JPH0527802B2 - - Google Patents
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- JPH0527802B2 JPH0527802B2 JP27389884A JP27389884A JPH0527802B2 JP H0527802 B2 JPH0527802 B2 JP H0527802B2 JP 27389884 A JP27389884 A JP 27389884A JP 27389884 A JP27389884 A JP 27389884A JP H0527802 B2 JPH0527802 B2 JP H0527802B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steel pipe
- transmitting
- receiving coil
- coil
- excitation
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
- G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、形状が真円でない鋼管であつてもそ
の肉厚が精度大にして計測される電磁超音波計測
装置に関するものである。
の肉厚が精度大にして計測される電磁超音波計測
装置に関するものである。
これまで金属材料の厚み測定や探傷等の計測に
は圧電素子を用いた超音波厚み計や、超音波探傷
器などが使用されている。かかる装置は超音波を
被検材中に効率良く伝えるために音源(探触子)
と被検材との間に接触媒質(通常は水)を必要と
する。このため、高温材やスケールあるいは表面
の凹凸の著しい材料の計測は困難となつているの
が実状である。
は圧電素子を用いた超音波厚み計や、超音波探傷
器などが使用されている。かかる装置は超音波を
被検材中に効率良く伝えるために音源(探触子)
と被検材との間に接触媒質(通常は水)を必要と
する。このため、高温材やスケールあるいは表面
の凹凸の著しい材料の計測は困難となつているの
が実状である。
したがつて被検材の温度や表面状態などに影響
されることなく超音波の送受信を行なうことが強
く要求されているが、かかる要求を満足すべく前
記媒質を不要にする方法として磁界と渦電流の相
互作用によるローレンツ力を利用した電磁超音波
探傷装置が特公昭44−24867号公報などで提案さ
れている。
されることなく超音波の送受信を行なうことが強
く要求されているが、かかる要求を満足すべく前
記媒質を不要にする方法として磁界と渦電流の相
互作用によるローレンツ力を利用した電磁超音波
探傷装置が特公昭44−24867号公報などで提案さ
れている。
ここでこの種装置を特開昭58−179305号公報に
開示されたものに例に採つて説明すれば以下のよ
うである。
開示されたものに例に採つて説明すれば以下のよ
うである。
即ち、第3図、第4図はそれぞれの実施例での
要部構成を示したものである。これによると第3
図に示すものにおいては鋼管1を包囲する如く直
流励磁コイル12が巻回されており、この直流励
磁コイル12の内側中央部における、鋼管1と対
向する位置には送受信コイル11が配置されるよ
うになつている。鉄心1はまた直流励磁コイル1
2を外部より包囲するものとなつている。
要部構成を示したものである。これによると第3
図に示すものにおいては鋼管1を包囲する如く直
流励磁コイル12が巻回されており、この直流励
磁コイル12の内側中央部における、鋼管1と対
向する位置には送受信コイル11が配置されるよ
うになつている。鉄心1はまた直流励磁コイル1
2を外部より包囲するものとなつている。
かかる構成において、直流励磁コイル12より
発生する直流磁束はその大半が鋼管1の表面と平
行となる。即ち、縦波電磁超音波を送受信するの
に必要な、鋼管表面に平行な磁場Byとなる。と
ころで、送受信コイル11は直流励磁コイル12
内側中央部の鋼管1表面との対向位置に配置され
るが、これまでにあつては1個の送受信コイルに
対しては必ず1個の直流電磁石が必要であつたも
のである。しかしながら、第3図に示す如く構成
する場合は送受信コイルは直流励磁コイル12と
鋼管1表面との間の空間内であれば被検材として
の鋼管1の全周どの位置でもよく、また、単一の
送受信コイルのみならず複数の送受信コイルを被
検材に対向配置することが可能となるものであ
る。
