JPS638902Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、洗浄用治具に関し、特にフオトマス
ク用透明基板、フオトマスクブランク、フオトマ
スク、ガラスウエハ、半導体ウエハ等の板状物の
洗浄において、同時に複数の種頼の大きさの板状
物を洗浄することが可能な洗浄用治具に関するも
のである。

従来、洗浄用治具としては、第１図に示すもの
があつた。すなわち、フツ素樹脂等の耐蝕性プラ
スチツクを用いた射出成型による一体成型品であ
る。１は、筒状をなす洗浄用治具本体で、対向す
る側壁２，３の内面に所定の間隔で適当数Ｖ字形
の溝４を形成している。５は、開口底部に側壁
２，３と平行に差し渡され、上面に前記溝４と対
応するＶ字形の溝６が形成された支持杆である。

この洗浄用治具を用いて板状物を洗浄する方法
は、先ず、側壁２，３のそれぞれの溝４間で保持
できる寸法の板状物７を、溝４間に沿つて、支持
杆５の溝６によつて支えられるまで嵌挿する。次
に、この洗浄用治具を、公知の超音波洗浄装置等
の洗浄装置内に設置して洗浄する。

しかしながら、前記の洗浄用治具は、前述した
とおり、側壁２と側壁３のそれぞれの溝４間で保
持される寸法の板状物に使用されるのみであり、
すなわち、例えば、現在フオトマスク用透明基板
として使用されている各種の大きさ（例えば、４
インチ、５インチ、６インチ）の板状物に対し
て、同時に洗浄することは、不可能であつた。こ
のため、多種少量の板状物を効率よく洗浄するこ
とができない欠点があつた。

本考案は、前記のような欠点を除去するために
なされたものであり、すなわち、容易に組み立て
られ、数種の大きさの板状物が収容できる洗浄用
内側治具（以下、「内側治具」という。）と、この
内側治具を嵌挿するＵ字状、Ｖ字状等の溝を設け
た洗浄用外側治具（以下、「外側治具」という。）
とからなる洗浄用治具を提供することにより、少
なくとも２種類の板状物を、同時に洗浄可能にす
ることを目的とする。

本考案の特徴は、内側治具と外側治具とからな
る洗浄用治具において、前記内側治具は、前記外
側治具に嵌挿できる対向する２枚の矩形状、円形
状等の板と、少なくとも３本のＶ字状、Ｕ字状等
の溝及びこの板に嵌合する手段を設けた板状物支
持棒（以下、「支持棒」という。）とからなるもの
で、前記それぞれの板内には、前記支持棒を保持
するための凹部を２以上有する貫通孔が前記支持
棒の数に対応して、３以上設けられ、且つそれぞ
れの貫通孔には、前記凹部が同数設けられてお
り、さらに前記貫通孔のうち２箇所が、上部に設
けられ、他の貫通孔が、前記２箇所の貫通孔より
下部に設けられており、さらに前記３本以上の支
持棒のうち２本が、前記板の上部に設けられた貫
通孔にそれぞれ嵌合され、他の支持棒が、この支
持棒の溝を前記２本の支持棒の方向に向けて、前
記板の下部に設けられた貫通孔に嵌合されてお
り、また、前記外側治具は、この外側治具の相対
向する２側壁には、前記板を嵌挿するための溝が
設けられていることである。

本考案の一実施例を第２図〜第５図に基づき詳
細に説明する。なお、第２図ａ，ｂ，ｃはそれぞ
れ本実施例の内側治具を形成する支持棒の斜視
図、正面図、平面図、第３図は、本実施例の内側
治具を形成する板の正面図、第４図ａ，ｂは、そ
れぞれ本実施例の内側治具の斜視図、正面図、第
５図は、内側治具と外側治具とからなる本実施例
の主要部斜視図である。

先ず、例えば、ソーダライムガラスからなるフ
オトマスク用ガラス基板の板状物を保持するため
の支持棒８を３本用意する。この支持棒８は、前
記板状物を保持する溝８１と後記する板に設けら
れた貫通孔の凹部に嵌合させるため手段としての
支持棒８の両端部に設けられた凹状溝８２と、さ
らに、支持棒８の両端には、後記する内側治具を
強固に固持するための凸部８３により形成されて
いる（第２図）。次に、支持棒８の両端部に設置
され、後記する外側治具に嵌挿される２枚の６イ
ンチの矩形状の板９を用意する。この板９は、支
持棒８を保持するための貫通孔９１が３箇所設け
られており、さらにガラス基板等の板状物の３種
類（例えば、５インチ、４インチ、３インチ）の
寸法にあわせて支持棒８が嵌合される凹部９２
が、それぞれの貫通孔９１に３箇所設けられてい
る（第３図）。支持棒８と９の材質は、両者とも
耐薬品性のあるテフロンである。

