JPH0529408A - Icテスタ - Google Patents

Icテスタ

Info

Publication number
JPH0529408A
JPH0529408A JP3182837A JP18283791A JPH0529408A JP H0529408 A JPH0529408 A JP H0529408A JP 3182837 A JP3182837 A JP 3182837A JP 18283791 A JP18283791 A JP 18283791A JP H0529408 A JPH0529408 A JP H0529408A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
pattern
address
test pattern
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3182837A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3240630B2 (ja
Inventor
Yukihiro Taniguchi
幸弘 谷口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18283791A priority Critical patent/JP3240630B2/ja
Publication of JPH0529408A publication Critical patent/JPH0529408A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3240630B2 publication Critical patent/JP3240630B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】テスト毎に入出力電圧レベルを制定し、DUT
の信号経路のリレーの開閉を処理し、また、テストパタ
ンのアドレスの設定等の準備を行い為の不要な処理を省
略する。 【構成】ICテスタの制御により、連続テスト時の入出
力電圧レベルの再設定とリレー開閉を禁止し、且つ複数
のパタンメモリアドレス制御、アドレス発生器により、
並列処理により、テスト終了後の次に実行するパタンの
アドレス準備を省く構成。 【効果】入出力電圧レベルの再設定とリレー開閉は約1
5ms/回。テストパタンを延べ100回実行するとテ
スト時間1.5sを軽減できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ICテスタに関し、特
にそのパターン発生器の制御に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のICテスタは、被試験IC(以下
DUTという)に電源電圧や信号を印加し、DUTから
の出力信号を期待値と比較することにより、DUTの電
気的特性をテストするものである。特にICの機能やA
C特性をテストする際は、ICの動作をコンピュータで
論理シミュレーションして得たテストパタンとよばれる
データを用いてテストする。
【0003】ICの高集積化、高機能化に伴いテストに
用いるテストパタン容量は長大化し、ICテスタ内部の
実行用テストパタンメモリ(以下、テストパタンメモリ
という。)容量より大きいことがある。この場合、一つ
のテストパタン容量は、パタンメモリ容量以下でなくて
はならず、テストパタンメモリ容量より大きいテストパ
タンメモリ容量より小さい複数のテストパタンに分割
し、テストに用いる。
【0004】また、テストパタンを作成する際、IC内
部の機能ブロック毎に作成する為に、一つのICで複数
のテストパタンを有することになり、これ等複数テスト
パタンを用いてテストすることがある。特にマイクロプ
ロセッサICは、その傾向が顕著である。
【0005】図3を参照し、これ等複数テストパタンを
用いてICをテストする場合について説明する。図3
(a)は従来のICテスタの一例のパタン発生機構のブ
ロック図である。図3(b)はA,B,Cの3つのテス
トパタンを用いてテストプログラムの例であり、図3
(c)は図3(b)のテストプログラム内の区間Pにお
けるICテスタ内部の処理動作を経時的に示したもので
ある。
【0006】図3(a)中の1aは制御部、2aはアド
レス制御部、3aはアドレス発生部、7はパタンメモリ
部、13はタイミング発生部、9はフォーマット部、1
0はDUT12と接続しているピンエレクトロニクス部
である。図3(b)のテストプログラム内の命令文で
「POWER ON」「POWER OFF」は、それ
ぞれICてすた20bからDUT12に電源電圧を印
加,遮断を意味し、また、「TEST ”A”」「TE
ST ”B”」「TEST ”C”」はそれぞれテスト
パタンA,B,Cを用いてテストすることを意味する。
【0007】このテストプログラムでは、ICテスタ2
0b内部の制御部1aは「POWER ON」の命令で
所定の電源電圧をDUTに印加する。次に制御部1aは
「TEST ”A”」の命令で、ピンエレクトロニクス
部10内部のドライバ及びコンパレータの電圧レベルを
設定(以下DCレベルと略す。)し、ピンエレクトロニ
クス部10とDUT12との信号経路のリレーを閉じて
電気的に接続させる。また、制御部1aはアドレス制御
部2aに対し、パタンメモリ7内のテストパタンAの先
頭アドレスデータをアドレス発生部3aに送出する。
【0008】アドレス発生部3aは、タイミング発生部
13のクロックをもとに、アドレスデータを発生し、パ
タンメモリ部7に送出する。パタンメモリ部7は、アド
レス発生部3aが発生するアドレスデータに対応したパ
タンメモリ部7に書き込まれたデータをフォーマット部
9に送出する。フォーマット部9は、パタンメモリ部7
のデータを所定の波形に形成し、ピンエレクトロニクス
部10を介してDUT12に印加する。
【0009】制御部1aは、テストパタンAの実行終了
後、上述のリレーを開放させる。次に制御部1aは、テ
ストプログラムの「TEST ”B”」「TEST ”
C”」の命令に対し、「TEST ”A”」と同様な処
理をテストパタンB,Cについて行う。この一連の処理
を経時的に示したのが図3(c)である。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のICテ
スタは、制御部の制御のもとでテストパタンを用いてD
UTをテストする毎に、ピンエレクトロニクス部のDC
レベルを設定し、ピンエレクトロニクス部とDUTへの
信号経路のリレー開閉を行い、また、アドレス制御部に
対しテストパタンメモリ部内に格納されたテストパタン
の先頭アドレスデータを設定する為に、複数テストパタ
ンを用いて、DCレベルを変更せず、連続テストを実行
する場合、それ等テスト回数分の設定処理を要しテスト
時間が長くなるという欠点があった。
【0011】本発明の目的はテスト時間の短いICテス
タを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のICテスタは、
