JPS5916255A - 電子銃 - Google Patents
電子銃Info
- Publication number
- JPS5916255A JPS5916255A JP57124342A JP12434282A JPS5916255A JP S5916255 A JPS5916255 A JP S5916255A JP 57124342 A JP57124342 A JP 57124342A JP 12434282 A JP12434282 A JP 12434282A JP S5916255 A JPS5916255 A JP S5916255A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- electron beam
- electrodes
- cathode
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は２次元マドｖクス状に多数配置面された電子源
をそれぞれ独立に作動させることのできる電子銃に関す
るもので、例えば電子ビーム描画装置として使用するこ
とができる。
をそれぞれ独立に作動させることのできる電子銃に関す
るもので、例えば電子ビーム描画装置として使用するこ
とができる。
２次元状に多数配置されたフィールドエミッション形電
子銃は文献ｒ Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅ
ｓ ｏｆｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａ
ｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔｈ ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍｃｏｎ
ｅｓ ： Ｃ，Ａ、 ５ｐｉｎｄｔ ｅｔ ａ＋、、
Ｊ、 Ａｐｐｌ、 Ｐｈｙｓ、。
子銃は文献ｒ Ｐｈｙｓｉｃａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｉｅ
ｓ ｏｆｔｈｉｎ−ｆｉｌｍ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｃａ
ｔｈｏｄｅｓ ｗｉｔｈ ｍｏｌｙｂｄｅｎｕｍｃｏｎ
ｅｓ ： Ｃ，Ａ、 ５ｐｉｎｄｔ ｅｔ ａ＋、、
Ｊ、 Ａｐｐｌ、 Ｐｈｙｓ、。
Ｖｏｌ ４７ Ａ１２． Ｐ５２４８． ＋９７６Ｊに
詳細に報告されている。ここで述べられている電子銃の
斜視図を第１図に、その一つの電子源の断面図を第２図
に示す。第１図及び第２図において、１１は陽極電極と
なる金属薄板、２１は絶縁膜、３１は陰極電極、４１は
導電性基板、５０は電源である。陰極電極３１はほぼ同
じ針状に作られて導電性基板４１上に、図示例では計４
個の電極が２行、２列の７トリクス状に、配置される。
詳細に報告されている。ここで述べられている電子銃の
斜視図を第１図に、その一つの電子源の断面図を第２図
に示す。第１図及び第２図において、１１は陽極電極と
なる金属薄板、２１は絶縁膜、３１は陰極電極、４１は
導電性基板、５０は電源である。陰極電極３１はほぼ同
じ針状に作られて導電性基板４１上に、図示例では計４
個の電極が２行、２列の７トリクス状に、配置される。
陽極電極となる金属薄板１１には、陰極電極３１の配置
位置に対応する位置にそれぞれ貫通孔があけられており
、同じ導電性基板４１上に絶縁膜２１を隔てて配置され
る。陽極の薄板にあけられた貫通孔の直径は１．５μｍ
、その薄板厚さは０４μｍ１絶縁膜２１の厚さは１．５
μｍである。陰極電極６１と電気的に導通している導電
性基板４１と、陽極電極としての金属薄板１１との間に
５０〜１ｏｏボルトの電圧を印加することにより、各陰
極電極３１がら電子を放射させる。
位置に対応する位置にそれぞれ貫通孔があけられており
、同じ導電性基板４１上に絶縁膜２１を隔てて配置され
る。陽極の薄板にあけられた貫通孔の直径は１．５μｍ
、その薄板厚さは０４μｍ１絶縁膜２１の厚さは１．５
μｍである。陰極電極６１と電気的に導通している導電
性基板４１と、陽極電極としての金属薄板１１との間に
５０〜１ｏｏボルトの電圧を印加することにより、各陰
極電極３１がら電子を放射させる。
しかし、上記構成では、各電子源を独立に作動させるこ
とはできず、任意の形状の電子ビーム像を得る使用目的
には採用できない。
とはできず、任意の形状の電子ビーム像を得る使用目的
には採用できない。
本発明の目的は、２次元マトリクス状に多数配置された
電子源のうちの任意の電子源からの電子ビームを外部に
取り出しその他の電子源からの電子ビームは途中でさえ
ぎることにょシ任意の形状を持つ電子ビーム像を得るこ
とのできる電子銃を提供するにある。
電子源のうちの任意の電子源からの電子ビームを外部に
取り出しその他の電子源からの電子ビームは途中でさえ
ぎることにょシ任意の形状を持つ電子ビーム像を得るこ