発生する直流磁束はその大半が鋼管1の表面と平
行となる。即ち、縦波電磁超音波を送受信するの
に必要な、鋼管表面に平行な磁場Byとなる。と
ころで、送受信コイル11は直流励磁コイル12
内側中央部の鋼管1表面との対向位置に配置され
るが、これまでにあつては1個の送受信コイルに
対しては必ず1個の直流電磁石が必要であつたも
のである。しかしながら、第3図に示す如く構成
する場合は送受信コイルは直流励磁コイル12と
鋼管1表面との間の空間内であれば被検材として
の鋼管1の全周どの位置でもよく、また、単一の
送受信コイルのみならず複数の送受信コイルを被
検材に対向配置することが可能となるものであ
る。
この第3図に示すものにおいては、より強い磁
場を得るため直流励磁コイルはなるべく鋼管表面
近傍に巻回されるが、このように巻回する場合は
送受信コイルを配置する空間が狭くなる結果、送
受信コイルの設置は困難なものとなつている。
場を得るため直流励磁コイルはなるべく鋼管表面
近傍に巻回されるが、このように巻回する場合は
送受信コイルを配置する空間が狭くなる結果、送
受信コイルの設置は困難なものとなつている。
一方、第4図に示すものにおいてはこの点が解
決されたものとなつている。図示の如く2個の直
流励磁コイル14,15は各々が独立して鋼管1
を包囲する如く巻回されており、2個の直流励磁
コイル14,15から発生する直流磁束(図中点
線で示す)は加え合わされるように励磁される
が、2個の直流励磁コイル14,15間の空間に
鋼管1と対向して送受信コイル11が配置される
ようになつているものである。
決されたものとなつている。図示の如く2個の直
流励磁コイル14,15は各々が独立して鋼管1
を包囲する如く巻回されており、2個の直流励磁
コイル14,15から発生する直流磁束(図中点
線で示す)は加え合わされるように励磁される
が、2個の直流励磁コイル14,15間の空間に
鋼管1と対向して送受信コイル11が配置される
ようになつているものである。
さて、この第4図により超音波の送受信が如何
にして行なわれるかを説明すれば、先ず直流励磁
コイル14,15を直流電源(図示せず)で励磁
し被検材1に直流磁界(図中点線で示す)を与
え、次に送受信コイル11にパルス発生器(図示
せず)よりパルス電圧を印加すると変化磁束が発
生し、この変化磁束により鋼管1の表面には渦電
流iが発生することになる。この渦電流iと予め
与えておいた前記直流磁界の鋼管1表面に平行方
向の磁界成分の磁束密度Byとが相互作用する結
果、鋼管1表面と垂直な方向(Z方向)には変化
歪Fz(フレミングの左手の方則)が発生し、この
変化歪Fzは鋼管1の表面と垂直な方向(Z方向)
に伝播するところとなるものである。即ち、縦波
が発生するわけである。この変化歪Fzと磁束密
度Byおよび渦電流iとの間には以下のような関
係がある。
にして行なわれるかを説明すれば、先ず直流励磁
コイル14,15を直流電源(図示せず)で励磁
し被検材1に直流磁界(図中点線で示す)を与
え、次に送受信コイル11にパルス発生器(図示
せず)よりパルス電圧を印加すると変化磁束が発
生し、この変化磁束により鋼管1の表面には渦電
流iが発生することになる。この渦電流iと予め
与えておいた前記直流磁界の鋼管1表面に平行方
向の磁界成分の磁束密度Byとが相互作用する結
果、鋼管1表面と垂直な方向(Z方向)には変化
歪Fz(フレミングの左手の方則)が発生し、この
変化歪Fzは鋼管1の表面と垂直な方向(Z方向)
に伝播するところとなるものである。即ち、縦波
が発生するわけである。この変化歪Fzと磁束密
度Byおよび渦電流iとの間には以下のような関
係がある。
Fz∝By・i ……(1)
即ち、変化歪Fzは磁束密度Byと渦電流iとの
積に比例するものである。このようにして発生さ
れた超音波は被検材1内部を伝播し被検材1内側
表面で反射され、その内側表面からの反射超音波
は前述と逆の過程(フレミングの右手の法則)に
より送受信コイル11で渦電流により発生する起
電力として検出されるようになつている。その検
出信号レベルVRは次式に示す如くByの自乗に比
例するものとなつている。
積に比例するものである。このようにして発生さ
れた超音波は被検材1内部を伝播し被検材1内側
表面で反射され、その内側表面からの反射超音波
は前述と逆の過程(フレミングの右手の法則)に
より送受信コイル11で渦電流により発生する起
電力として検出されるようになつている。その検
出信号レベルVRは次式に示す如くByの自乗に比
