JPH05296867A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
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- JPH05296867A JPH05296867A JP4104262A JP10426292A JPH05296867A JP H05296867 A JPH05296867 A JP H05296867A JP 4104262 A JP4104262 A JP 4104262A JP 10426292 A JP10426292 A JP 10426292A JP H05296867 A JPH05296867 A JP H05296867A
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- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【構成】第一，第二のシールダイアフラムを差圧伝送器
を構成する部材の一端面に形成して第一，第二の受圧室
を設け、過負荷保護ダイアフラムおよび第一，第二の隔
離室を第一の受圧室、および第二の受圧室それぞれに対
し近接した場所に設け、第二の受圧室と第一の隔離室、
第二の受圧室と第二の隔離室、そして第一，第二の隔離
室と半導体センサをつなぐ導通路を設ける。 【効果】検出するプロセス流体に温度変化が起きた場合
でも、この温度変化を早く検出することが可能になるの
で、プロセス流体の差圧を高精度に求めることができ
る。
を構成する部材の一端面に形成して第一，第二の受圧室
を設け、過負荷保護ダイアフラムおよび第一，第二の隔
離室を第一の受圧室、および第二の受圧室それぞれに対
し近接した場所に設け、第二の受圧室と第一の隔離室、
第二の受圧室と第二の隔離室、そして第一，第二の隔離
室と半導体センサをつなぐ導通路を設ける。 【効果】検出するプロセス流体に温度変化が起きた場合
でも、この温度変化を早く検出することが可能になるの
で、プロセス流体の差圧を高精度に求めることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は差圧伝送器に係り、特に
プロセス流体の温度変化検出に優れた差圧伝送器に関す
る。
プロセス流体の温度変化検出に優れた差圧伝送器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の差圧伝送器の受圧部構造は、特開
昭60−185130号公報（図２参照）に記載されたように、
圧力受圧部材の両側に第一，第二の流体を受圧するシー
ルダイアフラムをそれぞれ接合して第一，第二の受圧室
を構成し、そしてこの圧力受圧部材の内部に第一，第二
の隔離室を構成するセンターダイアフラムと、半導体セ
ンサ及びその支持体を設け、さらに第一の受圧室と第一
の隔離室をつなぐ導圧路、第一の隔離室と半導体差圧セ
ンサをつなぐ導圧路、第二の受圧室と第二の隔離室をつ
なぐ導圧路、第二の隔離室と半導体差圧センサをつなぐ
導圧路を構成して、第一，第二の受圧室からの圧力をそ
れぞれ第一，第二の隔離室を介して半導体センサに印加
することにより、過渡的な圧力が加わった場合でも差圧
を検出する半導体センサの破損を防ぐ構造になってい
た。
昭60−185130号公報（図２参照）に記載されたように、
圧力受圧部材の両側に第一，第二の流体を受圧するシー
ルダイアフラムをそれぞれ接合して第一，第二の受圧室
を構成し、そしてこの圧力受圧部材の内部に第一，第二
の隔離室を構成するセンターダイアフラムと、半導体セ
ンサ及びその支持体を設け、さらに第一の受圧室と第一
の隔離室をつなぐ導圧路、第一の隔離室と半導体差圧セ
ンサをつなぐ導圧路、第二の受圧室と第二の隔離室をつ
なぐ導圧路、第二の隔離室と半導体差圧センサをつなぐ
導圧路を構成して、第一，第二の受圧室からの圧力をそ
れぞれ第一，第二の隔離室を介して半導体センサに印加
することにより、過渡的な圧力が加わった場合でも差圧
を検出する半導体センサの破損を防ぐ構造になってい
た。
【０００３】また、従来の差圧伝送器はプロセス流体の
温度変化による差圧検出誤差を防ぐために半導体センサ
にサーミスタを設け、この信号出力から差圧センサのプ
ロセス流体差圧出力を補正して正確な差圧信号の出力を
行っていた。
温度変化による差圧検出誤差を防ぐために半導体センサ
にサーミスタを設け、この信号出力から差圧センサのプ
ロセス流体差圧出力を補正して正確な差圧信号の出力を
行っていた。
【０００４】そして、差圧伝送器の保守においては、圧
力受圧部材の両側に接合された第一，第二のシールダイ
アフラムの点検を行うために圧力受圧部材とフランジを
締め付けているボルトを緩め、圧力受圧部材を取りだし
てからシールダイアフラムの点検を行っていた。
力受圧部材の両側に接合された第一，第二のシールダイ
アフラムの点検を行うために圧力受圧部材とフランジを
締め付けているボルトを緩め、圧力受圧部材を取りだし
てからシールダイアフラムの点検を行っていた。
【０００５】さらに、差圧伝送器の使用においては零点
（差圧が０mmＨ2Ｏ のとき、伝送器の出力が０％となっ
ている状態）が変化していないか定期的に点検を行う必
要があるが、従来の差圧伝送器は配管に接続した状態で
高圧側と低圧側の圧力を同一、すなわち差圧０mmＨ2Ｏ
とするために差圧伝送器と配管の間に特殊な三方弁が必
要であった。
（差圧が０mmＨ2Ｏ のとき、伝送器の出力が０％となっ
ている状態）が変化していないか定期的に点検を行う必
要があるが、従来の差圧伝送器は配管に接続した状態で
高圧側と低圧側の圧力を同一、すなわち差圧０mmＨ2Ｏ
とするために差圧伝送器と配管の間に特殊な三方弁が必
要であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の差圧伝送器の受
圧部構造においては、半導体センサはプロセス流体圧に
感応する封入液に接しており、このため温度検出を行う
サーミスタへのプロセス流体からの温度の伝わり方は、
まずプロセス流体の温度変化が受圧室の封入液に伝達
し、さらにこの封入液の温度が隔離室の封入液を介して
半導体センサのサーミスタに伝わるようになっていた。
しかし、受圧室の封入液から隔離室の封入液への温度の
伝達は、圧力受圧部材に納められた半導体センサ、及び
その支持体を越えるように形成された導通路の封入液に
より温度が伝わるため、この導通路により温度伝達に時
間的な遅れが発生して、正確な差圧状態を検出すること
は困難であった。
圧部構造においては、半導体センサはプロセス流体圧に
感応する封入液に接しており、このため温度検出を行う
サーミスタへのプロセス流体からの温度の伝わり方は、
まずプロセス流体の温度変化が受圧室の封入液に伝達
し、さらにこの封入液の温度が隔離室の封入液を介して
半導体センサのサーミスタに伝わるようになっていた。
しかし、受圧室の封入液から隔離室の封入液への温度の
伝達は、圧力受圧部材に納められた半導体センサ、及び
その支持体を越えるように形成された導通路の封入液に
より温度が伝わるため、この導通路により温度伝達に時
間的な遅れが発生して、正確な差圧状態を検出すること
は困難であった。
【０００７】また、差圧伝送器の保守においては、圧力