とのできる電子銃を提供するにある。
本発明の特徴は、上記目的を達成するために、放出され
る電子ビームの進行方向を各電子ビームごとに偏らせる
偏向電極と、これらの偏向電極への供給電圧をオンある
いはオフ（接地側にオン）に切替えることで各電子ビー
ムごとにその進行方向を偏向させたり偏向させなかった
りする切替えスイッチ群とを設け、導電性基板上の陰極
電極の配置位置に対応する位置に貫通孔があけられた第
２の金属薄板を前記偏向電極の外方に電気的に配置する
構成を採用することにより、偏向されなかった電子ビー
ムだけを外部に放出させるようにしたことにある。
る電子ビームの進行方向を各電子ビームごとに偏らせる
偏向電極と、これらの偏向電極への供給電圧をオンある
いはオフ（接地側にオン）に切替えることで各電子ビー
ムごとにその進行方向を偏向させたり偏向させなかった
りする切替えスイッチ群とを設け、導電性基板上の陰極
電極の配置位置に対応する位置に貫通孔があけられた第
２の金属薄板を前記偏向電極の外方に電気的に配置する
構成を採用することにより、偏向されなかった電子ビー
ムだけを外部に放出させるようにしたことにある。
以下、図面により本発明を説明する。
第５図は本発明の一実施例を示す斜視図、第４図は第３
図の４個の電子源のうちの２個についてその断面と各部
品相互付値関係を示す断面図である。図面において、３
４．３２．５５．・・・はほぼ同じ針状に作られた陰極
電極で、実施例では２×２のマトリクス状に導電性基板
４１上に配置される。
図の４個の電子源のうちの２個についてその断面と各部
品相互付値関係を示す断面図である。図面において、３
４．３２．５５．・・・はほぼ同じ針状に作られた陰極
電極で、実施例では２×２のマトリクス状に導電性基板
４１上に配置される。
１１は陽極電極となる金属薄板で、導電性基板４１上の
陰極電極５１．５２・・・の配置位置に対応する位置に
貫通孔があけてあシ、絶縁膜２１によって導電性基板４
１とは電気的に絶縁されて配置される。
陰極電極５１．５２・・・の配置位置に対応する位置に
貫通孔があけてあシ、絶縁膜２１によって導電性基板４
１とは電気的に絶縁されて配置される。
６１．６２．・・・、６５．・・・は放出される電子ビ
ームの進行方向を偏らせるための偏向電極で、各電子ビ
ームごとに２つの対向する偏向電極が設けられる。
ームの進行方向を偏らせるための偏向電極で、各電子ビ
ームごとに２つの対向する偏向電極が設けられる。
２３Ｖｉこれらの偏向電極を支える支えである。図示例
では、６１と６２は陰極電極６１からの電子ビームに対
する偏向電極、６５と６４は陰極電極６２からの電子ビ
ームに対する偏向電極である。
では、６１と６２は陰極電極６１からの電子ビームに対
する偏向電極、６５と６４は陰極電極６２からの電子ビ
ームに対する偏向電極である。
５０は陰極−陽極間に電圧を印加するための電源、５１
．５２は偏向電極に電圧を印加するだめの電源、５３〜
５６は偏向用電源５１．５２と各偏向電極６１〜６４と
を結ぶ接続線の途中に配置されて偏向電極６１〜６４へ
の供給電圧を電源側に切替えたシ接地側に切替えたりす
る切替えスイッチ群である。７１は偏向された電子ビー
ムは遮断し、偏向されなかった電子ビームだけを外部に
放出させるために設けられる第２の金属薄板で、支持台
８０によって偏向電極６１〜６４のさらに外方に配置さ
れ、そしてその薄板面には、前記した陽極電極を形成す
る第１の金属薄板１１と同じように、導電性基板４１上
の陰極電極３１，３２．・・・の配置位置に対応する位
置ごとに貫通孔があけである。
．５２は偏向電極に電圧を印加するだめの電源、５３〜
５６は偏向用電源５１．５２と各偏向電極６１〜６４と
を結ぶ接続線の途中に配置されて偏向電極６１〜６４へ
の供給電圧を電源側に切替えたシ接地側に切替えたりす
る切替えスイッチ群である。７１は偏向された電子ビー
ムは遮断し、偏向されなかった電子ビームだけを外部に
放出させるために設けられる第２の金属薄板で、支持台
８０によって偏向電極６１〜６４のさらに外方に配置さ
れ、そしてその薄板面には、前記した陽極電極を形成す
る第１の金属薄板１１と同じように、導電性基板４１上
の陰極電極３１，３２．・・・の配置位置に対応する位
置ごとに貫通孔があけである。
このような構成とした実施例電子銃を動作させるには、
電源及び切替えスイッチ群を除いた電子銃本体部分を１
０−９〜１０− ”Ｔｏｒｒ程度の高真空中におき、導
電性基板４１と、陽極電極を形成する第１の金属薄板１
１との間に５０〜１００Ｖの電圧を印加する。これによ
り陰極電極３１，３２．・・・の先端部から電子が放出
され、第１の金属薄板１１にあけられた貫通孔及び第２
の金属薄板７１にあけられた貫通孔を通して電子銃の外
部に電子ビームが流れる。第４図において両方の陰極電
極６１゜３２からの電子ビームを外部に放出させるには
、切替えスイッチ群５３〜５６を全て接地側（図示では
左右の接点のうちの左側）に切替え、全ての偏向電極６
