JPH0529538B2 - - Google Patents

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JPH0529538B2
JPH0529538B2 JP1161609A JP16160989A JPH0529538B2 JP H0529538 B2 JPH0529538 B2 JP H0529538B2 JP 1161609 A JP1161609 A JP 1161609A JP 16160989 A JP16160989 A JP 16160989A JP H0529538 B2 JPH0529538 B2 JP H0529538B2
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CKD Corp
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Nippon Pillar Packing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 この発明は、例えば、PFA樹脂などのフツ素
系樹脂の溶融樹脂により一体形成された溶融フツ
素系樹脂製チユーブに関する。
(ロ) 従来の技術 従来、樹脂製の各チユーブを接続する場合、こ
れら各チユーブと同材質の樹脂製の管継手により
接続していた。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点 しかし、上述のように２本の各チユーブを別部
材の管継手により接続した場合、チユーブ自体に
比べて継手部分の強度が構造的に弱くなり、配管
時における引張り力や曲げ応力に対して耐久性が
低く、或いは、流体の移送圧力や薬液の化学反応
による発熱作用等により継手部分にクリープが起
きやすく、継手部分のシール性が先行して低下
し、流体の漏洩が生じるという問題点を有してい
る。
従来、このような問題点を解決するために、特
開昭51−4273号公報、特開昭52−18774号公報お
よび特開昭52−27483号公報に記載の如き樹脂製
チユーブが既に発明されている。
すなわち、上述の何れの公報に記載の樹脂製チ
ユーブもチユーブ端部をヒータに直接接触させ
て、チユーブ接合部を溶融させて一体化する手段
であつて、このように構成することで、チユーブ
自体と同等以上の強度を得ることができる効果が
ある反面、次に示す第一乃至第三の問題点があつ
た。
第一に、チユーブ端部をヒータに直接接触させ
る構成であるから、溶融されたチユーブの接合端
部をヒータから引き離す時、ヒータに樹脂が融着
するので、樹脂チユーブとヒータとの間に糸状体
が発生し、このため、チユーブ溶着部内周側に細
い糸状部分が食み出し、流体の輸送中に、この糸
状体がちぎれて、ゴミとして流体中に混入する問
題点があつた。
第二に、上述の糸状体が形成されるため、チユ
ーブ溶着部の内周側は滑らかさを欠き、マクロ的
に見ても凹凸の多い表面状態となり、この結果、
微小な液溜りやを生じやすく、例えば、超純水で
はバクテリアの発生を招き、IC等のレジスト液
では液溜りに溜つたレジスト液の変質や粘度変化
が発生し、これらのバクテリアおよび変質液は輸
送流体中にゴミとして混入する問題点があつた。
第三に、チユーブ端部を直接ヒータに接触させ
る関係上、ヒータを構成する材料やイオンが、チ
ユーブ溶融部へ移着し、チユーブの溶着部はチユ
ーブの構成材料とは全く異なる異物を含むことに
なり、このため、チユーブ表面またはその付近に
含まれたこれらの異物は、強酸、強アルカリの腐
蝕性の輸送流体（薬液）により、流体中へのイオ
ン溶出の原因となる問題点があつた。
加えて、上述の第一乃至第三の理由により、例
えば半導体の製造工程などのように微細加工を必
要とする用途に上述の従来チユーブを使用する
と、ゴミや溶出イオンによる致命的な加工不良を
招く問題点があつた。
さらに、上述の従来手段を溶融フツ素樹脂チユ
ーブに適用した場合には、チユーブを直接ヒータ
に接触させた際、高温でのフツ素系樹脂の分解に
より、フツ素ガスが発生するので、ヒータの腐蝕
や作業者の健康上障害が発生し、またヒータにフ
ツ素系樹脂の融着が生じるので、ヒータ温度がフ
ツ素系樹脂の分解温度以下に低下するまで、フツ
素ガスの発生が続く問題点があつた。
この発明は、チユーブ自体と同等以上の強度を
確保することができるのは勿論、糸状体の発生が
なく、溶着部内周面が滑らかで、またチユーブ表
面にヒータ側の異物が含まれることもなく、フツ
素ガスの発生をも確実に阻止することができる溶
融フツ素系樹脂製チユーブの提供を目的とする。
(ニ) 問題点を解決するための手段 この発明は、溶融フツ素系樹脂製により形成し
た複数本のチユーブの接合部を加熱ヒータに対し
て１mm〜６mm間隔に隔てた非接触定位置に保持
し、上記加熱ヒータにより600℃〜800℃の温度で
各チユーブの接合部を所定時間加熱して0.5〜５
mm溶融した後、上記同一の溶融状態に溶融した各
チユーブの接合部を軸方向に圧接して一体的に溶
着した溶融フツ素樹脂製チユーブであることを特
徴とする。
(ホ) 作用 この発明によれば、加熱ヒータに対して１mm〜
６mmの間隔に非接触状態に離間させた各チユーブ
の接合部を、加熱ヒータにより600℃〜800℃の温
度で加熱して0.5〜５mm溶融させ、これら同一溶
融状態に溶融した各チユーブの接合部を圧接する
と、各接合部は均一に融合して〓間無く一体的に
融着される。
(ヘ) 発明の効果 このように、複数本の各チユーブを〓間無く一
体的に溶着して溶融フツ素系樹脂チユーブを形成
しているので、溶着部はチユーブ自体と同等以上
の強度となり、配管時における引張り力や曲げ応
力に対する耐久性が向上し、且つ、流体の移送圧
力や薬液の化学反応による発熱作用等により溶着
部が先に破断するのを接極的に防止することがで
き、流体移送時におけるシール性が向上し、配管
資材として高い信頼性が得られる。
しかも、チユーブの接合部を加熱ヒータに対し
て非接触状態下にて加熱するので、糸状体の発生
がなく、溶着部内周面が滑らかで、またチユーブ
