JPH05281171A - Sample heating vaporizer for moisture measurement - Google Patents

Sample heating vaporizer for moisture measurement

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JPH05281171A
JPH05281171A JP8072592A JP8072592A JPH05281171A JP H05281171 A JPH05281171 A JP H05281171A JP 8072592 A JP8072592 A JP 8072592A JP 8072592 A JP8072592 A JP 8072592A JP H05281171 A JPH05281171 A JP H05281171A
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container
carrier gas
sample
gas supply
moisture measurement
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Kiyozo Kinoshita
喜代三 木下
Masanobu Takeda
雅信 竹田
Koji Kamimura
幸次 上村
Eiji Funaki
英二 舟木
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Kyoto Electronics Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 水分測定用試料加熱気化装置に関し、容器の
内面に付着している水分による誤差を解消できるように
した水分測定用試料加熱気化装置を提供することを目的
とする 【構成】 試料を収納した容器1を加熱して試料の水分
を気化させるヒータ2と、容器1内に乾燥したキャリア
ガスを供給するキャリアガス供給路3と、容器1内で水
分を吸収したキャリアガスを水分測定装置4に導くキャ
リアガス排出路5とを備える水分測定用試料加熱気化装
置において、容器1にキャリアガス供給路3の終端部と
キャリアガス排出路5の始端部とを開口して、上記終端
部と始端部を容器1の内空間を介して気密状に連通させ
るキャリアガス給排装置6と、このキャリアガス給排装
置6で容器1内に乾燥したキャリアガスを流通させて容
器1の内面の水分を気化させて排除する予備パージ手段
7と、上記予備パージ手段7で容器1の内部の水分を排
除した後、容器1をヒータ2の加熱空間に位置させるよ
うに容器1またはヒータ2を移動させる移動手段8とを
備えた構成とした。
(57) [Abstract] [Purpose] An object of the present invention is to provide a sample heating vaporizer for moisture measurement, which is capable of eliminating an error due to moisture adhering to the inner surface of a container. [Structure] A heater 2 for heating a container 1 containing a sample to vaporize the water content of the sample, a carrier gas supply path 3 for supplying a dry carrier gas into the container 1, and a carrier for absorbing the water content in the container 1. In a sample heating vaporization device for moisture measurement, which is provided with a carrier gas discharge passage 5 for guiding gas to a moisture measurement device 4, the container 1 is opened at the end of the carrier gas supply passage 3 and the start of the carrier gas discharge passage 5. , A carrier gas supply / discharge device 6 for communicating the end portion and the start end portion in an airtight manner through the inner space of the container 1, and a carrier gas supply / discharge device 6 for circulating a dry carrier gas into the container 1 The preliminary purging means 7 for vaporizing and removing the water on the inner surface of the container 1 and the container 1 or the container 1 so that the container 1 is positioned in the heating space of the heater 2 after the water inside the container 1 is removed by the preliminary purging means 7. The moving means 8 for moving the heater 2 is provided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、水分測定用試料加熱気
化装置に関し、特に試料サンプリング時に混入する大気
中の水分による測定誤差をなくせるようにした水分測定
用試料加熱気化装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sample heating vaporizer for moisture measurement, and more particularly to a sample heating vaporizer for moisture measurement which is capable of eliminating a measurement error due to moisture in the atmosphere mixed during sample sampling.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラスチック原料(プラスチックビー
ズ)等の原料中の水分は、重合や成形時に分子量の低下
や発泡の原因となったり、吸湿・膨潤等により物理的、
電気的性質が変化し、製品の品質に大きなばらつきがで
ることが知られており、このため、プラスチックビーズ
の表面に付着した水分の管理が厳重に行われている。
2. Description of the Related Art Moisture in raw materials such as plastic raw materials (plastic beads) causes a decrease in the molecular weight and foaming during polymerization and molding, and is physically caused by moisture absorption / swelling.
It is known that the electrical properties change and the quality of products varies greatly. For this reason, the moisture attached to the surface of the plastic beads is strictly controlled.

【0003】このような場合の他の固体や液体の水分管
理に際しては該固体や液体の水分を測定する必要があ
る。この、水分の測定方法として最も多用されるのがカ
ール・フィシャー水分測定法であり、この方法では容器
に入れた試料をヒータで加熱し、これにより試料から気
化した水分の量を測定するようにしている。このため、
この方法では試料サンプリング時に混入する水分による
誤差の影響をできるだけ少なくすることが重要な課題に
なる。
In controlling the water content of other solids or liquids in such a case, it is necessary to measure the water content of the solids or liquids. Karl Fischer's water content measurement method is the most frequently used method for measuring water content.In this method, a sample contained in a container is heated by a heater so that the amount of water vaporized from the sample is measured. ing. For this reason,
In this method, it is an important issue to minimize the influence of errors due to water mixed in during sample sampling.