１〜６４を接地する。即ち、偏向電極６１〜６４を、陽
極電極を形成する第１の金属薄板１１と同じ接地電慮と
する。また、両方の陰極電極３１．３２からの電子ビー
ムを第２の金属薄板７１で遮断して外部に放出させない
ようにするには、４個の切替えスイッチ群５６〜５６を
全て図示の右側の接点に接続するように切替え、偏向電
極６１．６Ｓに−Ｖｄボルト、偏向電極６２．６４に＋
Ｖｄボルトの電圧を印加する。さらに、陰極電極３１か
らの電子ビームは外部に放出させ陰極電極６２からの電
子ビームは途中で遮断させるには、切替えスイッチ５３
．５４は左側接点に接続して偏向電極６１．６２を接地
電位とし、切替えスイッチ５５゜５６は右側接点に接続
して偏向電極６３．６４間に・偏向用電源５１．５２か
らの電圧を印加すればよい。
電源及び切替えスイッチ群を除いた電子銃本体部分を１
０−９〜１０− ”Ｔｏｒｒ程度の高真空中におき、導
電性基板４１と、陽極電極を形成する第１の金属薄板１
１との間に５０〜１００Ｖの電圧を印加する。これによ
り陰極電極３１，３２．・・・の先端部から電子が放出
され、第１の金属薄板１１にあけられた貫通孔及び第２
の金属薄板７１にあけられた貫通孔を通して電子銃の外
部に電子ビームが流れる。第４図において両方の陰極電
極６１゜３２からの電子ビームを外部に放出させるには
、切替えスイッチ群５３〜５６を全て接地側（図示では
左右の接点のうちの左側）に切替え、全ての偏向電極６
１〜６４を接地する。即ち、偏向電極６１〜６４を、陽
極電極を形成する第１の金属薄板１１と同じ接地電慮と
する。また、両方の陰極電極３１．３２からの電子ビー
ムを第２の金属薄板７１で遮断して外部に放出させない
ようにするには、４個の切替えスイッチ群５６〜５６を
全て図示の右側の接点に接続するように切替え、偏向電
極６１．６Ｓに−Ｖｄボルト、偏向電極６２．６４に＋
Ｖｄボルトの電圧を印加する。さらに、陰極電極３１か
らの電子ビームは外部に放出させ陰極電極６２からの電
子ビームは途中で遮断させるには、切替えスイッチ５３
．５４は左側接点に接続して偏向電極６１．６２を接地
電位とし、切替えスイッチ５５゜５６は右側接点に接続
して偏向電極６３．６４間に・偏向用電源５１．５２か
らの電圧を印加すればよい。
第５図は本発明の他の実施例を示す断面図で、第４図実
施例との相異点は、偏向電極６１〜６４を絶縁膜２２を
介して、陽極電極を形成する第１の金属薄板１１上に配
置した点と、第２の金属薄板７１を支持膜７２で支持し
この支持膜７２を支持基板７６によって支持台８０に支
持させている点とであり、その他の構成及び動作は第４
図実施例と同じである。
施例との相異点は、偏向電極６１〜６４を絶縁膜２２を
介して、陽極電極を形成する第１の金属薄板１１上に配
置した点と、第２の金属薄板７１を支持膜７２で支持し
この支持膜７２を支持基板７６によって支持台８０に支
持させている点とであり、その他の構成及び動作は第４
図実施例と同じである。
次に偏向電極６１〜６４に印加する電圧について考える
。陽極電極を形成する第１の金属薄板１１に印加する電
圧、即ち加速電圧をｖａ１偏向電極に印加する電圧をＶ
ｄ、偏向電極間隔をｄ、偏向電極長をｔ、偏向電極上端
面から第２の金属薄板７１の下端面捷での距離ｆｆ：Ｌ
とすると、第２の金属薄板７１の下端面における電子ビ
ームの偏向量ＸはＸ −（（Ｖｄ／ｄ ）／Ｖａ ）
・（ｔ／２ ） ・（／＝／２＋Ｌ ）となる。Ｖａ
＝ １００ボルト、ｌ＝５μｍ、ｄ＝５ｔｔｍ。
。陽極電極を形成する第１の金属薄板１１に印加する電
圧、即ち加速電圧をｖａ１偏向電極に印加する電圧をＶ
ｄ、偏向電極間隔をｄ、偏向電極長をｔ、偏向電極上端
面から第２の金属薄板７１の下端面捷での距離ｆｆ：Ｌ
とすると、第２の金属薄板７１の下端面における電子ビ
ームの偏向量ＸはＸ −（（Ｖｄ／ｄ ）／Ｖａ ）
・（ｔ／２ ） ・（／＝／２＋Ｌ ）となる。Ｖａ
＝ １００ボルト、ｌ＝５μｍ、ｄ＝５ｔｔｍ。
Ｌ−１０００μｍとし、Ｘ ＝ １００ μｍとすると
Ｖｄば２０ボルトとなる。このように、各寸法、電圧に
ついては製造方法等も考慮に入れて、任意に選択して決
めることができる。
Ｖｄば２０ボルトとなる。このように、各寸法、電圧に
ついては製造方法等も考慮に入れて、任意に選択して決
めることができる。
次に、第２の金属薄板７１にあける貫通孔について考え
る。この貫通孔は針状の陰極電極３１゜３２、・・・と
同じピッチであることが必要であり、しかも偏向電極６
１〜６４の上端面から１咽程度の距。
る。この貫通孔は針状の陰極電極３１゜３２、・・・と
同じピッチであることが必要であり、しかも偏向電極６
１〜６４の上端面から１咽程度の距。
離をおくことも必要である。従って、第５図に示すよう
に、Ｘ線マスクの場合のようにンリコン等の支持基板７
６上に、針状電極の配置位置に対応した位置に貫通孔が
あけられた支持膜７２′ｆ：張り、この支持膜７２の面
に、同様に貫通孔のあいた金属薄板７１を張る構成とす
