JPH0528770B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本出願は1985年１月７日付の米国特許出願第
689385号の部分継続出願である。

発明の背景 本発明は概略的には圧力変換器に関し、より詳
細には新規で改良された流体充填型の直接検出式
圧力変換器に関する。さらにより詳細には本発明
は10000−50000psiの範囲のような高圧の測定に
適した圧力変換器に関する。さらに本発明は圧力
変換器を形成し、特に圧力変換器の検出素子と毛
細管とを相互に接続する改良された方法に関す
る。

概略的に圧力変換器に関する従来の特許として
米国特許第3349623号、同第4369659号、同第
3678753号、同第3349623号、同第2940313号、同
第2927749号、同第2326047号、同第3336555号、
同第2738677号等がある。これらの特許のうちの
いくつかは本出願人の所有するものであり、流体
充填型の圧力変換器を示している。

米国特許第2949313号及び同第2627749号は両方
ともストレーンゲージで圧力が検出されるダイア
フラムに圧力を伝達するための歪み管等を用いた
圧力インジケータを示している。

米国特許第3326047号及び同第3336555号は圧力
変換器を示している。米国特許第3336555号はス
トレーンゲージ検出による非充填型圧力変換器を
示している。他方で米国特許第3326047号は内側
及び外側の変形可能な円筒形壁部を有する圧力検
出カプセルを用いた流体充填型圧力変換器を開示
している。この型の変換器における液体の充填は
比較的大きな容量であり、かくして圧力測定の範
囲に限界を与えることになる。

米国特許第2738677号は実際には特に内燃機関
等における燃焼室のための圧力インジケータに関
するものである。

本出願人による液体充填型圧力変換器は米国特
許第3349623号、同第3678753号及び同第4369659
号を含む。最初の特許第3349623号はストレーン
ゲージを取付けた環状の検出室を用いた装置を開
示している。米国特許第3678753号は上側のキヤ
ツプ部材と、該キヤツプ部材と装置本体との間に
形成された円板形の隔室とを用いたそれ以前のも
のを改善した形であると考えられる。米国特許第
3678753号に示されている変換器は増大した作動
圧力範囲を与えるものである。米国特許第
4369659号は射出成形装置に結合して新規な温度
補償充填棒を用いた圧力測定に用いるのに好適な
隔解圧力変換器を開示している。

他の従来の特許にレボー（Lebow）の米国特
許第3128628号がある。この特許は圧力変換器を
示しているが、毛細管を用いていない。

前述の従来の技術全体において主要な限界の１
つは特に10000〜50000psiというような高い圧力
レベルで作動できなくなることである。

従つて本発明の主たる目的は高い圧力範囲で作
動する液体充填型圧力変換器を提供することであ
る。

本発明の他の目的は小容量の流体を用いる流対
充填型の改良された圧力変換器を提供することで
ある。この小容量の流体は圧力への温度の影響を
最小にし、さらに改良されたダイアフラムの構造
に寄与するものである。

従つて本発明の他の目的はダイアフラムの応力
を小さくした、改良された液体充填型圧力変換器
を提供することである。

本発明のさらに他の目的は圧力がかかり上昇し
た温度に当つたときに端側ダイアフラム応力を小
さくするようにした、改良された流体充填型圧力
変換器を提供することである。

本発明のさらに他の目的は温度補償のため、ま
た全体の性能の改善を行なうように異なる材料の
端側片を設けた、改良された流体充填型圧力変換
器を提供することである。端側片は温度変化の際
に流体の充填された空間が液体自体と同じ率で膨
張できるようにするものである。

本発明のさらに他の目的は改良された液体充填
型圧力変換器の形成方法、特に圧力変換器の検出
素子の毛細管とを相互に連結するための改良され
た方法を提供することである。