受圧部材とフランジを分離し、その後圧力受圧部材を取
りだしてから、シールダイアフラムの点検を行っていた
ため作業が困難であった。
受圧部材とフランジを分離し、その後圧力受圧部材を取
りだしてから、シールダイアフラムの点検を行っていた
ため作業が困難であった。
【０００８】さらに、定期検査の零点調節のために差圧
伝送器と配管の間に特殊な三方弁を設けなければなら
ず、差圧伝送器を設置するための工程が多くなってしま
っていた。
伝送器と配管の間に特殊な三方弁を設けなければなら
ず、差圧伝送器を設置するための工程が多くなってしま
っていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の差圧伝送器においては、第一，第二の圧力
を受けるシールダイアフラムを圧力受圧部材の一端面に
形成して圧力受圧室を設け、さらに過負荷保護ダイアフ
ラムをシールダイアフラムが設けられた圧力受圧部材の
一端面と半導体センサの間に形成して、第一，第二の隔
離室を設けるようにしたものである。
に、本発明の差圧伝送器においては、第一，第二の圧力
を受けるシールダイアフラムを圧力受圧部材の一端面に
形成して圧力受圧室を設け、さらに過負荷保護ダイアフ
ラムをシールダイアフラムが設けられた圧力受圧部材の
一端面と半導体センサの間に形成して、第一，第二の隔
離室を設けるようにしたものである。
【００１０】また、プロセス流体を導入する部分をシー
ルダイアフラムとの間で形成する部材に、このシールダ
イアフラムと対向する位置に点検口を配置し、この点検
口を着脱可能な構造にしたものである。
ルダイアフラムとの間で形成する部材に、このシールダ
イアフラムと対向する位置に点検口を配置し、この点検
口を着脱可能な構造にしたものである。
【００１１】さらに、第一のプロセス流体を導入する部
分を第一のシールダイアフラムとの間で形成する部材に
第一の開口部を設け、かつ第二のプロセス流体を導入す
る部分を第二のシールダイアフラムとの間で形成する部
材に第二の開口部を設け、これらの開口部を導通して第
一、第二のプロセス流体の圧力を均等にする手段を設け
たものである。
分を第一のシールダイアフラムとの間で形成する部材に
第一の開口部を設け、かつ第二のプロセス流体を導入す
る部分を第二のシールダイアフラムとの間で形成する部
材に第二の開口部を設け、これらの開口部を導通して第
一、第二のプロセス流体の圧力を均等にする手段を設け
たものである。
【００１２】
【作用】本発明の差圧伝送器によれば、第一，第二の受
圧室に対しそれぞれの近くに、第一，第二の隔離室を構
成することが可能になるので、各圧力室を結ぶ導圧路の
経路を短くすることができる。
圧室に対しそれぞれの近くに、第一，第二の隔離室を構
成することが可能になるので、各圧力室を結ぶ導圧路の
経路を短くすることができる。
【００１３】また、プロセス流体を導入する部分に点検
口を設けることにより、点検口を開口してシールダイア
フラムを検査でき、差圧伝送器の圧力受圧部材を取り外
すことなく点検することが可能になる。
口を設けることにより、点検口を開口してシールダイア
フラムを検査でき、差圧伝送器の圧力受圧部材を取り外
すことなく点検することが可能になる。
【００１４】さらに、差圧伝送器の第一，第二のプロセ
ス流体を導入する部分に開口部を設け、この開口部を導
通して第一，第二のプロセス流体圧力を均等にする手段
を設けたことにより、導管と差圧伝送器の間に三方弁を
設けることなく零点調整を行うことが可能になる。
ス流体を導入する部分に開口部を設け、この開口部を導
通して第一，第二のプロセス流体圧力を均等にする手段
を設けたことにより、導管と差圧伝送器の間に三方弁を
設けることなく零点調整を行うことが可能になる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の差圧伝送器を図を用いて説明
する。
する。
【００１６】図１は本発明の差圧伝送器の一実施例を示
したものであり、この差圧伝送器は主に、圧力受圧部材
２０，センサ部組２，シールダイアフラム６，７、過負
荷保護ダイアフラム４，第一，第二の圧力室２０１，２
０２、第一，第二の隔離室２０３，２０４で構成されて
いる。
したものであり、この差圧伝送器は主に、圧力受圧部材
２０，センサ部組２，シールダイアフラム６，７、過負
荷保護ダイアフラム４，第一，第二の圧力室２０１，２
０２、第一，第二の隔離室２０３，２０４で構成されて
いる。
【００１７】図３に図１で示した圧力受圧部材２０の詳
細図を示す。圧力受圧部材２０は単一の部材に軸対称に
シールダイアフラム６,７を取り付けるための穴部２１,
２２を設け、底面にはシールダイアフラム６，７と同一
形状に加工を施し、穴部２１，２２の入口には導圧配管
を直接につなぐためのシールダイアフラム６，７より大
きな径のテーパーねじ３７，３８の加工を施し、また、
圧力受圧部材２０の中心軸上には過負荷保護ダイアフラ
ム４，センサ部組２を収納するための穴部２３を設け、
底面には過負荷保護ダイアフラム４と同一形状に加工を
施す。そして、シールダイアフラム６，７、取付穴部２
１，２２と過負荷保護ダイアフラム４，センサ部組２の
取付穴部２３間を導通路２４，２５，２６で接続するこ
とにより形成される。
細図を示す。圧力受圧部材２０は単一の部材に軸対称に
シールダイアフラム６,７を取り付けるための穴部２１,
２２を設け、底面にはシールダイアフラム６，７と同一
形状に加工を施し、穴部２１，２２の入口には導圧配管
を直接につなぐためのシールダイアフラム６，７より大
きな径のテーパーねじ３７，３８の加工を施し、また、
圧力受圧部材２０の中心軸上には過負荷保護ダイアフラ
ム４，センサ部組２を収納するための穴部２３を設け、
底面には過負荷保護ダイアフラム４と同一形状に加工を
施す。そして、シールダイアフラム６，７、取付穴部２
１，２２と過負荷保護ダイアフラム４，センサ部組２の
取付穴部２３間を導通路２４，２５，２６で接続するこ
とにより形成される。
【００１８】図４に図３のａ−ａ線の切断図面を示す。
【００１９】圧力受圧部材２０にはシールダイアフラム
７を取り付けるための穴部２２の上側にそれぞれテーパ
ーねじ２８が、また下側にもそれぞれテーパーねじ３０
が加工され、導通路３２，３４によって穴部２２と接続
されている。同様に穴部２１においても、上下の部分に
テーパーねじ２７，３３がそれぞれ加工され、導通路３
２，３４により接続されている。
７を取り付けるための穴部２２の上側にそれぞれテーパ
ーねじ２８が、また下側にもそれぞれテーパーねじ３０
が加工され、導通路３２，３４によって穴部２２と接続
されている。同様に穴部２１においても、上下の部分に
テーパーねじ２７，３３がそれぞれ加工され、導通路３
２，３４により接続されている。
【００２０】本発明の一実施例の差圧伝送器における第
一の受圧室２０１，第二の受圧室２０２，第一の隔離室
２０３，第二の隔離室２０４の構造を図１を用いて説明
する。
一の受圧室２０１，第二の受圧室２０２，第一の隔離室
２０３，第二の隔離室２０４の構造を図１を用いて説明
する。
【００２１】本実施例の差圧伝送器においては、圧力受
圧部材２０の穴部２１，２２からシールダイアフラム
６，７を組み込み、それぞれシールダイアフラムの面が
