JPH05284032A - 情報変換装置およびその製作方法 - Google Patents
情報変換装置およびその製作方法Info
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- JPH05284032A JPH05284032A JP5019426A JP1942693A JPH05284032A JP H05284032 A JPH05284032 A JP H05284032A JP 5019426 A JP5019426 A JP 5019426A JP 1942693 A JP1942693 A JP 1942693A JP H05284032 A JPH05284032 A JP H05284032A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 24
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- 208000016169 Fish-eye disease Diseases 0.000 abstract 2
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/66—Digital/analogue converters
- H03M1/74—Simultaneous conversion
- H03M1/742—Simultaneous conversion using current sources as quantisation value generators
- H03M1/745—Simultaneous conversion using current sources as quantisation value generators with weighted currents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電界放出装置を用いたデジタル−アナログ変
換装置を提供する。 【構成】 大きさを違えた電界放出装置を用いて、たと
えば２値または１０進数などの多くの形式のうちの１つ
のデータ情報を含むデジタル情報多重ビット入力信号を
アナログ出力電流または電圧信号に変換するデジタル−
アナログ（Ｄ／Ａ）信号変換装置２０である。
換装置を提供する。 【構成】 大きさを違えた電界放出装置を用いて、たと
えば２値または１０進数などの多くの形式のうちの１つ
のデータ情報を含むデジタル情報多重ビット入力信号を
アナログ出力電流または電圧信号に変換するデジタル−
アナログ（Ｄ／Ａ）信号変換装置２０である。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に、電界放出装
置（ＦＥＤ:Field Emission Device）を用いた電子装置
に関する。さらに詳しくは、異種電子放出特性を示すＦ
ＥＤに関する。
置（ＦＥＤ:Field Emission Device）を用いた電子装置
に関する。さらに詳しくは、異種電子放出特性を示すＦ
ＥＤに関する。
【０００２】
【従来の技術】電界放出装置（ＦＥＤ）は、当技術では
既知のものであり、電子装置としてよく採用される。通
常ＦＥＤは、少なくとも、電子を放出する電子エミッタ
と、電子エミッタに関して直近に配置される注出電極(e
xtraction electrode)とから構成される。ＦＥＤによっ
ては、放出された電子の少なくともいくらかを収集する
ための独立した陽極を用いているものもある。
既知のものであり、電子装置としてよく採用される。通
常ＦＥＤは、少なくとも、電子を放出する電子エミッタ
と、電子エミッタに関して直近に配置される注出電極(e
xtraction electrode)とから構成される。ＦＥＤによっ
ては、放出された電子の少なくともいくらかを収集する
ための独立した陽極を用いているものもある。
【０００３】デジタル−アナログ（Ｄ／Ａ）情報変換
は、既知の装置機能である。Ｄ／Ａ変換のある実現形態
においては、複数のＦＥＤが、独立した群のＦＥＤとし
て、選択的に動作可能に相互接続され、あらかじめ定め
られた電子放出レベルを与える。このレベルは、前記の
複数群のうちのいずれの群が動作（オン）モードにある
かにより決まる。異なる電子放出レベルを実現するこの
方法の欠点は、それぞれの電子放出レベルが、ＦＥＤの
アレイのうちの特定の群のＦＥＤにより実現されるため
