JPH05291382A - 薄板収納装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 カセット載置台上に置かれた薄板収納カセッ
ト内からの薄板の飛び出しを検出し、飛び出した薄板を
自動的にカセット内へ修正・収納を行う薄板収納装置を
提供する。 【構成】 カセット載置台１上に置かれたカセット１０
から飛び出しているウエーハ１１は、飛び出し検出部３
のセンサーで検出される。この検出情報を制御装置８へ
取り込み、チルト駆動部５を動作させ、カセット載置台
１を徐々に後方へ傾けることでカセット載置台１上のカ
セット１０を傾け、飛び出し検出部３のセンサーからの
検出情報が無くなるまで傾けてウエーハ１１をカセット
１０に収納させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は薄板収納装置に係り、特
に、半導体製造装置のウエーハ搬送や、ウエーハ保管な
どのために用いられる薄板収納装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の薄板収納装置は、対向した内壁の
おのおのに複数の桟を有し、その対応する各桟に架けて
複数の薄板を間隔を保ちつつ水平に収納する薄板収納カ
セット（ウエーハキャリヤあるいはウエーハカセットと
もよばれる）をカセット載置台に設置し、必要に応じて
ロボットハンドなどによって各薄板の出し入れを行って
いる。

【０００３】薄板は桟の上に単に載置されるので、搬送
中の振動等により所定位置から薄板取出口側へ飛び出す
こともある。実開平１−１１８４４１号公報は、ロボッ
トハンド先端に進行方向および上下方向に光を通過させ
る光ファイバを設け、薄板の存在や突出を検出する技術
を開示している。薄板の突出を検出した時は、薄板の破
損を防止するため、ロボットハンドの動作は停止され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、カ
セット載置台上に薄板の入った薄板収納カセットを置く
場合、カセット内に収納された薄板がカセットから飛び
出さないように人手によりカセットを少し後方へ傾け、
注意して置くか、最近の自動搬送システムにより人手の
代わりにロボットがカセットを少し後方へ傾けて置く。

【０００５】カセット載置台にカセットを置く時の振動
による薄板の飛び出しや、カセット載置後の何らかの原
因、例えば振動による飛び出しや、薄板を搬送ロボット
がカセット内へ収納する場合の収納エラ−に伴う薄板の
飛び出しなどを生じた場合は、人間が発見するか、又は
装置に取り付けた検出器で検出する。

【０００６】薄板の飛び出しが検出された時は、この飛
び出した薄板をカセット内へ収納することは人手により
行なう。このため、薄板の飛び出しが検出できても人手
で収納するまで装置が停止してしまう。

【０００７】薄板の飛び出しに気づかずに、搬送ロボッ
トによるカセット内の薄板の取り出しやカセット内への
収納をした時には、この薄板を破損したりする。本発明
の目的は、カセット載置台上に置かれた薄板収納カセッ
ト内からの薄板の飛び出しを検出し、飛び出した薄板を
自動的にカセット内へ修正収納を行う薄板収納装置を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、カセット載置台に傾きを与えるチルト駆動部と、カ
セット載置台に取り付けられ、薄板収納カセットから薄
板が飛び出していることを検出する飛び出し検出部と、
該飛び出し検出部からの検出信号に基づいて前記チルト
駆動部を制御してカセット載置台を傾け、飛び出した薄
板を薄板収納カセット内へ収納させる制御手段を設け
た。

【０００９】

【作用】薄板は薄板収納カセットの桟上に載せてあるの
で、振動等によって飛び出したりするが、薄板収納カセ
ットを傾ければ桟上を滑って移動する。

【００１０】カセット載置台上に置かれた薄板収納カセ
ットから飛び出している薄板は、飛び出し検出部のセン
サーで検出される。この検出情報を制御装置へ取り込
み、チルト駆動部を動作させ、カセット載置台を徐々に
後方へ傾けることでカセット載置台上の薄板収納カセッ
トを傾け、飛び出し検出部のセンサーからの検出情報が
無くなるまで傾けて薄板を収納させる。

【００１１】カセット載置台傾き検出部を設けることに
よってカセット載置台が規定以上傾いた場合を検出し、
薄板収納カセットの転倒を防止することができる。さら
に薄板の飛び出しが検出されなくなった時点で、チルト
駆動系を逆方向へ動作させカセット載置台の傾きがなく
なるまで動作させることで、薄板収納カセットを水平状
態へ戻し、その後の作業を円滑化する。また、角度を戻
し過ぎて、再び薄板が飛び出すこと等を困難にすること
ができる。