【0004】特開平1−216226号に記載された水
分測定装置用試料気化供給装置においては、乾燥したキ
ャリアガスを容器に送り込むキャリアガス供給路の終端
部をヒータで囲まれた加熱室に接続し、予め乾燥したキ
ャリアガスを加熱室に供給することによって加熱室の雰
囲気を乾燥状態にした後、容器を加熱室に挿入し、容器
を気密状にキャリアガス供給路の終端部及び容器からキ
ャリアガスを水分測定装置に導くキャリアガス排出路の
始端部に容器を接続する装置及び方法が開示されてい
る。
In the sample vaporization and supply device for a water content measuring device described in Japanese Patent Laid-Open No. 1-216226, a terminal end of a carrier gas supply path for feeding a dry carrier gas into a container is connected to a heating chamber surrounded by a heater. , The atmosphere of the heating chamber is made dry by supplying the carrier gas previously dried to the heating chamber, then the container is inserted into the heating chamber, and the container is hermetically sealed from the end of the carrier gas supply path and the container. There is disclosed an apparatus and method for connecting a container to a starting end portion of a carrier gas discharge path that guides the water to a moisture measuring apparatus.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、同公報に記
載された装置及び方法においては、試料を収納した容器
は、加熱室に挿入される直前まで蓋によって密封されて
いるので、試料のサンプリング時に容器内に混入した大
気中の水分はそのまま加熱室に持ち込まれる。その結
果、例えば容器の内面や試料表面に水分が付着すること
になり、この状態でキャリアガス排出路を経て水分測定
装置に導かれ、加熱によって試料から気化して水分測定
装置に導かれた水分とともに測定されることになる。
By the way, in the apparatus and method described in the publication, the container containing the sample is sealed by the lid until just before it is inserted into the heating chamber. Moisture in the atmosphere mixed in the container is brought into the heating chamber as it is. As a result, for example, moisture adheres to the inner surface of the container or the surface of the sample, and in this state, the moisture is guided to the moisture measuring device via the carrier gas discharge passage, and is evaporated from the sample by heating to be guided to the moisture measuring device. Will be measured with.

【0006】通常、この種の水分測定に使用される容器
の容量は約30ccであり、その内面には例えば約50〜
140μg程度の水分が付着している。従って、試料に
含まれる水分が少ない場合には上記サンプリング時に容
器内に混入する水分量が無視できなくなる場合が生じる
ことになる。
Usually, the capacity of a container used for this type of moisture measurement is about 30 cc, and the inner surface thereof has a capacity of, for example, about 50 cc.
About 140 μg of water is attached. Therefore, when the sample contains a small amount of water, the amount of water mixed in the container during the sampling may not be negligible.

【0007】本発明は、上記の事情を鑑みてなされたも
のであり、サンプリング時に容器内に混入する水分によ
る誤差を解消できるようにした水分測定用試料加熱気化
装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a sample heating vaporizer for moisture measurement which can eliminate an error due to moisture mixed in a container at the time of sampling. ..

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、例えば図1に
示すように、試料を収納した容器1を加熱して試料の水
分を気化させるヒータ2と、容器1内に乾燥したキャリ
アガスを供給するキャリアガス供給路3と、容器1内で
水分を吸収したキャリアガスを水分測定装置4に導くキ
ャリアガス排出路5とを備える水分測定用試料加熱気化
装置において、上記の目的を達成するため、次のような
手段を講じている。
According to the present invention, for example, as shown in FIG. 1, a heater 2 for heating a container 1 containing a sample to vaporize the water content of the sample, and a dry carrier gas in the container 1 are provided. In a sample heating vaporizer for moisture measurement, which comprises a carrier gas supply channel 3 for supplying and a carrier gas discharge channel 5 for guiding a carrier gas having absorbed moisture in a container 1 to a moisture measuring apparatus 4, to achieve the above object. , The following measures are taken.

【0009】すなわち、容器1にキャリアガス供給路3
の終端部とキャリアガス排出路5の始端部とを開口し
て、上記終端部と始端部を容器1の内空間を介して気密
状に通連させるキャリアガス給排装置6と、このキャリ
アガス給排装置6で容器1内に乾燥したキャリアガスを
流通させて容器1の内面の水分を気化させて排除する予
備パージ手段7と、上記予備パージ手段7で容器1の内
部の水分を排除した後、容器1をヒータ2の加熱空間に
位置させるように容器1またはヒータ2を移動させる移
動手段8とを備えることを特徴とする。
That is, the carrier gas supply path 3 is provided in the container 1.
And a carrier gas supply / discharge device 6 for opening the end portion of the carrier gas and the start end portion of the carrier gas discharge passage 5 so that the end portion and the start end portion communicate with each other in an airtight manner through the inner space of the container 1, and the carrier gas. A preliminary purging unit 7 that circulates a dry carrier gas into the container 1 by the supply / discharge device 6 to vaporize and remove the moisture on the inner surface of the container 1, and the preliminary purging unit 7 eliminates the moisture inside the container 1. After that, the container 1 or the heater 2 is moved so as to position the container 1 in the heating space of the heater 2.