同じ方向を向くように溶接して第一，第二の受圧室２０
１，２０２を形成する。
圧部材２０の穴部２１，２２からシールダイアフラム
６，７を組み込み、それぞれシールダイアフラムの面が
同じ方向を向くように溶接して第一，第二の受圧室２０
１，２０２を形成する。
【００２２】次に、圧力受圧部材２０の穴部２３に過負
荷保護ダイアフラム４を組み込み、シールダイアフラム
６，７と同じ方向を向くように溶接して第二の隔離室２
０４を形成し、またセンサ部組２の面上に半導体センサ
４４を、この半導体センサ４４がセンサ部組２が圧力受
圧部材２０と接合した時に第一の隔離室２０３を構成す
る面上に配置するように接合し、このセンサ部組２をシ
ールダイアフラム６，７が接合する面の反対側から、圧
力受圧部材２０に組み込んで接合することにより第二の
隔離室２０４を形成する。
荷保護ダイアフラム４を組み込み、シールダイアフラム
６，７と同じ方向を向くように溶接して第二の隔離室２
０４を形成し、またセンサ部組２の面上に半導体センサ
４４を、この半導体センサ４４がセンサ部組２が圧力受
圧部材２０と接合した時に第一の隔離室２０３を構成す
る面上に配置するように接合し、このセンサ部組２をシ
ールダイアフラム６，７が接合する面の反対側から、圧
力受圧部材２０に組み込んで接合することにより第二の
隔離室２０４を形成する。
【００２３】そして、シールダイアフラム６，導通路２
４，過負荷保護ダイアフラム４，センサ部組２に囲まれ
た第一の受圧室２０１と第一の隔離室２０３を含む空間
に封入液１５が充填し、同様にシールダイアフラム７，
導通路２５，２６，過負荷保護ダイアフラム４，センサ
部組２で囲まれた第二の受圧室２０１と第二の隔離室２
０３を含む空間にも封入液１６を充填することにより、
第一，第二の受圧室２０１，２０２と第一，第二の隔離
室２０３，２０４をシールダイアフラム６，７と過負荷
保護ダイアフラム４そして単一の圧力受圧部材２０とセ
ンサ部組２の２つの部材を接合することにより構成する
ことを可能にしている。
４，過負荷保護ダイアフラム４，センサ部組２に囲まれ
た第一の受圧室２０１と第一の隔離室２０３を含む空間
に封入液１５が充填し、同様にシールダイアフラム７，
導通路２５，２６，過負荷保護ダイアフラム４，センサ
部組２で囲まれた第二の受圧室２０１と第二の隔離室２
０３を含む空間にも封入液１６を充填することにより、
第一，第二の受圧室２０１，２０２と第一，第二の隔離
室２０３，２０４をシールダイアフラム６，７と過負荷
保護ダイアフラム４そして単一の圧力受圧部材２０とセ
ンサ部組２の２つの部材を接合することにより構成する
ことを可能にしている。
【００２４】過負荷保護ダイアフラム４は半導体センサ
４４の保護用のダイアフラムで、シールダイアフラム
６、または７に過大圧力が印加したときセンサを保護す
る役目をはたす。シールダイアフラム６は過大圧力を印
加したとき、シールダイアフラム６の形状と同一の波形
に加工した圧力受圧部材２０に差座し封入液１５の内圧
上昇を防止する。過負荷保護ダイアフラム４は、シール
ダイアフラム６が着座するまでの移動液量を第一，第二
の隔離室２０３，２０４で吸収し、内圧上昇を半導体セ
ンサ４４の耐圧以下に押さえることによって半導体セン
サ４４を保護する。
４４の保護用のダイアフラムで、シールダイアフラム
６、または７に過大圧力が印加したときセンサを保護す
る役目をはたす。シールダイアフラム６は過大圧力を印
加したとき、シールダイアフラム６の形状と同一の波形
に加工した圧力受圧部材２０に差座し封入液１５の内圧
上昇を防止する。過負荷保護ダイアフラム４は、シール
ダイアフラム６が着座するまでの移動液量を第一，第二
の隔離室２０３，２０４で吸収し、内圧上昇を半導体セ
ンサ４４の耐圧以下に押さえることによって半導体セン
サ４４を保護する。
【００２５】本発明の差圧伝送器を導圧配管と接続した
一実施例を図５を用いて説明する。圧力受圧部材２０に
は図４に示したように、シールダイアフラム６，７を取
り付けるための穴部２１，２２の上側にテーパーねじ２
７，２８がそれぞれ設けられており、プロセスからの流
体を導入する導圧配管４５，４６には圧力受圧部材２０
と接続するために接続部分にテーパーねじを設け、この
部分にシールテープが巻かれている。
一実施例を図５を用いて説明する。圧力受圧部材２０に
は図４に示したように、シールダイアフラム６，７を取
り付けるための穴部２１，２２の上側にテーパーねじ２
７，２８がそれぞれ設けられており、プロセスからの流
体を導入する導圧配管４５，４６には圧力受圧部材２０
と接続するために接続部分にテーパーねじを設け、この
部分にシールテープが巻かれている。
【００２６】このため圧力受圧部材２０と導圧配管４
５，４６の接続においては、導圧配管４５，４６のテー
パーねじ部分を、圧力受圧部材２０のテーパーねじ部に
差し込み、締め付けることによって容易に接続すること
が出来る。
５，４６の接続においては、導圧配管４５，４６のテー
パーねじ部分を、圧力受圧部材２０のテーパーねじ部に
差し込み、締め付けることによって容易に接続すること
が出来る。
【００２７】このような構成からなる差圧伝送器の差圧
検出動作を図１を用いて説明する。シールダイアフラム
６にプロセス流体からの第一の圧力が印加すると、シー
ルダイアフラム６を介してシールダイアフラム６の裏側
の第一の受圧室２０１の封入液１５にプロセス流体の第
一圧力が伝達される。さらにこの第一の圧力は導通路２
４を通って過負荷保護ダイアフラム４と半導体センサ４
４の間に形成された第一の隔離室２０３に伝達される。
またプロセス流体からの第二の圧力がシールダイアフラ
ム７に印加した場合も同様にシールダイアフラム７を介
して第二の受圧室２０２の封入液１６にプロセス流体の
第二の圧力が伝達され、この第二の圧力は導通路２５に
よって過負荷保護ダイアフラム４と圧力受圧部材２０の
間で形成された第二の隔離室２０４へ、導通路２６によ
ってセンサの裏面伝達される。このように半導体センサ
４４はセンサダイアフラムの表，裏に伝達したプロセス
流体の第一，第二の圧力室を検出する。
検出動作を図１を用いて説明する。シールダイアフラム
６にプロセス流体からの第一の圧力が印加すると、シー
ルダイアフラム６を介してシールダイアフラム６の裏側
の第一の受圧室２０１の封入液１５にプロセス流体の第
一圧力が伝達される。さらにこの第一の圧力は導通路２
４を通って過負荷保護ダイアフラム４と半導体センサ４
４の間に形成された第一の隔離室２０３に伝達される。
またプロセス流体からの第二の圧力がシールダイアフラ
ム７に印加した場合も同様にシールダイアフラム７を介
して第二の受圧室２０２の封入液１６にプロセス流体の
第二の圧力が伝達され、この第二の圧力は導通路２５に
よって過負荷保護ダイアフラム４と圧力受圧部材２０の
間で形成された第二の隔離室２０４へ、導通路２６によ
ってセンサの裏面伝達される。このように半導体センサ
４４はセンサダイアフラムの表，裏に伝達したプロセス
流体の第一，第二の圧力室を検出する。
【００２８】またプロセス流体の正確な差圧を求めるた
めには、プロセス流体の温度を検出する必要があるが、
このプロセス流体の温度変化は第一，第二の受圧室２０
１，２０２に納められた封入液１５，１６を介して第
