に応じてその回数だけ行うことによって極め
て容易に形成できる。
形成方法について説明したが、本発明はこれに限定され
るものではなく、二色以上の蛍光面を形成する場合に
は、一色目の蛍光面を現像した後、ガラス基板に強固に
固着させるために約１２０℃以上の高温にて乾燥し、次
いで二色目の蛍光面印刷工程からスタートし、一色目と
同様な方法にて蛍光面を形成することができる。つま
り、多色蛍光面形成の場合は、単色蛍光面形成工程を蛍
光体の種類に応じてその回数だけ行うことによって極め
て容易に形成できる。
【００１６】また、前述した実施例では、水溶性のネガ
型感光剤を含んだ感光性蛍光体ペーストを用いた場合に
ついて説明したが、油性（現像液は溶剤を用いる）およ
びポジ型感光剤を含んだ感光性蛍光体ペーストについて
種々試験を行った結果、蛍光表示管としての発光特性が
低いこと、また、取扱い上不便（廃液処理，臭気，火災
発生の危険など）であること、さらには蛍光面形成がネ
ガ型感光剤の方がパターンに忠実に形成できることなど
からの問題から、本発明は水溶性のネガ型感光剤を含ん
だ感光性蛍光体ペーストに限定されるものである。
型感光剤を含んだ感光性蛍光体ペーストを用いた場合に
ついて説明したが、油性（現像液は溶剤を用いる）およ
びポジ型感光剤を含んだ感光性蛍光体ペーストについて
種々試験を行った結果、蛍光表示管としての発光特性が
低いこと、また、取扱い上不便（廃液処理，臭気，火災
発生の危険など）であること、さらには蛍光面形成がネ
ガ型感光剤の方がパターンに忠実に形成できることなど
からの問題から、本発明は水溶性のネガ型感光剤を含ん
だ感光性蛍光体ペーストに限定されるものである。
【００１７】また、前述した実施例では、感光剤として
ネガ型感光剤を用いたが、感光剤と蛍光体との混合混
練によるペースト化，ペーストの塗布，露光，現
像，樹脂成分の焼成除去などの工程に耐えられるもの
であれば、特に感光剤には制限はなく、他のネガ型感光
性剤でも使用できる。
ネガ型感光剤を用いたが、感光剤と蛍光体との混合混
練によるペースト化，ペーストの塗布，露光，現
像，樹脂成分の焼成除去などの工程に耐えられるもの
であれば、特に感光剤には制限はなく、他のネガ型感光
性剤でも使用できる。
【００１８】また、前述した実施例では、ペースト塗布
法としてスクリーン印刷法を用いたが、オフセット印刷
法またはインクジェット法などの多色印刷が可能な印刷
方法であれば特に制限はない。
法としてスクリーン印刷法を用いたが、オフセット印刷
法またはインクジェット法などの多色印刷が可能な印刷
方法であれば特に制限はない。
【００１９】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
電極が形成された絶縁性基板上に水溶性のネガ型感光剤
と蛍光体とを混合してなる感光性蛍光体ペーストを塗布
して感光性蛍光膜を形成し、この感光性蛍光膜を所定形
状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面を形成す
ることによって以下に説明するような極めて優れた効果
が得られる。 従来、ペースト塗布法では全く不可能であつた微細か
つ高密度な蛍光面を歩留まり良く、形成することができ
る。 単色蛍光面のみならず、多色蛍光面の形成が容易にで
きる。 水溶性のネガ型感光剤を用いることによって水による
現像が可能であるので、工程の簡略化，工数の低減が達
成できる。また、油性およびポジ型感光剤に比べて極め
て良い発光特性が得られる。
電極が形成された絶縁性基板上に水溶性のネガ型感光剤
と蛍光体とを混合してなる感光性蛍光体ペーストを塗布
して感光性蛍光膜を形成し、この感光性蛍光膜を所定形
状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面を形成す
ることによって以下に説明するような極めて優れた効果
が得られる。 従来、ペースト塗布法では全く不可能であつた微細か
つ高密度な蛍光面を歩留まり良く、形成することができ
る。 単色蛍光面のみならず、多色蛍光面の形成が容易にで
きる。 水溶性のネガ型感光剤を用いることによって水による
現像が可能であるので、工程の簡略化，工数の低減が達
成できる。また、油性およびポジ型感光剤に比べて極め
て良い発光特性が得られる。
【図１】本発明による蛍光表示管の蛍光面形成方法の一
実施例を説明する最初の工程の断面図である。
実施例を説明する最初の工程の断面図である。
【図２】図１に引き続く工程の断面図である。
【図３】図２に引き続く工程の断面図である。
【図４】図３に引き続く工程の断面図である。
【図５】図４に引き続く工程の断面図である。
１ ガラス基板 ２ Ａｌ薄膜パターン ３ 電極基板 ４ 感光性蛍光膜 ５ フォトマスク ６ 蛍光面 ７ 蛍光面
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁性基板に形成された電極上に蛍光面
を形成する蛍光表示管の蛍光面形成方法において、 前記電極が形成された絶縁性基板上に水溶性のネガ型感
