JPH0529408A - Ic tester - Google Patents

Ic tester

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JPH0529408A
JPH0529408A JP3182837A JP18283791A JPH0529408A JP H0529408 A JPH0529408 A JP H0529408A JP 3182837 A JP3182837 A JP 3182837A JP 18283791 A JP18283791 A JP 18283791A JP H0529408 A JPH0529408 A JP H0529408A
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幸弘 谷口
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Abstract

PURPOSE:To reduce the time of a test by providing the following: a means which prohibits the reset operation of a voltage at a pin electronics part and the make-and-break operation of a relay in a signal route to an IC under test; and a changeover part which changes over the connection between a plurality of address generation parts and a pattern memory part. CONSTITUTION:After the execution of a pattern A has been finished, a control part 1 does not execute the make-and-break operation of a relay between a pin electronics part 10 and an IC 12 under test and immediately instructs a subaddress control part 4 to perform a test by using a test pattern B. The control part performs a changeover control operation to a changeover part 6 in such a way that an address data in a subaddress generation part 5 is sent out to a pattern memory part 7. The subaddress control part 4 controls the subaddress generation part 5 and generates the test pattern B. While the test pattern B is being executed, the control part 1 instructs a main address control part 2 to set an address at the top of the main memory part 7 in a test pattern C which is executed next; the control part sets a pattern generation treatment on standby until the execution of the test pattern B is finished. Thereby, the time of a test can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ICテスタに関し、特
にそのパターン発生器の制御に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC tester, and more particularly to control of its pattern generator.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のICテスタは、被試験IC(以下
DUTという)に電源電圧や信号を印加し、DUTから
の出力信号を期待値と比較することにより、DUTの電
気的特性をテストするものである。特にICの機能やA
C特性をテストする際は、ICの動作をコンピュータで
論理シミュレーションして得たテストパタンとよばれる
データを用いてテストする。
2. Description of the Related Art A conventional IC tester tests the electrical characteristics of a DUT by applying a power supply voltage or a signal to an IC under test (hereinafter referred to as a DUT) and comparing an output signal from the DUT with an expected value. It is a thing. Especially IC function and A
When testing the C characteristics, data called a test pattern obtained by logically simulating the operation of the IC with a computer is used for the test.

【0003】ICの高集積化、高機能化に伴いテストに
用いるテストパタン容量は長大化し、ICテスタ内部の
実行用テストパタンメモリ(以下、テストパタンメモリ
という。)容量より大きいことがある。この場合、一つ
のテストパタン容量は、パタンメモリ容量以下でなくて
はならず、テストパタンメモリ容量より大きいテストパ
タンメモリ容量より小さい複数のテストパタンに分割
し、テストに用いる。
The capacity of the test pattern used for the test becomes longer with the higher integration and higher functionality of the IC, and it may be larger than the capacity of the test pattern memory for execution (hereinafter referred to as the test pattern memory) inside the IC tester. In this case, one test pattern capacity must be less than or equal to the pattern memory capacity, and is divided into a plurality of test patterns larger than the test pattern memory capacity and used for the test.

【0004】また、テストパタンを作成する際、IC内
部の機能ブロック毎に作成する為に、一つのICで複数
のテストパタンを有することになり、これ等複数テスト
パタンを用いてテストすることがある。特にマイクロプ
ロセッサICは、その傾向が顕著である。
Further, when a test pattern is created, one IC has a plurality of test patterns in order to create each functional block inside the IC, and it is possible to test using these plurality of test patterns. is there. This tendency is particularly remarkable in microprocessor ICs.

【0005】図3を参照し、これ等複数テストパタンを
用いてICをテストする場合について説明する。図3
(a)は従来のICテスタの一例のパタン発生機構のブ
ロック図である。図3(b)はA,B,Cの3つのテス
トパタンを用いてテストプログラムの例であり、図3
(c)は図3(b)のテストプログラム内の区間Pにお
けるICテスタ内部の処理動作を経時的に示したもので
ある。
A case where an IC is tested using a plurality of test patterns will be described with reference to FIG. Figure 3
(A) is a block diagram of a pattern generation mechanism of an example of a conventional IC tester. FIG. 3B is an example of a test program using three test patterns A, B, and C.
3C shows a processing operation inside the IC tester in the section P in the test program of FIG. 3B with time.

