JPH05299741A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH05299741A JPH05299741A JP9636092A JP9636092A JPH05299741A JP H05299741 A JPH05299741 A JP H05299741A JP 9636092 A JP9636092 A JP 9636092A JP 9636092 A JP9636092 A JP 9636092A JP H05299741 A JPH05299741 A JP H05299741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- discharge electrodes
- voltage
- supply lines
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 放電電極の絶縁距離を少なくして装置の小形
化を図る。 【構成】 高周波電源回路１９から整合器１８および給
電線１７ａ，１７ｂを介して第１および第２の放電電極
１４ａ，１４ｂに給電する。給電線１７ａ，１７ｂは略
同じ長さ寸法とする。高周波電源回路１９の出力は、給
電線１７ａ，１７ｂに対して互いに位相が反転した高周
波の交流電圧を印加する。給電線１７ａ，１７ｂの交流
的な対接地容量は略等しくなるので、各放電電極１４
ａ，１４ｂには、互いに位相が反転された高周波電圧が
印加されることになり、放電電極１４ａ，１４ｂ間には
略２倍の高周波電圧を印加することができる。これによ
り、各放電電極１４ａ，１４ｂの絶縁距離を小さくする
ことができ、装置の小形化が図れる。
化を図る。 【構成】 高周波電源回路１９から整合器１８および給
電線１７ａ，１７ｂを介して第１および第２の放電電極
１４ａ，１４ｂに給電する。給電線１７ａ，１７ｂは略
同じ長さ寸法とする。高周波電源回路１９の出力は、給
電線１７ａ，１７ｂに対して互いに位相が反転した高周
波の交流電圧を印加する。給電線１７ａ，１７ｂの交流
的な対接地容量は略等しくなるので、各放電電極１４
ａ，１４ｂには、互いに位相が反転された高周波電圧が
印加されることになり、放電電極１４ａ，１４ｂ間には
略２倍の高周波電圧を印加することができる。これによ
り、各放電電極１４ａ，１４ｂの絶縁距離を小さくする
ことができ、装置の小形化が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電極間に交流電圧を印
加してレーザ光を発振させるガスレーザ装置に関する。
加してレーザ光を発振させるガスレーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電極間に交流電圧を印加するガスレーザ
装置としては、例えば、交流電圧の周波数を高周波領域
とするＲＦ（Radio Frequency ）電源を用いたものがあ
る。図３はＲＦ電源１と発振器ヘッド２との電気的構成
の概略を示すもので、以下、これについて簡単に説明す
る。
装置としては、例えば、交流電圧の周波数を高周波領域
とするＲＦ（Radio Frequency ）電源を用いたものがあ
る。図３はＲＦ電源１と発振器ヘッド２との電気的構成
の概略を示すもので、以下、これについて簡単に説明す
る。
【０００３】即ち、ＲＦ電源１においては、励振部３に
より水晶振動子から得た安定な高周波信号を出力し、真
空管式のパワーアンプ４によりこの高周波信号を増幅し
て高周波電圧として出力する。この高周波電圧はインピ
ーダンス整合器５によりインピーダンス変換され、発振
器ヘッド２の複数対の放電電極６に印加されるようにな
っている。
より水晶振動子から得た安定な高周波信号を出力し、真
空管式のパワーアンプ４によりこの高周波信号を増幅し
て高周波電圧として出力する。この高周波電圧はインピ
ーダンス整合器５によりインピーダンス変換され、発振
器ヘッド２の複数対の放電電極６に印加されるようにな
っている。
【０００４】発振器ヘッド２は、放電管と上述の複数対
の放電電極６と共振器７から構成されるもので、放電管
内部にはレーザガスが循環されている。そして、放電間
の外側に配設された放電電極６に高周波電圧が印加され
ると、放電管内には容量性結合による高周波放電が発生
されてレーザガスが励起される。これにより、放電管か
らパルス状のレーザ光が発生される。
の放電電極６と共振器７から構成されるもので、放電管
内部にはレーザガスが循環されている。そして、放電間
の外側に配設された放電電極６に高周波電圧が印加され
ると、放電管内には容量性結合による高周波放電が発生
されてレーザガスが励起される。これにより、放電管か
らパルス状のレーザ光が発生される。