【0010】[0010]

【作用】本発明においては、キャリアガス給排装置6に
より容器1にキャリアガス供給路3の終端部とキャリア
ガス排出路5の始端部と容器1の内空間を介して気密状
に連通され、予備パージ手段7で容器1の内部にキャリ
アガスを流通させることにより、例えば試料サンプリン
グ時に容器1内に混入した大気中の水分をキャリアガス
に吸収させて容器1の外部に排出できる。
In the present invention, the carrier gas supply / discharge device 6 communicates with the container 1 in an airtight manner through the end portion of the carrier gas supply passage 3, the start end portion of the carrier gas discharge passage 5 and the inner space of the container 1, By circulating the carrier gas inside the container 1 by the preliminary purging means 7, for example, moisture in the atmosphere mixed in the container 1 at the time of sample sampling can be absorbed by the carrier gas and discharged to the outside of the container 1.

【0011】そして、この後に移動手段を作動させて容
器またはヒータを移動させて容器1をヒータ2の加熱空
間に位置させ、ヒータ2で容器1を加熱することにより
試料の水分が気化し、キャリアガスに吸収されて水分測
定装置4に送られる。
Then, after that, the moving means is operated to move the container or the heater to position the container 1 in the heating space of the heater 2. By heating the container 1 by the heater 2, the moisture of the sample is vaporized and the carrier It is absorbed by the gas and sent to the moisture measuring device 4.

【0012】[0012]

【実施例】図1の模式図に示す本発明の一実施例に係る
水分測定用試料加熱気化装置は、試料を収納した容器1
を加熱して試料の水分を気化させるヒータ2と、容器1
内に乾燥したキャリアガスを供給するキャリアガス供給
路3と、容器1内で水分を吸収したキャリアガスを水分
測定装置4に導くキャリアガス排出路5とを備えてい
る。
EXAMPLE A sample heating vaporizer for moisture measurement according to an example of the present invention shown in the schematic view of FIG.
Heater 2 for heating the sample to vaporize the water content of the sample, and container 1
A carrier gas supply path 3 for supplying a dry carrier gas therein and a carrier gas discharge path 5 for guiding the carrier gas, which has absorbed moisture in the container 1, to the moisture measuring device 4 are provided.

【0013】水分測定装置4は、特に限定されないが、
カールフィッシャ自動水分計を使用した。また、この水
分測定用試料加熱気化装置は、容器1にキャリアガス供
給路3の終端部とキャリアガス排出路5の始端部とを容
器1の内空間を介して気密状に連通させるキャリアガス
給排装置6と、このキャリアガス給排装置6で容器1内
に乾燥したキャリアガスを流通させて容器1の内面の水
分を気化させ、キャリアガスに吸収させて容器1の内部
から排除する予備パージ手段7と、上記予備パージ手段
7で容器1の内部の水分を排除した後、容器1をヒータ
2の加熱空間に位置させるように容器1を移動させる移
動手段8とを備えている。
The moisture measuring device 4 is not particularly limited,
A Karl Fischer automatic moisture meter was used. Further, this sample heating vaporization device for moisture measurement is configured to supply a carrier gas in which the end portion of the carrier gas supply path 3 and the start end portion of the carrier gas discharge path 5 are communicated to the container 1 in an airtight manner through the inner space of the container 1. Exhaust device 6 and a preliminary purge in which a dry carrier gas is circulated in the container 1 by the carrier gas supply / exhaust device 6 to vaporize moisture on the inner surface of the container 1 and absorb the carrier gas to remove it from the inside of the container 1. Means 7 and moving means 8 for moving the container 1 so as to position the container 1 in the heating space of the heater 2 after removing water inside the container 1 by the preliminary purging means 7 are provided.

【0014】図2(a)及び図2(b)の断面図に示す
ように、上記容器1は有底筒状の本体1aと、これの上
部に嵌着される蓋体1bと、本体1aと蓋体1bと間の
隙間を気密状に封止するOリングからなる封止部材1c
と、蓋体1bの中央部を上下方向に貫通する通路1d
と、蓋体1bの上面を覆う気密膜1eと、気密膜1eを
蓋体1bの上面に密着させるために蓋体1bの上部に螺
着される押さえ蓋1fと、押さえ蓋1fの中心部を上下
に貫通する通路1gとを備える。
As shown in the sectional views of FIGS. 2 (a) and 2 (b), the container 1 has a bottomed cylindrical main body 1a, a lid 1b fitted on the top thereof, and a main body 1a. A sealing member 1c including an O-ring that hermetically seals a gap between the lid and the lid 1b.
And a passage 1d that vertically passes through the central portion of the lid 1b.
The airtight film 1e that covers the upper surface of the lid 1b, the pressing lid 1f that is screwed onto the upper portion of the lid 1b to bring the airtight film 1e into close contact with the upper surface of the lid 1b, and the central portion of the pressing lid 1f. And a passage 1g that penetrates vertically.