に、大きなＦＥＤのアレイが必要になることである。
は、既知の装置機能である。Ｄ／Ａ変換のある実現形態
においては、複数のＦＥＤが、独立した群のＦＥＤとし
て、選択的に動作可能に相互接続され、あらかじめ定め
られた電子放出レベルを与える。このレベルは、前記の
複数群のうちのいずれの群が動作（オン）モードにある
かにより決まる。異なる電子放出レベルを実現するこの
方法の欠点は、それぞれの電子放出レベルが、ＦＥＤの
アレイのうちの特定の群のＦＥＤにより実現されるため
に、大きなＦＥＤのアレイが必要になることである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、これらの欠点
のうち少なくともあるものを克服するデジタル−アナロ
グ（Ｄ／Ａ）情報変換装置に対する必要性が生まれる。
のうち少なくともあるものを克服するデジタル−アナロ
グ（Ｄ／Ａ）情報変換装置に対する必要性が生まれる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記およびその他の必要
性は、情報変換装置を設けることにより実質的に満たさ
れる。本変換装置は、以下のものによって構成される少
なくとも複数の電界放出装置（ＦＥＤ）を備える：主表
面を有する支持基板；支持基板の主表面上に配置され
て、それを貫通する複数の開口部であって、その中に
は、それに関して第１口径を有するものと、第２口径を
有するものとがある複数の開口部を有する絶縁層；電子
を放出し、複数の開口部の少なくともいくつかのそれぞ
れの中に実質的に配置される電子エミッタ；絶縁層の少
なくとも一部の上に実質的に配置され、複数の開口部の
いくつかの少なくとも一部に関して、周対称に配置され
た注出電極；放出された電子の少なくともいくつかを収
集し、電子エミッタに関して遠端に配置された少なくと
も第１の陽極；および、少なくとも複数の外部に設けら
れた入力信号源手段であって、複数のＦＥＤの少なくと
もいくつかの注出電極と電子エミッタとの間に選択的に
動作可能に結合されて、複数の外部に設けられた信号源
手段により与えられた選択された入力信号パターンによ
り所望の出力信号を得る入力信号源手段。
性は、情報変換装置を設けることにより実質的に満たさ
れる。本変換装置は、以下のものによって構成される少
なくとも複数の電界放出装置（ＦＥＤ）を備える：主表
面を有する支持基板；支持基板の主表面上に配置され
て、それを貫通する複数の開口部であって、その中に
は、それに関して第１口径を有するものと、第２口径を
有するものとがある複数の開口部を有する絶縁層；電子
を放出し、複数の開口部の少なくともいくつかのそれぞ
れの中に実質的に配置される電子エミッタ；絶縁層の少
なくとも一部の上に実質的に配置され、複数の開口部の
いくつかの少なくとも一部に関して、周対称に配置され
た注出電極；放出された電子の少なくともいくつかを収
集し、電子エミッタに関して遠端に配置された少なくと
も第１の陽極；および、少なくとも複数の外部に設けら
れた入力信号源手段であって、複数のＦＥＤの少なくと
もいくつかの注出電極と電子エミッタとの間に選択的に
動作可能に結合されて、複数の外部に設けられた信号源
手段により与えられた選択された入力信号パターンによ
り所望の出力信号を得る入力信号源手段。
【０００６】
【実施例】電界放出装置（ＦＥＤ）の動作（すなわち電
子放出）は、電子エミッタの表面直近と、電子エミッタ
の放出チップ付近とで誘導される電界の大きさに直接関
係する。この関係は実質的に、以下の式で表されること
が当技術では知られている。
子放出）は、電子エミッタの表面直近と、電子エミッタ
の放出チップ付近とで誘導される電界の大きさに直接関
係する。この関係は実質的に、以下の式で表されること
が当技術では知られている。
【０００７】
【数１】Ｉ＝∫ＪＳ ただし、Ｊは、電子放出面に関する位置の関数としての
電流密度であり、Ｓは、電子放出面である。
電流密度であり、Ｓは、電子放出面である。
【０００８】電流密度分布は、放出面上では実質的にガ
ウス型であり、意義のある電子放出の実質的にすべての
ものは、電子エミッタに関して垂線（接続される支持基
板に垂直の）から±π／２度の範囲内で起こっており、
これは当技術ではよく採用されるものである。また、電
子放出面は、エミッタ・チップとして通常知られてい
る、部分的に非同形部／突起部がある実質的に球面の部
分で構成される。これで以下の式が導かれる。