光剤と蛍光体とを混合してなる感光性蛍光体ペーストを
塗布して感光性蛍光膜を形成し、前記感光性蛍光膜を所
定形状に露光し、現像を行った後、焼成して蛍光面を形
成することを特徴とする蛍光表示管の蛍光面形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9852392A JPH05275004A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 蛍光表示管の蛍光面形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9852392A JPH05275004A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 蛍光表示管の蛍光面形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05275004A true JPH05275004A (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=14222027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9852392A Pending JPH05275004A (ja) | 1992-03-26 | 1992-03-26 | 蛍光表示管の蛍光面形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05275004A (ja) |
-
1992
- 1992-03-26 JP JP9852392A patent/JPH05275004A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100988437B1 (ko) | 네가티브 포토레지스트를 이용한 유리 또는 금속 식각방법 및 이를 이용한 클리쉐의 제조방법 | |
| JP2008509967A5 (ja) | ||
| KR20020043166A (ko) | 도전성 패턴 형성 방법 | |
| JP4918352B2 (ja) | 厚いフィルムペースト層のポリマー拡散によるパターン化方法 | |
| JPH02165540A (ja) | プラズマディスプレイパネル用の障壁形成法 | |
| JPH05275004A (ja) | 蛍光表示管の蛍光面形成方法 | |
| JPH05114504A (ja) | 金属有機化合物ペースト及びこの金属有機化合物ペーストを使用した製造方法 | |
| JPH02165538A (ja) | プラズマディスプレイパネル障壁の製造方法 | |
| US5173382A (en) | Photosensitive composition containing water-soluble binder and aromatic diazonium chromate forming fluorescent screens employing same | |
| CN100456135C (zh) | 光刻显影装置及采用该装置制造滤色片基板的方法 | |
| JP2003096572A (ja) | 金属酸化物膜形成用塗布液、及びそれを用いた金属酸化物膜、金属酸化物パターンの形成方法 | |
| JP2835430B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル障壁の製造方法 | |
| JP3402578B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル障壁の製造方法 | |
| JP3158345B2 (ja) | 蛍光面の形成方法 | |
| JP2002277624A (ja) | 積層型ブラックマトリックスおよびブラックマトリックスの形成方法 | |
| KR940006293B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 | |
| SU836617A1 (ru) | Способ изготовлени сеткотрафаретов | |
| JP2000113814A (ja) | 蛍光体パターンの形成方法 | |
| JPH02186692A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| JP2005093407A (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| JP2867379B2 (ja) | 多重焼き付け方法 | |
| JPS58182290A (ja) | 厚膜パタ−ンの形成方法 | |
| JPH08220341A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JPH08146885A (ja) | 厚膜パターン形成方法 | |
| JPS624812B2 (ja) |