【0006】図3(a)中の1aは制御部、2aはアド
レス制御部、3aはアドレス発生部、7はパタンメモリ
部、13はタイミング発生部、9はフォーマット部、1
0はDUT12と接続しているピンエレクトロニクス部
である。図3(b)のテストプログラム内の命令文で
「POWER ON」「POWER OFF」は、それ
ぞれICてすた20bからDUT12に電源電圧を印
加,遮断を意味し、また、「TEST ”A”」「TE
ST ”B”」「TEST ”C”」はそれぞれテスト
パタンA,B,Cを用いてテストすることを意味する。
In FIG. 3A, 1a is a control unit, 2a is an address control unit, 3a is an address generation unit, 7 is a pattern memory unit, 13 is a timing generation unit, 9 is a format unit, 1
Reference numeral 0 is a pin electronics section connected to the DUT 12. In the command statement in the test program of FIG. 3B, “POWER ON” and “POWER OFF” mean application and interruption of the power supply voltage from the IC tray 20b to the DUT 12, respectively, and “TEST“ A ””. "TE
“ST“ B ”” and “TEST“ C ”” mean test using test patterns A, B, and C, respectively.

【0007】このテストプログラムでは、ICテスタ2
0b内部の制御部1aは「POWER ON」の命令で
所定の電源電圧をDUTに印加する。次に制御部1aは
「TEST ”A”」の命令で、ピンエレクトロニクス
部10内部のドライバ及びコンパレータの電圧レベルを
設定(以下DCレベルと略す。)し、ピンエレクトロニ
クス部10とDUT12との信号経路のリレーを閉じて
電気的に接続させる。また、制御部1aはアドレス制御
部2aに対し、パタンメモリ7内のテストパタンAの先
頭アドレスデータをアドレス発生部3aに送出する。
In this test program, the IC tester 2
The control unit 1a inside 0b applies a predetermined power supply voltage to the DUT by the command of "POWER ON". Next, the control unit 1a sets the voltage level of the driver and the comparator inside the pin electronics unit 10 (hereinafter abbreviated as DC level) by the command of "TEST" A "", and the signal path between the pin electronics unit 10 and the DUT 12 is set. Close the relay and connect electrically. Further, the control unit 1a sends the head address data of the test pattern A in the pattern memory 7 to the address control unit 2a to the address generation unit 3a.

【0008】アドレス発生部3aは、タイミング発生部
13のクロックをもとに、アドレスデータを発生し、パ
タンメモリ部7に送出する。パタンメモリ部7は、アド
レス発生部3aが発生するアドレスデータに対応したパ
タンメモリ部7に書き込まれたデータをフォーマット部
9に送出する。フォーマット部9は、パタンメモリ部7
のデータを所定の波形に形成し、ピンエレクトロニクス
部10を介してDUT12に印加する。
The address generator 3a generates address data based on the clock of the timing generator 13 and sends it to the pattern memory unit 7. The pattern memory unit 7 sends to the format unit 9 the data written in the pattern memory unit 7 corresponding to the address data generated by the address generating unit 3a. The format unit 9 is the pattern memory unit 7.
Data is formed into a predetermined waveform and applied to the DUT 12 via the pin electronics section 10.