【００１２】なお、カセット載置台に薄板収納カセット
の有無を検出するセンサを設けてもよいが、このような
センサを設けない場合でも、薄板収納カセットが無いの
に何らかの原因で飛び出し検出部からの信号が得られる
場合、その信号が消えない限りカセット載置台は傾き続
けるので、カセット載置台傾き検出部で検出する傾きに
ついて規定値を決め、規定値以上の傾きになった時点で
異常発生として検出することにより、薄板収納カセット
が無いことも検出することができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例による薄板（ウエー
ハ）収納装置を図面を参照して説明する。図１は、ウエ
ーハ収納装置の斜視図である。又、図２は、図１に示す
ウエーハ収納装置のＡ−Ａ切断面に沿う断面図である。
図３は、カセットを傾けた状態のウエーハ収納装置の断
面図である。

【００１４】図１、図２において、対向する側面に複数
の桟１２を有し、各桟１２上にウエーハ１１を収納し、
他の１側面に開口を有するカセット１０は、カセット載
置台１上に載置され、カセット載置台１上に取り付けら
れ、カセットの四隅を保持する保持用コマ２によってそ
の位置が定められている。

【００１５】カセット載置台１は、ピンやベアリング等
で構成された回転軸６によって回転可能に支持されてい
る。カセット載置台１は、又チルト駆動系５によって図
中Ｚ方向で示す垂直方向にその一端を駆動されて、その
角度θを可変制御する。

【００１６】すなわち、チルト駆動系５を用いて、カセ
ット載置台１の一端を上下させることにより、カセット
載置台１の傾きが制御できる。カセット載置台１は、図
２により詳細に示すエレベータ駆動部９によって全体的
にＺ方向に昇降される。

【００１７】カセット１０の開口直前に配置されるよう
に、ウエーハ飛び出し検出部３がカセット載置台１上に
埋め込んで設置され、下方から上方に光、音波、電磁波
等の直進性信号を発し、これらの光、音波、電磁波等が
反射された時には、これを検出する。

【００１８】カセット１０からウエーハ１１が飛び出し
ていると、ウエーハ飛び出し検出部３から発した光等が
飛び出したウエーハ１１によって反射され、ウエーハの
飛び出しが非接触で検出される。ウエーハ飛び出し検出
部３は、ウエーハの飛び出しを検出した時は、その検出
信号を制御装置８に供給する。

【００１９】カセット載置台１の下方には、カセット載
置台傾き検出部４が設置され、光学式反射変位計、超音
波式変位計、渦電流式変位計等の変位計でカセット載置
台１までの距離を検出する。この検出信号も制御装置８
に供給される。

【００２０】制御装置８は、ウエーハ飛び出し検出部３
からの信号によってウエーハの飛び出しを検出し、チル
ト駆動系５を駆動することによってカセット載置台１を
傾ける。その傾いた角度は、カセット載置台傾き検出部
４によって検出することができる。

【００２１】ウエーハ収納装置のウエーハ飛び出しの修
正・収納は、以下のように行なわれる。図２に示すよう
に、カセット１０がカセット載置台１の上に載置される
と、ウエーハ飛び出し検出部３から発する信号、たとえ
ば光が、下方から上方に進行し、飛び出したウエーハが
あるとそこで反射され、反射光等が検出される。

【００２２】制御装置８は、ウエーハ飛び出し検出部３
からのウエーハ飛び出し検出信号と、カセット載置台傾
き検出部４からのカセット載置台傾き角度情報とに基づ
き、チルト駆動系５を制御する。

【００２３】すなわち、まず図３に示すように、チルト
駆動系５を−Ｚ方向に駆動してカセット載置台１を図中
右下がりの角度に駆動する。このチルト駆動系５の駆動
は、予め設定された可能な傾き範囲内において、ウエー
ハ飛び出し検出部３がウエーハ１１の飛び出しを検出し
なくなるまで、徐々に行なわれる。

【００２４】カセット載置台１は、回転軸６を中心にθ
方向に回転され、カセット１０を後方に傾ける。カセッ
ト１０が傾斜することによってその内部の桟上に載置さ
れたウエーハ１１は、自重によりカセット１０内へ滑り
移動し、修正・収納される。