ウス型であり、意義のある電子放出の実質的にすべての
ものは、電子エミッタに関して垂線（接続される支持基
板に垂直の）から±π／２度の範囲内で起こっており、
これは当技術ではよく採用されるものである。また、電
子放出面は、エミッタ・チップとして通常知られてい
る、部分的に非同形部／突起部がある実質的に球面の部
分で構成される。これで以下の式が導かれる。
【０００９】
【数２】 Ｊ＝Ｊmax （２π∂2 ）-1/2ｅｘｐ（−φ2 ／２∂2 ） ただし従来の技術のFowler-Nordheim の関係より、Ｊ
max は以下のようになる。
max は以下のようになる。
【００１０】
【数３】 Ｊmax ＝ＡＥ2 ｅｘｐ（−６．８３ｘ１０7 ｗ3/2 ／ｖ／Ｅ） ただし、Ａ＝（３．１８ｘ１０-11 ／Ｖ2 ／ｗ）1/2 ， Ｖ＝０．９５−（３．７９ｘ１０-4Ｅ1/2 ／ｗ）2 とな
る。Ｅは、電子エミッタ・チップ面で誘導される電界
で、以下のようになる。
る。Ｅは、電子エミッタ・チップ面で誘導される電界
で、以下のようになる。
【００１１】
【数４】Ｅ＝ｄＶ／ｄｚ≒ΔＶ／Δｚ ｗは、電子エミッタを構成する材料の表面仕事関数であ
る。また、
る。また、
【００１２】
【数５】Ｓ＝２πｒ2 ｓｉｎφｄφ ただし、ｒは、代表的な球形放出面の曲率半径である。
上記の積分に代入すると、以下の式が得られる。
上記の積分に代入すると、以下の式が得られる。
【００１３】
【数６】 Ｉ＝（２πｒ2 ／∂2 ）1/2 Ｊmax ∫（φ−φ3 ／３！）ｅｘｐ（−φ2 ／ ２∂2 ）ｄφ ただし、ｓｉｎφは、省略した数列展開で置き換えられ
ている。
ている。
【００１４】放出面に関して実質的にガウス型の放出プ
ロフィルを示す典型的な電界放出装置に関しては、以下
の値： ｒ＝３００ｘ１０-10 ｍ ｗ＝４．０ｅ ∂＝１３．３７度＝０．２３３ラジアン Ｖ＝６０ボルト を用いて、電子エミッタ・チップの電界と、ＦＥＤから
放出される電流とを決定することができる。
ロフィルを示す典型的な電界放出装置に関しては、以下
の値： ｒ＝３００ｘ１０-10 ｍ ｗ＝４．０ｅ ∂＝１３．３７度＝０．２３３ラジアン Ｖ＝６０ボルト を用いて、電子エミッタ・チップの電界と、ＦＥＤから
放出される電流とを決定することができる。
【００１５】図１は、電子エミッタ電流Ｉ（Ａ）を、Ｆ
ＥＤの口径の関数として示す、コンピュータ・モデル解
析のグラフである。電流特性曲線１０は、明らかに、Ｆ
ＥＤの口径が小さくなると、放出される電流Ｉ（Ａ）
が、それに従って増加することを示している。
ＥＤの口径の関数として示す、コンピュータ・モデル解
析のグラフである。電流特性曲線１０は、明らかに、Ｆ
ＥＤの口径が小さくなると、放出される電流Ｉ（Ａ）
が、それに従って増加することを示している。
【００１６】図２には、情報変換装置２０の第１実施例
の部分的な側面断面図が示される。主表面を有する支持
基板２１が設けられ、その上に第１絶縁層２２が実質的
に配置される。絶縁層２２は、それを貫通する少なくと
も複数の開口部２４，２５を有し、複数の開口部２４，
２５のいくつかは第１口径をもち、複数の開口部２４，
２５の他のものは第２口径をもつ。注出電極２３が絶縁
層２２の上に、さらに複数の開口部２４，２５に関して
実質的に周対称に配置される。電子を放出する電子エミ
ッタ２６，２７が開口部２４，２５内に配置され、支持
基板２１の主表面に結合される。図示されるように形成
されると、説明された構造は、ここまでのところ、複数
のＦＥＤを構成する。放出された電子の少なくともいく
つかを収集する陽極２８は、複数のＦＥＤの電子エミッ
タ２６，２７に関して遠端に配置される。
の部分的な側面断面図が示される。主表面を有する支持
基板２１が設けられ、その上に第１絶縁層２２が実質的
に配置される。絶縁層２２は、それを貫通する少なくと
も複数の開口部２４，２５を有し、複数の開口部２４，
２５のいくつかは第１口径をもち、複数の開口部２４，
２５の他のものは第２口径をもつ。注出電極２３が絶縁
層２２の上に、さらに複数の開口部２４，２５に関して
実質的に周対称に配置される。電子を放出する電子エミ
ッタ２６，２７が開口部２４，２５内に配置され、支持
基板２１の主表面に結合される。図示されるように形成
されると、説明された構造は、ここまでのところ、複数
のＦＥＤを構成する。放出された電子の少なくともいく
つかを収集する陽極２８は、複数のＦＥＤの電子エミッ
タ２６，２７に関して遠端に配置される。
【００１７】注出電極２３と支持基板２１との間に外部
