JPH0529472Y2 - - Google Patents

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JPH0529472Y2
JPH0529472Y2 JP1987044339U JP4433987U JPH0529472Y2 JP H0529472 Y2 JPH0529472 Y2 JP H0529472Y2 JP 1987044339 U JP1987044339 U JP 1987044339U JP 4433987 U JP4433987 U JP 4433987U JP H0529472 Y2 JPH0529472 Y2 JP H0529472Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造に用いられるフオトマスク
ブランク、フオトマスクおよびそれらに用いられ
るガラス基板等の角状板状物を収納する収納箱に
関する。
〔従来の技術〕
従来、フオトマスクブランク等の基板(板状
物)を収納し選択するために使用されるこの種の
収納箱としては第5図に示すものが知られてい
る。すなわち、1は基板2を収納する上面が開放
した収納箱で、その内底面には基板2の下方とな
る側面、すなわち挿入側面3を保持する多数のV
字状をなす保持溝4が基板2の板厚方向に所定の
間隔をおいて形成され、また相対向する内側面に
は基板2の左右の側面5,6を保持する多数の保
持溝7,8が同様に形成されている。
〔考案が解決しようとする問題点〕
しかしながら、このような従来の収納箱1にお
いては保持溝7と8の間隔が一定で、変えること
ができないため、ある同一サイズの基板2した収
納できず、他の寸法のものに対して共通に使用で
きないという問題点があつた。そのため、各種寸
法に応じた収納箱を準備しているが、そうすると
収納箱自体の種類が増加し、その保管、管理が面
倒であつた。
また、収納箱の種類を減らすために保持溝7,
8の間隔を可変設定し得るようにしたものも種々
提案されてはいるが、そのようなものは寸法に応
じてその都度止めねじを緩めて保持溝7,8が形
成されている側板等を移動調整する必要があり、
その作業が面倒であるという不都合を有してい
る。
したがつて、本考案では上記したような欠点を
改善し、箱自体は何ら変更したりすることなく寸
法の異なつた板状物に対して共通使用でき、また
寸法の異なつた複数種の板状物を同時収納し得る
板状物用収納箱を提供しようとするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本考案に係る板状物用収納箱は上記した目的を
達成するためになされたもので、相対向する一対
の側板と、これら一対の側板間に横架、固定され
た挿入側面支持部材および少なくとも第1、第
2、第3の保持部材とを備え、前記挿入側面支持
部材、第1、第2および第3の保持部材には収納
すべき板状物の側面を保持する複数の保持溝がそ
の長手方向にそれぞれ形成され、前記挿入側面支
持部材は寸法の異なる第1および第2の板状物の
挿入側面を支持し、前記第1および第2の保持部
材は前記第1の板状物の側面のうちその挿入側面
を挟んで対向する2つの側面を保持し、前記第2
および第3の保持部材は前記第2の板状物の挿入
側面を挟んで対向する2つの側面を保持するよう
に構成したものである。
〔作用〕
本考案においては挿入側面支持部材と第1およ
び第2の保持部材により第1の板状物を3点保持
し、挿入側面支持部材と第2および第3の保持部
材により第1の板状物とは寸法の異なつた第2の
板状物を3点保持する。
〔実施例〕
以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。
第1図は本考案に係る板状物用収納箱の一実施
例を示す一部破断斜視図、第2図は第1図−
線断面図、第3図は挿入側面支持部材の要部の一
部破断拡大正面図である。これらの図において、
本実施例の場合、寸法の異なつた4種類(例えば
6,5,3,4インチ)の板状物2,2A,2
B,2C,2Dに対して共通に使用し得、またこ
れら4種類の板状物2A,2B,2C,2Dを必
要に応じて同時に収納し得るように構成した収納
箱20の例を示す。また、板状物2としては、フ
オトマスクブランク、ガラス基板および半導体材
料からなる方形の板状物を含み、さらに透明導電
膜を被覆した薄膜EL素子用や太陽電池用のガラ
ス基板等を含むものである。
さて、前記収納箱20はそれぞれ方形に形成さ
れ互いに対向する一対の側板21,22と、これ
らの側板21,22間にそれぞれ横架された挿入
