JPH052786A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH052786A JPH052786A JP2370891A JP2370891A JPH052786A JP H052786 A JPH052786 A JP H052786A JP 2370891 A JP2370891 A JP 2370891A JP 2370891 A JP2370891 A JP 2370891A JP H052786 A JPH052786 A JP H052786A
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- Japan
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- dielectric layer
- magneto
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- optical recording
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高い再生信号特性および記録感度を有し、しか
も耐候性に優れた光磁気記録媒体を提供する。 【構成】基板／第１誘電体層／磁性層／反射層／第２誘
電体層の構成を有する光磁気記録媒体において、(1) 第
１誘電体層および第２誘電体層が共に窒化ケイ素からな
り、かつ層厚が300 〜1000オングストロームであり、
(2) 磁性層が、次式：［ＴｂX （Ｆｅ1-Y Ｃ
ｏY ）1-X ］100-Z ＭZ （式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚ
ｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎｂ、ＶおよびＩｎから選ば
れ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞれ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦
Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満たす有理数である）で示され
る組成を有し、かつ層厚が200 〜600 オングストローム
であり、および(3) 反射層が、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇおよび
Ｃｕのうちの少なくとも１種からなり、かつ層厚が100
〜400 オングストロームである。
も耐候性に優れた光磁気記録媒体を提供する。 【構成】基板／第１誘電体層／磁性層／反射層／第２誘
電体層の構成を有する光磁気記録媒体において、(1) 第
１誘電体層および第２誘電体層が共に窒化ケイ素からな
り、かつ層厚が300 〜1000オングストロームであり、
(2) 磁性層が、次式：［ＴｂX （Ｆｅ1-Y Ｃ
ｏY ）1-X ］100-Z ＭZ （式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚ
ｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎｂ、ＶおよびＩｎから選ば
れ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞれ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦
Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満たす有理数である）で示され
る組成を有し、かつ層厚が200 〜600 オングストローム
であり、および(3) 反射層が、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇおよび
Ｃｕのうちの少なくとも１種からなり、かつ層厚が100
〜400 オングストロームである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高い再生信号特性およ
び記録感度を有し、かつ耐候性が優れた光磁気記録媒体
に関する。
び記録感度を有し、かつ耐候性が優れた光磁気記録媒体
に関する。
【０００２】
【従来の技術】情報の記録・再生を繰返すこと、すなわ
ち情報の書換えが可能な記録層（磁性層）を備えた記録
媒体として、磁性層の微細な区域を光によってキュリー
点まで加熱し、この区域の保磁力が極端に低下した状態
で外部磁界を印加し磁化方向の反転を生じさせ、情報を
記録する光磁気記録媒体が実用化されている。
ち情報の書換えが可能な記録層（磁性層）を備えた記録
媒体として、磁性層の微細な区域を光によってキュリー
点まで加熱し、この区域の保磁力が極端に低下した状態
で外部磁界を印加し磁化方向の反転を生じさせ、情報を
記録する光磁気記録媒体が実用化されている。