に設けられた電圧源（信号源）２９を動作可能に結合す
ることにより、複数のＦＥＤとしての本構造の動作が可
能となる。説明されたように動作されると、複数のＦＥ
ＤのうちのＦＥＤからの電子放出電流は、口径が異なる
ために、異なるものとなる。小さい方の口径を有する開
口部２５に関する電子エミッタ２７は、大きい方の口径
を有する開口部２４に関する電子エミッタ２６により設
けられる電子放出電流よりも大きな電子放出電流を発生
する。
に設けられた電圧源（信号源）２９を動作可能に結合す
ることにより、複数のＦＥＤとしての本構造の動作が可
能となる。説明されたように動作されると、複数のＦＥ
ＤのうちのＦＥＤからの電子放出電流は、口径が異なる
ために、異なるものとなる。小さい方の口径を有する開
口部２５に関する電子エミッタ２７は、大きい方の口径
を有する開口部２４に関する電子エミッタ２６により設
けられる電子放出電流よりも大きな電子放出電流を発生
する。
【００１８】図３には、本発明による複数のＦＥＤを用
いる情報変換装置１００の別の実施例の部分的斜視図が
示される。図３ではさらに、注出電極１０３が複数の選
択的にパターニングされた領域として形成され、複数の
外部に設けられた電圧源（信号源）１１０，１１２はそ
れぞれ、複数の独立した領域の１つと、複数の導電性経
路１３２，１３４の１つとに動作可能に結合されている
ことがわかる。複数の導電性経路１３２，１３４は、支
持基板１０１の主表面上に配置され、電子を放出する電
子エミッタ１０６，１０７はそれぞれ開口部１０４，１
０５内に配置されて、複数の導電性経路１３２，１３４
の導電性経路にそれぞれ動作可能に結合されている。放
出された電子を収集する陽極１０８は、複数のＦＥＤの
電子エミッタ１０６，１０７に関して遠端に配置され
る。
いる情報変換装置１００の別の実施例の部分的斜視図が
示される。図３ではさらに、注出電極１０３が複数の選
択的にパターニングされた領域として形成され、複数の
外部に設けられた電圧源（信号源）１１０，１１２はそ
れぞれ、複数の独立した領域の１つと、複数の導電性経
路１３２，１３４の１つとに動作可能に結合されている
ことがわかる。複数の導電性経路１３２，１３４は、支
持基板１０１の主表面上に配置され、電子を放出する電
子エミッタ１０６，１０７はそれぞれ開口部１０４，１
０５内に配置されて、複数の導電性経路１３２，１３４
の導電性経路にそれぞれ動作可能に結合されている。放
出された電子を収集する陽極１０８は、複数のＦＥＤの
電子エミッタ１０６，１０７に関して遠端に配置され
る。
【００１９】このように構成されると、図３の情報変換
装置は、複数の外部に設けられた電圧源１１０，１１２
により所望の入力電圧を印加することにより実現される
装置の電子放出電流により決定される、所望の出力信号
を設けるために用いられる。図４は、本発明による複数
の異種の（大きさを違えた）ＦＥＤ２０１，２０２，２
０３を用いている情報変換装置２００の概略図である。
図示されたＦＥＤ２０１，２０２，２０３のそれぞれ
（それぞれは破線のボックス内に区別される）には、電
子を放出する電子エミッタと、注出電極とが具備され、
それぞれのＦＥＤは、さらに、口径２０４，２０５，２
０６をそれぞれもつことで区別される。口径２０４，２
０５，２０６は互いに異なり、前述のような所望の電子
放出電流特性を生じさせる。
装置は、複数の外部に設けられた電圧源１１０，１１２
により所望の入力電圧を印加することにより実現される
装置の電子放出電流により決定される、所望の出力信号
を設けるために用いられる。図４は、本発明による複数
の異種の（大きさを違えた）ＦＥＤ２０１，２０２，２
０３を用いている情報変換装置２００の概略図である。
図示されたＦＥＤ２０１，２０２，２０３のそれぞれ
（それぞれは破線のボックス内に区別される）には、電
子を放出する電子エミッタと、注出電極とが具備され、
それぞれのＦＥＤは、さらに、口径２０４，２０５，２
０６をそれぞれもつことで区別される。口径２０４，２
０５，２０６は互いに異なり、前述のような所望の電子
放出電流特性を生じさせる。
【００２０】情報変換装置２００の場合は、複数のＦＥ
Ｄ２０１，２０２，２０３のそれぞれのＦＥＤの電子放
出電流の間に、望ましい数学的関係が設定される。図４
は、さらに、情報変換装置２００が、複数の外部から与
えられた入力信号、ここでは図２および図３に関して前