【００２５】飛び出したウエーハ１１がカセット１０内
に修正・収納されると、ウエーハ飛び出し検出部３でウ
エーハ１１の飛び出しが検出されなくなり、その信号が
制御装置８に供給される。

【００２６】飛び出しウエーハの検出が消滅すると、制
御装置８はチルト駆動系５を逆方向、＋Ｚ方向に駆動
し、カセット載置台１を水平になるように戻す。このよ
うにして、カセット１０内から飛び出したウエーハ１１
は、自動的に修正・収納される。

【００２７】もし、カセット載置台１を水平に戻す動作
の際に、ウエーハ飛び出し検出部３で再びウエーハ１１
の飛び出しを検出した時は、カセット載置台を戻し過ぎ
たことが判明するので、制御装置８は再びチルト駆動系
を制御し、カセット１１の飛び出しを修正・収納した
後、前回よりも少ない戻し量でカセット載置台１を戻
す。

【００２８】このように、図１、図２、図３に示すウエ
ーハ収納装置によれば、カセットからウエーハが飛び出
した時には自動的にウエーハの飛び出しを検出し、カセ
ットを傾けることによってウエーハをカセット内に戻す
ことができる。

【００２９】なお、カセット載置台を傾けることのみに
よってウエーハを戻す場合を説明したが、カセット載置
台をある程度傾けた後、軽く上下方向の振動を与えてウ
エーハを滑りやすい状態に駆動すること等も可能であ
る。

【００３０】以上説明したように、本実施例によれば、
カセット内に収納されたウエーハが、何らかの原因で飛
び出した場合、簡単に生産ラインを止めずに自動的にカ
セット内へ飛び出したウエーハを修正・収納できる。

【００３１】そのため、ロボットでウエーハ出し入れを
行う場合に、ウエーハを破損することがない。また、人
手によるウエーハの修正・収納を行なう必要がなくな
り、より自動化を進めることができる。

【００３２】さらに、カセットを傾けた状態のままカセ
ット載置台上に設置しても、後は、自動的にウエーハの
修正・収納を行なうのでカセット設置時にウエーハが飛
び出さないように十分注意する必要はなくなり、作業性
が向上する。

【００３３】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、カ
セット載置台上に置かれた薄板収納カセット内からの薄
板の飛び出しを検出し、飛び出した薄板を自動的にカセ
ット内へ修正・収納を行うことのできる薄板収納装置が
得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例によるウエーハ収納装置を示
す斜視図である。

【図２】 図１のウエーハ収納装置のＡ−Ａ切断線に沿
った縦断面図である。

【図３】 図１のウエーハ収納装置のウエーハ修正・収
納の動作状態を示すＡ−Ａ切断線に沿った縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１…カセット載置台 ２…カセット位置決め
用コマ ３…ウエーハ飛び出し検出部 ４…カセット載置台傾
き検出部 ５…チルト駆動系 ６…回転軸 ７…ベース ８…制御装置 ９…エレベータ駆動部 １０…カセット 11…ウエーハ １２…桟

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向した内壁のおのおのに複数の桟を有
   し、対応する各桟に架けて複数の薄板を間隔を保ちつつ
   水平に収納した薄板収納カセットをカセット載置台上に
   受ける薄板収納装置において、 前記カセット載置台に傾きを与えるチルト駆動部と、 前記カセット載置台に取り付けられ、前記薄板収納カセ
   ットから薄板が飛び出していることを検出し、検出信号
   を発生する飛び出し検出部と、 該飛び出し検出部からの検出信号に基づいて前記チルト
   駆動部を制御して前記カセット載置台を傾け、飛び出し
   た薄板を薄板収納カセット内へ収納させる制御手段とを
   備えたことを特徴とする薄板収納装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の薄板収納装置におい
   て、さらに、カセット載置台の傾きを検出するための傾
   き検出部を有し、前記制御手段は、カセット載置台を傾
   けて飛び出し検出部の検出信号が消えた場合にチルト駆
   動部を制御し、前記傾き検出部でカセット載置台が所定
   角度に戻ったことの検出信号が得られるまで前記カセッ
   ト載置台の傾きを戻すことを特徴とする薄板収納装置。