【０００３】このような光磁気記録媒体では、情報は
０，１に対応する磁化方向の反転区域と未反転区域との
繰り返しとして記録される。記録された情報は、例えば
レーザー光が記録層の表面で反射する際に、その偏向面
が磁化の方向によって異なる方向に回転するカー効果を
利用し、この回転角（カー回転角θκ）の変化を読み取
ることにより再生される。
０，１に対応する磁化方向の反転区域と未反転区域との
繰り返しとして記録される。記録された情報は、例えば
レーザー光が記録層の表面で反射する際に、その偏向面
が磁化の方向によって異なる方向に回転するカー効果を
利用し、この回転角（カー回転角θκ）の変化を読み取
ることにより再生される。
【０００４】磁性層のカー回転角θκは、記録された情
報の再生特性に重大な影響をおよぼし、例えば情報の読
取りやすさの指標となるＣ／Ｎ比（再生信号特性）は、
カー回転角θκの増大とともに向上する。Ｃ／Ｎ比を向
上させることにより、情報再生装置の光学系の精度を下
げても正確な情報再生を行える他、再生速度を上げるこ
とが可能となる。
報の再生特性に重大な影響をおよぼし、例えば情報の読
取りやすさの指標となるＣ／Ｎ比（再生信号特性）は、
カー回転角θκの増大とともに向上する。Ｃ／Ｎ比を向
上させることにより、情報再生装置の光学系の精度を下
げても正確な情報再生を行える他、再生速度を上げるこ
とが可能となる。
【０００５】上記のような光磁気記録媒体は通常、基板
上に順次、第１誘電体層、記録層である磁性層および第
２誘電体層が形成された層構成を有している（特開平1-
263963号公報、特開昭62-209750 号公報および特開昭62
-217444 号公報）。第１誘電体層は、磁性層を保護する
役割を有しており、酸化されやすい磁性層への酸素、水
などの透過を防止する。さらに第１誘電体層は、カー効
果を高めるエンハンス層として働き、多重反射を利用し
て見かけ上のカー回転角を大きくして再生信号特性を向
上させる。また、第２誘電体層は磁性層の保護のために
設けられる。
上に順次、第１誘電体層、記録層である磁性層および第
２誘電体層が形成された層構成を有している（特開平1-
263963号公報、特開昭62-209750 号公報および特開昭62
-217444 号公報）。第１誘電体層は、磁性層を保護する
役割を有しており、酸化されやすい磁性層への酸素、水
などの透過を防止する。さらに第１誘電体層は、カー効
果を高めるエンハンス層として働き、多重反射を利用し
て見かけ上のカー回転角を大きくして再生信号特性を向
上させる。また、第２誘電体層は磁性層の保護のために
設けられる。
【０００６】さらに最近では、より大きな再生信号特性
を得るために、磁性層に隣接させて基板と反対側（外
側）に、もしくは第２誘電体層の外側に反射層を設けた
構成の光磁気記録媒体についての研究がなされている
（特公昭62-27458号公報、特開昭60-63747号公報）。こ
れは、カー効果に加えて、磁性層透過光の反射によるフ
ァラデー効果を利用しようとするものである。
を得るために、磁性層に隣接させて基板と反対側（外
側）に、もしくは第２誘電体層の外側に反射層を設けた
構成の光磁気記録媒体についての研究がなされている
（特公昭62-27458号公報、特開昭60-63747号公報）。こ
れは、カー効果に加えて、磁性層透過光の反射によるフ
ァラデー効果を利用しようとするものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た構成に改良されてもなお、満足のいく再生信号特性お
よび記録感度を有し、また耐候性にも優れた光磁気記録
媒体は、未だに得られていない。
た構成に改良されてもなお、満足のいく再生信号特性お
よび記録感度を有し、また耐候性にも優れた光磁気記録
媒体は、未だに得られていない。
【０００８】そこで本発明は、高い再生信号特性および
記録感度を有し、しかも耐候性が優れた光磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
記録感度を有し、しかも耐候性が優れた光磁気記録媒体
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、透明基板上に順次、第１誘電体層、磁性層および第
２誘電体層が設けられ、かつ、磁性層の基板と反対側に
反射層がさらに設けられた光磁気記録媒体において、 (1) 第１誘電体層および第２誘電体層が共に窒化ケイ素
からなり、かつ層厚が300 〜1000オングストロームであ
り、 (2) 磁性層が、次式：［ＴｂX （Ｆｅ1-Y Ｃ
ｏY ）1-X ］100-Z ＭZ 式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎ
ｂ、ＶおよびＩｎから選ばれ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞ
れ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満た
す有理数である、で示される組成を有し、かつ層厚が20