述されたように、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 として表される入力
信号を選択的に印加することにより動作される様子を示
す。
Ｄ２０１，２０２，２０３のそれぞれのＦＥＤの電子放
出電流の間に、望ましい数学的関係が設定される。図４
は、さらに、情報変換装置２００が、複数の外部から与
えられた入力信号、ここでは図２および図３に関して前
述されたように、Ｖ1 ，Ｖ2 ，Ｖ3 として表される入力
信号を選択的に印加することにより動作される様子を示
す。
【００２１】放出された電子の少なくともいくつかを収
集する陽極２０７は、複数のＦＥＤ２０１，２０２，２
０３の電子エミッタに関して遠端に配置される。インピ
ーダンス素子２０８は、陽極２０７と、外部に設けられ
た陽極電圧源２１０との間に動作可能に結合される。出
力信号は、基準電圧、たとえば接地基準または陽極電圧
源２１０に関して、陽極２０７で測定される電圧として
実現される。あるいは、出力信号は、負荷素子（図示せ
ず）を通過する信号電流として実現されることもある。
集する陽極２０７は、複数のＦＥＤ２０１，２０２，２
０３の電子エミッタに関して遠端に配置される。インピ
ーダンス素子２０８は、陽極２０７と、外部に設けられ
た陽極電圧源２１０との間に動作可能に結合される。出
力信号は、基準電圧、たとえば接地基準または陽極電圧
源２１０に関して、陽極２０７で測定される電圧として
実現される。あるいは、出力信号は、負荷素子（図示せ
ず）を通過する信号電流として実現されることもある。
【００２２】図４の装置２００は、複数のＦＥＤ２０
１，２０２，２０３の注出電極のそれぞれに印加された
実質的に等しい入力信号の大きさに関して、その数学的
関係が以下のようであることを示す：Ｉｅは、口径２０
４を有するＦＥＤ２０１の電子放出電流；ｍＩｅは、口
径２０５を有するＦＥＤ２０２の電子放出電流；および
ｎＩｅは、口径２０６を有するＦＥＤ２０４の電子放出
電流である本発明の特定の実施例においては、ｍ＝２お
よびｎ＝４で、これにより２値のデジタル情報入力信号
から、アナログ情報出力信号への変換（Ｄ／Ａ変換器）
を定義する。
１，２０２，２０３の注出電極のそれぞれに印加された
実質的に等しい入力信号の大きさに関して、その数学的
関係が以下のようであることを示す：Ｉｅは、口径２０
４を有するＦＥＤ２０１の電子放出電流；ｍＩｅは、口
径２０５を有するＦＥＤ２０２の電子放出電流；および
ｎＩｅは、口径２０６を有するＦＥＤ２０４の電子放出
電流である本発明の特定の実施例においては、ｍ＝２お
よびｎ＝４で、これにより２値のデジタル情報入力信号
から、アナログ情報出力信号への変換（Ｄ／Ａ変換器）
を定義する。
【００２３】本発明の別の実施例においては、ｍ＝１０
およびｎ＝１００であって、これは１０進数のデジタル
情報入力信号からアナログ情報出力信号への変換（Ｄ／
Ａ変換器）を定義する。
およびｎ＝１００であって、これは１０進数のデジタル
情報入力信号からアナログ情報出力信号への変換（Ｄ／
Ａ変換器）を定義する。
【００２４】装置２００に関して、ｍ＝１０およびｎ＝
１００の場合は、入力信号の大きさが所望の範囲内で変
動して、複数のＦＥＤ２０１，２０２，２０３のいずれ
かに印加されると、関連のＦＥＤに関する電子放出電流
もほぼそのオーダーで大きさが変動するものとする。こ
のように設定された情報変換装置２００は、完全な１０
進数デジタル−アナログ変換装置として機能する。
１００の場合は、入力信号の大きさが所望の範囲内で変
動して、複数のＦＥＤ２０１，２０２，２０３のいずれ
かに印加されると、関連のＦＥＤに関する電子放出電流
もほぼそのオーダーで大きさが変動するものとする。こ
のように設定された情報変換装置２００は、完全な１０
進数デジタル−アナログ変換装置として機能する。
【００２５】ここで開示された情報変換装置は、３段よ
りも大きな数の変換段を含むように拡張することができ
るのは明かである。例として、８段を用いる情報変換装
置を用いて、８ビットの２値語のＤ／Ａ変換を行うこと
ができる。従って、３２段の情報変換装置を用いると、
３２ビット語のＤ／Ａ情報変換を行うことができる。係
数ｍおよびｎがここで特定されていない値である他の数
学的関係を実現することができ、このような実施例も本
発明の範囲に入ることは当然である。
りも大きな数の変換段を含むように拡張することができ
るのは明かである。例として、８段を用いる情報変換装
置を用いて、８ビットの２値語のＤ／Ａ変換を行うこと