【０００５】このようなＲＦ電源１を用いたガスレーザ
装置では、放電電極を放電管の外側に配置できることか
ら、電極のスパッタがなくガス劣化が少ないことや、低
電圧で放電電力密度を上げることができて安全且つ小形
化が図れることや、ＲＦ電源における変調の容易性等の
種々の利点がある。
装置では、放電電極を放電管の外側に配置できることか
ら、電極のスパッタがなくガス劣化が少ないことや、低
電圧で放電電力密度を上げることができて安全且つ小形
化が図れることや、ＲＦ電源における変調の容易性等の
種々の利点がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な従来構成のレーザ装置においては、交流電源を真空管
式の電源回路から構成しており、この場合に放電電極の
一方をアース電位としているが、このような構成でＲＦ
電源１の出力電圧を高くすると、他方の放電電極にその
まま高周波電圧が印加されるため、絶縁距離を大きく設
定する必要があり、これによって、装置の小形化が制約
を受ける不具合がある。
な従来構成のレーザ装置においては、交流電源を真空管
式の電源回路から構成しており、この場合に放電電極の
一方をアース電位としているが、このような構成でＲＦ
電源１の出力電圧を高くすると、他方の放電電極にその
まま高周波電圧が印加されるため、絶縁距離を大きく設
定する必要があり、これによって、装置の小形化が制約
を受ける不具合がある。
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、放電電極に印加する交流電圧が高くな
る場合でも、放電電極の絶縁距離を比較的短く設定する
ことができて装置の小形化を図り得るガスレーザ装置を
提供するにある。
で、その目的は、放電電極に印加する交流電圧が高くな
る場合でも、放電電極の絶縁距離を比較的短く設定する
ことができて装置の小形化を図り得るガスレーザ装置を
提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、内部がレーザ
ガスで満たされた容器と、少なくとも一対の放電電極
と、この放電電極に接続された交流電源とを備えたガス
レーザ装置を対象とするものであり、前記交流電源と一
対の放電電極との間を略同じ長さ寸法の給電線で接続す
ると共に、前記交流電源からこれらの給電線のそれぞれ
に互いに位相が反転した交流電圧を印加するようにした
ところに特徴を有する。
ガスで満たされた容器と、少なくとも一対の放電電極
と、この放電電極に接続された交流電源とを備えたガス
レーザ装置を対象とするものであり、前記交流電源と一
対の放電電極との間を略同じ長さ寸法の給電線で接続す
ると共に、前記交流電源からこれらの給電線のそれぞれ
に互いに位相が反転した交流電圧を印加するようにした
ところに特徴を有する。
【０００９】
【作用】本発明のガスレーザ装置によれば、交流電源
は、給電線に対して位相が反転した交流電圧を与え、給
電線はそれぞれの放電電極に対する長さ寸法が略同じに
設定されているので、一対の放電電極には互いに位相が
反転した状態の交流電圧が印加される。このとき、放電
電極間の印加電圧は、それぞれの放電電極に与えられる
交流電圧の差であるから、実質的に略２倍の交流電圧が
印加されることになる。従って、放電電極間の印加電圧
の略半分の交流電圧を各放電電極に与えれば良いので、
各放電電極においては対アース電位を低くすることがで
き、これにより絶縁距離を印加電圧に比例して大きく設
定する必要がなくなって、総じて装置の小形化が図れ
る。
は、給電線に対して位相が反転した交流電圧を与え、給
電線はそれぞれの放電電極に対する長さ寸法が略同じに
設定されているので、一対の放電電極には互いに位相が
反転した状態の交流電圧が印加される。このとき、放電
電極間の印加電圧は、それぞれの放電電極に与えられる
交流電圧の差であるから、実質的に略２倍の交流電圧が
印加されることになる。従って、放電電極間の印加電圧
の略半分の交流電圧を各放電電極に与えれば良いので、
各放電電極においては対アース電位を低くすることがで
き、これにより絶縁距離を印加電圧に比例して大きく設
定する必要がなくなって、総じて装置の小形化が図れ
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を横流形のガスレーザ装置に適
用した場合の一実施例について図１および図２を参照し
て説明する。
用した場合の一実施例について図１および図２を参照し
て説明する。
【００１１】全体構成の概略を示す図２において、矩形
状をなす容器としての外部風洞１１内には、断面が略Ｕ
字状をなしステンレス，鉄或はアルミニウム製の内部風
洞１２が設けられている。外部風洞１１の上面中央部に
はセラミックスなどからなる平板状をなす第１の誘電体