例するものとなつている。
VR∝B2y・i ……(2)
なお、ここで直流励磁コイル12,14,15
による磁束密度Byについて言及すれば、直流励
磁コイル12,14,15により発生する直流磁
束はその大半が縦波電磁超音波を送受信するのに
必要な鋼管1表面に平行な成分の磁場Byであり、
直流励磁コイル12,14,15に対する励磁量
を増大すれば、ほぼ比例的に磁場Byは増大し、
10000Gauss以上の値を得ることも容易となつて
いる。
による磁束密度Byについて言及すれば、直流励
磁コイル12,14,15により発生する直流磁
束はその大半が縦波電磁超音波を送受信するのに
必要な鋼管1表面に平行な成分の磁場Byであり、
直流励磁コイル12,14,15に対する励磁量
を増大すれば、ほぼ比例的に磁場Byは増大し、
10000Gauss以上の値を得ることも容易となつて
いる。
第5図は継無鋼管の代表的な製造工程の例を示
したものである。これによると材料としての丸ビ
レツトを赤熱してからピアサー、マンドレル、レ
デユーサーといつた各ミルの工程を順次経て圧延
されるようになつている。また、第6図a,bは
レデユーサーミルに第4図に示すものを適用して
鋼管の肉厚を計測する場合での構成を示したもの
である。図示の如く鋼管1は複数のレデユーサー
ミル30を介し圧延されるが、所定のレデユーサ
ーミル30のスタンド間には電磁超音波計測装置
20が配されるものとなつている。本例では第6
図bに示す如く送受信コイルが6チヤンネル分鋼
管1外周に放射状に配され、6ケ所において肉厚
が計測されるものとなつている。
したものである。これによると材料としての丸ビ
レツトを赤熱してからピアサー、マンドレル、レ
デユーサーといつた各ミルの工程を順次経て圧延
されるようになつている。また、第6図a,bは
レデユーサーミルに第4図に示すものを適用して
鋼管の肉厚を計測する場合での構成を示したもの
である。図示の如く鋼管1は複数のレデユーサー
ミル30を介し圧延されるが、所定のレデユーサ
ーミル30のスタンド間には電磁超音波計測装置
20が配されるものとなつている。本例では第6
図bに示す如く送受信コイルが6チヤンネル分鋼
管1外周に放射状に配され、6ケ所において肉厚
が計測されるものとなつている。
ここで1チヤンネル分についての肉厚測定が如
何にして行なわれるかを説明すれば、直流励磁コ
イル14,15が励磁され、しかも鋼管1が貫通
されている状態で送受信コイル11をパルサー3
1で励振すれば、送受信コイル11からの電磁超
音波エコーが増幅器32によつて増幅されたうえ
表示器33に表示される一方、超音波送信時点か
ら最初の超音波エコー(第1エコー)までの時間
tが時間計数器34によつて計数されるようにな
つている。しかして、時間tが測定されれば、鋼
管肉厚Tは演算器37で以下のように求められる
わけである。
何にして行なわれるかを説明すれば、直流励磁コ
イル14,15が励磁され、しかも鋼管1が貫通
されている状態で送受信コイル11をパルサー3
1で励振すれば、送受信コイル11からの電磁超
音波エコーが増幅器32によつて増幅されたうえ
表示器33に表示される一方、超音波送信時点か
ら最初の超音波エコー(第1エコー)までの時間
tが時間計数器34によつて計数されるようにな
つている。しかして、時間tが測定されれば、鋼
管肉厚Tは演算器37で以下のように求められる
わけである。
T=C・t/2 ……(3)
但し、Cは鋼管1中での超音波音速である。こ
のCの値は鋼管1の温度によつて一義的に定まる
が、温度計35は鋼管1表面温度を測定するため
のものであり、音速補正回路36によつては超音
波音速が測定された温度対応のものとなるべく補
正されるようになつている。
のCの値は鋼管1の温度によつて一義的に定まる
が、温度計35は鋼管1表面温度を測定するため
のものであり、音速補正回路36によつては超音
波音速が測定された温度対応のものとなるべく補
正されるようになつている。
第7図は第6図に示す製造工程において直径
60.3mm、肉厚3.5mm、長さ60000mmの低カーボン鋼
管に例を採つて実際に1チヤンネル分について肉
厚を測定した結果を示したものである。これより
熱間(Hot)と冷間(Cold)での計測値が比較的
よく一致していることが判る。
60.3mm、肉厚3.5mm、長さ60000mmの低カーボン鋼
管に例を採つて実際に1チヤンネル分について肉
厚を測定した結果を示したものである。これより