【0015】上記気密膜1eの素材は、気密性を備えれ
ば特に限定されず、例えばゴム、アルミニウム箔等の金
属箔等で構成することが可能であるが、これに付着した
水分による誤差を少なくするため、表面に水分を吸着し
難い素材を選択することが推奨される。このため、この
実施例ではアルミニウム箔で構成された気密膜1eを用
いた。
The material of the airtight film 1e is not particularly limited as long as it has airtightness, and can be made of, for example, rubber, a metal foil such as an aluminum foil, and the like. In order to reduce the amount, it is recommended to select a material that does not easily adsorb water on the surface. Therefore, in this example, the airtight film 1e made of aluminum foil was used.

【0016】上記ヒータ2の構成は特に限定されず、例
えば筒形に形成したりすることも可能であるが、この実
施例では予備パージ手段7からヒータ2の加熱空間への
容器の移動を容易にするため、盤状のヒータ2を設け、
その上側に容器1が載置されるようにしている。
The structure of the heater 2 is not particularly limited, and the heater 2 may be formed in a tubular shape, for example, but in this embodiment, the container can be easily moved from the preliminary purge means 7 to the heating space of the heater 2. In order to make the
The container 1 is placed on the upper side thereof.

【0017】また、ヒータ2の熱源も特に限定されない
が、ここでは、ヒータ2の構成を簡単にするため、電熱
を熱源としている。図1に示すように、上記キャリアガ
ス供給路3は、キャリアガスとして使用される窒素ガス
を充填したボンベ11から導出され、ボンベ11から端
末にいたるまでに順に遮断弁12、ゼオライトを収納し
たフィルタ13、シリカゲルを収納した脱水器14、流
量調整弁15、流量計16、ガスバルブ17及び流路切
換弁18を介在させてある。
Further, the heat source of the heater 2 is not particularly limited, but in order to simplify the structure of the heater 2, electric heat is used here. As shown in FIG. 1, the carrier gas supply path 3 is led out from a cylinder 11 filled with nitrogen gas used as a carrier gas, and a shutoff valve 12 and a zeolite filter are housed in order from the cylinder 11 to the end. 13, a dehydrator 14 containing silica gel, a flow rate adjusting valve 15, a flow meter 16, a gas valve 17 and a flow path switching valve 18 are interposed.

【0018】図2に示すように、キャリアガス供給路3
の終端部は、キャリアガス排出路5の始端部内に挿通さ
れて内外二重管構造のノズル19を構成している。この
ノズル19の先端は容器1の気密膜1eを突破し易いよ
うに斜めに切断してある。
As shown in FIG. 2, the carrier gas supply passage 3
The end portion of (1) is inserted into the start end portion of the carrier gas discharge passage 5 to form a nozzle 19 having an inner-outer double pipe structure. The tip of the nozzle 19 is obliquely cut so as to easily break through the airtight film 1e of the container 1.

【0019】図1に示すように、キャリアガス排出路5
はノズル19から水分測定装置4まで延長され、途中で
キャリアガスに含まれた水分が凝結しないように保温ヒ
ータ20を付設してある。
As shown in FIG. 1, the carrier gas discharge path 5
Is extended from the nozzle 19 to the moisture measuring device 4, and a heat retention heater 20 is attached so that moisture contained in the carrier gas does not condense on the way.

【0020】上記キャリアガス給排装置6は、上記ノズ
ル19と、テーブル9に容器1が載置された後、ノズル
19を下降させて容器1に挿入させる挿入装置10(図
1に駆動用のモータのみを示す)と、ノズル19の挿入
時に容器1とノズル19との間の気密を保持するための
気密盤21とを備える。
The carrier gas supply / discharge device 6 includes an insertion device 10 (driving device shown in FIG. 1) for lowering the nozzle 19 and inserting it into the container 1 after the container 19 is placed on the nozzle 19 and the table 9. (Only a motor is shown), and an airtight board 21 for maintaining airtightness between the container 1 and the nozzle 19 when the nozzle 19 is inserted.

【0021】図2に示すように、この気密盤21は円板
状の本体21aと、本体21aの中心部を上下に貫通す
るノズル挿通孔21bと、本体21aの下面に嵌着支持
され、容器1の押さえ蓋1fの上面に通路1gを取り囲
むように当接されるOリングからなる封止部材21c
と、ノズル挿通孔21bの周面に嵌着支持され、ノズル
19を摺動可能に、かつ、気密状に内嵌するOリングか
らなる封止部材21dとを備える。
As shown in FIG. 2, the airtight board 21 is a disk-shaped main body 21a, a nozzle insertion hole 21b vertically penetrating the central portion of the main body 21a, and a bottom surface of the main body 21a. A sealing member 21c composed of an O-ring which is abutted on the upper surface of the pressing lid 1f of No. 1 so as to surround the passage 1g.
And a sealing member 21d, which is fitted and supported on the peripheral surface of the nozzle insertion hole 21b, slidably fits the nozzle 19 and includes an O-ring that is fitted in an airtight manner.