ができる。従って、３２段の情報変換装置を用いると、
３２ビット語のＤ／Ａ情報変換を行うことができる。係
数ｍおよびｎがここで特定されていない値である他の数
学的関係を実現することができ、このような実施例も本
発明の範囲に入ることは当然である。
【図１】ＦＥＤに関して放出された電子電流と口径との
間に存在する関係をグラフに表したものである。
間に存在する関係をグラフに表したものである。
【図２】本発明による複数のＦＥＤを用いる情報変換装
置の実施例の部分的な側面断面図である。
置の実施例の部分的な側面断面図である。
【図３】本発明による複数のＦＥＤを用いる情報変換装
置の別の実施例の部分的な斜視図である。
置の別の実施例の部分的な斜視図である。
【図４】本発明による情報変換装置の概略図である。
１００ 電子装置 １０１ 支持基板 １０２ 絶縁層 １０３ 注出電極層 １０４，１０５ 開口部 １０６，１０７ 電子エミッタ １０８ 陽極 １１０，１１２ 電圧源 １３２，１３４ 導電性経路
Claims (3)
- 【請求項１】 情報変換装置であって：主表面を有する
支持基板（２１）と、前記支持基板（２１）の前記主表
面上に配置され、それを貫通する複数の開口部（２４，
２５）を有する絶縁層（２２）であって、このときいく
つかの開口部（２４）がそれに関して第１口径を有し、
その他の開口部（２５）がそれに関して第２口径を有す
る開口部を有する絶縁層（２２）と、前記複数の開口部
（２４，２５）のそれぞれの中に配置された電子エミッ
タ（２６，２７）と、前記絶縁層（２２）上に配置さ
れ、前記複数の開口部（２４，２５）の少なくとも一部
に関して周対称に配置されている注出電極（２３）とを
含む複数の電界放出装置；および放出された電子のいく
つかを収集し、前記の複数の電界放出装置の電子エミッ
タ（２６，２７）に関して遠端に配置された陽極（２
８）；によって構成される情報変換装置であって、前記
注出電極（２３）と前記電子エミッタ（２６，２７）と
が、その間に選択的に結合される入力信号源（２９）を
有して、前記入力信号源（２９）により与えられた選択
された入力信号パターンにより所望の出力電圧／電流信
号を設ける情報変換装置。 - 【請求項２】 第１口径をもつ開口部（２４）を有する
第１電界放出装置と、第１口径とは所定の関係において
異なる第２口径をもつ開口部（２５）を有する第２電界
放出装置とを備える情報変換装置であって、前記第１お
よび第２電界放出装置のそれぞれが、実質的に等しい大
きさの入力信号で動作されるときに、前記第１電界放出
装置内で放出された電子電流が、前記第２電界放出装置
内で放出された電子電流に対して所定の値にある情報変
換装置。 - 【請求項３】 情報変換装置を製作方法であって：主表
面を有する支持基板（２２）を設ける段階；前記基板
（２１）の前記主表面上に、複数の開口部（２４，２
５）をが形成されている絶縁層（２２）であって、少な
くともいくつかの開口部（２４）がそれに関する第１口
径を有し、他のいくつかの開口部（２５）がそれに関す
る、第１口径とは所定の関係において異なる第２口径を
有する絶縁層（２２）を配置する段階；および前記の複
数の開口部（２４，２５）のそれぞれの中に電子エミッ
タ（２６，２７）を配置して、第１口径をもつ開口部
（２４）を有する少なくとも第１の電界放出装置と、第
２口径をもつ開口部（２５）を有する少なくとも第２の
電界放出装置とを備える複数の電界放出装置を形成し
て、前記第１および第２電界放出装置のそれぞれが、実
質的に等しい大きさの入力信号で動作された場合に、前
記第１電界放出装置内で放出された電子電流が、前記第
２電界放出装置内で放出された電子電流に関して所定の
値にあるようにする段階；によって構成されることを特
徴とする方法。
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|---|---|
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Family
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Family Applications (1)
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|---|---|
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