被試験ICに接続されたピンエレクトロニクス部のドラ
イバ及びコンパレータの電圧レベルを再設定しないで複
数テストパタンによる連続テストする場合は、制御部の
制御のもとでテストパタン終了後の前記ピンエレクトロ
ニクス部の電圧の再設定と前記被試験ICへの信号経路
のリレーの開閉を禁止する手段と、直後実行する前記テ
ストパタンの発生制御する複数のパタンメモリのアドレ
ス制御部とアドレス発生部と、それ等複数のアドレス発
生部とパタンメモリ部との接続を切換える切換え部とを
有して構成されている。
【0013】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a)は本発明の第1の実施例のパタン発生機
構のブロック図である。図1(b)は複数テストパタン
による連続テスト時のICテスタ内部の処理動作のタイ
ム図である。図1(a)中の1はICテスタ20内の制
御部、3は主アドレス発生部、4は副アドレス制御部、
5は副アドレス発生部、6は切換え部、7はパタンメモ
リ部、8はタイミング発生部、9はフォーマット部、1
0はDUTに接続しているピンエレクトロニクス部であ
る。
【0014】前述の図3(b)のテストプログラムを実
行する場合、ICテスタ20内部の制御部1は、主パタ
ンアドレス制御部2及び副パタンアドレス制御部4に対
し、予め実行するテストパタンA,Bのテストパタンメ
モリ部7の先頭アドレスデータをそれぞれ割り振って設
定して送出する。
【0015】また、制御部1はピンエレクトロニクス1
0内部のDCレベルを設定し、ピンエレクトロニクス部
10とDUT12との信号経路のリレーを閉じて電気的
に接続させる。主アドレス制御部2は、制御部1の制御
のもとでテストパタンAの走行を制御する。副アドレス
制御部4は、テストパタンA実行終了する迄待機する。
【0016】制御部1は、テストパタンA実行終了後、
ピンエレクトロニクス部10とDUT12間リレーの開
閉処理は行わせず、直ちに副アドレス制御部4に対し、
テストパタンBによるテストを指示し、切換え部6に対
し、副アドレス発生部5のアドレスデータをパタンメモ
リ部7に送出するように切換え制御を行う。
【0017】副アドレス制御部4は、副アドレス発生部
5を制御しテストパタンBを発生させる。制御部1は、
テストパタンB実行中に主アドレス制御部2に対し、次
に実行するテストパタンCのパタンメモリ部7の先頭ア
ドレスデータを設定し、テストパタンB実行終了迄、パ
タン発生処理を待機させる。
【0018】制御部1は、テストパタンB実行終了後、
ピンエレクトロニクス部6のCレベルの再設定及び経路
のリレーの開閉処理は行わず、直ちに主アドレス制御部
2に対し、テストパタンCによるテストを指示し、切換
え部6に対しアドレス発生部3のアドレスデータをパタ
ンメモリ部7に送出するように切換え制御を行う。
【0019】主アドレス制御部2は、主アドレス発生部
3を制御しテストパタンCを発生させる。制御部1は、
テストパタンC実行終了後、ピンエレクトロニクス部1
0とDUT12間のリレーを遮断させて、複数テストパ
タンによる連続テストを終了させる。
【0020】図2は本発明の第2の実施例で、フォーマ
ット9とピンエレクトロニクス部10との間にデータ保
持部11を有している。テストに使用する全テストパタ
ン容量が、テストパタンメモリ容量より大きい場合、全
テストパタンをテストパタンメモリに格納出来ない為
に、テストパタンメモリ以外のバッファ用メモリに格納
し、実行するテストパタンをバッファメモリよりテスト
パタンメモリに読み込んで実行させる。
【0021】この読み込み時間中、テストパタン実行間
でDUTへの信号が変化、不定にならないようにする為
に、データ保持部11で直前に印加したテストパタンデ
ータを保持させる。
【0022】
【発明の効果】本発明のICテスタは、ピンエレクトロ
ニクス部のDCレベルを変更せずに複数テストパタンに
よる連続テストを実行する場合に、制御部の制御によ
り、テストパタン終了後のピンエレクトロニクス部のD
Cレベルの設定とピンエレクトロニクス部とDUTへの
信号経路のリレーの開閉処理を禁止し、かつ複数のパタ
ンアドレス制御部に対し、予め実行するテストパタンの
テストパタンの先頭アドレスデータを割り振って設定
し、交互にテストパタン発生制御させるので、テストパ
タン終了後のピンエレクトロニクス部のDCレベルの設
定,ピンエレクトロニクス部とDUTへの信号経路のリ
レーの開閉処理及び次に実行するテストパタンのアドレ
ス制定処理を省略させてテスト時間を低減することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a),(b)は本発明の第1の実施例のブロ
ック図および動作を説明するためのタイムチャートであ
る。
【図2】本発明の第2の実施例のブロック図である。
【図3】(a)〜(c)はそれぞれ従来のICテスタの
一例のブロック図,動作を説明するためのテストプログ
ラムの部分図およびタイムチャートである。
【符号の説明】
1 制御部 2 主アドレス制御部 3 主アドレス発生部 4 副アドレスカウンタ部 5 副アドレス発生部 6 切換え部 7 パタンメモリ部 8 タイミング発生部 9 フォーマット部 10 ピンエレクトロニクス部 11 データ保持部 12 DUT 20 ICテスタ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 被試験ICに接続されたピンエレクトロ
    ニクス部のドライバ及びコンパレータの電圧レベルを再
    設定しないで複数テストパタンによる連続テストする場
    合は、制御部の制御のもとでテストパタン終了後の前記
    ピンエレクトロニクス部の電圧の再設定と前記被試験I
    Cへの信号経路のリレーの開閉を禁止する手段と、直後
    実行する前記テストパタンの発生制御する複数のパタン
    メモリのアドレス制御部とアドレス発生部と、それ等複
    数のアドレス発生部とパタンメモリ部との接続を切換え
    る切換え部とを有することを特徴とするICテスタ。
JP18283791A 1991-07-24 1991-07-24 Icテスタ Expired - Fee Related JP3240630B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18283791A JP3240630B2 (ja) 1991-07-24 1991-07-24 Icテスタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18283791A JP3240630B2 (ja) 1991-07-24 1991-07-24 Icテスタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0529408A true JPH0529408A (ja) 1993-02-05
JP3240630B2 JP3240630B2 (ja) 2001-12-17