発明の概要 本発明の前述及び他の目的、特徴及び利点を達
成するために、細長い通路が通り抜ける細長いフ
レームとフレームの通路を通つて延び一端がフレ
ームの端部に近接している毛細管とからなる圧力
変換器が提供される。そのフレームの端部を連結
器が閉鎖し、フレームとの間に毛細管と連通する
室を形成している。本発明による検出部材がフレ
ームの他方の端部の毛細管の回りに配設され、こ
れは環状の検出室をなす手段と毛細管との流体連
通部とを含む。このために毛細管からこの環状検
出室への流体の連通を可能にするように毛細管を
横切る方向の通路を設けてもよい。検出部材はま
た環状検出室に近接した比較的薄い壁部を内部に
形成した凹部をなす手段を含む。この壁部はほぼ
毛細管に平行にその全長にわたつて延びる圧力応
答性の検出面を有する。圧力の検出はこの比較的
薄い壁部の圧力応答性の検出面上に配設されたス
トレーンゲージによつてなされよう。ストレーン
ゲージ検出手段はブリツジ回路内に連結されてい
る。本発明の特徴によれば、温度補償を行なうた
め比較的低い膨張率を有する変換器のフレームと
は異なる材料の端側片が変換器のダイアフラム端
部に設けられるのが好ましい。

さらに本発明によれば、フレームと、該フレー
ムを通り抜ける毛細管と、該毛細管を受容する孔
を有する検出素子とを有する液体充填型圧力変換
器において、上記検出素子を上記毛細管に液密状
態で取付ける改良された方法が提供される。この
方法は検出素子の孔の回りに近接して検出素子の
溶接用凹部を設け、毛細管を検出素子に挿入し、
毛細管を少なくとも小さな把持力で把持するよう
に溶接用凹部をすくめ加工するステツプからな
る。最後に毛細管の回りの領域が毛細管と検出素
子との間で十分液密状態となるように溶接用凹部
が設けられた領域の回りに溶接される。環状の凹
部は少なくとも毛細管に近接する内側隆起部によ
つて部分的に形成され、応接用凹部のすくめ加工
を行なうステツプによれば、このステツプは毛細
管をその周囲に接触させるように内側隆起部を屈
曲させるために凹部を捩ることを含む。この毛細
管と検出素子とを取付けるための溶接部形成は毛
細管が通り抜ける検出素子の両端で行なわれる。

本発明の他の多くの目的、特徴及び利点は添付
の図面と伴せて以下の詳細な説明から明らかとな
ろう。

実施例の詳細な説明 ここで本発明による圧力変換器の一実施例を十
分に詳細に示した第１−４図を参照する。第５図
はストレーンゲージの結合の概略的ダイアグラム
を示している。第６図は変換器のダイアフラム端
部における充填片の好ましい使用例の点からの他
の実施例である。第７図は変換器の性能を示すグ
ラフである。第８−１１図は特に毛細管と検出素
子との液密状態での取付けに関する本発明の方法
におけるステツプを示している。

第１−４図を参照すると、圧力変換器は主フレ
ーム１０と、フレーム１０の上部に設けられた検
出部材１２と、フレームを通り抜ける毛細管１４
と、フレームの下側端部を開鎖するように取付け
られたダイアフラム連結体１６とを含む。

フレーム１０の下部は米国特許第3678753号に
示されている構成と同様に形成される。基本的に
主フレームを通り抜け毛細管に適合する細長い通
路１８がある。毛細管１４の下側端部はダイアフ
ラム１６によつて閉鎖された比較的小さい室２０
となつている。

フレーム１０の上側端部にフレームの一部分と
して毛細管１４が通り抜ける上側部分２２が含ま
れている。上側部分２２は図面に示されている位
置に検出部材を支持するためのものである。検出
部材１２は上側部分に溶接されることによつて上
側部分内に取付け保持されよう。

例えば第３図に示されるように毛細管１４は検
出部材１２の垂直通路を通り抜ける。第３図にお
いて本発明の一実施例によれば毛細管の凹部によ
つて実質的に形成される環状室２８をなす環状凹
部２６が設けられ検出部材１２を垂直に通り抜け
る通路の内側の孔が設けられていることがわか
る。