熱間(Hot)と冷間(Cold)での計測値が比較的
よく一致していることが判る。
このようにレデユーサーの工程では鋼管は整形
によつて比較的真円に近いことから、第6図に示
すように鉄心と鋼管外表面との間に存在するギヤ
ツプgの大きさはほぼ一定であり、しかも相当小
さくし得ることは明らかである。しかしながら、
ピアサーやマンドレルミルの工程では粗圧延の工
程であるが故に鋼管が真円になつておらず、した
がつてギヤツプgの大きさは変化することにな
る。この場合鋼管外表面が鉄心に接触しないため
には鉄心の内径を大きくとる必要があるが、鉄心
の内径を大きくとる場合にはギヤツプgの大きさ
が徒らに大きくなる場合があり得、不具合を生じ
るというものである。というのは、ギヤツプgの
大きさが大きくなれば十分な磁束密度Byを確保
し得ず、したがつて、既述の検出信号レベルVR
もまた小さくなつてしまうからである。この不具
合を解消すべく通常の電磁石の代わりに超電導マ
グネツトを用い、ギヤツプgの大きさが大きくて
も磁束密度Byを大きくすることが考えられる。
しかしながら、このようにする場合はまた装置構
成の大形化は避けられず、更に付帯設備も要され
ることから、あまり実用的とは云えない。
によつて比較的真円に近いことから、第6図に示
すように鉄心と鋼管外表面との間に存在するギヤ
ツプgの大きさはほぼ一定であり、しかも相当小
さくし得ることは明らかである。しかしながら、
ピアサーやマンドレルミルの工程では粗圧延の工
程であるが故に鋼管が真円になつておらず、した
がつてギヤツプgの大きさは変化することにな
る。この場合鋼管外表面が鉄心に接触しないため
には鉄心の内径を大きくとる必要があるが、鉄心
の内径を大きくとる場合にはギヤツプgの大きさ
が徒らに大きくなる場合があり得、不具合を生じ
るというものである。というのは、ギヤツプgの
大きさが大きくなれば十分な磁束密度Byを確保
し得ず、したがつて、既述の検出信号レベルVR
もまた小さくなつてしまうからである。この不具
合を解消すべく通常の電磁石の代わりに超電導マ
グネツトを用い、ギヤツプgの大きさが大きくて
も磁束密度Byを大きくすることが考えられる。
しかしながら、このようにする場合はまた装置構
成の大形化は避けられず、更に付帯設備も要され
ることから、あまり実用的とは云えない。
本発明の目的は、断面形状が本来の形状よりず
れている場合であつても対象物体の肉厚や厚さな
どを精度大にして計測し得る電磁超音波計測装置
を供するにある。
れている場合であつても対象物体の肉厚や厚さな
どを精度大にして計測し得る電磁超音波計測装置
を供するにある。
この目的のため本発明は、中心部を対象物体が
非接触で貫通し得るようにしてなるドーナツツ状
良導体円板を所心の鉄心部分に回転可として取付
したものである。常電動方式によつて強磁場を発
生する研究はこれまで種々行なわれているが、本
発明は磁界中で高導電圧の金属板を高速回転させ
る場合、その円板に流れる渦電流による反磁界に
より円板内部を磁束が通過しなくなり、磁束が円
板を避けて収束するといつた原理を利用している
わけである。
非接触で貫通し得るようにしてなるドーナツツ状
良導体円板を所心の鉄心部分に回転可として取付
したものである。常電動方式によつて強磁場を発
生する研究はこれまで種々行なわれているが、本
発明は磁界中で高導電圧の金属板を高速回転させ
る場合、その円板に流れる渦電流による反磁界に
より円板内部を磁束が通過しなくなり、磁束が円
板を避けて収束するといつた原理を利用している
わけである。
以下、本発明を第1図、第2図により説明す
る。
る。
先ず本発明による装置の一実施態様での要部構
成について説明する。第1図はその構成を示した
ものである。図示の如く鉄心13の磁極部分には
リング状軸受47,48が取付され、これらには
更にドーナツツ状の良導電体からなるギヤー4
5,46が回転可として取付されるものとなつて
いる。これらギヤー45,46間に送受信コイル
11が鉄心13に懸架された状態で、しかも鋼管
1に対して放射状となるべく配置されるものであ
る。しかして、直流励磁コイル14,15を励磁
して磁束を発生させた状態でギヤー45,46を
高速で回転させれば、ギヤー45,46の表面に
渦電流が流れ、この誘導電流による二次磁界の作
用で磁極N,S間の主磁束は鋼管1表面近傍に追
いやられ磁束の収束作用が生じる結果、磁極N,
S間の鋼管1の表面を高磁場にすることが可能と
なるものである。
成について説明する。第1図はその構成を示した