0 〜600 オングストロームであり、および (3) 反射層が、Ａｌ、Ａｕ、ＡｇおよびＣｕのうちの少
なくとも１種からなり、かつ層厚が100 〜400 オングス
トロームである、ことを特徴とする。
は、透明基板上に順次、第１誘電体層、磁性層および第
２誘電体層が設けられ、かつ、磁性層の基板と反対側に
反射層がさらに設けられた光磁気記録媒体において、 (1) 第１誘電体層および第２誘電体層が共に窒化ケイ素
からなり、かつ層厚が300 〜1000オングストロームであ
り、 (2) 磁性層が、次式：［ＴｂX （Ｆｅ1-Y Ｃ
ｏY ）1-X ］100-Z ＭZ 式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎ
ｂ、ＶおよびＩｎから選ばれ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞ
れ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満た
す有理数である、で示される組成を有し、かつ層厚が20
0 〜600 オングストロームであり、および (3) 反射層が、Ａｌ、Ａｕ、ＡｇおよびＣｕのうちの少
なくとも１種からなり、かつ層厚が100 〜400 オングス
トロームである、ことを特徴とする。
【００１０】本発明の光磁気記録媒体は、基板／第１誘
電体層／磁性層／反射層／第２誘電体層であるかまた
は、基板／第１誘電体層／磁性層／第２誘電体層／反射
層の層構成を有する。反射層はこのように、磁性層の基
板と反対側にあれば、磁性層のすぐ次にあっても第２誘
電体層の次にあっても良い。
電体層／磁性層／反射層／第２誘電体層であるかまた
は、基板／第１誘電体層／磁性層／第２誘電体層／反射
層の層構成を有する。反射層はこのように、磁性層の基
板と反対側にあれば、磁性層のすぐ次にあっても第２誘
電体層の次にあっても良い。
【００１１】基板の材料としては、具体的にはガラスな
どの無機材料、ポリカーボネート、ポリメチルメタアク
リレート、エポキシ樹脂などの樹脂材料を挙げることが
できる。基板の厚さは特に限定されず、必要に応じて変
えることができる。
どの無機材料、ポリカーボネート、ポリメチルメタアク
リレート、エポキシ樹脂などの樹脂材料を挙げることが
できる。基板の厚さは特に限定されず、必要に応じて変
えることができる。
【００１２】第１誘電体層は、エンハンス層ともいわ
れ、窒化ケイ素からなる。窒化ケイ素とは、例えばＳｉ
Ｎ、Ｓｉ2 Ｎ3 、Ｓｉ3Ｎ4 等が挙げられる。層厚は300
〜1000オングストロームであり、好ましくは400 〜800
オングストロームである。このような第１誘電体層
は、公知の薄膜形成法のいずれで形成しても良く、例え
ばスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
気相成長法などを使用できる。なかでもスパッタ法が特
に好ましく、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応
性高周波スパッタ法などが好ましく用いられる。
れ、窒化ケイ素からなる。窒化ケイ素とは、例えばＳｉ
Ｎ、Ｓｉ2 Ｎ3 、Ｓｉ3Ｎ4 等が挙げられる。層厚は300
〜1000オングストロームであり、好ましくは400 〜800
オングストロームである。このような第１誘電体層
は、公知の薄膜形成法のいずれで形成しても良く、例え
ばスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
気相成長法などを使用できる。なかでもスパッタ法が特
に好ましく、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応
性高周波スパッタ法などが好ましく用いられる。
【００１３】次に、磁性層すなわち記録層は、次式の組
成を有する： ［ＴｂX （Ｆｅ1-Y ＣｏY ）1-X ］100-Z ＭZ 式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎ
ｂ、ＶおよびＩｎから選ばれ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞ
れ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満た
す有理数である。
成を有する： ［ＴｂX （Ｆｅ1-Y ＣｏY ）1-X ］100-Z ＭZ 式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎ
ｂ、ＶおよびＩｎから選ばれ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞ
れ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満た
す有理数である。
【００１４】磁性層の層厚は200 〜600 オングストロー
ム、好ましくは300 〜500 オングストロームである。磁