１３ａが設けられ、内部風洞１２の上面中央部には、第
１の誘電体１３ａと同様の第２の誘電体１３ｂが対向す
る位置に配設されている。
状をなす容器としての外部風洞１１内には、断面が略Ｕ
字状をなしステンレス，鉄或はアルミニウム製の内部風
洞１２が設けられている。外部風洞１１の上面中央部に
はセラミックスなどからなる平板状をなす第１の誘電体
１３ａが設けられ、内部風洞１２の上面中央部には、第
１の誘電体１３ａと同様の第２の誘電体１３ｂが対向す
る位置に配設されている。
【００１２】これら第１および第２の誘電体１３ａ，１
３ｂはそれぞれ外部風洞１１および内部風洞１２に気密
状態に取り付けられており、外部風洞１１と内部風洞１
２との間の空間領域Ａは外部空間に対して気密状態に形
成されている。第１の誘電体１３ａの上面中央部には第
１の放電電極１４ａが固定され、第２の誘電体１３ｂの
下面中央部には第２の放電電極１４ｂが固定され、内部
風洞１２の内側は外部空間と連通した状態に形成されて
いる。
３ｂはそれぞれ外部風洞１１および内部風洞１２に気密
状態に取り付けられており、外部風洞１１と内部風洞１
２との間の空間領域Ａは外部空間に対して気密状態に形
成されている。第１の誘電体１３ａの上面中央部には第
１の放電電極１４ａが固定され、第２の誘電体１３ｂの
下面中央部には第２の放電電極１４ｂが固定され、内部
風洞１２の内側は外部空間と連通した状態に形成されて
いる。
【００１３】外部風洞１１と内部風洞１２との間の空間
領域Ａにはレーザガスが封入されており、外部風洞１１
の内底部には送風機１５および熱交換器１６が配設され
ている。そして、空間領域Ａ内のレーザガスは送風機１
５により矢印Ｐ方向に循環され、熱交換器１６を通過す
るときに冷却されるようになっている。
領域Ａにはレーザガスが封入されており、外部風洞１１
の内底部には送風機１５および熱交換器１６が配設され
ている。そして、空間領域Ａ内のレーザガスは送風機１
５により矢印Ｐ方向に循環され、熱交換器１６を通過す
るときに冷却されるようになっている。
【００１４】次に、図１において、第１および第２の放
電電極１４ａ，１４ｂは、それぞれ給電線１７ａ，１７
ｂを介して整合器１８に接続され、整合器１８は交流電
源としての高周波電源回路１９に接続されている。この
場合、給電線１７ａ，１７ｂは略同じ長さ寸法のものを
使用しており、交流的な対接地インピーダンスが略同じ
となるように設定されている。
電電極１４ａ，１４ｂは、それぞれ給電線１７ａ，１７
ｂを介して整合器１８に接続され、整合器１８は交流電
源としての高周波電源回路１９に接続されている。この
場合、給電線１７ａ，１７ｂは略同じ長さ寸法のものを
使用しており、交流的な対接地インピーダンスが略同じ
となるように設定されている。
【００１５】整合器１８は、給電路に直列に接続された
コイル１８ａ，１８ａと給電路間に接続されたコンデン
サ１８ｂ，１８ｂとからなるもので、交流電源としての
高周波電源回路１９からの高周波電圧のインピーダンス
を負荷に応じたインピーダンスに変換して給電線１７
ａ，１７ｂに供給する。
コイル１８ａ，１８ａと給電路間に接続されたコンデン
サ１８ｂ，１８ｂとからなるもので、交流電源としての
高周波電源回路１９からの高周波電圧のインピーダンス
を負荷に応じたインピーダンスに変換して給電線１７
ａ，１７ｂに供給する。
【００１６】高周波電源回路１９は、直流変換回路と静
電誘導形トランジスタ（ＳＩＴ）により構成されたイン
バータ回路とにより構成され、商用電源を高周波電圧に
変換して出力するもので、互いに位相が反転した高周波
電圧が出力されるようになっている。
電誘導形トランジスタ（ＳＩＴ）により構成されたイン
バータ回路とにより構成され、商用電源を高周波電圧に
変換して出力するもので、互いに位相が反転した高周波
電圧が出力されるようになっている。
【００１７】このような構成によれば、高周波電源回路
１９から高周波電圧が出力されると、整合器１８および
給電線１７ａ，１７ｂを介して第１および第２の放電電
極１４ａ，１４ｂに給電されるようになる。これによ
り、第１および第２の誘電体１３ａ，１３ｂを介してこ
れらの間の空間領域Ａ内に交流放電が生じ、内部を流れ
ているレーザガスが励起されてレーザ光Ｌが図の紙面方
向に対して直角方向に発生する。
１９から高周波電圧が出力されると、整合器１８および
給電線１７ａ，１７ｂを介して第１および第２の放電電
極１４ａ，１４ｂに給電されるようになる。これによ
り、第１および第２の誘電体１３ａ，１３ｂを介してこ
れらの間の空間領域Ａ内に交流放電が生じ、内部を流れ
ているレーザガスが励起されてレーザ光Ｌが図の紙面方
向に対して直角方向に発生する。
【００１８】この場合、給電線１７ａ，１７ｂの長さ寸