側面支持部材23および第1、第2、第3、第4
の保持部材24,25,26,27と、側板2
1,22を吊り下げるハンガー28とで構成され
ている。前記挿入側面支持部材23は四弗化エチ
レン等の耐薬品性に優れた合成樹脂によつて第3
図に示すように周面に算盤珠を板状物2の板厚と
ほぼ等しいか若干大きな間隔をおいて一連に並べ
たような回転対称の棒状体に形成されることによ
り、溝底部が正面視平坦な略V字状の保持溝29
を有し、内部にはステンレス等の金属からなる補
強芯30が埋設されている。そして、この挿入側
面支持部材23は各寸法サイズの板状物2A,2
B,2C,2Dに対してその挿入側面、すなわち
一対の側板21,22間に挿入され、下側となる
側面a1,b1,c1,d1をそれぞれ支持するために共
通に使用されるもので、その両端が前記各側板2
1,22の内側面中央部に固定されている。
前記第1、第2、第3および第4の保持部材2
4,25,26,27は前記挿入側面支持部材2
3と全く同一に形成されることによりその周面に
多数の保持溝31,32,33,34を有し、該
支持部材23の周囲にそれぞれ異なつた距離を保
つて配設されている。この場合、第1および第2
の保持部材24,25は、5インチ角の板状物2
Bの側面のうちその挿入側面b1を挾んで互いに対
向する2つの側面b2,b3を保持するために使用さ
れるもので、その保持溝31,32の溝底部間の
間隔l1は5インチ角の板状物2Bの一辺の長さと
ほぼ等しいか若干大きく設定されている。第2お
よび第3の保持部材25,26は3インチ角の板
状物2Cの側面のうちその挿入側面C1を挾んで
互いに対向する2つの側面C2,C3を保持するも
ので、その保持溝32,33の溝底部間の間隔l2
は3インチ角の板状物2Cの一辺の長さとほぼ等
しいか若干大きく設定されている。第3および第
4の保持部材26,27は4インチ角の板状物2
Dの側面のうちその挿入側面d1を挾んで互いに対
向する2つの側面d2,d3を保持するもので、その
保持溝33,34の溝底部間の間隔l3は該板状物
2Dの一辺の長さに対応して設定されている。そ
して、第1および第4の保持部材24,27は6
インチ角の板状物2Aの側面のうちその挿入側面
a1を挾んで互いに対向する2つの側面a2,a3を保
持するもので、その保持溝31,34の溝底部間
の間隔l4は前記板状物2Aの一辺の長さに対応し
て設定されている。第1および第3の保持部材2
4と26は、前記側板21,22の一方の対角線
方向に前記挿入側面支持部材23を挾んで配設さ
れ、第2および第4の保持部材25,27は他方
の対角線方向に前記支持部材23を挾んで配設さ
れている。前記各板状部2A,2B,2C,2D
の挿入方向S1,S2,S3,S4(第2図)は、側板2
1,22の各辺E1,E2,E3,E4に対してそれぞ
れほぼ垂直な方向とされる。
したがつて、収納箱20は上下の区別がなく、
収納すべき板状物2に応じてその挿入方向が下向
きになるように設置されるものである。例えば本
実施例は5インチ角の板状物2Bを収納した例を
示しているため、その挿入方向S2が下向きになる
ように各側板21,22の辺E2を上にしている
が、3インチ角の板上物2Cを収納する場合は、
その挿入方向S3が下向きになるように収納箱20
を1/4だけ転がして各側板21,22の辺E3を上
にすればよい。そして、各寸法の板状物2A,2
B,2C,2Dは収納ケース20に挿入される
と、下方となる挿入側面a1,b1,c1,d1がそれぞ
れ前記挿入側面支持部材23の保持溝29に挿入
されて保持される。
前記ハンガー28は前記側板21,22に対し
て着脱自在にかつ収納すべき板状物2A,2B,
2C,2Dに応じてその挿入側面a1,b1,c1,d1
が下になるように取付け位置を変えて取付けられ
るもので、板ばねによつて略コ字状に折曲される
ことにより左右の支持部128a,128bと、
これらの支持部128a,128bの基部を連結
する連結部128cとを一体に有する本体28A
と、支持部128a,128bの基部側端部間に
介在された剛性を有するバー28Bとで構成さ
れ、前記各支持部128a,128bの下端には
内側に斜め上方に向つて折曲された係止部40
a,40bがそれぞれ一体に設けられている。そ
して、前記連結部128cを押圧して弾性変形さ
せると、各支持部128a,128bの下端部は
外側に弾性変形してその間隔が広がる。
前記各側板21,22の周縁寄りで各辺E1
E2,E3,E4の中央部分に近い位置には矩形の係
合孔42a,42b,42c,42dと43a,
43b,43c,43dがそれぞれ形成されてお