【0022】図1に示すように、上記予備パージ手段7
は、水平回転可能に設けられたテーブル9と、これを回
転駆動するテーブル駆動装置22とを備え、テーブル9
上に周方向に適当な間隔を置いて並べられた容器1を順
にキャリアガス給排装置6のノズル19の下方の所定の
位置に移動させるようにしている。
As shown in FIG. 1, the preliminary purging means 7 is provided.
Includes a table 9 that is horizontally rotatable and a table drive device 22 that drives the table 9 to rotate.
The containers 1 arranged at appropriate intervals in the circumferential direction are sequentially moved to a predetermined position below the nozzle 19 of the carrier gas supply / discharge device 6.

【0023】また、予備パージ手段7は必要に応じてテ
ーブル9及びこれに載置された容器1を取り囲むカバー
23を備え、このカバー23内に形成される予備パージ
室24には、脱水器14の下流でキャリアガス供給路3
から分岐させた分岐路25を介してキャリアガスを導入
できるようにしている。なお、この分岐路25には流量
調整弁26と流量計27とを介在させてある。
Further, the preliminary purging means 7 is provided with a cover 23 surrounding the table 9 and the container 1 placed on the table 9 as necessary, and the dehydrator 14 is provided in the preliminary purging chamber 24 formed in the cover 23. Gas supply path 3 downstream of
The carrier gas can be introduced through the branch passage 25 branched from the. A flow rate adjusting valve 26 and a flow meter 27 are interposed in this branch path 25.

【0024】上記移動装置8は、ヒータ2を容器1の方
に移動させるように構成することも可能であるが、ヒー
タ2の余熱を予備パージ室24内に持ち込まないように
するため、容器1を支持する支持枠8aと、支持枠8a
に支持された容器1を固定するチャック8bと、チャッ
ク8bを駆動するソレノイド8cと、これらを予備パー
ジ手段7とヒータ2との間で往復させる駆動装置8dと
を設けて、容器1をテーブル9からヒータ1の上に移動
させるようにしている。
The moving device 8 may be configured to move the heater 2 toward the container 1, but in order to prevent the residual heat of the heater 2 from being brought into the preliminary purge chamber 24, the container 1 Support frame 8a for supporting the support frame 8a
A chuck 8b for fixing the container 1 supported by the solenoid 8c, a solenoid 8c for driving the chuck 8b, and a drive device 8d for reciprocating the solenoid 8c between the preliminary purging means 7 and the heater 2 are provided, and the container 1 is held on the table 9 by the table 9a. Is moved from above to the heater 1.

【0025】なお、この水分測定用試料加熱気化装置に
は、上記流路切換弁18から水分測定装置4に予めキャ
リアガスを流すためのプリパージ流路28が設けられ
る。この水分測定用試料加熱気化装置においては、ま
ず、プリパージ流路28を介してキャリアガスを水分測
定装置4に流し、水分測定装置4内を乾燥状態に安定さ
せるとともに、分岐路25を介してキャリアガスを予備
パージ室24に流して予備パージ室24を乾燥状態に保
持させる。上記ブリパージ流路28は水分測定装置4内
が乾燥状態に安定した後閉じられる。
The sample heating vaporizer for moisture measurement is provided with a pre-purge channel 28 for allowing a carrier gas to flow from the channel switching valve 18 to the moisture measuring apparatus 4 in advance. In this sample heating vaporization apparatus for moisture measurement, first, a carrier gas is caused to flow to the moisture measurement apparatus 4 through the prepurge channel 28 to stabilize the moisture measurement apparatus 4 in a dry state, and at the same time, the carrier gas is passed through the branch channel 25. The gas is caused to flow into the preliminary purge chamber 24 to keep the preliminary purge chamber 24 in a dry state. The bripurge flow path 28 is closed after the inside of the moisture measuring device 4 is stabilized in a dry state.

【0026】上記のプリパージと同時に、またはこの後
に、挿入装置10でノズル19をテーブル9の所定の位
置に載置された容器1に向かって下降させ、ノズル19
で気密膜1e突き破ってノズル19の下端を容器1内に
突入させることにより、容器1とノズル19とを気密状
に接続する。
Simultaneously with or after the above-mentioned pre-purge, the nozzle 19 is lowered by the insertion device 10 toward the container 1 placed at a predetermined position on the table 9, and the nozzle 19 is
Then, the container 1 and the nozzle 19 are connected in an airtight manner by breaking through the airtight film 1e and pushing the lower end of the nozzle 19 into the container 1.