毛細管から室２８へ流体の連通を与えるため
に、第３図に示される位置に配設された横方向の
通路３０が設けられている。

前述のように検出部材１２は毛細管１４が通り
抜ける垂直方向の通路を含む。第１図に示される
ように毛細管１４はまた検出部材１２の上部から
突出してその上端部にある種の充填キヤツプ３２
が設けられる。検出部材１２はさらに円筒形本体
の外側に単一な平坦な面を切削することによつて
形成される。これは円筒形の検出部材の高さ全体
の1/3より若干短かく第３図の垂直方向に延びる
凹部３４により第１−３図に示されている。前述
のように円筒形の検出部材はその中心軸において
全長にわさつて穿孔され、これを通過する毛細管
にしまり嵌めされている。毛細管は第３図の溶接
部３８で示されるように両端でTIG溶接されるの
が好ましい。第３図の溶接部３８のような検出部
材１２の端部は毛細管と検出部材との間の溶接の
浸透及び強度を最大にするようにカツプ状の凹部
を含む溶接可能面をなすように切削加工される。

毛細管の挿入の前に、毛細管と環状室２８との
間で流体の連通を可能とするように0.015〜0.020
インチの径の横方向の孔３０が毛細管の中心を通
つて穿設される。孔３０は検出部材の一端から約
３インチのところに穿設され、毛細管と検出部材
との相対的位置は第３図に示されるように孔が凹
部３４の大体中間の距離にあるように設定され
る。もちろん毛細管は第３図に示されるように検
出部材の両端に溶接されて実質的に上下の液体の
漏れない接合部を形成する。

毛細管の孔の内側からの液圧は孔３０を通じて
環状検出素子に伝えられる。この流体の連通で検
出素子の内側の面が加圧されるようになる。

切削加工された凹部３４は比較的薄い壁部４６
をなし、その厚さは第３図では若干誇張されてい
る。壁部４６はストレーンゲージが取付けられた
圧力応答性の検出面４８を有する。ほぼ環状の室
２８の位置における切削加工された平坦部の下で
の液圧により作用的ストレーンゲージが取付けら
れた平坦な壁部４６にわたる大きな曲げ応力が生
ずる。この作用は中心軸線に沿つての応力のかか
る面を検出するものである。これに関し毛細管１
４の中心線に沿つて作用的ストレーンゲージ５１
及び５３を示している第２図を参照する。第２図
においてまたストレーンゲージ５１及び５３とと
もにストレーンゲージ全体の回路をなす他のスト
レーンゲージ５２及び５４があるのがわかる。ス
トレーンゲージ５２及び５４は非作用的ストレー
ンゲージとも考えられるが、実際にはある程度の
圧縮応力を検出して電気的感度に寄与する。しか
しながらストレーンゲージ５２及び５４は主とし
てホイートストーン・ブリツジを完結し温度補償
を行なうために用いられている。

第２図はまたストレーンゲージ５１−５４に結
合した電気的結合小片をも示している。これらは
第２図の左方の小片５８及び５９と、第２の右方
の小片６０，６１及び６２とを含む。これらの結
合小片はストレーンゲージを第５に示されたパタ
ーンで接続するようにストレーンゲージに連結さ
れている。第５図において第２図に示されている
のと同じストレーンゲージを示すのに同じ参照番
号が用いられている。かくして第５図の回路結線
はかかつている圧力ともに変化する可変抵抗とし
て概略的に表わされたストレーンゲージ５１−５
４を示している。これらの抵抗は端子６４及び６
５における励起用入力と端子６６及び６７におけ
る信号の出力とを有する第５図において示されて
いるブリツジ回路に相互に連結されている。

入力電気信号は通常入力端子６４及び６５にわ
たつて与えられ、圧力応答電圧が出力端子６６及
び６７にわたつて測定される。またさらに作用的
ストレーンゲージはストレーンゲージ５１及び５
３であり、かくして圧力応答信号の多くはこのブ
リツジの脚部によつて発生する。ストレーンゲー
ジ５２及び５４は主として、検出部材に温度の変
化があれば両方の非作用的ストレーンゲージの温
度により自動的にブリツジが調節されてほぼブリ
ツジが零電流になるに温度補償を行なう。