性層は、第１誘電体層と同様に公知の薄膜形成法のいず
れで形成しても良い。なかでもスパッタ法が特に好まし
く、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波
スパッタ法などが好ましく用いられる。
ム、好ましくは300 〜500 オングストロームである。磁
性層は、第１誘電体層と同様に公知の薄膜形成法のいず
れで形成しても良い。なかでもスパッタ法が特に好まし
く、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波
スパッタ法などが好ましく用いられる。
【００１５】第２誘電体層は、保護層ともいわれ、本発
明においては、第１誘電体層と同じく窒化ケイ素からな
る。第２誘電体層の層厚は、300 〜1000オングストロー
ムであり、好ましくは400 〜1000オングストロームであ
る。第２誘電体層は、第１誘電体層と同様に公知の薄膜
形成法のいずれで形成しても良い。なかでもスパッタ法
が特に好ましく、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、
反応性高周波スパッタ法などが好ましく用いられる。
明においては、第１誘電体層と同じく窒化ケイ素からな
る。第２誘電体層の層厚は、300 〜1000オングストロー
ムであり、好ましくは400 〜1000オングストロームであ
る。第２誘電体層は、第１誘電体層と同様に公知の薄膜
形成法のいずれで形成しても良い。なかでもスパッタ法
が特に好ましく、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、
反応性高周波スパッタ法などが好ましく用いられる。
【００１６】次に、磁性層の次もしくは第２誘電体層の
次に設けられる反射層は、Ａｌ、Ａｕ、ＡｇおよびＣｕ
のうちの少なくとも１種からなる。反射層の層厚は、10
0 〜400 オングストロームであり、好ましくは150〜300
オングストロームである。反射層もまた、公知の薄膜
形成法により形成することができる。
次に設けられる反射層は、Ａｌ、Ａｕ、ＡｇおよびＣｕ
のうちの少なくとも１種からなる。反射層の層厚は、10
0 〜400 オングストロームであり、好ましくは150〜300
オングストロームである。反射層もまた、公知の薄膜
形成法により形成することができる。
【００１７】
【作用】本発明の光磁気記録媒体においては、各層の材
質が特定されたと共に、それぞれの層厚が前記のように
最適に設定されているので、ファラデー効果およびカー
効果と、ピット書込み時の層厚方向への最適な熱伝導に
よるピット矩形性の効果（磁化の反転力）との相乗作用
により、再生信号特性および記録感度が向上する。さら
に、層構成全体の応力が低下するので、耐候性も向上す
る。
質が特定されたと共に、それぞれの層厚が前記のように
最適に設定されているので、ファラデー効果およびカー
効果と、ピット書込み時の層厚方向への最適な熱伝導に
よるピット矩形性の効果（磁化の反転力）との相乗作用
により、再生信号特性および記録感度が向上する。さら
に、層構成全体の応力が低下するので、耐候性も向上す
る。
【００１８】
【実施例】以下の実施例により、本発明をさらに詳しく
説明する。実施例１〜８および比較例１〜４ ポリカーボネート（以下、ＰＣということがある）基
板上に、順次、ＳｉＮ（第１誘電体層）、表１に示した
組成の磁性層、表１に示した材質の反射層およびＳｉＮ
（第２誘電体層）の各層を形成した。各層の形成は、プ
レーナーマグネトロンスパッタ装置（基板自公転型、Ｕ
ＬＶＡＣ社製）を使用して、同一バッチ内で、以下の条
件にて行った。初期真空度 第１誘電体層および第２誘電体層形成時：２×10-6To
rr以下、 磁性層形成時：５×10-7Torr以下、 反射層形成時：２×10-6Torr以下雰囲気ガスおよびガス圧 第１誘電体層および第２誘電体層形成時：Ａｒ＋
Ｎ2 、10×10-3Torr、 磁性層形成時：Ａｒ、６×10-3Torr、 反射層形成時：Ａｒ、１×10-3Torr かくして、基板／第１誘電体層／磁性層／反射層／第２
誘電体層の層構成を有する光磁気記録媒体を作製した。
なお、磁性層の組成、反射層の材質および各層の厚さを
表１に示す。
説明する。実施例１〜８および比較例１〜４ ポリカーボネート（以下、ＰＣということがある）基
板上に、順次、ＳｉＮ（第１誘電体層）、表１に示した
組成の磁性層、表１に示した材質の反射層およびＳｉＮ
（第２誘電体層）の各層を形成した。各層の形成は、プ
レーナーマグネトロンスパッタ装置（基板自公転型、Ｕ
ＬＶＡＣ社製）を使用して、同一バッチ内で、以下の条
件にて行った。初期真空度 第１誘電体層および第２誘電体層形成時：２×10-6To
rr以下、 磁性層形成時：５×10-7Torr以下、 反射層形成時：２×10-6Torr以下雰囲気ガスおよびガス圧 第１誘電体層および第２誘電体層形成時：Ａｒ＋
Ｎ2 、10×10-3Torr、 磁性層形成時：Ａｒ、６×10-3Torr、 反射層形成時：Ａｒ、１×10-3Torr かくして、基板／第１誘電体層／磁性層／反射層／第２