ものである。図示の如く鉄心13の磁極部分には
リング状軸受47,48が取付され、これらには
更にドーナツツ状の良導電体からなるギヤー4
5,46が回転可として取付されるものとなつて
いる。これらギヤー45,46間に送受信コイル
11が鉄心13に懸架された状態で、しかも鋼管
1に対して放射状となるべく配置されるものであ
る。しかして、直流励磁コイル14,15を励磁
して磁束を発生させた状態でギヤー45,46を
高速で回転させれば、ギヤー45,46の表面に
渦電流が流れ、この誘導電流による二次磁界の作
用で磁極N,S間の主磁束は鋼管1表面近傍に追
いやられ磁束の収束作用が生じる結果、磁極N,
S間の鋼管1の表面を高磁場にすることが可能と
なるものである。
なお、本例ではギヤー45,46は直流励磁コ
イル15の側面に取付された駆動モータ42によ
つて回転されるようになつている。駆動モータ4
2はそのシヤフト43の他端が直流励磁コイル1
4側面に軸受44を介し回転可として収容される
が、シヤフト43に取付されたギヤー41,42
を介しギヤー45,46を回転せしめるようにし
ているものである。また、ギヤー45,46は何
れか1つだけでも十分であるが、送受信コイル1
1直下での磁束分布に乱れが生じることから、一
般的にはそのようなギヤーは2以上必要であり、
ギヤー間に送受信コイルを配することが適当とな
つている。第2図は第4図、第1図にそれぞれ示
した装置の実規模寸法を例にとり磁界シミユレー
シヨンを実施した結果を示したものである。第2
図aは第4図に、第2図bは第1図にそれぞれ対
応しているが、第2図aでは磁極間にフリンジン
グフラツクスΦFが相当発生し、真に必要とする、
磁極N,S間に対応する鋼管の表面の磁束Φgに
は限界があり、磁束密度も14000〜15000Gaussが
限度となつている。これに対し第2図bでは良導
体としての回転体(ギヤー45,46)の存在に
よりフリンジングフラツクスΦFは殆ど無く、鋼
管の表面の磁束Φg′は非常に大きくなり、磁界解
析の結果は回転体の回転速度にもよるが30000〜
50000Gaussの強磁場を発生することが可能とな
つている。したがつて式(2)より明らかに(30〜
50)2/(14〜15)2=4〜10倍の感度向上が図れ、
第6図に示したギヤツプgの大きさが大きくても
マンドレルミルやピアサーといつた圧延ラインで
の鋼管の肉厚が精度大にして 計測可能となるわけである。
イル15の側面に取付された駆動モータ42によ
つて回転されるようになつている。駆動モータ4
2はそのシヤフト43の他端が直流励磁コイル1
4側面に軸受44を介し回転可として収容される
が、シヤフト43に取付されたギヤー41,42
を介しギヤー45,46を回転せしめるようにし
ているものである。また、ギヤー45,46は何
れか1つだけでも十分であるが、送受信コイル1
1直下での磁束分布に乱れが生じることから、一
般的にはそのようなギヤーは2以上必要であり、
ギヤー間に送受信コイルを配することが適当とな
つている。第2図は第4図、第1図にそれぞれ示
した装置の実規模寸法を例にとり磁界シミユレー
シヨンを実施した結果を示したものである。第2
図aは第4図に、第2図bは第1図にそれぞれ対
応しているが、第2図aでは磁極間にフリンジン
グフラツクスΦFが相当発生し、真に必要とする、
磁極N,S間に対応する鋼管の表面の磁束Φgに
は限界があり、磁束密度も14000〜15000Gaussが
限度となつている。これに対し第2図bでは良導
体としての回転体(ギヤー45,46)の存在に
よりフリンジングフラツクスΦFは殆ど無く、鋼
管の表面の磁束Φg′は非常に大きくなり、磁界解
析の結果は回転体の回転速度にもよるが30000〜
50000Gaussの強磁場を発生することが可能とな
つている。したがつて式(2)より明らかに(30〜
50)2/(14〜15)2=4〜10倍の感度向上が図れ、
第6図に示したギヤツプgの大きさが大きくても
マンドレルミルやピアサーといつた圧延ラインで
の鋼管の肉厚が精度大にして 計測可能となるわけである。
本発明は以上のようなものであるが、鋼管など
は中空のもののみならず中実のものであつても本
発明が適用され得ることは明らかである。
は中空のもののみならず中実のものであつても本
発明が適用され得ることは明らかである。
以上説明したように本発明による場合は、断面
形状が真円でなくても管状物体の肉厚や厚さを精
度大にして計測し得るという効果がある。