本発明による改良された特徴の１つは変換器に
用いられている充填液体が少量になることであ
る。これは充填移動量を著しく減少させ、かくし
て圧力で生ずる屈曲を制御するものである。かく
してこれはダイアフラムの応力を最小にしより厚
いダイアフラムの使用を可能にする結果となる。
充填量の減少はほぼ最少の充填容量の検出部材１
２の使用によつてなされる。この容量はまた比較
的小さい端側の室を含めて用いられる他の構造部
分によつて最少にされる。

ここでまた主として温度補償として端側充填片
を示す装置の端側部分の好ましい実施例を示す拡
大した部分図を示す第６図を参照する。この部分
はコバール（Kovar）あるいはインバール
（Invar）で形成されよう。あるいはこれはどのよ
うな非常に膨張係数の小さい材料で形成してもよ
い。これはステンレス鋼のフレームよりずつと小
さい膨張係数を有するのが好ましい。第６図に示
されているこの充填片７０は圧力がかからずに尖
端が加熱されると内側の充填圧力を小さくするよ
うに作用する。

これまでに用いられている少なくとも２つの異
なる充填液体があり、一方は水銀、他方はナトリ
ウム・カリウム（NaK）である。NaKで充填さ
れた変換器は低圧側の範囲の圧力変換器であり、
水銀の変換器は10000〜50000psiの圧力範囲を有
する。NaKの充填を用いた圧力作用範囲は10000
〜15000psiである。

かくして第６図に示された室２０と結合した充
填片は所望の温度補償のなされた内部容量を与え
る。また前述の充填片は好ましくは水銀の内部流
体と通常ステンレス鋼の変換器本体との間の異な
る熱膨量係数の場合に変換器の温度補償を行なう
熱的特性を有するように選択される。前述のよう
に特にフレーム材料と比較して小さな熱膨張係数
を有するのが好ましい。

本発明の改良された検出の手法で実現された利
点の１つはダイアフラムの厚さを増大させてその
応力を減少させるようにできることである。この
構造により全体的な温度特性を最少にすることも
可能になつた。圧力をかけて充填移動量を減少さ
せることによりダイアフラムの屈曲が減小し、生
じた応力によりダイアフラムがある限度内で厚さ
を増大させて本来の耐久性を改善できるようにな
る。

前述との関連で最大のダイアフラムの厚さは圧
力のかかつているときの内部流体移動と充填され
ている流体の熱膨張によつて生ずる内部圧力とを
含む２つの独自の効果に関係している。本発明に
よれば検出器の小さな内部容量のため充填の量及
びその結果としての圧縮が減少する。さらに圧力
を受けたときの検出器の屈曲移動が少ないためさ
らに流体全体の移動及びその結果としての応力が
減小する。さらに充填片はまたそれ以上応力を減
少させる熱的に生ぜしめられた内部圧力を制御す
るようにしてある。前述の改良の組合せで応力を
増大させずにダイアフラムの厚さが増大できるよ
うになり内部圧力効果−温度の制御がなされる。
端側充填片７０は実質的に装置の先端におけるス
テンレス鋼の一部分を熱膨張率の小さい材料に置
換え、かくして空所２０の温度補償を行なうため
に用いられている。

容量の減少に関して、毛細管が非常に溶接した
公差で嵌合している検出部材１２の通路を占めて
いるので検出部材の内部容量が非常に小さいこと
がわかる。事実第３図の例で毛細管における比較
的顕著な凹部２６が示されている。しかしながら
用いられる他の実施例において毛細管は全く凹形
にされる必要がなく、その代りに部材１２の孔と
毛細管の外径との間におけるわずかな直径の差に
よることができる。このような場合毛細管の回り
の環状の検出室は実際に溶接部から溶接部への検
出部材の上端と下端との間にわたつて延びてい
る。

例として毛細管内の液体の容量は毛細管の回り
の環状空間の容積の約75％とされよう。毛細管を
含む変換器全体内の全容量は1.0×10^-3〜2.0×
10^-3インチ立方の範囲になろう。この非常に小さ
い容量は米国特許第3678753号に示されている型
の変換器についての3.2×10^-3インチ立方の容量
と同等である。従来技術における変換器の容量と
本発明での容量とで少なくとも２：１だけ充填容
量の減少における改善がなされていることがすぐ
にわかる。毛細管に関してその内径は0.005〜
0.010″の範囲、またその外径は0.060〜0.25″の範
囲にわたることが可能となる。