【0009】制御部1aは、テストパタンAの実行終了
後、上述のリレーを開放させる。次に制御部1aは、テ
ストプログラムの「TEST ”B”」「TEST ”
C”」の命令に対し、「TEST ”A”」と同様な処
理をテストパタンB,Cについて行う。この一連の処理
を経時的に示したのが図3(c)である。
After the execution of the test pattern A is completed, the control section 1a opens the above-mentioned relay. Next, the control unit 1a uses the test programs “TEST“ B ”” and “TEST”.
With respect to the command "C"", the same processing as" TEST "A""is performed on the test patterns B and C. FIG. 3C shows this series of processes over time.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICテ
スタは、制御部の制御のもとでテストパタンを用いてD
UTをテストする毎に、ピンエレクトロニクス部のDC
レベルを設定し、ピンエレクトロニクス部とDUTへの
信号経路のリレー開閉を行い、また、アドレス制御部に
対しテストパタンメモリ部内に格納されたテストパタン
の先頭アドレスデータを設定する為に、複数テストパタ
ンを用いて、DCレベルを変更せず、連続テストを実行
する場合、それ等テスト回数分の設定処理を要しテスト
時間が長くなるという欠点があった。
The above-mentioned conventional IC tester uses a test pattern under the control of the control unit to generate a D pattern.
Every time the UT is tested, DC in the pin electronics section
To set the level, open / close the relay of the signal path to the pin electronics section and the DUT, and set the start address data of the test pattern stored in the test pattern memory section to the address control section. When performing a continuous test without changing the DC level by using, there is a drawback that the setting process for the number of times of tests is required and the test time becomes long.

【0011】本発明の目的はテスト時間の短いICテス
タを提供することにある。
An object of the present invention is to provide an IC tester having a short test time.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明のICテスタは、
被試験ICに接続されたピンエレクトロニクス部のドラ
イバ及びコンパレータの電圧レベルを再設定しないで複
数テストパタンによる連続テストする場合は、制御部の
制御のもとでテストパタン終了後の前記ピンエレクトロ
ニクス部の電圧の再設定と前記被試験ICへの信号経路
のリレーの開閉を禁止する手段と、直後実行する前記テ
ストパタンの発生制御する複数のパタンメモリのアドレ
ス制御部とアドレス発生部と、それ等複数のアドレス発
生部とパタンメモリ部との接続を切換える切換え部とを
有して構成されている。
The IC tester of the present invention comprises:
When conducting a continuous test by a plurality of test patterns without resetting the voltage levels of the driver and the comparator of the pin electronics part connected to the IC under test, the pin electronics part after the test pattern is completed under the control of the control part. Means for prohibiting resetting of voltage and opening / closing of a relay of a signal path to the IC under test, address control units and address generation units of a plurality of pattern memories for performing generation control of the test pattern executed immediately thereafter, and a plurality of them The address generating unit and the switching unit for switching the connection between the pattern memory unit and.

【0013】[0013]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a)は本発明の第1の実施例のパタン発生機
構のブロック図である。図1(b)は複数テストパタン
による連続テスト時のICテスタ内部の処理動作のタイ
ム図である。図1(a)中の1はICテスタ20内の制
御部、3は主アドレス発生部、4は副アドレス制御部、
5は副アドレス発生部、6は切換え部、7はパタンメモ
リ部、8はタイミング発生部、9はフォーマット部、1
0はDUTに接続しているピンエレクトロニクス部であ
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1A is a block diagram of a pattern generation mechanism according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1B is a time chart of the processing operation inside the IC tester at the time of a continuous test using a plurality of test patterns. In FIG. 1A, 1 is a control unit in the IC tester 20, 3 is a main address generation unit, 4 is a sub address control unit,
5 is a sub-address generator, 6 is a switching unit, 7 is a pattern memory unit, 8 is a timing generator, 9 is a format unit, 1
Reference numeral 0 is a pin electronics section connected to the DUT.

【0014】前述の図3(b)のテストプログラムを実
行する場合、ICテスタ20内部の制御部1は、主パタ
ンアドレス制御部2及び副パタンアドレス制御部4に対
し、予め実行するテストパタンA,Bのテストパタンメ
モリ部7の先頭アドレスデータをそれぞれ割り振って設
定して送出する。
When the test program shown in FIG. 3B is executed, the control unit 1 inside the IC tester 20 performs a test pattern A to be executed in advance on the main pattern address control unit 2 and the sub pattern address control unit 4. , B of the test pattern memory unit 7 are allocated, set, and transmitted.