【0027】この後、10〜30秒程度にわたってキャ
リアガス供給路3を介して容器1内に乾燥したキャリア
ガスを導入し、容器1内に混入している水分を気化さ
せ、この水分を吸収したキャリアガスをキャリアガス排
出路5を経て水分測定装置4に排出し、上記キャリアガ
ス供給路3、容器1、キャリアガス排出路5及び水分測
定装置4内を乾燥させる予備パージを行う。なお、この
予備パージの時間は、試料の表面の水分が少ない場合や
試料が飛散しやすい場合には短めに設定される。
Thereafter, the dry carrier gas is introduced into the container 1 through the carrier gas supply passage 3 for about 10 to 30 seconds to vaporize the water mixed in the container 1 and absorb the water. The carrier gas is discharged to the moisture measuring device 4 through the carrier gas discharging passage 5, and preliminary purging for drying the inside of the carrier gas supplying passage 3, the container 1, the carrier gas discharging passage 5 and the moisture measuring device 4 is performed. The pre-purging time is set to be short when the water content on the surface of the sample is small or the sample is easily scattered.

【0028】この後、ノズル19を容器1に接続したま
まで容器1内にキャリアガスを通しながら移動装置8で
容器1をテーブル9からヒータ2の上に移載し、ヒータ
2で容器1を加熱して容器1内の試料から水分を気化さ
せる。この水分を含んだキャリアガスはキャリアガス排
出路5を経て水分測定装置4に送られる。
Thereafter, while the nozzle 19 is still connected to the container 1, the container 1 is transferred from the table 9 onto the heater 2 by the moving device 8 while passing the carrier gas through the container 1, and the container 2 is mounted by the heater 2. Water is vaporized from the sample in the container 1 by heating. The carrier gas containing the moisture is sent to the moisture measuring device 4 via the carrier gas discharge passage 5.

【0029】ここで、容器1内に存在する水分は予めキ
ャリアガスを流通させることによって系外に排除されて
いるので、水分測定装置4にはヒータ2の加熱によって
試料から気化した水分だけを含んだキャリアガスが送ら
れることになる。したがって、測定対象とする試料に含
有される水分以外の容器1内に混入した水分による誤差
がない測定ができる。
Since the water present in the container 1 is removed from the system by circulating the carrier gas in advance, the water measuring device 4 contains only the water vaporized from the sample by the heater 2. The carrier gas will be sent. Therefore, it is possible to perform the measurement without an error due to the water mixed in the container 1 other than the water contained in the sample to be measured.

【0030】なお、ヒータ2は容器1を載せる前から作
動させておいてもよく、また、容器1を載せてから作動
させてもよい。上記の実施例では気密膜1eがアルミニ
ウム箔で構成してあるが、本発明の他の実施例では気密
膜1eがシリコンゴムで構成される。その他の構成、作
用ないし効果は上記の一実施例のそれらと同様であるの
で、重複を避けるためこれらの説明は省略する。
The heater 2 may be operated before the container 1 is placed, or may be operated after the container 1 is placed. Although the airtight film 1e is made of aluminum foil in the above embodiments, the airtight film 1e is made of silicon rubber in other embodiments of the present invention. Other configurations, operations, and effects are the same as those of the above-described embodiment, and thus the description thereof will be omitted to avoid duplication.

【0031】上記の各実施例において気密膜1eの材質
が誤差に及ぼす影響を求めるため、それぞれの場合の測
定結果を表1に示す。表1から明らかなように、シリコ
ンゴムを用いる場合には測定値がアルミニウム箔を用い
る場合の約3倍にもなっている。その原因は、シリコン
ゴムの表面に多数の微小な凹凸が存在するため、キャリ
アガスによって容器1の内部を乾燥させる時に、容器本
体1aの内面の水分は十分に乾燥されるが、シリコンゴ
ムの表面に多数の微小な凹凸に水分が捕らえられて残留
し、加熱気化時にこれが気化してくるからである。
In order to determine the influence of the material of the airtight film 1e on the error in each of the above-mentioned examples, Table 1 shows the measurement results in each case. As is clear from Table 1, the measured value when using silicone rubber is about three times that when using aluminum foil. The cause is that many fine irregularities are present on the surface of the silicone rubber, and therefore, when the inside of the container 1 is dried by the carrier gas, the moisture on the inner surface of the container body 1a is sufficiently dried, but the surface of the silicone rubber is This is because water is captured and remains on many minute irregularities, and this vaporizes during heating and vaporization.