る。金属薄板７１は接地電位としても、また任意の電圧
を印加してもよい。なお、金属薄板７１が強度的に十分
であれば支持膜７２を設けないで第４図実施例の構成と
することができる。
に、Ｘ線マスクの場合のようにンリコン等の支持基板７
６上に、針状電極の配置位置に対応した位置に貫通孔が
あけられた支持膜７２′ｆ：張り、この支持膜７２の面
に、同様に貫通孔のあいた金属薄板７１を張る構成とす
る。金属薄板７１は接地電位としても、また任意の電圧
を印加してもよい。なお、金属薄板７１が強度的に十分
であれば支持膜７２を設けないで第４図実施例の構成と
することができる。
なお、本発明の電子銃を電子ビーム露光装置等に適用す
る場合には、この電子銃の後段において任意の加速電圧
で電子ビームを加速することも可能である。
る場合には、この電子銃の後段において任意の加速電圧
で電子ビームを加速することも可能である。
以上説明したように、本発明によれば、陽極電極の外方
に偏向電極と、電子ビームを遮断したり通過させたりす
る金属薄板とを設け、偏向電極に印加する電圧を制御す
ることによって、多数の電子源から放出されている電子
ビームを選択的に外部に取出すことができる。
に偏向電極と、電子ビームを遮断したり通過させたりす
る金属薄板とを設け、偏向電極に印加する電圧を制御す
ることによって、多数の電子源から放出されている電子
ビームを選択的に外部に取出すことができる。
第１図は従来の２次元配置をもつフィールドエミッショ
ン形電子銃の斜視図、第２図はその一部の断面図、第６
図は本発明の一実施例の斜視図、第４図はその一部の断
面図、第５図は本発明の他の実施例を示す断面図である
。 符号の説明 １１・・陽極電極を形成する金属薄板 ２１．２２・・・絶縁膜 ２３・・・偏向電極の支
え３１〜３４・・・陰極電極 ４１・・・導電性基板
５０．５１．５２・電源 ５３〜５６・・・切替えスイッチ群 ６１〜６５・・・偏向電極 ７１・・・第２の金属薄
板７２・・・支持膜 ７３・・・支持基板８Ｇ
・・・支持台 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中 村 純之助 第１ 図 １１ 第２図
ン形電子銃の斜視図、第２図はその一部の断面図、第６
図は本発明の一実施例の斜視図、第４図はその一部の断
面図、第５図は本発明の他の実施例を示す断面図である
。 符号の説明 １１・・陽極電極を形成する金属薄板 ２１．２２・・・絶縁膜 ２３・・・偏向電極の支
え３１〜３４・・・陰極電極 ４１・・・導電性基板
５０．５１．５２・電源 ５３〜５６・・・切替えスイッチ群 ６１〜６５・・・偏向電極 ７１・・・第２の金属薄
板７２・・・支持膜 ７３・・・支持基板８Ｇ
・・・支持台 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中 村 純之助 第１ 図 １１ 第２図
Claims (1)
- 導電性基板上にほぼ同じ針状に作られた多数の陰極電極
を配置しこれらの陰極電極の配置位置に対応する位置に
貫通孔があけられた金属薄板を陽極電極として前記導電
性基板に対して電気的に絶縁して配置し陰極、陽極間に
電圧を印加して電子ビームを各貫通孔を介して外部に放
出させる電子銃において、放出される電子ビームの進行
方向を各電子ビームごとに偏らせる偏向電極と、これら
の偏向電極への供給電圧を切替えることで各電子ビーム
ごとにその進行方向を偏向させたり直進のままとしたり
する切替えスイッチ群とを設け、前記導電性基板上の陰
極電極の配置位置に対応する位置に貫通孔があけられた
第２の金属薄板を前記偏向電極の外方に電気的に絶縁し
て配置することにより、偏向されなかった電子ビームだ
けを外部に放出させることを特徴とする電子銃。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57124342A JPS5916255A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 電子銃 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57124342A JPS5916255A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 電子銃 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5916255A true JPS5916255A (ja) | 1984-01-27 |