【0015】また、制御部1はピンエレクトロニクス1
0内部のDCレベルを設定し、ピンエレクトロニクス部
10とDUT12との信号経路のリレーを閉じて電気的
に接続させる。主アドレス制御部2は、制御部1の制御
のもとでテストパタンAの走行を制御する。副アドレス
制御部4は、テストパタンA実行終了する迄待機する。
Further, the control unit 1 is a pin electronics 1
The DC level inside 0 is set, and the relay in the signal path between the pin electronics section 10 and the DUT 12 is closed to electrically connect them. The main address controller 2 controls the traveling of the test pattern A under the control of the controller 1. The sub address control unit 4 waits until the execution of the test pattern A is completed.

【0016】制御部1は、テストパタンA実行終了後、
ピンエレクトロニクス部10とDUT12間リレーの開
閉処理は行わせず、直ちに副アドレス制御部4に対し、
テストパタンBによるテストを指示し、切換え部6に対
し、副アドレス発生部5のアドレスデータをパタンメモ
リ部7に送出するように切換え制御を行う。
After the execution of the test pattern A is finished, the control unit 1
Without opening / closing the relay between the pin electronics unit 10 and the DUT 12, the sub address control unit 4 is immediately notified to
The test by the test pattern B is instructed, and the switching unit 6 is controlled so that the address data of the sub address generating unit 5 is sent to the pattern memory unit 7.

【0017】副アドレス制御部4は、副アドレス発生部
5を制御しテストパタンBを発生させる。制御部1は、
テストパタンB実行中に主アドレス制御部2に対し、次
に実行するテストパタンCのパタンメモリ部7の先頭ア
ドレスデータを設定し、テストパタンB実行終了迄、パ
タン発生処理を待機させる。
The sub address controller 4 controls the sub address generator 5 to generate a test pattern B. The control unit 1
During execution of the test pattern B, the head address data of the pattern memory unit 7 of the test pattern C to be executed next is set to the main address control unit 2, and the pattern generation processing is made to wait until the execution of the test pattern B is completed.

【0018】制御部1は、テストパタンB実行終了後、
ピンエレクトロニクス部6のCレベルの再設定及び経路
のリレーの開閉処理は行わず、直ちに主アドレス制御部
2に対し、テストパタンCによるテストを指示し、切換
え部6に対しアドレス発生部3のアドレスデータをパタ
ンメモリ部7に送出するように切換え制御を行う。
After the execution of the test pattern B is completed, the control unit 1
Without resetting the C level of the pin electronics section 6 and opening / closing processing of the relay of the path, the main address control section 2 is immediately instructed to perform the test with the test pattern C, and the switching section 6 is addressed by the address of the address generation section 3. Switching control is performed so that the data is sent to the pattern memory unit 7.

【0019】主アドレス制御部2は、主アドレス発生部
3を制御しテストパタンCを発生させる。制御部1は、
テストパタンC実行終了後、ピンエレクトロニクス部1
0とDUT12間のリレーを遮断させて、複数テストパ
タンによる連続テストを終了させる。
The main address controller 2 controls the main address generator 3 to generate a test pattern C. The control unit 1
After execution of test pattern C, pin electronics section 1
The relay between 0 and the DUT 12 is cut off, and the continuous test by a plurality of test patterns is completed.

【0020】図2は本発明の第2の実施例で、フォーマ
ット9とピンエレクトロニクス部10との間にデータ保
持部11を有している。テストに使用する全テストパタ
ン容量が、テストパタンメモリ容量より大きい場合、全
テストパタンをテストパタンメモリに格納出来ない為
に、テストパタンメモリ以外のバッファ用メモリに格納
し、実行するテストパタンをバッファメモリよりテスト
パタンメモリに読み込んで実行させる。
FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention, which has a data holding section 11 between the format 9 and the pin electronics section 10. If the total test pattern capacity used for the test is larger than the test pattern memory capacity, the entire test pattern cannot be stored in the test pattern memory, so the test pattern memory other than the test pattern memory is stored in the buffer memory, and the test pattern to be executed is buffered. Read from memory to test pattern memory and execute.