形状が真円でなくても管状物体の肉厚や厚さを精
度大にして計測し得るという効果がある。
第1図は、本発明による装置の一実施態様での
要部構成を示す図、第2図a,bは、本発明によ
る効果の程を考察するための図、第3図、第4図
は、それぞれこれまでの装置の要部構成を示す
図、第5図は、継無鋼管の代表的な製造工程を説
明するための図、第6図a,bは、レデユーサー
ミルに第4図に示すものを適用して鋼管の肉厚を
計測する場合での構成を示す図、第7図は、これ
までの装置による肉厚の測定結果を示す図であ
る。 11……送受信コイル、13……鉄心、14,
15……直流励磁コイル、45,46……(回
転)ギヤー、47,48……軸受。
要部構成を示す図、第2図a,bは、本発明によ
る効果の程を考察するための図、第3図、第4図
は、それぞれこれまでの装置の要部構成を示す
図、第5図は、継無鋼管の代表的な製造工程を説
明するための図、第6図a,bは、レデユーサー
ミルに第4図に示すものを適用して鋼管の肉厚を
計測する場合での構成を示す図、第7図は、これ
までの装置による肉厚の測定結果を示す図であ
る。 11……送受信コイル、13……鉄心、14,
15……直流励磁コイル、45,46……(回
転)ギヤー、47,48……軸受。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 直流電源により励磁され、鋼管を包囲する如
く巻回された2つの鉄心付直流励磁コイルと、パ
ルス発生器出力により励磁され、該直流励磁コイ
ルが鋼管を包囲する空間内に配置された送受信コ
イルとを有し、上記直流励磁コイルにより発生す
る磁場と、送受信コイルを励磁することによつて
鋼管表面に発生する渦電流との相互作用により鋼
管に超音波を発生させ、反射超音波あるいは透過
超音波を測定することによつて鋼管の厚みを計測
する電磁超音波計測装置において、鉄心の相対す
る磁極間に鋼管を包囲する如くドーナツツ状の良
導体円板を回転可として配置した構成を特徴とす
る電磁超音波計測装置。 2 複数個の良導体円板を各々同一軸上に鋼管を
包囲する如く配置し、該良導体円板間の空間に送
受信コイルが配置される特許請求の範囲第1項記
載の電磁超音波計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27389884A JPS61153513A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 電磁超音波計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27389884A JPS61153513A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 電磁超音波計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61153513A JPS61153513A (ja) | 1986-07-12 |
| JPH0527802B2 true JPH0527802B2 (ja) | 1993-04-22 |
Family
ID=17534105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27389884A Granted JPS61153513A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | 電磁超音波計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61153513A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107421474B (zh) * | 2017-04-25 | 2023-06-02 | 武汉中科创新技术股份有限公司 | 一种测量工件厚度的电磁超声测厚探头 |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP27389884A patent/JPS61153513A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61153513A (ja) | 1986-07-12 |
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