り、これらの孔に前記ハンガー28の係止部40
a,40bが収納すべき板状物2に応じて挿入さ
れる。
ここで、本実施例においては収納箱20を横に
設置して使用し、一種類、例えば5インチ角の板
状物2Bを上から収納する例を示したが、一対の
側板21,22が上下に対向するように立てて設
置すると、寸法の異なつた4種類の板状物2A,
2B,2C,2Dを四方から同時にかつ水平に収
納し得るものである。
このように上記構成からなる収納箱20によれ
ば、箱自体の構造を変更したり挿入側面支持部材
23、第1,第2,第3、第4の保持部材24,
25,26,27等を取外したり移動調整したり
することなく、単にその設置状態、つまり上下関
係を板状物2の挿入方向に応じて変えるだけで寸
法の異なつた4種類の板状物2A,2B,2C,
2Dを安定かつ確実に保持収納でき、その上必要
に応じてこれら板状物を同時に収納することがで
きるものである。
したがつて、収納箱の種類を削減でき、しかも
取扱いもいたつて簡単かつ容易である。
第4図は本考案の他の実施例を示す断面図であ
る。この実施例は第1、第2、第3および第4の
保持部材24,25,26、27の配設位置を若
干ずらすことにより各板状物2A,2B,2C,
2Dの挿入方向S1,S2,S3,S4を側板21,22
の各辺E1,E2,E3,E4に対して斜めにしたもの
である。その他の構成は上記実施例と同様である
ため、その説明を省略する。
なお、上記実施例はいずれも6,5,4,3イ
ンチの板状物2A,2B,2C,2Dを収納する
収納箱について説明したが、本考案はこれに何ら
特定されるものではなく、これら以外の寸法板状
物に対しても実施し得ることは勿論である。
また、上記実施例は4種類の板状物2A,2
B,2C,2Dの選択的にもしくは同時に収納し
得るようにしたが、少なくとも2種類の板状物、
例えば2Bと2Cを収納するものであつてもよ
く、その場合には第4の保持部材27が不要とさ
れる。
さらに上記実施例では挿入側面支持部材23,
第1、第2,第3,第4の保持部材24,25,
26,27を、算盤珠を一連に並べたように形状
の棒状体で構成し、溝底部が平坦な保持溝とした
が、V字状溝、角溝等の他の形状の保持溝であつ
てもよいものである。
〔考案の効果〕
以上説明したように本考案に係る板状物用収納
箱によれば、箱自体を何ら変えることなく寸法の
異なつた複数種の板状物に対して共通に使用で
き、取扱いが容易で、収納箱の種類を削減でき、
その上3点支持であるため板状物の保持が安定か
つ確実で、しかも必要に応じて複数種の板状物を
同時に収納することができるなど、その実用的効
果は頗る大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す一部破断斜視
図、第2図は第1図−線断面図、第3図は挿
入側面支持部材の要部の一部破断正面図、第4図
は本考案の他の実施例を示す断面図、第5図は従
来の収納箱の斜視図である。 2,2A,2B,2C,2D……板状物、20
……収納箱、21,22……側板、23……挿入
側面支持部材、24……第1の保持部材、25…
…第2の保持部材、26……第3の保持部材、2
7……第4の保持部材、28……ハンガー、2
9,31,32,33,34……保持溝、a1
b1,c1,d1……挿入側面、a2,a3,b2,b3,c2
c3,d2,d3……側面、S1,S2,S3,S4……挿入方
向。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 相対向する一対の側板と、これら一対の側板間
    に横架、固定された挿入側面支持部材および少な
    くとも第1、第2、第3の保持部材とを備え、前
    記挿入側面支持部材、第1、第2および第3の保
    持部材には収納すべき板状物の側面を保持する複
    数の保持溝がその長手方向にそれぞれ形成され、
    前記挿入側面支持部材は寸法の異なる第1および
    第2の板状物の挿入側面を支持し、前記第1およ
    び第2の保持部材は前記第1の板状物の側面のう
    ちその挿入側面を挟んで対向する2つの側面を保
    持し、前記第2および第3の保持部材は前記第2
    の板状物の側面のうちその挿入側面を挟んで対向
    する2つの側面を保持することを特徴とする板状
    物用収納箱。
JP1987044339U 1987-03-27 1987-03-27 Expired - Lifetime JPH0529472Y2 (ja)

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