【0021】この読み込み時間中、テストパタン実行間
でDUTへの信号が変化、不定にならないようにする為
に、データ保持部11で直前に印加したテストパタンデ
ータを保持させる。
During this read time, in order to prevent the signal to the DUT from changing and becoming indefinite between test pattern executions, the data holding section 11 holds the test pattern data applied immediately before.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明のICテスタは、ピンエレクトロ
ニクス部のDCレベルを変更せずに複数テストパタンに
よる連続テストを実行する場合に、制御部の制御によ
り、テストパタン終了後のピンエレクトロニクス部のD
Cレベルの設定とピンエレクトロニクス部とDUTへの
信号経路のリレーの開閉処理を禁止し、かつ複数のパタ
ンアドレス制御部に対し、予め実行するテストパタンの
テストパタンの先頭アドレスデータを割り振って設定
し、交互にテストパタン発生制御させるので、テストパ
タン終了後のピンエレクトロニクス部のDCレベルの設
定,ピンエレクトロニクス部とDUTへの信号経路のリ
レーの開閉処理及び次に実行するテストパタンのアドレ
ス制定処理を省略させてテスト時間を低減することがで
きる。
According to the IC tester of the present invention, when a continuous test by a plurality of test patterns is executed without changing the DC level of the pin electronics section, the control section controls the pin electronics section after the test pattern is completed. D
The C level setting and the opening / closing process of the relay of the signal path to the pin electronics section and the DUT are prohibited, and the start address data of the test pattern of the test pattern to be executed in advance is allocated to the plurality of pattern address control sections and set. Since the test pattern generation control is alternately performed, the DC level of the pin electronics section after the test pattern is set, the relay opening / closing processing of the signal path to the pin electronics section and the DUT, and the address establishment processing of the test pattern to be executed next are performed. It can be omitted to reduce the test time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a),(b)は本発明の第1の実施例のブロ
ック図および動作を説明するためのタイムチャートであ
る。
1A and 1B are a block diagram and a time chart for explaining the operation of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of a second embodiment of the present invention.

【図3】(a)〜(c)はそれぞれ従来のICテスタの
一例のブロック図,動作を説明するためのテストプログ
ラムの部分図およびタイムチャートである。
3A to 3C are a block diagram of an example of a conventional IC tester, a partial diagram of a test program for explaining the operation, and a time chart, respectively.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 制御部 2 主アドレス制御部 3 主アドレス発生部 4 副アドレスカウンタ部 5 副アドレス発生部 6 切換え部 7 パタンメモリ部 8 タイミング発生部 9 フォーマット部 10 ピンエレクトロニクス部 11 データ保持部 12 DUT 20 ICテスタ 1 Control Section 2 Main Address Control Section 3 Main Address Generation Section 4 Sub Address Counter Section 5 Sub Address Generation Section 6 Switching Section 7 Pattern Memory Section 8 Timing Generation Section 9 Format Section 10 Pin Electronics Section 11 Data Storage Section 12 DUT 20 IC Tester

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 被試験ICに接続されたピンエレクトロ
ニクス部のドライバ及びコンパレータの電圧レベルを再
設定しないで複数テストパタンによる連続テストする場
合は、制御部の制御のもとでテストパタン終了後の前記
ピンエレクトロニクス部の電圧の再設定と前記被試験I
Cへの信号経路のリレーの開閉を禁止する手段と、直後
実行する前記テストパタンの発生制御する複数のパタン
メモリのアドレス制御部とアドレス発生部と、それ等複
数のアドレス発生部とパタンメモリ部との接続を切換え
る切換え部とを有することを特徴とするICテスタ。
Claim: What is claimed is: 1. When performing continuous tests by a plurality of test patterns without resetting the voltage levels of the driver and the comparator of the pin electronics part connected to the IC under test, the control under the control of the control part. Resetting the voltage of the pin electronics section after the test pattern is completed and
A means for prohibiting the opening and closing of the relay of the signal path to C, an address control section and an address generation section of a plurality of pattern memories for controlling the generation of the test pattern to be executed immediately thereafter, and a plurality of address generation sections and a pattern memory section thereof. An IC tester having a switching section for switching the connection with.
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