次に、支持棒８と板９とから形成された内側治
具１０を第４図に示す。すなわち、この内側治具
１０は、５インチのガラス基板１１を保持するた
めに、支持棒８は、２枚の板９のそれぞれ貫通孔
９１の最外側の凹部９２に嵌合されている。この
際、板９の上部に嵌合された２本の支持棒８は、
互いに溝８１が対向されるように嵌合され、且つ
板９の下部に嵌合された支持棒８は、溝８１を上
向きにして嵌合される。この支持棒８と貫通孔９
１の凹部９２とを嵌合するには、支持棒８の両端
部に設けられた凹状溝８２を凹部９２の底部に嵌
合して行う。さらに、支持棒８の両端には、凸部
８３が設けられているので、支持棒８と板９との
固持を強固にしている。

次に、前記内側治具１０と外側治具１２とから
なる本実施例の洗浄用治具１３を第５図により説
明する。先ず、外側治具１２は、６インチのガラ
ス基板１４を収容できる治具であり、相対向する
側壁１２２，１２２には、それぞれガラス基板１
４を嵌挿するための外側溝１２３が設けられてい
る。この外側溝１２３に沿つて、内側治具１０の
板９を嵌挿して、内側治具１０を外側治具１２内
に収容する。

この実施例によれば、内側治具１０内に５イン
チの大きさのガラス基板１１を収容し、さらに外
側治具１２内に６インチの大きさのガラス基板１
４を収容し、次に、この実施例の洗浄用治具１３
を公知の超音波洗浄装置に設置し、洗浄する。こ
のようにして洗浄するので、５インチ及び６イン
チのガラス基板を同時に洗浄することができる。

また、内側治具１０を用いて、４インチのガラ
ス基板を洗浄するには、板９に設けられたそれぞ
れの貫通孔９１の中央の凹部９２に、支持棒８を
嵌合すればよい。

本考案は、前記実施例に限らず、数個の内側治
具を用意し、さらに、これらの内側治具に設けら
れた貫通孔の凹部の位置を異なるようにして、１
個の外側治具に数個の内側治具を嵌挿すれば、同
時に数種類の大きさの板状物を洗浄することもで
きる。次に、貫通孔の数も前記実施例に限らず、
板の下部に２個の貫通孔を設けて、さらに板状物
の安定保持を計つてもよい。さらに、板内に、洗
浄時の洗浄液の液切れをよくするために、貫通孔
以外に孔を設けてもよい。

以上、本考案によれば、数種類の大きさの板状
物を同時に洗浄することができ、さらに、内側治
具が組み立て容易であるので、３本の支持棒と、
数種の貫通孔を有する板とを数枚用意しておけ
ば、多種少量の板状物を効率よく洗浄することが
できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の洗浄用治具を示す斜視図、第２
図ａ，ｂ，ｃはそれぞれ一実施例の内側治具を形
成する支持棒を示す斜視図、正面図、平面図、第
３図は一実施例の内側治具を形成する板の正面
図、第４図ａ，ｂはそれぞれ一実施例の内側治具
を示す斜視図、正面図、第５図は内側治具と外側
治具とからなる一実施例の主要部斜視図である。 ８……支持棒、９……板、１０……内側治具、
１２……外側治具、１３……洗浄用治具、８１…
…溝、８２……凹状溝、８３……凸部、９１……
貫通孔、９２……凹部、１２２……側壁、１２３
……外側溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 洗浄用内側治具と洗浄用外側治具とからなる洗
   浄用治具において、前記洗浄用内側治具は、前記
   洗浄用外側治具に嵌挿できる対向する２枚の矩形
   状、円形状等の板と、少なくとも３本のＶ字状、
   Ｕ字状等の溝及び前記板に嵌合する手段を設けた
   板状物支持棒とからなるもので、前記２枚の板内
   には、前記板状物支持棒を保持するための凹部を
   ２以上有する貫通孔が前記板状物支持棒の数に対
   応して、３以上設けられ、且つそれぞれの貫通孔
   には、前記凹部が同数設けられており、さらに前
   記貫通孔のうち２個所が前記板の上部に設けら
   れ、他の貫通孔が、前記２箇所の貫通孔より下部
   に設けられており、さらに前記３本以上の板状物
   支持棒のうち２本が、前記板の上部に設けられた
   貫通孔にそれぞれ嵌合され、他の板状物支持棒
   が、該板状物支持棒の溝を前記２本の板状物支持
   棒の方向に向けて、前記板の下部に設けられた貫
   通孔に嵌合されており、また、前記洗浄用外側治
   具は、該洗浄用外側治具の相対向する２側壁に
   は、前記板を嵌挿するための溝が設けられている
   ことを特徴とする洗浄用治具。