一，第二隔離室２０３，２０４に伝わるので、半導体セ
ンサ４４に搭載されたサーミスタはプロセス流体の温度
の変化を検出することが可能になり、これにより伝送器
は半導体センサ４４が検出した差圧状態を、サーミスタ
の温度検出信号を用いて補正を行い正確な差圧状態を求
めて出力を行うことが出来る。
めには、プロセス流体の温度を検出する必要があるが、
このプロセス流体の温度変化は第一，第二の受圧室２０
１，２０２に納められた封入液１５，１６を介して第
一，第二隔離室２０３，２０４に伝わるので、半導体セ
ンサ４４に搭載されたサーミスタはプロセス流体の温度
の変化を検出することが可能になり、これにより伝送器
は半導体センサ４４が検出した差圧状態を、サーミスタ
の温度検出信号を用いて補正を行い正確な差圧状態を求
めて出力を行うことが出来る。
【００２９】以上のように本発明の差圧伝送器によれ
ば、圧力受圧部材２０内に過負荷保護ダイアフラム４で
形成される第一，第二の隔離室２０３，２０４を第一の
受圧室２０１、及び第二の受圧室２０２に近接して形成
することができるので、第一の隔離室２０３と第一の受
圧室２０１を結ぶ導通路２４と、第二の隔離室２０４と
第二の受圧室２０２を結ぶ導通路２５を短くすることが
でき、これにより受圧室１７，１８から半導体センサ４
４までのプロセスの状態を伝達する導通路を全体として
短くすることが可能になる。このため受圧室１７，１８
が感応したプロセス流体の温度変化を早く半導体センサ
４４に伝達するので、温度変化が激しいプロセス流体を
測定したときでも、その差圧状態を精度良く検出でき
る。
ば、圧力受圧部材２０内に過負荷保護ダイアフラム４で
形成される第一，第二の隔離室２０３，２０４を第一の
受圧室２０１、及び第二の受圧室２０２に近接して形成
することができるので、第一の隔離室２０３と第一の受
圧室２０１を結ぶ導通路２４と、第二の隔離室２０４と
第二の受圧室２０２を結ぶ導通路２５を短くすることが
でき、これにより受圧室１７，１８から半導体センサ４
４までのプロセスの状態を伝達する導通路を全体として
短くすることが可能になる。このため受圧室１７，１８
が感応したプロセス流体の温度変化を早く半導体センサ
４４に伝達するので、温度変化が激しいプロセス流体を
測定したときでも、その差圧状態を精度良く検出でき
る。
【００３０】また、サーミスタを備えた半導体センサ４
４を第一の隔離室２０３を構成する面上に設けて、かつ
受圧室２０１，２０２の方向を向くように取り付けてい
るので、受圧室２０１，２０２から発生した温度変化を
より早く、より正確に測定できるようになる。
４を第一の隔離室２０３を構成する面上に設けて、かつ
受圧室２０１，２０２の方向を向くように取り付けてい
るので、受圧室２０１，２０２から発生した温度変化を
より早く、より正確に測定できるようになる。
【００３１】さらに、第一の受圧室を構成する部材、第
二の受圧室を構成する部材と一つの隔離室を構成する部
材を単一の部材で構成することが可能になるので、部品
数が減ることにより、プロセス流体の温度変化は単一の
部材を介して半導体センサ４４に早く伝わるようにな
る。
二の受圧室を構成する部材と一つの隔離室を構成する部
材を単一の部材で構成することが可能になるので、部品
数が減ることにより、プロセス流体の温度変化は単一の
部材を介して半導体センサ４４に早く伝わるようにな
る。
【００３２】そして、受圧室を構成する部材で、直接に
導圧配管を保持することが可能になるため、従来の差圧
伝送器で使用していたフランジ，ボルト，ナット等が不
要になり部品点数を大幅に削減できる。
導圧配管を保持することが可能になるため、従来の差圧
伝送器で使用していたフランジ，ボルト，ナット等が不
要になり部品点数を大幅に削減できる。
【００３３】シールダイアフラムの点検を容易に行う機
能を備えた本発明の差圧伝送器の一実施例を図５を用い
て説明する。
能を備えた本発明の差圧伝送器の一実施例を図５を用い
て説明する。
【００３４】テーパーねじ２７，２８にはそれぞれ圧力
配管４５，４６をテーパーねじ２９，３０にはドレン弁
３９，４０を、テーパーねじ３７，３８には線３５，３
６は固定してある。このような構造を持たせているため
シールダイアフラム６，７を点検する場合、栓３５，３
６を取り外すのみで可能である。即ち、差圧伝送器を導
圧配管４５，４６に取り付けたまま栓３５，３６を外せ
ばシールダイアフラム６，７が現われるので、管理者は
黙視にて点検することが可能であり、また、点検完了後
も栓３７，３８のテーパーねじ部にシールテープを巻直
して、締め付けるだけで完了する。このように点検が容
易となるために、保守面で大きな効果がある。
配管４５，４６をテーパーねじ２９，３０にはドレン弁
３９，４０を、テーパーねじ３７，３８には線３５，３
６は固定してある。このような構造を持たせているため
シールダイアフラム６，７を点検する場合、栓３５，３
６を取り外すのみで可能である。即ち、差圧伝送器を導
圧配管４５，４６に取り付けたまま栓３５，３６を外せ
ばシールダイアフラム６，７が現われるので、管理者は
黙視にて点検することが可能であり、また、点検完了後
も栓３７，３８のテーパーねじ部にシールテープを巻直
して、締め付けるだけで完了する。このように点検が容
易となるために、保守面で大きな効果がある。
【００３５】また、本実施例によれば、圧力受圧部材２
０の測定流体を導入する部分において、対向する向きに
テーパーねじを設けてあるため、導圧配管４５，４６に
流れる測定流体中にスラッジ、その他の不純物が含まれ
ている場合においても、ドレン弁３９，４０をはずすこ
とによりシールダイアフラム６，７近辺にたまっている
スラッジその他の不純物を圧力受圧部材２０を圧力配管
４５，４６に取りつけたまま取りのぞくことが可能であ
る。
０の測定流体を導入する部分において、対向する向きに
テーパーねじを設けてあるため、導圧配管４５，４６に
流れる測定流体中にスラッジ、その他の不純物が含まれ
ている場合においても、ドレン弁３９，４０をはずすこ
とによりシールダイアフラム６，７近辺にたまっている
スラッジその他の不純物を圧力受圧部材２０を圧力配管
４５，４６に取りつけたまま取りのぞくことが可能であ
る。
【００３６】さらに、本実施例の差圧伝送器と導圧配管
４５，４６の接続方向では困難だが、測定流体中に気泡
が含まれている場合においては、ドレン弁３９，４０を
気体が抜ける方向に設けることにより、シールダイアフ
ラム６，７の近辺にたまった気泡をドレン弁３９，４０
を開けることにより取り出せる。
４５，４６の接続方向では困難だが、測定流体中に気泡
が含まれている場合においては、ドレン弁３９，４０を
気体が抜ける方向に設けることにより、シールダイアフ
ラム６，７の近辺にたまった気泡をドレン弁３９，４０
を開けることにより取り出せる。
【００３７】尚、実施例はドレン弁３９，４０を導圧配
管４５，４６に対して対向する方向に設けたが、これら
は任意の方向、例えば導圧配管４５，４６に対して９０
°の角度を持たせることも可能である。
管４５，４６に対して対向する方向に設けたが、これら
は任意の方向、例えば導圧配管４５，４６に対して９０
°の角度を持たせることも可能である。
【００３８】差圧伝送器は一般に検出したプロセス流体
の差圧が０％の時ＤＣ４ｍＡを、差圧が１００％の時Ｄ