変換器の充填に関してこれは毛細管の上端部で
なされる。第１図において、毛細管はキヤツプを
外して示されているが、この前に毛細管及び装置
内でこれと連通する他の空所は圧力をかけて水銀
等で充填されて空所全体の領域が水銀で充填され
るようにしてある。それから毛細管は変換器内に
水銀を保持するように密封される。

ここでダイアフラムで検出される入力圧力−端
側ダイアフラムでの圧力損失を示すグラフである
第７図を参照する。第７図には実際には２つの曲
線が示されている。曲線Ｃ１は米国特許第
3678753号に示されているような従来技術による
変換器についての圧力曲線である。曲線Ｃ２は本
発明による変換器の圧力曲線である。40000psi程
度の高い圧力範囲でも吸収される圧力はわずかに
150psi程度であり、従つてダイアフラムの厚さが
増大し得ることがわかる。厚さの増大はより大き
な圧力吸収を生ぜしめるが、厚さの増大は第７図
の曲線Ｃ１に示されているよう大きな応力を発生
させずにより高い圧力に適合するであろう。

ここで本発明の変換器の組立て方法、特に毛細
管と検出素子とを一体的に取付ける方法を示すこ
とに関連して第８−１１図を参照する。これにつ
いて、毛細管の回りの環状の室２８を用いた第３
図の実施例と、検出部材１２の孔と検出素子の外
径との間の直径の差による他の実施例との２つの
別個の実施例をすでに説明した。しかしながら毛
細管は検出素子の孔に余り密接して嵌合させるべ
きではないということがわかつている。嵌合が密
接し過ぎていると、毛細管の不均一性、毛細管に
おける屈曲、穿設された孔で生じ得る凹凸により
大きな非線形の較正誤差が生ずることがある。こ
れらはこれらの大きな非線形の較正誤差を生ぜし
めるストレーンゲージの下で毛細管を孔に接触さ
せるであろう。第８−１１図に示される手法はこ
れらの問題を克服する。

第８図は本発明の方法を実施するのに用いられ
る取付具を示している。この取付具は上側のマン
ドレル７４と下側のマンドレル７６とを含む。上
側のマンドレル７４は毛細管の一部分を受入れる
孔と、また上側のクリンプブロツク７８を受入れ
る凹部とを有している。同様に下側のマンドレル
７６は下側のクリンプブロツク８０を受入れる凹
部を有している。クリンプブロツク７８及び８０
のいずれも第８図に示されたようにして毛細管を
受入れる通路が通り抜けている。第８図はまた検
出素子１２の孔に挿入された毛細管１４をも示し
ている。

第９図に毛細管１４と検出素子１２とが部分的
な断面図で示されている。毛細管と検出素子との
間の嵌合は0.001″程度の第１１図に示された間隙
Ｇがあるようになつている。第９図はまた検出素
子の孔の周囲に配設された環状の凹部である溶接
用凹部８２を示している。この凹部は第９図に示
されるようにその内側に環状隆起部８４を形成し
ている。第９図において上側のマンドレル７４は
検出素子の上方に配設されているが、まだこれに
接触していない。

第１０図は凹部８２に接触して隆起部８４を毛
細管の側部に実質的にクリンプさせあるいはかし
めるように矢印８５の方向に移動した上側のマン
ドレル７４を示している。第１０図は一方だけの
マンドレル７４を示している。しかしながら作動
は両方のマンドレルが同時に引寄せられて溶接用
凹部を検出素子１２のいずれかの端部にクリンプ
させるようにするものであることがわかる。

毛細管がこの検出素子を通じて第８図に示され
る位置に挿入され溶接用凹部が第１０図に示され
るようにクリンプされた後に、第１１図に示され
るように溶接を行なうことができる。かしめある
いはクリンプについて、毛細管に対する力が検出
素子を毛細管に上下にすべらずに保持するのにち
ようど十分であるように制御されるのが好まし
い。