法が略同じに設定されていることから、それぞれの対接
地容量が略同じ値となっており、給電線１７ａ，１７ｂ
に互いに位相が反転した電圧が与えられると、両給電線
１７ａ，１７ｂにおいては同条件で伝達されるので、第
１および第２の放電電極１４ａ，１４ｂに印加される電
圧も互いに略位相が反転した状態となる。従って、第１
および第２の放電電極１４ａ，１４ｂ間の印加電圧とし
ては、それらの差となるから略２倍の高周波電圧が与え
られることになる。
法が略同じに設定されていることから、それぞれの対接
地容量が略同じ値となっており、給電線１７ａ，１７ｂ
に互いに位相が反転した電圧が与えられると、両給電線
１７ａ，１７ｂにおいては同条件で伝達されるので、第
１および第２の放電電極１４ａ，１４ｂに印加される電
圧も互いに略位相が反転した状態となる。従って、第１
および第２の放電電極１４ａ，１４ｂ間の印加電圧とし
ては、それらの差となるから略２倍の高周波電圧が与え
られることになる。
【００１９】この結果、各放電電極１４ａ，１４ｂとア
ースとの間の電圧を比較的小さい値とした状態で略２倍
の電圧を印加させることができるので、各放電電極１４
ａ，１４ｂの絶縁距離を大きくする必要がなくなり、そ
の分だけ装置を小形化することができる利点がある。
ースとの間の電圧を比較的小さい値とした状態で略２倍
の電圧を印加させることができるので、各放電電極１４
ａ，１４ｂの絶縁距離を大きくする必要がなくなり、そ
の分だけ装置を小形化することができる利点がある。
【００２０】尚、上記実施例においては、本発明を横流
形のガスレーザ装置に適用した場合について説明した
が、これに限らず、軸流形のガスレーザ装置に適用して
も良いことは勿論である。
形のガスレーザ装置に適用した場合について説明した
が、これに限らず、軸流形のガスレーザ装置に適用して
も良いことは勿論である。
【００２１】
【発明の効果】本発明のガスレーザ装置によれば、給電
線の長さ寸法を略同じ長さにすると共に、これら給電線
に対して交流電源から互いに位相が反転した交流電圧を
あたえるようにしたので、一対の放電電極のそれぞれに
は互いに位相が反転した状態で交流電圧を印加させるこ
とができる。これにより、一対の放電電極間の印加電圧
は実質的に約２倍の交流電圧となる。従って、それぞれ
の放電電極に対アース電位の低い交流電圧を与えること
により、それら放電電極間の印加電圧を高くすることが
できるので、放電電極に対する絶縁距離を小さく設定す
ることができ、総じて装置の小形化が図れるという優れ
た効果を奏する。
線の長さ寸法を略同じ長さにすると共に、これら給電線
に対して交流電源から互いに位相が反転した交流電圧を
あたえるようにしたので、一対の放電電極のそれぞれに
は互いに位相が反転した状態で交流電圧を印加させるこ
とができる。これにより、一対の放電電極間の印加電圧
は実質的に約２倍の交流電圧となる。従って、それぞれ
の放電電極に対アース電位の低い交流電圧を与えること
により、それら放電電極間の印加電圧を高くすることが
できるので、放電電極に対する絶縁距離を小さく設定す
ることができ、総じて装置の小形化が図れるという優れ
た効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例を示す電気的構成図
【図２】全体構成の縦断側面図
【図３】従来例を示す図１相当図
１１は外部風洞（容器）、１２は内部風洞、１３ａ，１
３ｂは第１および第２の誘電体、１４ａ，１４ｂは第１
および第２の放電電極、１５は送風機、１６は熱交換
器、１７ａ，１７ｂは給電線、１８は整合器、１９は高
周波電源回路（交流電源）、Ａは空間領域、Ｌはレーザ
光である。
３ｂは第１および第２の誘電体、１４ａ，１４ｂは第１
および第２の放電電極、１５は送風機、１６は熱交換
器、１７ａ，１７ｂは給電線、１８は整合器、１９は高
周波電源回路（交流電源）、Ａは空間領域、Ｌはレーザ
光である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 博勝 三重県三重郡朝日町大字繩生2121番地 株 式会社東芝三重工場内 (72)発明者 玉川 徹 神奈川県川崎市川崎区浮島町２番１号 株 式会社東芝浜川崎工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 内部がレーザガスで満たされた容器と、
少なくとも一対の放電電極と、この放電電極に接続され
た交流電源とを備えたガスレーザ装置において、前記交
流電源と一対の放電電極との間を略同じ長さ寸法の給電
線で接続すると共に、前記交流電源からこれらの給電線
のそれぞれに互いに位相が反転した交流電圧を印加する
ようにしたことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9636092A JPH05299741A (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9636092A JPH05299741A (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05299741A true JPH05299741A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14162830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9636092A Pending JPH05299741A (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05299741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0986147A3 (en) * | 1998-09-04 | 2000-04-19 | Excitation Inc. | Excitation of gas slab lasers |
-
1992
- 1992-04-16 JP JP9636092A patent/JPH05299741A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0986147A3 (en) * | 1998-09-04 | 2000-04-19 | Excitation Inc. | Excitation of gas slab lasers |
| US6137818A (en) * | 1998-09-04 | 2000-10-24 | Excitation Llc | Excitation of gas slab lasers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4169251A (en) | Waveguide gas laser with high frequency transverse discharge excitation | |
| JPH1030195A (ja) | プラズマエッチング装置 | |
| JPH05299741A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| US4677637A (en) | TE laser amplifier | |
| US4472808A (en) | Waveguide type gas laser apparatus | |
| JP2509638B2 (ja) | 高周波放電励起レ―ザ装置 | |
| JPS6163073A (ja) | Ｒｆ励起レ−ザの周波数安定化装置 | |
| US4907241A (en) | Gas laser device | |
| JPS61280689A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| US5067135A (en) | Gas laser apparatus | |
| JPS629686A (ja) | ガスレ−ザ−装置 | |
| JPH081972B2 (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPS6398171A (ja) | 高周波放電励起レ−ザ装置 | |
| JP2509621B2 (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| JP2796295B2 (ja) | 高周波放電励起レーザ装置 | |
| JP3234361B2 (ja) | 無電極放電灯点灯装置 | |
| JP2656362B2 (ja) | レーザ装置 | |
| US5095490A (en) | Asymmetric rf excited gas laser electrode configuration | |
| JPH0832157A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6367345B2 (ja) | ||
| JPS5918699Y2 (ja) | 高速ガス循環型気体レ−ザ装置 | |
| JP2707356B2 (ja) | 気体レーザ装置 | |
| JPH0593064U (ja) | レーザ装置の誘電体板 | |
| JPH03250677A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH03123090A (ja) | ガスレーザ装置 |