Ｃ２０ｍＡの信号を出すように定められており、従って
差圧伝送器は導圧配管に取り付けた時、その後の使用状
態においても定期的に伝送器に加わる差圧が０％となる
状態を伝送器と導圧配管の間に設けられた三方弁を使っ
て作り出し、伝送器が検出差圧が０％の時ＤＣ４ｍＡの
信号を出力するように調整（零点調整）を行わなければ
ならなかった。
の差圧が０％の時ＤＣ４ｍＡを、差圧が１００％の時Ｄ
Ｃ２０ｍＡの信号を出すように定められており、従って
差圧伝送器は導圧配管に取り付けた時、その後の使用状
態においても定期的に伝送器に加わる差圧が０％となる
状態を伝送器と導圧配管の間に設けられた三方弁を使っ
て作り出し、伝送器が検出差圧が０％の時ＤＣ４ｍＡの
信号を出力するように調整（零点調整）を行わなければ
ならなかった。
【００３９】この零点調整を容易に行う機能を備えた本
発明の差圧伝送器の一実施例を図６を用いて説明する。
発明の差圧伝送器の一実施例を図６を用いて説明する。
【００４０】圧力受圧部材２０にはプロセス流体圧力室
１７とプロセス流体圧力室１８を連通するための連通孔
４８，４９があり、この連通孔４８，４９の間に連通を
遮断するための栓５０が設けてある。栓５０は遮断のた
めのテーパー部６０と圧力シールのためのＯリング５
２、そして、締め付け固定のためのねじ５９を有する。
また、本実施例の差圧伝送器はプロセス配管と図９，図
１０に示すように圧力受圧部材２０のプロセス接続テー
パーねじ２７，２８にストップ弁５３，５４を介して取
り付けられる。
１７とプロセス流体圧力室１８を連通するための連通孔
４８，４９があり、この連通孔４８，４９の間に連通を
遮断するための栓５０が設けてある。栓５０は遮断のた
めのテーパー部６０と圧力シールのためのＯリング５
２、そして、締め付け固定のためのねじ５９を有する。
また、本実施例の差圧伝送器はプロセス配管と図９，図
１０に示すように圧力受圧部材２０のプロセス接続テー
パーねじ２７，２８にストップ弁５３，５４を介して取
り付けられる。
【００４１】本実施例の差圧伝送器で零点調整を行う場
合、ストップ弁５３，５４を閉とし栓５０を開として差
圧を０％とする。即ちストップ弁５３，５４を閉として
プロセス流体の圧力変動を遮断し、次に栓５０を回転し
てプロセス流体圧力室１７，１８を連通孔４８，４９を
通して連通させ、プロセス流体圧力室１７，１８の圧力
を均一にする。このように差圧が０％となったとき伝送
器の出力が０％となるように差圧伝送器を調整する。
合、ストップ弁５３，５４を閉とし栓５０を開として差
圧を０％とする。即ちストップ弁５３，５４を閉として
プロセス流体の圧力変動を遮断し、次に栓５０を回転し
てプロセス流体圧力室１７，１８を連通孔４８，４９を
通して連通させ、プロセス流体圧力室１７，１８の圧力
を均一にする。このように差圧が０％となったとき伝送
器の出力が０％となるように差圧伝送器を調整する。
【００４２】以上のように本実施例の差圧伝送器によれ
ば、装置内に栓５０を有しているため図７，図８に示す
従来例のように特別な三方弁４７を使用する必要がな
く、一般に使用されているストップ弁を使用することに
より零点調整を行える。
ば、装置内に栓５０を有しているため図７，図８に示す
従来例のように特別な三方弁４７を使用する必要がな
く、一般に使用されているストップ弁を使用することに
より零点調整を行える。
【００４３】これにより、従来の三方弁を使用した零点
調整方法では、三方弁は一体となっているため三つの弁
のうち一つの弁が不良となったとき、残りの２個の弁が
正常であっても一式取り換えなければならなかったが、
本発明の差圧伝送器によれば不良となった一つのストッ
プ弁のみ交換すれば調整を行える。
調整方法では、三方弁は一体となっているため三つの弁
のうち一つの弁が不良となったとき、残りの２個の弁が
正常であっても一式取り換えなければならなかったが、
本発明の差圧伝送器によれば不良となった一つのストッ
プ弁のみ交換すれば調整を行える。
【００４４】また、零点調整を行うために、図９，図１
０の実施例では、プロセス流体圧力室１７，１８の圧力
を、圧力受圧部材２０内に設けられた連通孔４８，４９
で均一にする構造を示したが、この他の零点調整方法を
図１１，図１２に示す。
０の実施例では、プロセス流体圧力室１７，１８の圧力
を、圧力受圧部材２０内に設けられた連通孔４８，４９
で均一にする構造を示したが、この他の零点調整方法を
図１１，図１２に示す。
【００４５】本実施例では、図５に示した差圧伝送器に
導圧配管４５，４６を取り付けた状態で、ドレン弁３
９，４０を取りはずし、この開口部にストップ弁４３を
有した配管４０，４２を接続したものを示しており、こ
のような構成においても零点調整を行う場合、ストップ
弁４３を開にするだけでプロセス流体圧力室１７，１８
の圧力を均一にすることが可能になり、特殊な三方弁を
取り付ける必要が無くなる。
導圧配管４５，４６を取り付けた状態で、ドレン弁３
９，４０を取りはずし、この開口部にストップ弁４３を
有した配管４０，４２を接続したものを示しており、こ
のような構成においても零点調整を行う場合、ストップ
弁４３を開にするだけでプロセス流体圧力室１７，１８
の圧力を均一にすることが可能になり、特殊な三方弁を
取り付ける必要が無くなる。
【００４６】以上、本発明の差圧伝送器の実施例を述べ
たが、本発明の差圧伝送器はこれらの構成に限られたも
のではなく、例えば実施例中の差圧伝送器は第一の受圧
室，第二の受圧室、一つの隔離室をそれぞれ構成する部
材を単一の部材より形成したが、これは複数の部材を接
合することによっても同等の部材を作り出すことが可能
である。
たが、本発明の差圧伝送器はこれらの構成に限られたも
のではなく、例えば実施例中の差圧伝送器は第一の受圧
室，第二の受圧室、一つの隔離室をそれぞれ構成する部
材を単一の部材より形成したが、これは複数の部材を接
合することによっても同等の部材を作り出すことが可能
である。
【００４７】また、第一，第二のシールダイアフラム及
び過負荷保護ダイアフラムを同一方向に設けたが、これ
らダイアフラムの圧力検出機能を保持する範囲ならこれ
らを同一の方向に設けないことも可能である。
び過負荷保護ダイアフラムを同一方向に設けたが、これ
らダイアフラムの圧力検出機能を保持する範囲ならこれ
らを同一の方向に設けないことも可能である。
【００４８】
【発明の効果】本発明の差圧伝送器によれば、検出する
プロセス流体に温度変化が起きた場合でも、その温度変
化を早く検出することが可能になるのでプロセス流体の
差圧を正確に検出することができる。
プロセス流体に温度変化が起きた場合でも、その温度変
化を早く検出することが可能になるのでプロセス流体の
差圧を正確に検出することができる。
【００４９】また、シールダイアフラムの点検において
も、差圧伝送器を導圧配管に取り付けたまま検査するこ
とが可能になるので、点検工程数を減らすことができ
る。
も、差圧伝送器を導圧配管に取り付けたまま検査するこ
とが可能になるので、点検工程数を減らすことができ
る。
【００５０】さらに、零点調整においても、従来必要と
された三方弁ではなくストップ弁を用いて調整が可能と
なり必要な部品点数を減らすことができる。
された三方弁ではなくストップ弁を用いて調整が可能と