表面にヒータ側の異物が含まれることもなく、フ
ツ素ガスの発生をも確実に阻止することができる
効果がある。
(ト) 実施例 この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述
する。
図面は溶融フツ素系樹脂の一例としてテトラフ
ルオロエチレン−パ−フルオロアルキルビニルエ
ーテル共重合体（PFA樹脂）により一体化形成
した樹脂製チユーブを示し、第１図及び第２図に
おいて、この溶融フツ素系樹脂製チユーブ１、
PFA樹脂製の２本の各チユーブ２，２を一体的
に溶着して形成している。
上述の各チユーブ２，２を溶着する手段として
は、本出願人が既に発生した溶着装置（特願昭63
−262168号公報参照）がある。
この溶着装置（図示省略）を用いて、例えば、
外径寸法が19mm、肉厚が1.6mmの２本の各チユー
ブ２，２を溶着する場合、第３図に示すように、
軸方向に対して直角に切断した各チユーブ２，２
の各接合端部２ａ，２ａを、装置中央に配設した
加熱ヒータ３の両側面に離間対向してそれぞれ配
置し、これら各チユーブ２，２の各接合端部２
ａ，２ａを、加熱ヒータ３の両側面に対して対向
間隔Ａ，Ａを２〜３mm間隔に隔てた非接触の定位
置に保持する。
次に、加熱ヒータ３に通電して、溶融フツ素系
樹脂製の各チユーブ２，２の各接合端部２ａ，２
ａが溶融する600℃〜800℃の加熱範囲内で所定時
間加熱する。
例えば、加熱ヒータ３の加熱温度を750℃に保
持し、その幅射熱により各チユーブ２，２の各接
合端部２ａ，２ａを30sec〜40sec間加熱して、こ
れら各接合端部２ａ，２ａを２mm〜３mm程度溶融
させる。
この後、第４図に示すように、２本の各チユー
ブ２，２の対向間から加熱ヒータ３を取り除き、
これら各チユーブ２，２を矢印方向に移動して溶
融した各接合端部２ａ，２ａを接触させる。
さらに、第５図に示すように、これら各チユー
ブ２，２の各接合端部２ａ，２ａを矢印方向に圧
接して、第４図に示す接触時点の溶着部２ｂの寸
法Ｂから、第５図に示す圧接時点の溶着部２ｂの
寸法Ｃを減算した１mm〜1.5mmの圧接寸法だけ押
し付けることで、第２図に示すように、同一溶融
状態に溶融した各チユーブ２，２の各接合端部２
ａ，２ａは均一に融合し、〓間無く一体化に溶着
される。
このように２本の各チユーブ２，２を一体的に
溶着して溶融フツ素系樹脂製チユーブ１を形成し
ているので、引張り試験において、溶着部２ｂ約
125Kgの引張り力まで耐えることができ、溶着部
２ｂの引張り強度はチユーブ２自体と同等以上の
強度となり、配管時における引張り力や曲げ応力
に対する耐久性が向上し、且つ、流体の移送圧力
や薬液の化学反応による発熱作用等により溶着部
２ｂが先に破断するのを積極的に防止することが
でき、流体移送時におけるシール性が向上し、配
管資材として高い信頼性が得られる。
しかも、チユーブ２，２の接合端部２ａ，２ａ
を加熱ヒータ３に対して非接触状態下にて加熱す
るので、従来のような糸状体の発生がなく、溶着
部２ｂ内周面が滑らかで、またチユーブ２，２表
面およびその近傍にヒータ３側の異質物が含まれ
ることもなく、フツ素ガスの発生をも確実に阻止
することができる効果がある。
この発明の構成と、上述の実施例との対応にお
いて、 この発明の接合部は、実施例の接合端部２ａに
対応するも、 この発明は上述の実施例の構成のみに限定され
るものではない。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は溶
融フツ素系樹脂製チユーブの溶着部斜視図、第２
図は溶融フツ素樹系脂製チユーブの溶着部縦断側
面図、第３図はチユーブの加熱状態を示す側面
図、第４図はチユーブの接触状態を示す側面図、
第５図はチユーブの圧接状態を示す側面図であ
る。 １……溶融フツ素系樹脂製チユーブ、２……チ
ユーブ、２ａ……接合端部、２ｂ……溶着部、３
……加熱ヒータ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 溶融フツ素系樹脂により形成した複数本のチ
    ユーブの接合部を加熱ヒータに対して１mm〜６mm
    間隔に隔てた非接触定位置に保持し、 上記加熱ヒータにより600℃〜800℃の温度で各
    チユーブの接合部を所定時間加熱して0.5〜５mm
    溶融した後、 上記同一溶融状態に溶融した各チユーブの接合
    部を軸方向に圧接して一体的に溶着した 溶融フツ素系樹脂製チユーブ。
JP1161609A 1989-06-23 1989-06-23 溶融フッ素系樹脂製チューブ Granted JPH0326530A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1161609A JPH0326530A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 溶融フッ素系樹脂製チューブ

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JP1161609A JPH0326530A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 溶融フッ素系樹脂製チューブ

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Publication Number Publication Date
JPH0326530A JPH0326530A (ja) 1991-02-05
JPH0529538B2 true JPH0529538B2 (ja) 1993-04-30

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JP1161609A Granted JPH0326530A (ja) 1989-06-23 1989-06-23 溶融フッ素系樹脂製チューブ

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