溶接について、毛細管の周囲の隆起部８４でク
リンプが生ずる接合部に向けられた溶接穂先８８
を示す第１１図を参照する。第１１図はまた最終
的な溶接部を９０で示している。もちろんこれは
変換器内の充填液体がその位置から排出しないよ
うに周囲に液密のシールをなす毛細管の全周にわ
たる環状溶接部である。液体は検出素子の内側の
孔と毛細管との間に毛細管の回りに延びる環状の
室に保持されているものである。

本発明の限られた数の実施例を説明したが、本
発明について他の多くの修正及び変形がその範囲
内で考えられることは当業者には明らかであろ
う。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明により構成された流体充填型圧
力変換器の好ましい実施例の側断面図である。第
２図は検出部材のさらに詳細を示す第１図の直線
２−２上にとつた断面図である。第３図はさらに
詳細を示す第２図の直線３−３上にとつた断面図
である。 第４図は検出部材のさらに詳細を示す第２図の
４−４上にとつた断面図である。第５図は本発明
の圧力変換器に結合して用いられるストレーンゲ
ージ回路を示す概略的ダイアグラムである。第６
図は本発明により構成された圧力変換器の一部分
の、端側充填片の使用を示した拡大断面図であ
る。第７図はダイアフラムでの入力−圧力損失を
示すグラフである。第８図は毛細管と検出素子と
を相互に連結し組立てる方法で用いられる取付具
を示す図である。第９図は毛細管と検出素子との
組立ての方法の第１のステツプを示す断面図であ
る。第１０図は溶接用凹部が毛細管に対しこれを
把持するようにかしめられる次のステツプを示す
部分的断面図である。 第１１図は毛細管の回りに、毛細管と検出素子
との間に環状に形成された溶接部の例を含む次の
ステツプを示す断面図である。 （図中符号）、１０……フレーム、１２……検
出部材、１４……毛細管、１６……連結体、１８
……細長い通路、２８……環状の室、３０……通
路、４６……壁部、５１〜５４……ストレーンゲ
ージ、８２……溶接用凹部、８４……隆起部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 細長い通路が通り抜けている細長いフレーム
   と、 上記フレームの通路を通つて延び一端が上記フ
   レームの一方の端部にまで近接している毛細管
   と、 上記フレームの一方の端部において上記フレー
   ムとともに上記毛細管と連通する室を限定する連
   結体と、 上記フレームと他方の端部に配設され、かつ上
   記毛細管を受けるための通路を内部に有する検出
   部材と、 上記検出部材と毛細管とは、上記検出部材と毛
   細管との間に形成された環状の検出室をその間に
   限定しており、 上記検出部材は、上記環状の検出室に隣接して
   検出表面を形成する比較的薄い壁部を限定する部
   材を更に有しており、 上記壁部における圧力を検出するための手段と
   からなることを特徴とする圧力変換器。 ２ 上記検出表面は検出部材の凹部によつて限定
   されており、かつ上記毛細管はその軸線に実質的
   に横断する方向に延長して上記毛細管と上記管状
   検出室との間で流体の連通を可能にするための通
   路をその内部に有している、特許請求の範囲第１
   項に記載の圧力変換器。 ３ 上記比較的薄い壁部が圧力応答性の検出面を
   有し、上記検出するための手段が上記検出面上に
   配設された少なくとも１つの検出ゲージからなる
   特許請求の範囲第２項に記載の圧力変換器。 ４ 上記圧力応答性の検出面が上記毛細管の長さ
   にわたつてほぼ平行に延びている特許請求の範囲
   第３項に記載の圧力変換器。 ５ 上記圧力応答性の検出面がほぼ平坦であるよ
   うにした特許請求の範囲第４項に記載の圧力変換
   器。 ６ 上記検出部材がほぼ円筒形であり、上記凹部
   が上記毛細管に近接した平坦な面をなしている特
   許請求の範囲第５項に記載の圧力変換器。 ７ 上記環状検出室が上記毛細管の外面の凹部に
   よつて少なくとも部分的に形成されるようにした
   特許請求の範囲第１項に記載の圧力変換器。 ８ 上記毛細管における横断方向の孔が上記検出
   部材の凹部のほぼ中間点の距離にあるようにした