なり必要な部品点数を減らすことができる。
【図１】本発明の差圧伝送器の一実施例を示す縦断面
図。
図。
【図２】従来の差圧伝送器の縦断面図。
【図３】図１の圧力受圧部材の縦断面図。
【図４】図３のａ−ａ面における断面図。
【図５】本発明の差圧伝送器の接続例を示す断面図。
【図６】圧力受圧部材に導通路を設けた本発明の差圧伝
送器の一実施例。
送器の一実施例。
【図７】従来の差圧伝送器と三方弁の接続例。
【図８】図７の側面図。
【図９】本発明の差圧伝送器とストップ弁の接続例。
【図１０】図９の側面図。
【図１１】本発明の差圧伝送器の導圧配管とストップ弁
を取り付けた一実施例。
を取り付けた一実施例。
【図１２】図１１の側面図。
２…センサ部組、４…過負荷保護ダイアフラム、６，７
…シールダイアフラム、１５，１６…封入液、１７，１
８…プロセス流体受圧室、２０…圧力受圧部材、２１，
２２…シールダイアフラム取り付け穴部、２３…センサ
部組収納穴部、２４，２５，２６，３１，３２，３３，
３４…導通路、２７，２８，２９，３０，３７，３８…
テーパーめねじ、３５，３６…栓、３９，４０…ドレン
弁、４１，４２…配管、４３…ストップ弁、４４…半導
体センサ、４５，４６…導圧配管、４７…三方弁、５０
…栓、５１…めねじ、５２…Ｏリング、５９…ねじ、10
1…本体Ｈ、１０３…センターカナダ、１０４…過負荷
保護ダイアフラム、１０５…本体Ｌ、１０６，１０７…
シールダイアフラム、１０８，１０９…フランジ、１１
０，１１１…ガスケット、１１２…ボルト、１１３…ナ
ット、１１４…接続金具、１４４…センサ部組、２０１
…第一の受圧室、２０２…第二の受圧室、２０３…第一
の隔離室、２０４…第二の隔離室。
…シールダイアフラム、１５，１６…封入液、１７，１
８…プロセス流体受圧室、２０…圧力受圧部材、２１，
２２…シールダイアフラム取り付け穴部、２３…センサ
部組収納穴部、２４，２５，２６，３１，３２，３３，
３４…導通路、２７，２８，２９，３０，３７，３８…
テーパーめねじ、３５，３６…栓、３９，４０…ドレン
弁、４１，４２…配管、４３…ストップ弁、４４…半導
体センサ、４５，４６…導圧配管、４７…三方弁、５０
…栓、５１…めねじ、５２…Ｏリング、５９…ねじ、10
1…本体Ｈ、１０３…センターカナダ、１０４…過負荷
保護ダイアフラム、１０５…本体Ｌ、１０６，１０７…
シールダイアフラム、１０８，１０９…フランジ、１１
０，１１１…ガスケット、１１２…ボルト、１１３…ナ
ット、１１４…接続金具、１４４…センサ部組、２０１
…第一の受圧室、２０２…第二の受圧室、２０３…第一
の隔離室、２０４…第二の隔離室。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野瀬 俊宏 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測器事業部内
Claims (18)
- 【請求項１】第一の測定流体の圧力を部材に接合された
第一のダイアフラムを介して前記部材に収められた第一
の検出流体に伝える第一の受圧室と、第二の測定流体の
圧力を前記部材に接合された第二のダイアフラムを介し
て前記部材に収められた第二の検出流体に伝える第二の
受圧室と、前記第一の検出流体圧力と前記第二の検出流
体圧力の差を検出する半導体センサと、前記部材と接合
して第一の隔離室及び第二の隔離室を形成する第三のダ
イアフラムとを備え、前記第一の検出流体圧力は前記第
一の隔離室を介し、かつ前記第二の検出流体圧力は前記
第二の隔離室を介して前記半導体センサに印加されるこ
とを特徴とする差圧伝送器において、前記第一のダイア
フラム及び前記第二のダイアフラムを前記部材の一端面
に形成し、前記第三のダイアフラムを前記部材の一端面
と前記半導体センサの間に設けたことを特徴とする差圧
伝送器。 - 【請求項２】請求項１の差圧伝送器において、前記第一
のダイアフラムの面および第二のダイアフラムの面を同
一方向に設けたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項３】請求項１の差圧伝送器において、前記第三
のダイアフラムの面を前記第一のダイアフラムおよび第
二のダイアフラムの面と同一方向に向けたことを特徴と
する差圧伝送器。 - 【請求項４】請求項１の差圧伝送器において、前記半導
体センサの支持体により前記一端面と対向する前記部材
の一端面が形成されることを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項５】請求項１の差圧伝送器において、前記第一
の隔離室または前記第二の隔離室を構成する部材と、前
記第一の受圧室を形成する部材と、前記第二の受圧室を
形成する部材を単一の部材で構成したことを特徴とする
差圧伝送器。 - 【請求項６】第一の測定流体の圧力を部材に接合された
第一のダイアフラムを介して前記部材に収められた第一
の検出流体に伝える第一の受圧室と、第二の測定流体の
圧力を前記部材に接合された第二のダイアフラムを介し
て前記部材に収められた第二の検出流体に伝える第二の
受圧室と、前記第一の密閉流体圧力と前記第二の密閉流
体圧力の差を検出する半導体センサと、前記部材と接合
して第一の隔離室及び第二の隔離室を形成する第三のダ
イアフラムとを備え、前記第一の検出流体圧力は前記第
一の隔離室を介し、かつ前記第二の検出流体圧力は前記
第二の隔離室を介して前記半導体センサに印加されるこ
とを特徴とする差圧伝送器において、前記第一の隔離室
または前記第二の隔離室を構成する部材と、前記第一の
受圧室を形成する部材と、前記第二の受圧室を形成する
部材を単一の部材で構成したことを特徴とする差圧伝送
器。 - 【請求項７】請求項６の差圧伝送器において、 前記単一の部材と前記半導体センサを支持する部材を接
合して、前記第一の検出流体及び前記第二の検出流体を
密閉することを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項８】第一の測定流体の圧力を部材に接合された
第一のダイアフラムを介して前記部材に収められた第一
の検出流体に伝える第一の受圧室と、第二の測定流体の
圧力を前記部材に接合された第二のダイアフラムを介し
て前記部材に収められた第二の検出流体に伝える第二の
受圧室と、前記第一の密閉流体圧力と前記第二の密閉流
体圧力の差を検出する半導体センサと、前記部材と接合
して第一の隔離室及び第二の隔離室を形成する第三のダ
イアフラムとを備え、前記第一の検出流体圧力は前記第
一の隔離室を介し、かつ前記第二の検出流体圧力は前記
第二の隔離室を介して前記半導体センサに印加されるこ
とを特徴とする差圧伝送器において、前記第三のダイア
フラムの片面側の部材内に前記第一のダイアフラム及び
前記第二のダイアフラムを設けたことを特徴とする差圧
伝送器。 - 【請求項９】第一の測定流体の圧力を部材に接合された
第一のダイアフラムを介して前記部材に収められた第一
の検出流体に伝える第一の受圧室と、第二の測定流体の
圧力を前記部材に接合された第二のダイアフラムを介し
て前記部材に収められた第二の検出流体に伝える第二の
受圧室と、前記第一の検出流体圧力と前記第二の検出流
体圧力の差を検出する差圧検出手段と、前記第一，第二