| JPH0335775B2 JPH0335775B2 (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=14882979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57124342A Granted JPS5916255A (ja) | 1982-07-19 | 1982-07-19 | 電子銃 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5916255A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63237340A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | Canon Inc | 表示装置 |
| JPS63274048A (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-11 | Canon Inc | 電子放出素子およびその製造方法 |
| JPS6454649A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Canon Kk | Electron emission element |
| JPS6454650A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Canon Kk | Electron emission element |
| JPH01311929A (ja) * | 1988-06-11 | 1989-12-15 | Nitto Denko Corp | 車体外装材の固定部材 |
| JPH02186545A (ja) * | 1988-11-01 | 1990-07-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 荷電粒子ビーム発生装置 |
| US5384463A (en) * | 1991-06-10 | 1995-01-24 | Fujisu Limited | Pattern inspection apparatus and electron beam apparatus |
| US5430292A (en) * | 1991-06-10 | 1995-07-04 | Fujitsu Limited | Pattern inspection apparatus and electron beam apparatus |
| US5557105A (en) * | 1991-06-10 | 1996-09-17 | Fujitsu Limited | Pattern inspection apparatus and electron beam apparatus |
| US5746605A (en) * | 1994-06-06 | 1998-05-05 | Red Ant, Inc. | Method and system for music training |
| JP2007518223A (ja) * | 2003-12-30 | 2007-07-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 発散制御機能を有したハイブリッド型マルチビーム電子放出デバイス |
| JP2010118361A (ja) * | 2005-09-06 | 2010-05-27 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 放出パターンの放出領域を選択するための装置及び方法 |
-
1982
- 1982-07-19 JP JP57124342A patent/JPS5916255A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63237340A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | Canon Inc | 表示装置 |
| JPS63274048A (ja) * | 1987-05-06 | 1988-11-11 | Canon Inc | 電子放出素子およびその製造方法 |
| JPS6454649A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Canon Kk | Electron emission element |
| JPS6454650A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 | Canon Kk | Electron emission element |
| JPH01311929A (ja) * | 1988-06-11 | 1989-12-15 | Nitto Denko Corp | 車体外装材の固定部材 |
| JPH02186545A (ja) * | 1988-11-01 | 1990-07-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 荷電粒子ビーム発生装置 |