   特許請求の範囲第７項に記載の圧力変換器。 ９ 上記毛細管が上記検出部材の上端及び下端で
   取付けられている特許請求の範囲第１項に記載の
   圧力変換器。 １０ 上記毛細管の取付けが溶接によるものであ
   る特許請求の範囲第９項に記載の圧力変換器。 １１ 上記検出するための手段が上記薄い壁部の
   圧力応答性の検出面上に配設され各々上記毛細管
   の中心線に重なる１対のストレーンゲージからな
   るようにした特許請求の範囲第１項に記載の圧力
   変換器。 １２ 上記中心線上のストレーンゲージの外側に
   配設された他の２つのほぼ非作用的なストレーン
   ゲージがさらに含まれる特許請求の範囲第１１項
   に記載の圧力変換器。 １３ 上記連結体の室に於いて上記連結室の少な
   くとも一部を形成する充填片を含み、上記充填片
   は上記フレームより実質的に小さい膨張係数を有
   するようにした特許請求の範囲第１項に記載の圧
   力変換器。 １４ 上記充填片が上記フレームより実質的に小
   さい膨張係数を有するようにした特許請求の範囲
   第１３項に記載の圧力変換器。 １５ 上記検出部材が10000〜50000psiの圧力範
   囲で作動するようにした特許請求の範囲第１項に
   記載の圧力変換器。 １６ 上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記環状の検出室との間で流体
   の連通を可能にするための通路を限定する手段を
   含み、上記毛細管と連結体の室と、検出室とを充
   填する液体は0.001〜0.002立方インチのオーダー
   の体積範囲であるようにした特許請求の範囲第１
   項に記載の圧力変換器。 １７ 上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記管状検出室との間で流体の
   連通を可能にするための通路を限定する手段を含
   み、上記毛細管は検出室の上端及び下端に取付け
   られている特許請求の範囲第１項に記載の圧力変
   換器。 １８ 上記環状の検出室が上記毛細管のまわりに
   配設されている、特許請求の範囲第１項に記載の
   圧力変換器。 １９ 上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記環状の検出室との間で流体
   の連通を可能にするための通路であつて毛細管の
   直径に匹敵する長さを有する通路を限定するため
   の手段を更に含む、特許請求の範囲第１項に記載
   の圧力変換器。 ２０ 上記毛細管を検出部材の両端に固着するた
   めの手段を更に含む、特許請求の範囲第１項に記
   載の圧力変換器。 ２１ 上記毛細管と上記検出部材の孔との間の間
   隙が0.001インチのオーダーであるようにした、
   特許請求の範囲第１項に記載した圧力変換器。 ２２ 細長い通路が通り抜けている細長いフレー
   ムと、 上記フレームの通路を通つて延び一端が上記フ
   レームの一方の端部にまで近接している毛細管
   と、 上記フレームの一方の端部に於て上記フレーム
   とともに、上記毛細管と連通する室を限定する連
   結体と、 上記フレームの他方の端部に於いて上記毛細管
   の回りに配設され、かつ少なくとも部分的に上記
   毛細管によつて限定されていて上記毛細管と流体
   連通する環状の検出室を限定する手段と、上記環
   状の検出室に近接して比較的薄い壁部を形成する
   検出部材上に検出表面を限定する手段と、を含む
   検出部材と、 上記毛細管と、連結体と、環状の検出室とを充
   填する非圧縮性の液体と、 上記検出表面上に配設され、上記薄い壁部に於
   ける圧力を検出するためのゲージ手段と、 上記検出部材と上記毛細管との間に液密の保持
   を与えるために上記毛細管を上記検出部材に固着
   し、それにより上記非圧縮性液体が前記毛細管を
   経由して直接に上記環状の検出室と連結されるよ
   うにする手段とからなることを特徴とする圧力変
   換器。 ２３ 上記毛細管が上記検出室の上端及び下端で
   取付けられている、特許請求の範囲第２２項に記
   載の圧力変換器。 ２４ 上記毛細管の取付けが溶接によるものであ
   る、特許請求の範囲第２２項に記載の圧力変換