【0032】[0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】また、気密膜1eをアルミニウム箔で構成
し、予めキャリアガスで容器1内を乾燥させる手順を省
いて水分測定をした結果、表2の比較例の欄に示すよう
に、予めキャリアガスで容器1内を乾燥させる手順を行
った場合に比べて約95〜128μgも測定値が多く、
また、測定値のばらつきも大きいことが分かる。
Further, the airtight film 1e was made of aluminum foil, and the moisture content was measured by omitting the procedure of drying the inside of the container 1 in advance with the carrier gas. As a result, as shown in the column of Comparative Example in Table 2, the carrier gas was previously prepared. Compared with the case where the procedure for drying the inside of the container 1 is performed, about 95 to 128 μg has a large measured value,
Further, it can be seen that the dispersion of the measured values is large.

【0034】[0034]

【表2】 [Table 2]

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
予めキャリアガスで容器内を乾燥させてからヒータで加
熱して試料の水分を気化させるようにしているので、試
料サンプリング時に容器内に混入した大気中の水分によ
る測定誤差を解消でき、高精度な測定ができる。
As described above, according to the present invention,
Since the inside of the container is dried with a carrier gas in advance and then heated by a heater to vaporize the water content of the sample, it is possible to eliminate the measurement error due to the water content in the air mixed in the container at the time of sampling the sample, and it is possible to achieve high accuracy. You can measure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の構成を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of the present invention.

【図2】本発明の容器の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the container of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 容器 1e 気密膜 2 ヒータ 3 キャリアガス供給路 4 水分測定装置 5 キャリアガス排出路 6 キャリアガス給排装置 7 予備パージ手段 8 移動手段 9 テーブル 10 挿入装置 1 Container 1e Airtight Membrane 2 Heater 3 Carrier Gas Supply Channel 4 Moisture Measuring Device 5 Carrier Gas Discharge Channel 6 Carrier Gas Supply / Discharge Device 7 Preliminary Purge Means 8 Moving Means 9 Table 10 Insertion Device

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成4年4月16日[Submission date] April 16, 1992

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】請求項7[Name of item to be corrected] Claim 7

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0025[Name of item to be corrected] 0025

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0025】 なお、この水分測定用試料加熱気化装置
には、上記流路切換弁18から水分測定装置4に予めキ
ャリアガスを流すためのプリパージ流路28が設けられ
る。この水分測定用試料加熱気化装置においては、ま
ず、プリパージ流路28を介してキャリアガスを水分測
定装置4に流し、水分測定装置4内を乾燥状態に安定さ
せるとともに、分岐路25を介してキャリアガスを予備
パージ室24に流して予備パージ室24を乾燥状態に保
持させる。上記プリパージ流路28は水分測定装置4内
が乾燥状態に安定した後閉じられる。
The sample heating vaporizer for moisture measurement is provided with a pre-purge flow channel 28 for allowing a carrier gas to flow from the flow channel switching valve 18 to the moisture measurement device 4 in advance. In this sample heating vaporization apparatus for moisture measurement, first, a carrier gas is caused to flow to the moisture measurement apparatus 4 through the prepurge channel 28 to stabilize the moisture measurement apparatus 4 in a dry state, and at the same time, the carrier gas is passed through the branch channel 25. The gas is caused to flow into the preliminary purge chamber 24 to keep the preliminary purge chamber 24 in a dry state. The prepurge channel 28 is closed after the inside of the moisture measuring device 4 is stabilized in a dry state.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0030[Name of item to be corrected] 0030