| US5384463A (en) * | 1991-06-10 | 1995-01-24 | Fujisu Limited | Pattern inspection apparatus and electron beam apparatus |
| US5430292A (en) * | 1991-06-10 | 1995-07-04 | Fujitsu Limited | Pattern inspection apparatus and electron beam apparatus |
| US5557105A (en) * | 1991-06-10 | 1996-09-17 | Fujitsu Limited | Pattern inspection apparatus and electron beam apparatus |
| US5746605A (en) * | 1994-06-06 | 1998-05-05 | Red Ant, Inc. | Method and system for music training |
| JP2007518223A (ja) * | 2003-12-30 | 2007-07-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 発散制御機能を有したハイブリッド型マルチビーム電子放出デバイス |
| JP2010118361A (ja) * | 2005-09-06 | 2010-05-27 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 放出パターンの放出領域を選択するための装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0335775B2 (ja) | 1991-05-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100312694B1 (ko) | 카본 나노튜브 필름을 전자 방출원으로 사용하는 전계 방출 표시 장치 | |
| US5157309A (en) | Cold-cathode field emission device employing a current source means | |
| US6617798B2 (en) | Flat panel display device having planar field emission source | |
| US6794814B2 (en) | Field emission display device having carbon nanotube emitter | |
| JPH0693164B2 (ja) | 表示装置 | |
| US6876141B2 (en) | Electron emitter structure for field emission display | |
| JPH0335775B2 (ja) | ||
| US5814926A (en) | Electron emission device with offset control electrode | |
| JP2910837B2 (ja) | 電界放出型電子銃 | |
| US4970430A (en) | Fluorescent display apparatus | |
| EP0434054B1 (en) | Planar display apparatus | |
| KR950703204A (ko) | 평판형 화상 디스플레이 장치(Flat-panel type picture display device) | |
| JPH0799679B2 (ja) | 平板型表示装置 | |
| KR100658738B1 (ko) | 면전자원을 구비한 대면적 평판 디스플레이 장치 및 이장치의 구동 방법 | |
| US4199702A (en) | Electron multiplier input electron optics | |
| JP2617317B2 (ja) | 電子線発生装置 | |
| JPS6221217B2 (ja) | ||
| JPH02126356U (ja) | ||
| US20060163994A1 (en) | Vacuum display device with increased resolution | |
| JP2992902B2 (ja) | 電子線発生装置 | |
| JP3601275B2 (ja) | 電界電子放出素子 | |
| JPH02100242A (ja) | 電子管 | |
| JPH0896698A (ja) | 電子放出素子 | |
| JPH04160742A (ja) | 平面型電子放出装置 | |
| TH28473A (th) | ตัวคาโธค, ปืนอิเล้คตรอน และหลอดรังสีคาโธคที่ใช้?ตัวปล่อยเฟอร์โรอิเล็คตริก |