   器。 ２５ 上記連結体の室に充填片を含む、特許請求
   の範囲第２２項に記載の圧力変換器。 ２６ 特許請求の範囲第２２項に記載の圧力変換
   器と、上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記環状の検出室との間で流体
   の連通を可能にするための通路を限定するための
   手段。 ２７ 上記検出部材が上記毛細管を上記通路と毛
   細管との間に限定された環状の検出室とともに受
   けるための通路をその内部に有する、特許請求の
   範囲第２２項に記載の圧力変換器。 ２８ 上記検出室が上記毛細管のまわりに配設さ
   れている、特許請求の範囲第２７項に記載の圧力
   変換器。 ２９ 特許請求の範囲第２２項に記載の圧力変換
   器と、上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記環状の検出室との間で流体
   の連通を可能にするための通路であつて毛細管の
   直径に匹敵する長さを有する通路を限定するため
   の手段。 ３０ 上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記環状の検出室との間で流体
   の連通を可能にするための通路を限定するための
   手段を含む、特許請求の範囲第２２項に記載の圧
   力変換器。 ３１ 上記毛細管と、連結体の室と、検出室とを
   充填する液体は0.001〜0.002立方インチのオーダ
   ーの体積範囲であるようにした、特許請求の範囲
   第２２項に記載の圧力変換器。 ３２ 上記毛細管の軸線を横断する方向に延長
   し、上記毛細管と上記環状の検出室との間で流体
   の連通を可能にするための通路であつて毛細管の
   直径に匹敵する長さを有する通路を限定するため
   の手段を含む、特許請求の範囲第２２項に記載の
   圧力変換器。 ３３ フレームと、上記フレームを貫通して延長
   する毛細管と、上記毛細管を受けるための孔を有
   する検出素子とを有する液体充填型の圧力変換器
   に於いて、上記毛細管を上記検出素子の孔に挿入
   するステツプと、上記毛細管を上記検出素子の孔
   内の固定位置に保持するステツプと、上記毛細管
   のまわりと上記検出素子の孔のまわりとの領域を
   溶接して上記毛細管と上記検出素子との間に液密
   性の溶接部を形成するステツプとからなることを
   特徴とする、検出素子を毛細管に対して液密的の
   固着する方法。 ３４ 上記溶接するステツプが、上記検出素子の
   何れかの端部に於いて上記検出素子のまわりに於
   いて上記毛細管のまわりを溶接して上記毛細管と
   上記検出素子の両端部との間に液密性の溶接部を
   形成することを含む、特許請求の範囲第３３項に
   記載した液体充填型の圧力変換器に於ける方法。 ３５ 上記保持するステツプが、上記孔の縁部を
   歪ませ環状縁部をたわませ、少なくとも小さい把
   持力で上記毛細管と接触し把持せしめることを含
   む、特許請求の範囲第３４項に記載した液体充填
   型の圧力変換器に於ける方法。 ３６ 上記挿入するステツプの前に、上記検出素
   子の孔のまわりに近接して検出素子に溶接用凹部
   を設け、かつ上記毛細管を少なくとも小さい把持
   力で把持するように上記溶接用凹部をかしめるス
   テツプを含む、特許請求の範囲第３３項に記載し
   た液体充填型の圧力変換器に於ける方法。 ３７ 上記溶接用凹部を設けるステツプが上記検
   出素子に挿入されたときに上記毛細管に近接した
   内側の隆起部によつて形成される環状の凹部を設
   けることを含む特許請求の範囲第３６項に記載の
   方法。 ３８ 上記溶接用凹部をかしめるステツプが上記
   毛細管をその周囲に接触させるように上記凹部を
   捩つて上記内側の隆起部を屈曲させることを含む
   特許請求の範囲第３７項に記載の方法。 ３９ 上記検出部材の孔の回りに近接して上記検
   出素子の対向する端部に溶接用凹部を設け、該溶
   接用凹部が配設されている毛細管の回りの上記検
   出素子の両端部において溶接して上記毛細管と上
   記検出素子の両端部との間に液密性の溶接部を形
   成することを含む特許請求の範囲第３６項に記載
   の方法。