のダイアフラムに対して前記第一，第二の測定流体の圧
力をそれぞれ伝達する導圧配管からなる差圧伝送器にお
いて、前記第一，第二の受圧室を形成する部材のうち少
なくとも一方の部材が前記導圧配管を接続する開口部を
備えたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１０】請求項９の差圧伝送器において、前記第
一の受圧室を形成する部材と前記第二の受圧室を形成す
る部材を単一の部材で形成したことを特徴とする差圧伝
送器。 - 【請求項１１】請求項９の差圧伝送器において、前記第
一，第二の受圧室を形成する部材のうち少なくとも一方
の部材に前記開口部と異なる開口部を一つ以上設け、該
開口部を部材で閉じたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１２】請求項１１の差圧伝送器において、前記
開口部を前記第一，第二のダイアフラムのうち少なくと
も一方のダイアフラムに対向する位置に設けたことを特
徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１３】請求項１１の差圧伝送器において、前記
開口部を互いに対向する位置に設けたことを特徴とする
差圧伝送器。 - 【請求項１４】請求項１１の差圧伝送器において、前記
第一，第二の受圧室を形成する部材にそれぞれ開口部を
設け、該二つの開口部を遮断弁を設けた導圧管で接続し
たことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１５】第一の測定流体の圧力を部材に接合され
た第一のダイアフラムを介して前記部材に収められた第
一の検出流体に伝える第一の受圧室と、第二の測定流体
の圧力を前記部材に接合された第二のダイアフラムを介
して前記部材に収められた第二の検出流体に伝える第二
の受圧室と、前記第一の検出流体圧力と前記第二の検出
流体圧力の差を検出する差圧検出手段と、前記部材に前
記第一の測定流体を前記第一のダイアフラムに伝達する
開口部と、前記第二の測定流体を前記第二のダイアフラ
ムに伝達する開口部を備えた差圧伝送器において、前記
部材の第一，第二の検出流体が伝達する部分のうち少な
くとも片方の部分に前記開口部と異なる開口部を一つ以
上設けたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１６】請求項１５の差圧伝送器において、前記
第一，第二のダイアフラムのうち少なくとも片方のダイ
アフラムの対向する位置に前記開口部を設けたことを特
徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１７】請求項１５の差圧伝送器において、前記
部材の第一，第二の検出流体が伝達する部分のうち少な
くとも片方の部分に複数の開口部を互いに対向する位置
に設けたことを特徴とする差圧伝送器。 - 【請求項１８】第一の測定流体の圧力を部材に接合され
た第一のダイアフラムを介して前記部材に収められた第
一の検出流体に伝える第一の受圧室と、第二の測定流体
の圧力を前記部材に接合された第二のダイアフラムを介
して前記部材に収められた第二の検出流体に伝える第二
の受圧室と、前記第一の検出流体圧力と前記第二の検出
流体圧力の差を検出する差圧検出手段からなる差圧伝送
器において、前記部材に前記第一の測定流体と前記第二
の測定流体を導通する圧力導管と、前記第一の測定流体
と前記第二の測定流体の導通を妨げる遮断弁を前記圧力
導管に設けたことを特徴とする差圧伝送器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4104262A JPH05296867A (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | 差圧伝送器 |
| US08/049,218 US5531120A (en) | 1992-04-23 | 1993-04-19 | Compact differential pressure transmitter having first and second damper chambers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4104262A JPH05296867A (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | 差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296867A true JPH05296867A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14376019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4104262A Pending JPH05296867A (ja) | 1992-04-23 | 1992-04-23 | 差圧伝送器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5531120A (ja) |
| JP (1) | JPH05296867A (ja) |
Families Citing this family (20)
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|---|---|---|---|---|
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| US5731522A (en) * | 1997-03-14 | 1998-03-24 | Rosemount Inc. | Transmitter with isolation assembly for pressure sensor |
| US6484585B1 (en) | 1995-02-28 | 2002-11-26 | Rosemount Inc. | Pressure sensor for a pressure transmitter |
| WO2004042338A1 (de) * | 2002-11-05 | 2004-05-21 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Relativdrucksensor mit atmosphärenseitiger drossel |
| US7258021B2 (en) * | 2004-06-25 | 2007-08-21 | Rosemount Inc. | Process transmitter isolation assembly |
| US7401522B2 (en) * | 2005-05-26 | 2008-07-22 | Rosemount Inc. | Pressure sensor using compressible sensor body |
| US7467555B2 (en) * | 2006-07-10 | 2008-12-23 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with multiple reference pressure sensors |
| JP4848904B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-12-28 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
| US7908926B2 (en) * | 2007-11-09 | 2011-03-22 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for pressure sensing |
| US8327713B2 (en) | 2008-12-03 | 2012-12-11 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for pressure measurement using magnetic property |
| US7870791B2 (en) | 2008-12-03 | 2011-01-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal |
| US7954383B2 (en) * | 2008-12-03 | 2011-06-07 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for pressure measurement using fill tube |
| DE102008054428A1 (de) * | 2008-12-09 | 2010-06-10 | Robert Bosch Gmbh | Aufbau eines Drucksensors |
| US8429978B2 (en) | 2010-03-30 | 2013-04-30 | Rosemount Inc. | Resonant frequency based pressure sensor |
| US8234927B2 (en) | 2010-06-08 | 2012-08-07 | Rosemount Inc. | Differential pressure sensor with line pressure measurement |
| US8132464B2 (en) | 2010-07-12 | 2012-03-13 | Rosemount Inc. | Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors |
| US8479580B2 (en) * | 2011-02-18 | 2013-07-09 | Schneider Electric Buildings, Llc | Pressure transducer arrangement |
| US8752433B2 (en) | 2012-06-19 | 2014-06-17 | Rosemount Inc. | Differential pressure transmitter with pressure sensor |
| DE102012025070A1 (de) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Hydraulisches Messwerk mit koplanaren Druckeingängen und Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk |
| CN106872097A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-06-20 | 广东省中山市质量计量监督检测所 | 一种带保护装置的微差压变送器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257934A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-27 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JPH04231832A (ja) * | 1990-10-22 | 1992-08-20 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2712846A1 (de) * | 1976-03-24 | 1977-11-24 | Ict Instr Inc | Messumformer zum messen von druckunterschieden |
| JPS5687196A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-15 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
| US4466290A (en) * | 1981-11-27 | 1984-08-21 | Rosemount Inc. | Apparatus for conveying fluid pressures to a differential pressure transducer |
| JPS60185130A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-20 | Hitachi Ltd | 半導体差圧発信器 |
| US5036884A (en) * | 1990-11-19 | 1991-08-06 | Keystone International Holdings Corp. | Mounting means for fluid pressure transmitters |
| US5094109A (en) * | 1990-12-06 | 1992-03-10 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with stress isolation depression |
-
1992
- 1992-04-23 JP JP4104262A patent/JPH05296867A/ja active Pending
-
1993
- 1993-04-19 US US08/049,218 patent/US5531120A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257934A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-27 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
| JPH04231832A (ja) * | 1990-10-22 | 1992-08-20 | Yokogawa Electric Corp | 差圧測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5531120A (en) | 1996-07-02 |
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