誘電体層の層構成を有する光磁気記録媒体を作製した。
なお、磁性層の組成、反射層の材質および各層の厚さを
表１に示す。
【００１９】
【表１】 表 １ 磁性層 反射層 層厚（オングストローム） の組成 第１誘電体層 磁性層 反射層 第２誘電体層 実施例 １ Tb21Fe71Co8 Al 600 400 200 600 ２ Tb24Fe68Co8 Al 400 400 200 800 ３ Tb21Fe71Co8 Al 600 400 250 600 ４ Tb21Fe71Co8 Al 600 350 200 600 ５ Tb22Fe68Co8 Cr2 Al 600 400 200 600 ６ Tb22Fe69Co8 Pt1 Al 600 400 200 600 ７ Tb21Fe71Co8 Ag 600 400 200 700 ８ Tb21Fe71Co8 Au 600 450 200 600 比較例 １ Tb21Fe71Co8 Al 600 400 500 600 ２ Tb21Fe71Co8 Al 600 700 200 600 ３ Tb21Fe71Co8 Al 1200 400 200 600 ４ Tb21Fe71Co8 Al 600 400 200 1200 得られた光磁気記録媒体の再生信号特性Ｃ／Ｎ比を、半
径30 mm の測定位置にて、ディスク回転数 1800rpm 、
記録周波数 3.7MHz 、分解能帯域幅 30KHz、レーザー
波長 830nm にて、ディスク内周部において測定した。
また、Ｃ／Ｎ＝40dB時の記録レーザパワーを測定し、記
録感度とした。耐候性は、80℃、85％ＲＨ（相対湿度）
にて200 時間経過後におけるクラックの有無で評価し
た。得られた結果を表２に示す。
径30 mm の測定位置にて、ディスク回転数 1800rpm 、
記録周波数 3.7MHz 、分解能帯域幅 30KHz、レーザー
波長 830nm にて、ディスク内周部において測定した。
また、Ｃ／Ｎ＝40dB時の記録レーザパワーを測定し、記
録感度とした。耐候性は、80℃、85％ＲＨ（相対湿度）
にて200 時間経過後におけるクラックの有無で評価し
た。得られた結果を表２に示す。
【００２０】
【表２】
【００２１】
【発明の効果】本発明により、高い再生信号特性および
記録感度を有し、しかも耐候性に優れた光磁気記録媒体
を提供することができる。したがって、本発明の光磁気
記録媒体は実用性が高く、工業的に有用である。
記録感度を有し、しかも耐候性に優れた光磁気記録媒体
を提供することができる。したがって、本発明の光磁気
記録媒体は実用性が高く、工業的に有用である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 透明基板上に順次、第１誘電体層、磁性
層および第２誘電体層が設けられ、かつ、磁性層の基板
と反対側に反射層がさらに設けられた光磁気記録媒体に
おいて、 (1) 第１誘電体層および第２誘電体層が共に窒化ケイ素
からなり、かつ層厚が300 〜1000オングストロームであ
り、 (2) 磁性層が、次式：［ＴｂX （Ｆｅ1-Y Ｃ
ｏY ）1-X ］100-Z ＭZ 式中、ＭはＣｒ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｎ
ｂ、ＶおよびＩｎから選ばれ、Ｘ、ＹおよびＺはそれぞ
れ、0.19≦Ｘ≦0.26、０≦Ｙ≦0.20、０≦Ｚ≦６を満た
す有理数である、で示される組成を有し、かつ層厚が20
0 〜600 オングストロームであり、および (3) 反射層が、Ａｌ、Ａｕ、ＡｇおよびＣｕのうちの少
なくとも１種からなり、かつ層厚が100 〜400 オングス
トロームである、ことを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2370891A JPH052786A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2370891A JPH052786A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052786A true JPH052786A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=12117855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2370891A Pending JPH052786A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052786A (ja) |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP2370891A patent/JPH052786A/ja active Pending
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