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0030】 なお、ヒータ2は容器1を載せる前から
作動させておいてもよく、また、容器1を載せてから作
動させてもよい。上記の実施例では気密膜1eが金属箔
例えばアルミニウム箔で構成してあるが、本発明の他の
実施例では気密膜1eがシリコンゴムで構成される。そ
の他の構成、作用ないし効果は上記の一実施例のそれら
と同様であるので、重複を避けるためこれらの説明は省
略する。
The heater 2 may be operated before the container 1 is placed, or may be operated after the container 1 is placed. In the above embodiment, the airtight film 1e is the metal foil.
For example, although it is made of aluminum foil, in another embodiment of the present invention, the airtight film 1e is made of silicon rubber. Other configurations, operations, and effects are the same as those of the above-described embodiment, and thus the description thereof will be omitted to avoid duplication.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 舟木 英二 京都市南区吉祥院新田二ノ段町68 京都電 子工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Eiji Funaki 68 Ninodancho Nittadan, Kichijoin, Minami-ku, Kyoto City Kyoto Electronics Industry Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料を収納した容器(1) を加熱して試料
の水分を気化させるヒータ(2) と、容器(1) 内に乾燥し
たキャリアガスを供給するキャリアガス供給路(3) と、
容器(1) 内で水分を吸収したキャリアガスを水分測定装
置(4) に導くキャリアガス排出路(5) とを備える水分測
定用試料加熱気化装置において、 容器(1) にキャリアガス供給路(3) の終端部とキャリア
ガス排出路(5) の始端部とを開口して、上記終端部と始
端部を容器(1) の内空間を介して気密状に連通させるキ
ャリアガス給排装置(6) と、 このキャリアガス給排装置(6) で容器(1) 内に乾燥した
キャリアガスを流通させて容器(1) の内面の水分を気化
させて排除する予備パージ手段(7) と、 上記予備パージ手段(7) で容器(1) の内部の水分を排除
した後、容器(1) をヒータ(2) の加熱空間に位置させる
ように容器(1) またはヒータ(2) を移動させる移動手段
(8) とを備えることを特徴とする水分測定用試料加熱気
化装置。
1. A heater (2) for heating a container (1) containing a sample to vaporize the water content of the sample, and a carrier gas supply path (3) for supplying a dry carrier gas into the container (1). ,
In a sample heating vaporizer for moisture measurement, which is equipped with a carrier gas discharge passage (5) that guides the carrier gas that has absorbed moisture in the container (1) to the moisture measurement device (4), the carrier gas supply passage ( A carrier gas supply / discharge device (3) that opens the end portion and the start end portion of the carrier gas discharge path (5) to allow the end portion and the start end portion to communicate with each other in an airtight manner through the inner space of the container (1) ( 6), and a preliminary purging means (7) for circulating the dry carrier gas in the container (1) by this carrier gas supply and discharge device (6) to vaporize and remove water on the inner surface of the container (1), After removing the water inside the container (1) by the preliminary purging means (7), move the container (1) or the heater (2) so that the container (1) is located in the heating space of the heater (2). transportation
(8) A sample heating vaporizer for moisture measurement, comprising:
【請求項2】 上記予備パージ手段(7) は試料を収納し
た容器(1) が載置されるテーブル(9) を備え、 上記キャリアガス給排装置(6) は、テーブル(9) に容器
(1) が載置された後、キャリアガス供給路(3) の終端部
及びキャリアガス排出路(5) の始端部を容器(1) に挿入
させる挿入装置(10)を備える請求項1に記載の水分測定
用試料加熱気化装置。
2. The preliminary purging means (7) comprises a table (9) on which a container (1) containing a sample is placed, and the carrier gas supply / discharge device (6) is provided on the table (9).
The insertion device (10) for inserting the end portion of the carrier gas supply passage (3) and the start end portion of the carrier gas discharge passage (5) into the container (1) after the (1) is placed thereon. The sample heating vaporizer for moisture measurement described.
【請求項3】 上記移動手段(8) が、予備パージ手段
(7) から容器(1) をこれにキャリアガス供給路(3) の終
端部及びキャリアガス排出路(5) の始端部が容器(1) 内
で連通した状態でヒータ(2) に移載するように構成され
る請求項1または2に記載の水分測定用試料加熱気化装
置。
3. The moving means (8) is a preliminary purging means.
Transfer the container (1) from (7) to the heater (2) with the end of the carrier gas supply passage (3) and the start end of the carrier gas discharge passage (5) communicating with the container (1). The sample heating vaporizer for moisture measurement according to claim 1 or 2, which is configured to:
【請求項4】 上記移動手段(8) がヒータ(2) を容器
(1) の位置に移動させるように構成される請求項1また
は2に記載の水分測定用試料加熱気化装置。
4. The moving means (8) contains a heater (2) in a container.
The sample heating vaporizer for moisture measurement according to claim 1 or 2, which is configured to be moved to the position (1).
【請求項5】 キャリアガス供給路(3) の終端部及びキ
ャリアガス排出路(5) の始端部が一体に束ねられた、ま
たは、内外二重の管状ノズルを構成する請求項1ないし
4の何れかに記載の水分測定用試料加熱気化装置。
5. The tubular nozzle of claim 1, wherein the end portion of the carrier gas supply passage (3) and the start end portion of the carrier gas discharge passage (5) are bundled together or constitute an inner / outer double tubular nozzle. A sample heating vaporizer for moisture measurement according to any one of claims.
【請求項6】 上記容器(1) がその一面にキャリアガス
供給路(3) の終端部及びキャリアガス排出路(5) の始端
部またはこれらの一方によって突き破られる気密膜(1e)
を備える請求項1ないし5のいずれかに記載の水分測定
用試料加熱気化装置。
6. An airtight membrane (1e), wherein the container (1) is pierced on one surface thereof by a terminal end of a carrier gas supply passage (3) and a starting end of a carrier gas discharge passage (5) or one of these.
A sample heating vaporizer for moisture measurement according to any one of claims 1 to 5.
【請求項7】 気密膜(1e)がアルミニウム箔で構成され
る請求項6に記載の水分測定用試料加熱気化装置。
7. The sample heating vaporizer for moisture measurement according to claim 6, wherein the airtight film (1e) is made of aluminum foil.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2024035409A (en) * 2022-09-02 2024-03-14 株式会社リガク Thermal analyzer
JP2024035408A (en) * 2022-09-02 2024-03-14 株式会社リガク Thermal analyzer

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JP2024035409A (en) * 2022-09-02 2024-03-14 株式会社リガク Thermal analyzer
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