Family

ID=16125331

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18283791A Expired - Fee Related JP3240630B2 (ja) 1991-07-24 1991-07-24 Icテスタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3240630B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JP3240630B2 (ja) 2001-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04218785A (ja) Ic試験装置
KR100269322B1 (ko) 스트레스용전압을이용하여메모리를테스팅하는기능을갖는집적회로및그의메모리테스트방법
WO1998016933A1 (fr) Verificateur de memoire et procede de commutation dudit verificateur d'un mode de verification ram a un mode de verification rom
JPWO1998016933A1 (ja) メモリ試験装置及びこの試験装置をram試験モードとrom試験モードとに切り替える方法
JP3871384B2 (ja) 半導体メモリ試験装置用不良解析メモリ
JP3501200B2 (ja) Ic試験装置
JPH10319095A (ja) 半導体テスト装置
JPH0529408A (ja) Icテスタ
JP2921291B2 (ja) パターン信号発生器に同期したac測定電圧印加回路
KR100207511B1 (ko) 다수개의 테스트 모드 설정 방법 및 그에 따른 장치
JP3943890B2 (ja) 半導体装置
JP3404733B2 (ja) デジタルコンパレータ
JP2903890B2 (ja) Icテスタ
JPH10253707A (ja) 集積回路試験装置
JP2653648B2 (ja) Lsi試験パターン発生器
JP4495332B2 (ja) ドライバ制御信号生成回路・ic試験装置
JPH10339768A (ja) 半導体試験装置のテストプログラム実行方法
JPS6232559B2 (ja)
JPH01205800A (ja) メモリ回路試験装置
JP2962552B2 (ja) Ic試験装置
JPH1026655A (ja) Lsiの試験装置
JP2720761B2 (ja) 半導体集積回路試験装置
JP2865118B2 (ja) Icテスタおよびテストパタン最適化方法
WO2007032192A1 (ja) 試験装置、試験方法、プログラム、及び記録媒体
JP2000105272A (ja) Ic試験装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010918

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees